JP4737598B2 - エンコーダ - Google Patents

エンコーダ Download PDF

Info

Publication number
JP4737598B2
JP4737598B2 JP2005106052A JP2005106052A JP4737598B2 JP 4737598 B2 JP4737598 B2 JP 4737598B2 JP 2005106052 A JP2005106052 A JP 2005106052A JP 2005106052 A JP2005106052 A JP 2005106052A JP 4737598 B2 JP4737598 B2 JP 4737598B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
encoder
unit
signal
signal waveform
waveform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005106052A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006284420A (ja
Inventor
康 大野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2005106052A priority Critical patent/JP4737598B2/ja
Publication of JP2006284420A publication Critical patent/JP2006284420A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4737598B2 publication Critical patent/JP4737598B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、エンコーダに関する。
モータによって被駆動体を駆動する駆動装置は、従来から様々な分野の電子機器や産業用ロボット等の制御に広く用いられており、例えば産業用ロボットにおいては、そのアームを屈伸動、旋回動させるために適用され、また、カメラなどの光学機器においても、モータによって駆動される撮影レンズを合焦位置に移動・停止させる自動焦点調節装置に適用されている。このような駆動装置には、制御に必要なロボットのアームやレンズの移動量、移動速度といったものを検出するための位置センサとしてロータリエンコーダが良く使われている。
ロータリエンコーダは、モータ等のアクチュエータの回転軸に固定されてその回転位置を検出する装置で、光学式および磁気式があり、このうち光学式のロータリエンコーダは、例えば特許文献1にも記載されているように、微小なスリットが等間隔に形成されてモータに取り付けられた回転ディスクを使用するものである。回転ディスクを挟んで一方には光源としての発光素子(LED)が、他方には発光素子と対向するように受光素子(フォトダイオード)が配置されており、発光素子から発光された光は受光素子によって受光され、受光した光の光量に応じた出力レベルのアナログ信号を出力可能になっている。このように構成された光学式のロータリエンコーダでは、モータの回転とともに回転ディスクが回転すると、発光素子から回転ディスクのスリットを通って受光素子へ達する光が周期的に遮断され、この光量の変化を受光素子により検出することによって変位を検知することができるようになっている。このとき受光素子からは例えば90度の位相差を持つ2つの擬似正弦波が出力され、増幅回路により増幅された後、2つの擬似正弦波はコンパレータによって高電圧状態(ハイレベル)と低電圧状態(ローレベル)の2つの状態をとるデジタル信号(パルス信号)に変換されて出力される。このパルス信号は計測機器などの計数回路に入力され、モータの位置情報が算出されるようになっている。
特開2000−234942号公報
ところで、上記のような光学式のエンコーダでは、発光素子や受光素子が経年劣化を起こすと、例えば発光素子から照射される光の光量が低下すると、これにともなって測定対象物の変位の測定精度が悪化するが、従来のエンコーダにおいては、ある程度劣化が進んで測定対象物の位置情報が検出不可能になるまでエンコーダを使用し続けていたため、エンコーダによる検出が不可能になった時点で突発的に駆動装置(モータ)が停止する課題があった。
以上のような課題に鑑みて、本発明では、異常を検出することのできるエンコーダを提供することを目的とする。
前記課題を解決するために本発明に係るエンコーダは、被検物体の移動を検出し、被検物体の移動位置に応じた信号を出力する検出部と、検出部から出力される信号の正常な信号波形を記録した記録部と、検出部から出力される信号の信号波形と正常な信号波形とを比較して、所定以上の差異が生じている場合に異常であると判断する判断部と、判断部によって異常であると判断された場合に、検出部から出力される信号の信号波形が正常な信号波形と略同一となるように、検出部から出力される信号の信号波形を補正する補正部と、補正部によって検出部から出力される信号の信号波形を補正する場合に、補正部によって補正された補正値と判断部によって判断された異常を示す情報とを外部の制御装置に出力するデータ処理部とを備え、判断部は、信号波形として互いに異なる位相を有する2つの信号を用いるように構成される。
