JP3725545B2 - 変位センサおよびトルク・センサ - Google Patents
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Description
技術分野
本発明は，位置センサおよびこのような位置センサを有するトルク・センサに関する。トルク・センサは、電気式パワー・ステアリング（EPAS）制御システム内部での使用に適する。
背景技術
SU 517 815に、トルク伝達シャフト上に２つのディスクが搭載されているトルク測定装置が開示されている。これらのディスクは間隔を置いて置かれ、その各々が２セットのスロットを持つ。これらのスロットは一緒になって、光の通過のための開口部を限定する。光源および光電検出器はこれらのディスクの互いに反対側に位置されている。これらのスロットは、シャフト内のトルクによるディスク同士間の相対的な運動によって開口部の寸法が変化し、それによって、協働するスロットのセットに関連する開口部の寸法が増加し、一方では他方の協働セットのスロットに関連する他方の開口部の寸法が減少するように重なりあい、配置されている。開口部を透過する光の強度は光電検出器によって測定され、ブリッジ回路を用いて比較される。
このような強度系装置は迷光に対してシールドする必要があり、また、光源と受光部との整合または注意深い校正を実行して信頼性の高い測定を遂行しなければならない。さらに、ディスクは高い公差値が得られるように製造され、注意深く搭載しなければならない。さもないと、スロット幅の誤差またはディスク同士間の振れ（すなわち非同軸アラインメント）によって透過光強度が体系的に変動する。
EP-A-0 194 930に、SU 517 815内に開示される装置に類似の装置が説明されている。
SU-A-1 364 918に類似の装置を開示する。しかし、検出器の出力はディジタル式タイマを制御するために使用される。タイマに記録された時刻は分析されて、シャフトの回転速度およびシャフトによって伝達されたトルクを求める。
発明の開示
本発明の第１の態様によれば、請求項１に明示される光学変位センサが装備される。
本発明の好ましい実施態様は、他の請求項に明示されている。
本発明の第２の態様によれば、衝突してくる放射光に反応する多素子式検出器および自身の位置が測定される入力素子の動きに反応してこの多素子式検出器を基準として可動であり、さらにこの検出器に入射する放射線パターンを変調するように配置された変調器を具備する位置センサが装備される。
データ・プロセッサ、例えば専用ハードウエアまたはプログラミング可能データ・プロセッサは、検出器の出力を受け取り、この出力を分析して、第１の強度と第２の強度の間の検出器に入射する放射線の強度の透過する位置、すなわち第１の強度の領域および第２の強度の領域の位置を確認することによって変調器の位置を求めるように配置することが望ましい。
第１および第２の強度の大きさが動的に調整可能であるという利点がある。第１の強度とは、第１強度のしきい値を上回る強度範囲と定義してもよい。第２の強度とは、第２強度しきい値を下回る強度範囲と定義してもよい。第２強度しきい値は、第１強度しきい値の予め定められた小数部でもあり得る。別法として、データ・プロセッサが検出器の各々の素子の出力を規格化し、この規格化された出力を予め定められたしきい値と比較することによって第１強度および第２強度を判定してもよい。
入力素子は、さらなる素子を基準として第２位置の方にバイアスすることが好ましい。このさらなる素子は、力伝達装置の出力素子でもよい。位置センサは、入力素子およびさらなる素子の相対的な並進位置および回転位置を測定するように配置してもよい。したがって、負荷センサおよびトルク・センサを装備できる。
本発明の第３の態様によれば、回転用に搭載され第１の変調パターンに従って透過する放射光を空間的に変調するように配置された第１の変調素子と、回転用に搭載され第２の変調パターンに従って透過する放射光を変調するように配置され第１の変調素子とねじり部材によって結合されてこれと光学的に直列を成している第２の変調素子と、第１および第２の変調素子によって変調された放射線の放射線パターンに反応する検出器の配列とを具備するトルク・センサが装備される。
第１および第２の変調パターンは正規のものであることが好ましい。第１変調パターンは、予め定められたマーク・スペース比を持つことが好ましい。第２変調パターンも、予め定められたマーク・スペース比を持つことが好ましい。利点として、第１変調パターンの期間は、第２変調パターンの期間に実質的に等しくなっている。第１変調パターンのマーク・スペース比が第２変調パターンのマーク・スペース比と異なっていることも利点である。これらの期間およびマーク・スペース比は、距離に関連して、または回転軸を基準にして測定された角度に関連して測定してもよい。
ねじり部材に回転方向の応力が実質的に印加されていない場合、第１変調パターンと第２変調パターンに、予め定められた分量だけ、互いを基準にしてオフセットが与えられているのが好ましい。ねじり部材に応力が印加されていない場合、１つのパターン中のマークの中心は、他方のパターン中のスペースの中心と一致することが好ましい。
第１および第２の変調器は、ねじり素子を介して一緒に結合されている第１および第２のシャフト上に搭載することが好ましい。第１および第２の変調器は、ねじり素子を基準にして同軸状に配置されたディスクまたはシリンダであってもよい。利点として、第１および第２の変調器にはその内部に、変調パターンのマークまたはスペースを限定する複数のスリットがある。利点として、各々のディスク中のスリットは実質的に同一である。利点として、第１のディスクのスリットの各々の端部を限定し、隣合っているスリットを分離している第１の領域の幅は、第２のディスクの相当領域の寸法の２倍である。
検出器配列の空間的広がりは、使用中、第１と第２のしきい値間の放射線の少なくとも５つのトランジション（移行）がこの配列によって常に検出可能であるようなものであることが好ましい。