また、上記構成のエンコーダにおいて、前記2つの信号は、互いに90度の位相差を有することが好ましい
また、上記構成のエンコーダにおいて前記信号波形はリサージュ波形であり、判断部は、検出部から出力される信号の信号波形の少なくとも一部が正常な信号波形に基づく基準の信号波形の内側に進入した場合に異常であると判断するように構成されることが好ましい
また、上記構成のエンコーダにおいて、光源と、被検物体とともに移動するパターンとを備え、検出部は、光源からの光をパターンを介して受光するように構成されることが好ましい。
また、上記構成のエンコーダにおいて、被検物体とともに移動する磁石を備え、検出部は、磁石の磁気を検出する磁気センサを有して構成されることが好ましい。
また、上記構成のエンコーダにおいて、エンコーダはモータに取り付けられ、モータの回転量または回転位置を検出するように構成されることが好ましい。
本発明に関するエンコーダによれば、エンコーダの異常を検出することが可能である。
以下、本発明の好ましい実施の形態について図1から図5を参照して説明する。
(第1実施形態)
ここではまず、本発明の第1の実施の形態について、ロータリエンコーダを例として説明する。図1に本発明に係るエンコーダ50およびエンコーダ50を装備したモータ(ACサーボモータ)を駆動制御するコントローラ100を示している。このエンコーダ50は、光源(以下、発光素子2という)等からなる光学式のエンコーダ50を用いてエンコーダ50を装備した図示しないモータの回転量または回転位置を検出するものであり、測定部10および処理部30とに大別される。
測定部10は、モータの変位を検出するための疑似正弦波信号を生成する。一方、処理部30は、測定部10で生成された擬似正弦波信号を用いてモータの回転量または回転位置を検出するとともに、擬似正弦波信号の異常の有無を判断する。また、外部装置としての外部コントローラ100はエンコーダ50と半二重シリアル通信可能であり、エンコーダ50からの変位検出値および信号の異常の有無は、処理部30から外部のコントローラ100に向けて送信可能である。このコントローラ100は、エンコーダ50によるモータの変位検出値に応じてモータを駆動制御し、エンコーダ50により擬似正弦波信号の異常が判断された場合には所定の措置をとる。
測定部10は、LEDなどの発光素子2、回転ディスク1(いわゆるスケール)、シリコンフォトダイオードなどの受光素子3および増幅回路4を有して構成される。回転ディスク1にはその周方向に複数のスリット(パターン)が所定の間隔で形成されており、回転ディスク1の中心は、変位を計測する対象である図示しないモータの回転軸に固定されている。
また、発光素子2および受光素子3は、両者間に設けられる回転ディスク1を挟んで対向するようにそれぞれ配設される。発光素子2から射出した光は、図示しない照明光学系によって回転ディスク1に照射され、回転ディスク1のスリットを透過した光が受光素子3で検出される。受光素子3は、受光した光の強さに応じて検出信号を出力する。
図2に示すように、回転ディスク1に形成されたパターンは、アブソリュートパターンからなるアブソリュートトラック1aと、インクリメンタルパターンからなるインクリメンタルトラック1bとを有している。図2において、白色部分が発光素子2からの光を透過するスリットからなる光透過部、そして、黒色部分が光を遮る遮光部となっている。
受光素子3のうちアブソリュート検出素子群3aは、アブソリュートトラックのアブソリュートパターンを読み取るためアブソリュートトラック1aに沿って配置されるものである(図2の3a−1〜3a−6)。
また、インクリメンタル検出素子群3bは、インクリメンタルトラック1bの符号を検出するもので、インクリメンタルトラック1bに沿って配置されたA相検出用の検出素子3b−1とB相検出用の検出素子3b−2とからなる。これらA相検出用の検出素子3b−1とB相検出用の検出素子3b−2とは互いにインクリメンタルパターンの最小読み取り単位の3/2の間隔、すなわち3L/4ずらして配置されており、A相検出用の検出素子3b−1がインクリメンタルトラック1bのいずれかのビットの中心に位置する状態で、B相検出用の検出素子3b−2は、インクリメンタルトラック1bのビット相互のいずれかの境界に位置する。
そして、アブソリュートパターンおよびインクリメンタルパターンが形成された回転ディスク1の回転により、インクリメンタル検出素子群3bからのインクリメンタル信号に基づいて、アブソリュート検出素子群1aが読み取るべきアブソリュート信号に対応した受光信号が受光素子3から発生するようになっている。
これらのうち、検出素子3b−2から出力される信号が増幅された後、増幅回路4内のアンプにおいて増幅されることで第1の擬似正弦波信号(A相信号)が生成される。また、検出素子3b−1から出力される信号が増幅された後、アンプにおいて増幅されることで第2の擬似正弦波信号(B相信号)が生成される。
図3は、増幅回路4から出力されるA相信号およびB相信号の波形を示す図である。図3において、横軸は擬似正弦波信号の位相角θであり、縦軸は受光素子3の受光レベル(アナログ信号の出力レベル)である。位相角θは、モータの回転量または回転位置(すなわち、モータにより駆動されるアクチュエータ等の変位)に対応する。したがって、モータがあるスリットからそれに隣接するスリットの間隔分だけ回転すると、擬似正弦波信号が一周期変動する。ここで、A相信号をsinθで表すと、B相信号はcosθで表され、B相信号はA相信号に対して位相が90度遅れた信号であり、この位相差は、隣接する検出素子3b−2および検出素子3b−1の間隔、すなわちL/4の大きさに対応する。