検出器配列は、第１と第２の変調パターンを限定する方向に並列な方向（直線であれ曲線であれ）における自身の広がりが、これらのいずれのパターンの周期より自身が大きくなるような領域を通過する放射線に感応するように配置されるのが好ましい。利点として、検出器配列、第１変調器および第２変調器は相対的に緊密に置かれ、検出器配列は変調パターンの周期より長い。
利点として、検出器配列の各々の素子からの信号はデータ・プロセッサに提供される。配列を成す検出器の出力は、連続して出力してもよい。データ・プロセッサは配列の各々の素子の出力を正規化して、配列の素子間に感度の違いがないようにしてもよい。データ・プロセッサは配列の出力を検査して、第１と第２の強度レベル間にある放射線強度のトランジションの位置からの配列に入射する放射線パターンを決定してもよい。データ・プロセッサは強度のデータを内挿して、トランジションの位置の推測値をより緻密なものにしてもよい。
本発明の第４の態様によると、第１および第２の物体の相対的な位置を測定するための光学的位置センサ用に変調装置が配列されているが、この装置は、第１の部品を第１の物体に、第２の部品を第２の物体に取り付けるのに先だって、複数のリンクによって予め定められた関係に一緒に結合された第１および第２の部品を具備する。
したがって、光学的位置センサの構成の間に第１および第２の部品の相対的な位置が正確に維持されるような装置を提供することが可能である。このような装置は、SU 517 815に説明されている型の信頼性の高い位置センサを製造するに必用とされるような複雑で時間のかかるアラインメント（心合わせ）のステップがない。
第１と第２の部品が共通表面を限定しこの上を運動することが好ましい。利点として、第１と第２の部品の各々が平面性であれば、第１部分と第２部品は共角を成す。このような装置は、光学的位置センサ内部での視差の影響を減少し得る。
この複数のリンクは、第１と第２の部品を接続する材料の減少した（すなわち狭くなった）領域であることが好ましい。この複数のリンクは、第１部品を第１物体に、第２部品を第２物体に取り付けた後で解体できる。この複数のリンクは、応力をかけることによって、エッチングによって、機械的なカッティングによって、スパーク侵食によって、レーザ・カッティングによってまたは他の適切な処理によって解体してもよい。
第１および第２の部品は個別のマーカを持つことが好ましい。トルク・センサにおけるような定位置相対回転運動測定用の装置においては、第１部品は、複数の放射状に伸長するランドまたはフィンガを搭載した第１のリングを具備し得る。ランドまたはフィンガは内方向に伸長してもよい。第２部品は、第１部品のランドまたはフィンガと互いにかみ合っている第２部品の、自身から伸長する複数のランドまたはフィンガを有する第２のリングを具備してもよい。第１および第２のリングの一方または双方を複数のセグメントに分割してもよい。１つの実施態様においては、第２のリングは、個別の複数のリンクによって第１部品に保持され、各々のセグメントは第２物体に対して個別に取り付けられるように配置される。
本発明の第５の態様によれば、第１および第２物体の相対位置測定用の光学的位置センサのための変調器装置が提供されるが、この装置は、第１物体と第２物体にそれぞれ取り付けられている、共通表面を限定する第１および第２の部品を具備する。
利点として、第１と第２部品は共角を成している。利点として、第１と第２部品は、個別のマーカを搭載した同中心のリングとなっている。
【図面の簡単な説明】
本発明は、以下に示す添付図面を参照にしてさらに説明される。
第１図は本発明の一実施態様を構成するトルク・センサの略図であり、
第２図は第１の変調器ディスクの部分平面図であり、
第３図は第２の変調器ディスクの部分平面図であり、
第４図は第２図に示す型の２つのディスクを具備する第１の装置の平面図であり、
第５図は一方は第２図に示す型であり他方が第３図に示す型であるところの２つのディスクを具備する第２の装置の平面図であり、
第６図は第１図のディスクと検出器配列間の関係を示し、さらに検出器配列の理想化された出力を示す略図であり、
第７図は検出器配列および関連の出力回路の略図であり、
第８図は入射光が静的パターンを形成する場合の第１図に示す検出器から収集された出力データの図であり、
第９図は再スケーリング（再収縮）後の第８図に示す出力データの図であり、
第１０図の（ａ）から（ｄ）は４つの異なった領域のためのセンサ配列の出力部からの波形を示し、さらにセンサ配列の出力の処理中に得られた各々の領域の２つの測定値を示す図であり、
第１１図は入射光が可動パターンを形成する場合の第１図に示す検出器から収集された再スケーリングされた出力データを示す図であり、
第１２図は本発明の一実施態様を構成するトルク・センサを組み込んだ自動車用の電気式パワー・ステアリング・システム略図であり、
第１３図は本発明の一実施態様を構成する変調器装置の平面図であり、
第１４図は本発明の一実施態様を構成する変調器装置の平面図であり、
第１５図は第１３図に示す変調器装置を用いる自動車用電動式パワー・ステアリング・システム中での使用に適するトルク測定装置の斜視図であり、
第１６図は本発明の一実施態様を構成する変調器を用いる自動車用電気式パワー・ステアリング・システム中での使用に適するトルク測定装置の斜視図であり、
第１７図はトルク・センサの検出器配列のディスク同士間の関係を示し、さらに検出器配列の理想化された出力を示す図であり、
第１８図は通常のディスク・パターンと検出器配列との間の関係を示す図であり、
第１９図は第１８図の検出器配列の補正された出力を示す図であり、
第２０図は第１の変更されたディスク・パターンと検出器配列との間の関係を示す図であり、
第２１図は第２０図の検出器配列の補正された出力を示す図であり、
第２２図は第２の変更されたディスク・パターンと検出器配列との間の関係を示す図であり、
第２３図は第２２図の検出器配列の補正された出力を示す図であり、
第２４図から第２７図は形状寸法および機械的変動の補正用の技術を示す略図であり、
第２８図はトルク・センサのディスク同士間の振れの影響を示す図である。
図中、同様の部分は同様の参照番号で示されている。
第１図に示すように、入力シャフト２は、入出力シャフト２、４と同軸のねじり棒６を介して出力シャフト４に結合されている。ねじり棒６は、出力シャフト４内に形成されている凹部８の内部に伸長している。ねじり棒は見えないようにシールドされているが、装置の内部構造を示すために破線で示されている。第１のディスク１０および第２のディスク１２は、それぞれ入力シャフトおよび出力シャフトに保持されている。これらのディスクは近い間隔で置かれ、内部に形成された複数のスロット１６、１８を有する。第１ディスク１０のスロット１６は、第２ディスク１２のスロット１８と重なるように配置されている。ディスク１０、１２は、光電検出器の光源２０（可視の赤外線または紫外線を放出する）と配列２２との間に置かれている。スロット１６、１８は、光源２０から検出器配列２２に通過する光を変調するように配置されている。データ・プロセッサ２４は、検出器配列２２の出力を受け、そこからのトルクと位置のデータを得るように配置されている。
第２図に、第１の設計のディスクの部品を示す。等間隔に置かれたスロット３０はディスク内部に形成されている。これらのスロットは、比較的に薄く、ディスクの周辺に続いて弧状に伸長しているように示されている。しかし、他のスロット形状寸法を用いてもよい。ディスクの軸の方向から見ると、各々のスロットは角度αに対し、各々のスロット間領域３２は角度βに対する。第３図は、その内部で各々のスロット３４が角度γに対し、各々のスロット間領域３６が角度θに対する第２のディスク設計を示す。
第１図に示す装置は、類似のまたは非類似のディスク設計で構成してもよい。
第４図に、第１設計による２つのディスクのような、同一設計の２つのディスクを用いた装置を図示し、第５図には、第１および第２の設計によるディスクのような非類似のディスクの型を用いた装置を図示する。
第４図に、ディスク１０、１２の双方が第１の設計であり、ねじり棒６によってトルクが伝達されないときの図を示す。これらのディスクは互いを基準として回転方向にオフセットをかけられている。領域４０は、各々のディスクのスロットがアラインメント（心合わせ）する場所を示す。領域４２は、第２のディスク内のスロット１８が第１のディスクのスロット間領域と重なる場所を示す。領域４４は、第１のディスク１０のスロット１６が第２のディスクのスロット間領域と重なる場所を示す。領域４５は、双方のディスクのスロット間領域が重なる場所を示す。線４６は、第１のディスク１０のスロット１６が対する角度を示し、線４７は第１ディスク１０内のスロット間領域が対する角度を示す。線４８は、第２ディスク１２のスロット１８が対する角度を示し、線４９は第２ディスク内のスロット間領域が対する角度を示す。この装置内のディスクは、スロット間領域の２倍の角度長のスロット領域を持つ。この装置の光透過領域は角度Ａに対し、同装置の非透過領域は角度Ｂに対する。ディスクは、トルクがゼロの状態でＡ＝Ｂとなるように配置してもよい。第１の方向にトルクがあると、ＡはＢより大きくなり、反対方向ではＡはＢより小さくなる。ＡとＢの相対的な寸法は、入力シャフト２から出力シャフト４へ伝達されるトルクを示す。
第５図に、第２ディスクが第２図の設計であり、第１ディスクが第３図の設計である状況を示す。和α＋β＝γ＋θである。したがって、ディスクは同一の空間周期を持つ。さらに、本実施態様においては、β＝２θとなる。ディスクは空間周期の半分だけオフセットがかけられているので、トルクがゼロの状態では、第２ディスクの非透過領域は第１ディスクのスロットを基準にして実質的に中心合わせされている。したがって、第５図のＣとＣ’間の曲線経路に沿って運動する場合、非透過領域５０は角度θに対し、透過領域５２は角度Ｂに対し、非透過領域５４は角度２θに対し、透過領域５６は角度Ａに対し、非透過領域５８は角度θに対し、透過領域６０は角度Ｂに対し、非透過領域６２は角度２θに対す。
角度Ａ、Ｂ、すなわち透過領域の寸法は、トルクの関数であり、一方、角度θおよび角度２θは一定である。
第６図に、第５図の装置の略断面図を図示し、さらに配列内の位置の変動に伴う配列素子の出力の変化も示す。
ねじり素子６に応力がかけられていない場合、透過領域５２、５６の寸法は実質的に等しい。第１の方向にトルクが加えられると、領域５２の寸法は減少し、一方領域５６の寸法は増大する。反対方向に作用するトルクは領域５２を増大させ、領域５６を減少させる。配列は、光の透過領域５０から非透過領域６２の寸法を測定することによってディスク１０、１２の相対的位置を測定する。シャフトが回転するに連れ、パターン全体が配列を横切ってシフトする。しかし、ディスク１０、１２は複数のスロットを持つので、透過領域および非透過領域の繰り返しパターンは常に配列２２の入射光を変調する。ディスク同士間の相対的運動は、領域５４が領域５０または５８と重なり得ないように拘束される。この相対的運動の許容範囲は矢印６４によって示す。
矢印の長さは、スロットの１つの空間周期より大きな領域内で変調された光を見、さらに、比較的暗い所と比較的明るい所との間の光強度に少なくとも５つのトランジションを見るようになっている。
適切な配列として、６４個の光知覚素子およびこれらの出力を連続的に読み取る回路を組み込んだTexas TSL213またはTSL401装置がある。さらに多くの光知覚素子を持つ他の類似の装置が計画されている。光知覚素子Ｓ１からＳ６４（第７図）は、連続操作式スイッチ７０から７３を介して第１の画素バッファ７４（画素１つ当たり１つのスイッチがある）に出力する。暗基準７６は同時に、第２の画素バッファ７８に基準信号を供給する。画素バッファの内容は順次読み出され、信号同士間の差を形成する作動増幅器８０の反転入力部と非反転入力部に供給される。増幅器８０の出力は、サンプルホールド回路８４に供給されその後バッファ８６を介して出力される。本装置の全ての機能は、クロック・ゼネレータ・シフト・レジスタ素子８２を介して制御される。