増幅回路4からのA相信号およびB相信号は、各々処理部30に入力される。処理部30は、A/Dコンバータを有するデータ処理部5と、A/D変換された擬似正弦波形を記録波形として予め記録保持し、これを外部のコントローラ100からの指令により書換可能な不揮発性メモリからなる記録部6と、A/D変換された増幅回路4からの擬似正弦波形と記録部6に記録波形として保持された参照用の擬似正弦波形とを比較する比較部7とから構成される。
データ処理部5は、ゲートアレイなどのASIC(特定用途向け集積回路、Application
Specific Integrated Circuit)によって構成されており、データ処理部5内のA/Dコンバータは、増幅回路4から出力される2相の擬似正弦波信号、すなわちA相信号およびB相信号を、それぞれアナログ信号からデジタル信号に変換する。データ処理部5においては、変換後のデジタル信号に基づいてモータの変位(回転量または回転位置)が算出され、算出されたデータは位置データとして半二重シリアル通信によりコントローラ100に向けて送信される。コントローラ100においては、算出されたモータの回転量または回転位置に基づいてモータにより駆動されるアクチュエータ等の位置変位が算出され、アクチュエータ等が所望の位置に変位するようにモータの制御が行われる。
ここで、図4を追加参照して、本発明に係るエンコーダ50の測定部10における異常の発生の検出について説明する。
エンコーダ50の製造時において、記録部6内には、コントローラ100からシリアル通信により出力される一周期分の擬似正弦波信号のデジタルデータが記録される。これは、エンコーダ50の測定部10において何らかの不具合が発生したか否かを比較判断するために、正常な測定部10から出力される擬似正弦波信号として予め記録されているものである。図4には、記録部6内に予め記録されている正常な擬似正弦波信号のリサージュ波形が波形21として示されている。なお、図4におけるx軸は2相の擬似正弦波信号のうちA相信号の出力レベル(A相電位)、すなわちsinθの値を、y軸はB相信号の出力レベル(B相電位)、すなわちcosθの値を示している。
エンコーダ50の測定部10において何ら異常が生じていない場合には、例えば発光素子2から照射される光の光量が低下するといった不具合が生じていない場合には、A相信号とB相信号90との位相差は90度であり、これらの振幅比は1であり、さらに、いずれも出力レベルゼロに対するオフセットが生じていない。このため、そのリサージュ波形は、図4で原点を中心とする半径の大きさ1の真円になる。すなわち、エンコーダ50の測定部10が正常であるならば、擬似正弦波信号のリサージュ波形は記録部6に記録保持されている波形21と略同一となる。
一方、エンコーダ50の測定部10において何らかの不具合が発生した場合、例えば、発光素子2(LED)から出力される光の光量の低下や受光素子3(フォトダイオード)の受光能力の低下により、エンコーダ50による測定系に異常が生じた場合には、A相信号もしくはB相信号には、その出力レベルゼロに対してオフセットが生じる。このため、増幅回路4から比較部7に入力される擬似正弦波のリサージュ波形は、例えば図4において波形23で示されるように変化する。すなわち、増幅回路4から出力される擬似正弦波は、エンコーダ50の測定部10の正常時においては原点に中心を有する波形21であったものが、図4における第1象限に中心を有する波形23までシフトする。
リサージュ波形のシフト量が微小である場合には、擬似正弦波のオフセット量は小さく、エンコーダ50によるモータ等の測定対象物の位置測定精度は多少劣化するものの、測定を続行することに支障はないが、エンコーダ50の測定部10における経年劣化が大きくなると、すなわち、擬似正弦波のオフセット量が大きくなると、その測定精度が影響を及ぼされるようになる。したがって、擬似正弦波のリサージュ波形のシフト量が予め設定された所定の値以上に増大する場合にはエンコーダ50に異常が発生したものと判断して、エンコーダ50の稼動率を低下させないためにエンコーダ50を装備する駆動装置が停止する前にエンコーダ50の劣化を報知する必要がある。
図4に示されている円形の曲線22は、駆動装置が突発的に停止するのを防止するため、測定部10による測定精度に影響を及ぼす程度に測定部10が劣化しているか否かを判別して、エンコーダ50の劣化を報知するために、予め記録部6内に設定されて記憶されているものである。
本発明では、エンコーダ50の測定部10の劣化により擬似正弦波がオフセットすることで、擬似正弦波のリサージュ波形がシフトして、図4に示すように円弧の一部が上記曲線22の内側に進入して波形23で示されるような状態になった場合に、データ処理部5によりエンコーダ50の劣化が測定精度に影響を及ぼす程度に進行しているものと判断される。