第８図に、入射光が単一の静止ディスクによって変調される場合の配列２２の出力の一例を示す。配列の各々の素子の素子番号は横軸に示され、各々の素子の対応する出力は縦軸に示される。鎖線１０２は、比較対象として均一に照射された配列の基本反応を表す。各々のデータは、図をより明瞭にするために直線によって隣接するデータと繋がれている。
この配列はその反応においては、明らかに非均一性である。データ・プロセッサ２４は、トルク・センサの動作中、各々の素子から記録された最大と最小の出力の現行の記録（すなわち、それぞれその完全に照射された値および暗い値）を保持し、この記録を使用して配列の出力を正規化するように配置されている。任意の素子に対する信号値がその素子の最大値として記憶されている現行値を超えると、この最大値は新しい信号値に更新すなわち増加される。信号値が最大値として記憶されている現行値未満であれば、この最大値は減少される。類似の構成を用いて、配列の各々の素子の最小値を設定するが、この最小値は、センサからの信号が現行の記憶最小値未満であればより低い値に再設定すなわち減少され、信号値が現行最小値より大きければ増加される。したがって、次に、これらの最大値および最小値は信号の再スケーリングのために用いられる。
第９図に、第８図に示す出力信号の正規化の結果を示す。実線１０４は正規化された値を示す。基本反応１０２および非正規化値１００が比較のため示されている。
次にデータ・プロセッサは、正規化されたデータを、このデータをしきい値１０５と比較することによって、高い値と低い値との間のトランジションのためにチェックする。高・低トランジションの数および低・高トランジションの数が記録される。第５図に示す実施態様の場合、誤差は、トランジションの総数が５未満の場合に示される。
例えば第５図に示すように、２つのディスクを使用する場合、４つのケースを考慮する必要がある。データ・プロセッサは、ディスク位置のインジケータとして立ち上がりエッジを用いるか立ち下がりエッジを用いるか判断しなければならない。データ・プロセッサはさらに、自身が検出する第１のエッジが（角度θに対する非透過領域を持つ）第１のディスク１０に属すかまたは（角度２θに対する非透過領域を持つ）第２のディスク１２に属すかを判断しなければならない。
もし検出された第１トランジションが立ち上がりエッジであれば、次の測定は立ち上がりエッジを用いてなされ、同様に、もし第１のトランジションが立ち下がりエッジであれば、次の測定は立ち下がりエッジを用いてなされる。
第１０図の（ａ）から（ｄ）に、同一量のトルクの場合に発生し得る４つのケースの略図を示す。各々のケースにおいて、第１の立ち上がりトランジションはPOS(0)、第２の立ち上がりトランジションはPOS(1)等と印される。立ち下がりトランジションは同様に、NEG(0)、NEG(1)等と印される。第１０図の（ａ）から（ｄ）において、２Ｘと示された領域は、第６図に示すスロット間領域５４、６２に対応する。Ｘと示される領域は、第６図に示すスロット間領域５０、５８に対応する。
データ・プロセッサは、検出器配列２２の入射光の期間Ｐを計算する。比較的暗い所から比較的明るい方向へ第１のトランジションが発生すると、第１０図の（ａ）から（ｃ）に示すように、期間はPOS(2)-POS(0)として計算される。期間Ｐは、比較的明るい所から比較的暗い方向に第１のトランジションが発生すると、第１０図の（ｂ）から（ｄ）に示すように、NEG(2)-NEG(0)として計算される。
データ・プロセッサは、またマークＭの長さを計算する。比較的暗い所から比較的明るい方向に第１のトランジションが発生し、POS(1)-NEG(0)がPOS(2)-NEG(1)より大きい場合、ＭはPOS(2)-POS(1)として計算される。比較的暗い所から比較的明るい方向に第１のトランジションが発生し、POS(1)-POS(0)がPOS(2)-NEG(1)より小さい場合、Ｍは、第１０図（ｃ）に示すようにPOS(1)-POS(0)として計算される。
他の２つのケースは、第１のトランジションが比較的明るい所から比較的暗い方向に発生する場合に起こる。POS(0)-NEG(0)がPOS(1)-NEG(1)より大きい場合、Ｍは、第１０図（ｂ）に示すようにNEG(1)-NEG(0)として計算される。POS(0)-NEG(0)がPOS(1)-NEG(1)より小さい場合、Ｍは、第１０図（ｄ）に示すようにNEG(2)-NEG(1)として計算される。第１０図の（ａ）から（ｃ）に示すケースは、長さＸの暗期間を含むマークＭを有し、一方、第１０図の（ｂ）から（ｄ）に示すケースは、長さ２Ｘの暗期間を含むマークＭを有する。
トルクは、マークＭと期間Ｐを比較することによって計算可能である。計算の正確な詳細は、ディスク１０、１２の形状寸法によって異なる。計算の一例を第５図に示す実施態様に対して与える。スロットおよびスロット間領域の相対的な寸法は、α＝５．５θ、β＝２θおよびγ＝６．５θとなるように配慮される。
ディスク１０、１２はこのように配慮されるので、ゼロ・トルク状態では角度ＡとＢは互いに等しく２．２５θの大きさを持つ。さらに、ディスク同士間の相対的動きは、ＡとＢの最小値がθに等しくなるように拘束される。このような実施態様の場合、第１０図（ａ）、（ｃ）に示すケースの場合にねじり棒を介して伝達される最大トルクのパーセンテージ値は次式から計算される。
トルク（％）＝６００Ｍ／（Ｐ−２６０） （１）
第１０図（ｂ）、（ｄ）に示すケースにおいて伝達されるトルクのパーセンテージ値は次式から計算される。
トルク（％）＝６００Ｍ／（Ｐ−３４０） （２）
トルクのパーセンテージ値は、ねじり棒のねじり剛性が既知であれば、直接に力に変換することができる。
検出器配列２２は、任意の時点において衝突してくる光の”スナップ・ショッド”を得るように操作される。データ・プロセッサ２４は、予め定められた時間間隔で検出器配列２２からのデータをサンプリングする。サンプル同士間の時間間隔は、最大設計値に至る回転速度が正確に測定できるように選択される。検出配列２２の光電検出器の立ち上がり時間と立ち下がり時間が、光電検出器からの読み取り値にほとんどまたは何の影響も与えないほど充分に急速であることが理想である。しかし、ディスク１０、１２が充分に速い場合、検出器配列２２の出力は、内部の検出器の立ち上がり時間と立ち下がり時間だけ変更してもよい。立ち上がり時間と立ち下がり時間の影響を第１１図に示す。線１０４、１００は第９図に示すものと等しい。第９図のほぼ矩形波形状の線１０４は、立ち上がり時間と立ち下がり時間のために歪められる。検出構成には、常に、測定をするときは同一の極性のトランジションが用いられる、すなわち、Ｍ、Ｐを計算するために使用される全てのトランジションは第１０図（ａ）、（ｃ）に示すような立ち上がりトランジションであるか、または全てのトランジションが第１０図（ｂ）、（ｄ）に示すような立ち下がりトランジションであるかである。したがって、装置は、検出器配列２２の素子の立ち上がり時間と立ち下がり時間の非対称性に影響されない。トランジションの発生位置は、配列に沿った位置を基準とした配列の出力が５０％を超える位置であると判断される。しきい値測定値は次に、第５図および第１０図を参照として既に説明した計算に用いられる。
配列２２の検出器素子は空間的には有限である。しかし、トランジションが発生する位置は、配列の出力の内挿による検出器配列の素子間距離よりも大きな分解能が得られるように推測可能である。この場合の内挿法は、検出器配列の各々の素子の中心位置同士間の単純な直線内挿法である。
検出器配列の素子は連続しているのが理想である。しかし、本発明は、検出器配列の隣接する素子同士にギャップが存在する場合でも実施可能である。このようなギャップは”デッド・ゾーン”を生じる。トランジションがデッド・ゾーン中に発生すると、トランジションの実際の発生位置を推定することが困難となる。この問題は、非点光源を用いてディスク１０、１２を照射することによって克服され得る。非点光源照射によって、検出器配列における光強度のトランジションが不鮮明になる。トランジションが検出器配列の隣接素子同士間のギャップにわたって発生すると、不鮮明となったトランジションは隣接素子上に伸長する。隣接素子の各々が受領した光強度はトランジション位置の関数であり、したがって素子の出力を内挿してトランジション位置を推定してもよい。
拡散装置を光源２０とディスク１０との間に置いて非点光源照射を発生させてもよい。
非点光源照射を用いることによってさらに、検出器配列２２の動的範囲（ダイナミック・レンジ）が制限されるという問題の解決にも役立つ。トランジションが不鮮明になってトランジションが隣接する３つもの検出器素子に伸長することによって、少なくとも１つの検出器素子が、素子の反応特性の不飽和領域内部で動作できる。したがって、これら素子の出力を内挿してトランジションの位置を正確に求めることができる。
データ・プロセッサはさらに、任意の基準位置からの回転数および回転速度を推定するように配慮可能である。
第１図に示す実施態様は車両のパワー・ステアリング装置内に組み込むのに適しておりしたがって、例えば、EPA-A-0 555 987に説明されるトルク・センサ装置の替わりに用いてもよい。２セットの光源およびセンサ配列をトルク・センサ内の対角線上に反対側にくるように用いてもよい。このように配置することによって、ディスクの振れの影響を補正でき、さらに、安全クリティカル・システム内で重要となり得る冗長度も得られる。
第１２図に示すパワー・ステアリング・システムは、車両ステアリング・ホイール１１２からラック・アンド・ピニオン・システム１１６を介して車両ホイールに伝達されるトルクを測定するための本発明の一実施態様を構成する光学トルク・センサ１１０を具備する。電気モータ１１８はトルク・センサ１１０とラック・アンド・ピニオン１１６との間のシャフト１１７に搭載され、ラック・アンド・ピニオンに供給されたトルクをトルク・センサ１１０から供給された信号に反応して増加させるように配慮される。
したがって、粗でかつ信頼性の高いトルク知覚素子を含む電気式パワー・ステアリング・システムを提供することが可能である。
第１３図に示す光学変調器は、内部のそれぞれ第１と第２の協働光学変調器２０４、２０６を限定するように処置された材料のディスク２０２を具備する。第１の光学変調器２０４は内部リング２０８、外部リング２１０およびこれら内部および外部リング２０８、２１０を結合する複数の規則正しい間隔で置かれた放射状に伸長するサポート２１２から成る。外部リング２１０は、放射状に伸長するサポート２１２の各々の隣接する対間に形成された各々のギャップ２１６内の２つの内部に伸長するランド２１４を限定するような形状となっている。ランド２１４は各々のギャップ内に規則正しい間隔で置かれ、放射状に伸長するサポート２１２と同一の幅を持つ。ランド２１４およびサポート２１２は、外部ディスク２１０から内側に伸長する突出部の規則正しいパターンを限定する。
第２の変調素子２０６は、複数の部分環状セグメント２２０を具備する。１つのセグメント２２０は、隣接の放射状に伸長する各々の対のサポート２１２同士間に限定されるギャップ２１６の各々の中に提供される。各々のセグメント２２０は、その上に形成された放射状にそして外部に伸長する３つのランド２２２を持つ。ランド２２２は、ランド２１４および外部リング２１０に最も近い放射状に伸長するサポート２１２の部分とかみ合っている。ランド２２２は、隣接するランド２１４同士間およびランド２１４と隣接する放射状に伸長するサポート２１２との間に限定されるスペースを２等分する。
各々のセグメント２２０は、分離可能なリンク２２６を介して内部リング２０８に担保される。これらの分離可能リンク２２６は、各々のセグメントから内部リング２０８に放射状に伸長する材料の削減された部分である。この削減された部分は、第１５図に示すように、セグメント２２０の各々が第１シャフト２５０の端部２５１に担保されるまで、また、内部リング２０８が第２シャフト２５２に担保されるまで、セグメント２２０を第１光学変調器２０４との予め定められた関係に保持する役目を果たすだけである。