上述のように、外部コントローラ100はエンコーダ50と通信可能に構成されており、データ処理部5によってエンコーダ50の劣化が判断された場合、この判断情報がコントローラ100に向けて送信される。コントローラ100は、エンコーダ50からこの判断情報を受信すると、エンコーダ50の劣化が進行している旨の警告ビットを立ててエンコーダ50が交換時期に至っている旨を報知する。具体的な報知の方法として、コントローラ100を構成するパーソナルコンピュータのモニタ画面上に劣化したエンコーダ50が分かるように映し出す方法や、どのエンコーダ50が劣化しているかが認識できるように当該パーソナルコンピュータから警告音を発する方法がある。そして、エンコーダのメンテナンスを行う作業者は、複数のエンコーダのうち上記のような方法で交換時期が報知されているエンコーダの交換を行う。
このように本実施例では、エンコーダの経年劣化が原因でいずれ測定不能になる事態が生じることを事前に予測することが可能であり、エンコーダを装備した駆動装置の突発的な停止を防止し、駆動装置の稼動率を向上させることが可能である。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。ここでは第1の実施の形態と相違する部分を中心に説明する。
図5に示すように本実施例においては、エンコーダ50´の基本的な構成は、実施例1におけるエンコーダ50と同様であるが、処理部30´には、エンコーダ50の処理部30の構成に加えて補正値演算部8および補正回路部9が備わっている。
補正値演算部8は、増幅回路4から出力される擬似正弦波と、エンコーダ50´の製造時に記録部6に記録された一周期分の擬似正弦波のデジタルデータとのズレを演算する。具体的には、エンコーダ50´の測定部10における異常の発生により、増幅回路4からの擬似正弦波のリサージュ波形が、エンコーダ50´の製造時におけるリサージュ波形(すなわち波形21)に対して所定以上シフトした場合に、すなわち、リサージュ波形の円弧の一部が上記曲線22の内側に進入した場合に、当該シフト値を求める演算を行う。
補正値演算部8により演算されたシフト値は、補正値演算部8においてDAコンバータにより正弦波に変換された後に補正回路部9に入力され、補正回路部9において、演算されたシフト値と増幅回路4から出力される擬似正弦波信号との差動増幅が行われる。このように差動増幅が行われた結果、データ処理部5には、正常な測定部10から出力される擬似正弦波に対してほとんどズレのない、ほぼ同一の擬似正弦波、すなわち、出力レベルにオフセットが生じていない擬似正弦波が入力される。したがって、データ処理部5には、エンコーダ50´の製造直後に測定されたのとほぼ同一の測定精度のよい位置データが入力されることになる。
また、補正値演算部8により、擬似正弦波のシフト量の演算が行われている場合には、演算結果に基づく擬似正弦波の補正が行われている旨の警告情報が、シリアル通信によりエンコーダ50´外部のコントローラ100に向けて送信され、コントローラ100はこの警告情報を報知する。具体的な警告の方法として、コントローラ100を構成するパーソナルコンピュータのモニタ画面上に補正が行われているエンコーダ50´が分かるように映し出す方法や、どのエンコーダ50´に補正が行われているかが認識できるように当該パーソナルコンピュータから警告音を発する方法がある。
このようにして、補正が行われている旨が報知されるため、エンコーダのメンテナンスを行う作業者は、エンコーダ50´によるモータの回転量の検出値があくまでも補正値であることを認識できる。そして、このような補正をすることによって、エンコーダ50´が突然に測定不能に陥るのを防止してエンコーダ50´を装備した駆動装置の稼動率を向上させることが可能であり、また、新たなエンコーダに交換するまでは検出値があくまでも補正値であることを認識しながら、エンコーダ50´を停止させることなくエンコーダ50´の使用を続けることが可能である。
なお、これまで本発明の好ましい実施形態について、実施例1および実施例2を用いて説明してきたが、本発明の範囲は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記の実施例においては、いずれもモータ等のアクチュエータの回転量を検出可能であるロータリエンコーダを一例として説明したが、測定系の異常検出を光学式のリニアエンコーダに適用してもよい。また、上記の実施例ではインクリメンタルパターンからの信号について説明したが、アブソリュートパターンの信号についても同様に異常検出を適用できる。さらに、光学式のエンコーダに限らず、磁気式のエンコーダからの信号についても同様に異常を検出することができる。磁気式のエンコーダでは、例えばモータの回転軸に取り付けられた永久磁石の回転を磁気センサで検出するものである。
本発明に係るエンコーダの構成を示すブロック図である。 上記エンコーダに設けられた回転ディスクを示す図である。 上記エンコーダに設けられた受光素子からの出力信号に基づいて生成される擬似正弦波の波形を示す図である。 上記エンコーダの不具合を検出するために用いられるリサージュ波形を示す図である。 第2の実施例におけるエンコーダの構成を示すブロック図である。
符号の説明
1 回転ディスク
1a アブソリュートトラック(パターン)
1b インクリメンタルトラック(パターン)
2 発光素子(光源)
3 受光素子
4 増幅回路
5 データ処理部
6 記録部
7 比較部(判断部)
8 補正値演算部
9 補正回路部(補正部)
10 測定部(検出部)
21 正常時におけるリサージュ波形(記録波形)
22 異常を判別するために設定される曲線
23 異常時におけるリサージュ波形
30,30´ 処理部
50,50´ エンコーダ
100 コントローラ