第１４図に示す実施態様は、自身から内側に伸長する規則正しい間隔で置かれたランド２３２を持つ外部リング２３０を具備する第１の光学変調器２０４を持つ。各々のランド２３２は、他の全てのランド２３２と同一の幅を持つ。第２の光学変調器２０６は、自身上に形成された規則正しい間隔で置かれた放射状に外側に伸長するランド２３６を持つ内部リング２３４を具備する。ランド２３６はランド２３２とかみ合っており、各々のランド２３６は、隣接するランド２３２同士間に限定された各々のギャップ２３８を２等分する。ランド２３６はランド２３２より幅が狭い。
分離可能リンク２４０は、第１６図に示すように、ランド２３２のいくつかと内部リング２３４との間に伸長し、第１の光学変調器が第１シャフト２５０の端部２５１に取り付けられ、第２光学変調器が第２シャフト２５２に取り付けられるまで外部リング２３０および内部リング２３４を予め定められた関係に保持する。
第１５図および第１６図に示す装置の各々において、第１および第２シャフト２５０、２５２は、第１５図の鎖線で示されるように第１シャフト２５０中の凹部内に伸長しこれに取り付けられているねじり棒２５４によって一緒に結合されている。ねじり棒２５４によって、第１光学変調器のランド２１４、２３２が第２光学変調器のランド２２２、２３６と決して接触しないように第１および第２のシャフト２５０と２５２間での制限された相対的な運動だけが可能となっている。第１６図に示す装置では、セグメント２２０の最内部の放射状の部分は第１シャフト２５０に溶接され、一方、第１６図の装置では、ランド２３２の最内側の部分が第１シャフト２５０に溶接されている。各々の場合において、ランドのかみ合った装置の一部は第１シャフト２５０から外側に放射状に伸長し、光学変調器が光源と検出器素子または検出器配列（図示されていない）との間に置かれるようになっている。
光学変調器は、例えば、マスク操作、およびその後のディスクの直接カッティング、スパーク・カッティング、電型法、レーザ・カッティングまたは精密打ち抜きによる金属デョスクの化学的エッチングによって形成してもよい。分離可能リンクは、スパーク侵食、レーザ・カッティングまたは機械力によって分離してもよい。さらに、光学変調器を形成するように選択された材料は、変調素子の特定の用途を基準として選択してもよく、可塑材または他の適切な材料で形成してもよい。
使用に際しては、光学変調器は共角を成してもよい。これによって変調パターンが改善されるが、それは視差が解消または減少するからである。第１３図および第１４図に示す実施態様のいくつかの利点は、光学変調器を分離することによってまたは、使用に際して共通平面上に搭載することによって達成できる。
第１３図から第１６図に図示する光学変調器は、第１図から第１２図に示す型のトルク・センサ内で使用するには特に適している。一方の光学変調器を１つの入力シャフトに取り付け、他方の光学変調器を１つの出力シャフトに取り付け、この入力シャフトはこの出力シャフトに、第１５図に示すのと類似の方法でねじり棒を介して接続する。入力シャフトおよび出力シャフトは自由に回転するが、他方のシャフトを基準とした一方のシャフトの動きは小さな角度偏差に制限される。光学変調器は光源によって照射され、変調器によって形成された光学パターンは多素子光学配列によって分析される。照射のパターンは分析されて、類似のトランジションの対（すなわち、明るい所から暗い所または暗い所から明るい所）同士間における分離が求められ、これらのデータは次に、第１シャフトと第２シャフトとの間の角度変位の計算に用いられる。
第１７図に、検出器配列２６０の位置および検出器配列２６２の理想化された出力とともに、第１６図に示す装置内のランド２３２、２３６の位置の略図を示す。鎖線は、ランド２３２が、入力シャフトから出力シャフトに伝達されたトルクの結果、ランド２３６を基準として運動し得る最大範囲を表す。
入力シャフトおよび出力シャフトが回転するに連れて、光学変調のパターンおよび、それに継いで出力信号が、センサ配列２６０を基準として動く。しかし、既述の処理技術によってセンサ上の明と暗の間のトランジションの位置が検査され、明暗間の５つのトランジションがセンサ配列２６０上に発生すればシャフトに作用するトルクが常に推定されるので、これはなんら問題ではない。光学変調器およびセンサ配列の相対的寸法は、この条件が常に満足されるように選択される。
入力シャフトおよび出力シャフト２５０、２５２がなんらトルクを受けない場合、第１および第２の光学変調器の相対的な位置が良好に限定されることが必要である。第１３図および第１４図に例示されるように、無トルク状態でディスクをシャフト２５０、２５２に取り付けることによって、第１および第２の光学変調器の正確なアラインメントが担保される。これによって、先行技術で説明された型の分離ディスクを用いた場合に必要とされる比較的に時間のかかるチェックが無用となり、結果、トルク・センサのアラインメントおよびその結果としての性能が向上し、製造時間が減少する。この装置はまた、線形変位センサと共に使用されるように変更してもよい。さらに、共角ディスクを装備することによってトルク・センサ内の視差が減少し、したがってその精度が向上する。
したがって、光学変位検出器内で使用される正確にアラインメントされ、比較的低価格の光学変調器を提供することが可能となる。
第１８図に、分離可能リンクが分離された後の第１４図に示す型の一実施態様を示す。光学変調器２０４、２０６は、光源（図示せず）側から眺められ、センサ配列２６０の作用面積はランド２３２、２３６の背後に示されている。本実施態様においては、ランド２３２各々が２×という角度幅を保ち、一方ランド２３６の各々は×という角度幅を持っている。
センサ配列２６０の出力は正規化され、ランド２３２、２３６のエッジの曲線経路は直線センサ配列２６０上にマッピングされて、第１９図に示す補償された波形を発生させる。期間Ａ、Ｂは、光学変調器２０４と２０６間の相対的な角度変位に従って変化する。光学変調器２０４、２０６がねじり棒によって相互接続されている所では、相対的変位はトルクに比例する。したがって、トルクは（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）に正比例する。