Claims (6)

  1. 被検物体の移動を検出し、前記被検物体の移動位置に応じた信号を出力する検出部と、
    前記検出部から出力される信号の正常な信号波形を記録した記録部と、
    前記検出部から出力される信号の信号波形と前記正常な信号波形とを比較して、所定以上の差異が生じている場合に異常であると判断する判断部と
    前記判断部によって異常であると判断された場合に、前記検出部から出力される信号の信号波形が前記正常な信号波形と略同一となるように、前記検出部から出力される信号の信号波形を補正する補正部と、
    前記補正部によって前記検出部から出力される信号の信号波形を補正する場合に、前記補正部によって補正された補正値と前記判断部によって判断された異常を示す情報とを外部の制御装置に出力するデータ処理部とを備え、
    前記判断部は、前記信号波形として互いに異なる位相を有する2つの信号を用いることを特徴とするエンコーダ。
  2. 前記2つの信号は、互いに90度の位相差を有することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
  3. 前記信号波形は、リサージュ波形であり、
    前記判断部は、前記検出部から出力される信号の信号波形の少なくとも一部が前記正常な信号波形に基づく基準の信号波形の内側に進入した場合に異常であると判断することを特徴とする請求項1または2に記載のエンコーダ。
  4. 光源と、
    前記被検物体とともに移動するパターンとを備え、
    前記検出部は、前記光源からの光を前記パターンを介して受光することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のエンコーダ。
  5. 前記被検物体とともに移動する磁石を備え、
    前記検出部は、前記磁石の磁気を検出する磁気センサを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のエンコーダ。
  6. 前記エンコーダはモータに取り付けられ、前記モータの回転量または回転位置を検出することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のエンコーダ。
JP2005106052A 2005-04-01 2005-04-01 エンコーダ Active JP4737598B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005106052A JP4737598B2 (ja) 2005-04-01 2005-04-01 エンコーダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005106052A JP4737598B2 (ja) 2005-04-01 2005-04-01 エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006284420A JP2006284420A (ja) 2006-10-19
JP4737598B2 true JP4737598B2 (ja) 2011-08-03