ある種の用途の変位センサおよびトルク・センサの場合、光学変調器の回転位置が既知であることが必要または望ましい。例えば、この型のトルク・センサを電気式パワー・ステアリング・システムに用いる場合、ステアリング・ホイールがいつ”真上”位置にくるかを検出できることが必須である。
ステアリング・システムの既知の一技術では、車両のドライブ中のステアリング・ホイールの平均位置を計算する過程が含まれる。しかし、この平均値は収斂するにはかなり多くの時間を必要とし、ドライブの経路によっても異なる。例えば、このようなセンタリング(centring)は、車両が円形の軌跡をドライブする場合には変動する。
別の既知の技術では、ステアリングされたホイールがいつ真上位置にくるかをこのホイールの速度を測定することによって求める。しかし、このような装置は道路速度センサを２組と、さらに関連の配線要素および信号要素を必要とし、したがって比較的に高価である。さらに、センタリングは、例えばホイールの回転やスリップの結果、変動しかねない。
第１８図に示すセンサは第２０図に示すように変更して、光学変調器２０４、２０６の回転位置が求められる基準となる検出可能な指標位置を提供してもよい。光学変調器２０４は変更され、１つのランド２７０が減少した幅、例えば第２０図に示すような１．５×のものとなる。さらに、光学変調器２０６は、ランド２７０の両側にある２つのランド２７２が増加した幅、例えば１．２５×のものであるように変更される。これは、期間Ａ、Ｂに対応する角度ギャップがトルク・センサの回転全般を通じて不変であるように、ランド２７０に面するランド２７２のエッジをランド２７０の方向に移動させることによって達成される。
第２１図に、第２０図に示すような光学変調器によって、センサ配列２６０から出力された修正され補正された波形を示す。この場合でも、トルクは（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）に正比例する。
変更されたランド２７０、２７２は、各々のランドの幅の測定値の（Ａ＋Ｂ）に対する比を測定することによってソフトウエア的に検出可能である。これによって、光学変調器２０４、２０６のセンサ配列２６０からの間隔による光学倍率のいかなる変動も補償される。したがって、追加のハードウエアを必要とすることなくソフトウエア系の実施態様の場合の追加のソフトウエアを比較的に少し必要とするだけでトルク・センサの指標位置を検出することが可能である。第２２図に、幅１．５×の歯２７０がランド２３２の１つと入れ替わっている点だけが第１８図に示すものとは異なる別の変更実施態様を図示する。第２３図は、センサ配列２６０の補償された出力を図示する。光学変調器２０６の全てのランド２３６は同一の幅×を持つ。ここでも、トルクは（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）に比例し、指標位置は、ランド２３２、２７０の角度範囲を（Ａ＋Ｂ）と比較することによって求められる。ランド２７０と隣接するランド２３６は変更されないが、ランド２３２、２３６は全て少し大きく作られており、これによって幅の減少したランド２７０を補償している。
この装置によって指標位置の認識が簡略化され、非標準のスロット期間を持つ光学変調器の面積が減少する。
したがって、このような装置は、以下に説明されるある種の信号処理技術には特に有益である。
第２０図および第２２図に示す装置は指標位置を認識する能力があるとはいえ、ステアリング・システムのような用途では、これらの装置では、ステアリング・ホイールが真上の位置にあるのかまたは真上の位置から１つの（または以上の）完全回転数だけ隔たっているのか判断できない。しかし、真上の位置から１つ以上の完全回転数だけ隔たった位置は、ある道路速度を上回るステアリング・ホイール・トルクをチェックすることによって検出してもよいし、予め定められた量を上回ってトルクが伝達されたということは、ステアリング・ホイールが真上の位置から隔たっていることを示す。
以上に述べたように、トルク・センサは、小さな開口部の光源から２つの不透明な回転素子２０４、２０６を通って線形配列２６０、例えば１２８個の光学センサ素子に照射される光に依存する。シャフトのトルクは、２つの素子２０４、２０６に相対的な回転を与えるように配慮される。この結果得られる、これら２つの素子２０６、２０８を介してセンサ配列２６０に投影されるパターンによって対応する波形が発生され、この波形は印加されたシャフトのトルクの基準となるように処理され得る。
このプロセスは次の３つの要因によって複雑になる。
１．印加されたトルクおよびシャフトの回転により、スロットの角度変位が生じ、一方ではセンサ配列２６０で線形変位を測定し、２．素子２０４、２０６（異なった平面上で回転することもあるが）の異なった光学的倍率により、２つの平面からのエッジの投影がセンサ配列２６０上で互いに相対的に運動し、３．素子２０４、２０６の非同心的回転がトルクの見かけ上の変動を生ずる。
スロットのエッジは回転軸の周りを回転するが、センサの線形配列２６０上に投影される。配列２６０を走査することによって作られるエッジは、したがって、センサの湾曲配列を模倣するように修正される。しかし、投影されたイメージ（結像）の実効半径は、光学的倍率の影響のために、ディスクの光学半径には等しくならない。
第２４図に、湾曲スロット経路の、エッジの平面上の直線に対するマッピングを図示する。
配列の中心から測定したセンサの波形のエッジの位置に対しては次式が成り立つ。
Tanα＝ｘ／ｒ
ｙ＝ｒ．Ａ
したがって、次式が成り立つ。
α＝Tan-1(x/r)したがって、
ｙ＝r.Tan-1(x/r)となる。
もし、
Ei＝配列の最初から測定した入力画素番号
Eo＝弧に沿って測定した（画素内の）出力エッジ位置
Ｎ＝配列内の画素の数
ｄ＝画素の幅(mm)
であれば、
ｘ＝d.(N/2-Ei)
ｙ＝d.(N/2-Eo)または、
Eo＝N/2-y/dとなる。