Family

ID=37406497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005106052A Active JP4737598B2 (ja) 2005-04-01 2005-04-01 エンコーダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4737598B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5190644B2 (ja) * 2008-09-24 2013-04-24 日本電産サンキョー株式会社 エンコーダの誤差補正方法
JP2010112899A (ja) * 2008-11-10 2010-05-20 Hitachi Automotive Systems Ltd レゾルバ異常検出方法及び該方法を用いた制御システム
DE102009028170A1 (de) * 2009-07-31 2011-02-10 Robert Bosch Gmbh Kommutierter elektrischer Antrieb und Verfahren zur Ansteuerung eines kommutierten Elektromotors
JP5701496B2 (ja) * 2009-11-20 2015-04-15 オリンパス株式会社 光学式信号出力装置の信号処理装置及び光学式変位検出装置
GB2492625B (en) * 2011-06-06 2014-12-03 Canon Kk Driving apparatus, camera platform apparatus and driving method of controlling the driving apparatus
JP6057530B2 (ja) * 2012-04-06 2017-01-11 ハイデンハイン株式会社 エンコーダの出力信号監視システムおよびエンコーダの出力信号監視方法
JP2022102023A (ja) * 2020-12-25 2022-07-07 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステム

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6449914A (en) * 1987-08-20 1989-02-27 Fanuc Ltd Signal processor for pulse encoder
JP2000234942A (ja) * 1999-02-16 2000-08-29 Koyo Electronics Ind Co Ltd エンコーダ及びエンコーダ調整装置並びにエンコーダ調整システム
DE10022175A1 (de) * 2000-05-06 2001-11-08 Philips Corp Intellectual Pty Anordnung zur Winkelmessung
JP4111813B2 (ja) * 2002-12-09 2008-07-02 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁気センサ信号処理集積回路、その回転角度測定方法および回転角度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006284420A (ja) 2006-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4737598B2 (ja) エンコーダ
JP3725545B2 (ja) 変位センサおよびトルク・センサ
EP3301401B1 (en) Eccentricity calculating method, rotary encoder, robotic arm and robot apparatus
JP5479236B2 (ja) ロータリーエンコーダ
JP5038861B2 (ja) 位置測定装置
KR100911599B1 (ko) 움직임 인코더 세트, 코드 휠의 움직임 결정 방법 및 코드휠의 회전형 움직임 측정 방법
JP2019517004A (ja) 適応性のある基準マーク検出プロセス
US10197388B2 (en) Position-measuring device able to monitor deviations from a setpoint behavior and method for operating the position-measuring device
EP2343510A2 (en) Rotary encoder
JP4656507B2 (ja) エンコーダ信号調整装置、エンコーダシステムおよびエンコーダ
JP2012118064A (ja) インクリメンタル位置測定機構の位置信号を監視するための監視ユニットおよび方法
JP2006214929A (ja) 光学式エンコーダ
JP2021015114A (ja) 光学式位置測定装置
JP2006284520A (ja) エンコーダおよびエンコーダ監視システム
JP2018021913A (ja) エンコーダ、及びエンコーダを稼働させるための方法
JPH09145408A (ja) エンコーダ装置
JP2006284521A (ja) エンコーダ
JP5434760B2 (ja) エンコーダ
JP2006284388A (ja) ロータリーエンコーダの絶対値検出回路及び方法
JP2004219333A (ja) エンコーダ出力信号補正装置
JP6924419B2 (ja) エンコーダ、サーボモータ、サーボシステム
JP6106839B2 (ja) エンコーダ
JP4775761B2 (ja) エンコーダ装置及びそのディスク同心度測定方法
JP5014197B2 (ja) 変位量検出装置及びそれを利用した装置、変位量検出方法
JP2010249720A (ja) エンコーダ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080212

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20080624

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100802

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100924

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101112

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110408

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110421

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4737598

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250