これらを代入すると、
Eo＝N/2-r/d.Tan-1(x/r)
Eo＝N/2-r/d.Tan-1(d/r/(N/2-Ei))となる。
この式はディスクの光学半径ｒおよび入力エッジ位置Eiを用いて、マッピングされた出力エッジ位置Eoを求めている。実際問題として、第２５図に示すように、光源から配列に至る距離ａは光源からディスクに至る距離（ａ−ｂ）より大きいので光学半径は増加する。
配列平面上の実効光学半径Ｒは次式で与えられる。
R/a＝r/(a-b)または
Ｒ＝a.r/(a-b)
半径倍率因数Moは次のようになる。
Mo＝a/(a-b)
この倍率因数は設計された光学コンポーネントの間隔から求めることができるが、これはアッセンブリの公差、シャフト端部の浮きおよびディスクの（光路軸に沿った）ウオブルの対象となる。したがって、エッジ補正式は次のようになる。
Eo＝N/2-R/d.Tan-1(d/R.(N/2-Ei))
回転素子は精密に作成されているので、実際の光学半径を自動的に求めることが可能である。特に、光学構成要素の間隔の詳細は、センサ配列上に投影されたスロット・エッジの位置を処理することによって求めることができる。同一素子上の隣接するウインドウの２つの互いに対応するエッジがセンサ配列上に同時に投影されると、これらのエッジを処理して、光学倍率因数（またはセンサ配列での実際の光学半径）の尺度を与えることができる。第２６図に、センサ配列上にこのような２つのエッジが投影される様子を図示する。
単純三角法によると、次のようになる。
A/R＝Tanαさらに、
B/R＝Tan(γ-α)
再配列すると、次のようになる。
α＝Tan-1(A/R)さらに、
B/R＝(Tanγ-Tanα)/(1+Tanα.Tanγ)
αを置換すると、次のようになる。
B/R＝(Tanγ-A/R)/(1+A/R.Tanγ)
しかし、γは光学倍率とは無関係で、回転素子の形状寸法によって決まる。
したがって、Ｇ定数＝Tanγとすると、次のようになる。
B/R＝(G-A/R)/(1+G.A/R)これにＲを乗算すると、
B/R＝(G.R-A)/(R+G.A)
乗算をすると、次のようになる。
G.R2-(A+B).R-A.B.G＝0
平方根で表すと、次のようになる。
R＝(A+B)±((A+B)2+4.G2.A.B)1/2/2.G
こうして、配列の平面上の光学半径となるＲを解くことができる。
２つの回転素子からのイメージを使用して、各々の素子に対して異なった光学半径を与えることができる。算法（アルゴリズム）には未処理のエッジを用いるが、このエッジでは、互いに異なった光学半径によって素子同士間で視差が生じる。
さまざまの用途で生じ得る光学半径の変動を見込んで、根号下の因数はk.A.B（ｋは定数）によって近似させてもよい。
これら２つのトルク知覚回転素子は必ずしも同一平面上にはないので、光源に近い方の素子がより大きな倍率のイメージを配列上に投影する。１つの素子からのイメージは、したがって、トルクが決定され得る以前のイメージ寸法と等しくなるように縮尺される。第２７図に、素子♯２が素子＃１より大きなイメージを投じ、さらに、このイメージがその結果、共角を成す＃の素子を模倣するように収縮される様子を図示する。
第２７図において、
ａ＝光源から配列への距離
ｂ＝素子＃１から配列への距離
ｃ＝素子＃１平面から素子＃２平面との間の距離
ｙ＝配列の中心線から典型的なスロットのエッジへの距離。
素子＃２のエッジは、配列の中心から距離ｑの所にイメージを形成する。
素子が共角を成す場合、エッジは中心から距離ｐだけ隔たった所に現れる。
等しい角度を用いると次のようになる。
p/a＝y/(a-b)さらに、
q/a＝y/((a-(b+c))
双方の式をｙに付いて解くと次のようになる。
ｙ＝p.(a-b)/aさらに、
ｙ＝q.(a-(b+c))/a
等置してｐに付いて解くと次のようになる。
ｐ＝q.(a-(b+c))/(a-b)
もし、
Ei＝入力エッジ位置
Eo＝出力エッジ位置
Ｎ＝配列中の素子の数
ｄ＝素子の幅
とすると、
ｑ＝d.(N/2-Ei)
となり、次のようになる。
ｐ＝d/(N/2-Ei)(((a-(b+c))/(a-b))さらに、
ｐ＝.(N/2-Eo)または
Eo＝N/2-p/d
となり、次のようになる。
Eo＝N/2-(N/2-Ei)(((a-(b+c))/(a-b))
これにより、入力エッジ位置に対する出力エッジ位置および光学構成要素の間隔が与えられる。最後の項は、必要とされる視差補正機能が自動的に実行されるように、得られた波形から求めることができる。
視差の項は、回転素子同士間の間隔および光源と配列との間の距離の関数である。補正係数はイメージの寸法を変化させるがその相対的な寸法には影響を与えないので、素子と配列との間の距離によって異なることはない。
アークタンジェント補正がすでに実行済みであると仮定すると、視差補正項Pxは次式で与えられる。
Px＝(a-(b+c))/(a-b)
すると、素子＃２に対しては、素子上のウンドウの期間は次式で与えられる。
Pdisc#2＝N/2Px(N/2-Elast#2)-(N/2-Px.(N/2-Efirst#2))
単純化すると、次のようになる。
Pdisc#2＝Px.(Elast#2-Efirst#2)
素子＃１に対しては、素子上のウインドウの期間は次式で与えられる。
Pdisc#1＝N/2-(N/2-Elast#1)-(N/2-(N/2-Efirst#1))
単純化すると、次のようになる。
Pdisc#1＝(Elast#1-Efirst#1)
２つの素子から測定した期間が等しくなるためには、
Pdisc#2＝Pdisc#1であり、
Px.(Elast#2-Efirst#2)＝(Elast#1-Efirst#1)となる。
したがって、次のようになる。
Px＝(Elast#1-Efirst#1)/(Elast#2-Efirst#2)
このようにして、２つの回転素子から測定した期間の比によって、視差を補償するために用いられる相対的倍率係数が与えられる。
トルクの測定値は、２つの回転素子上のウインドウのエッジの相対的な位置によって決定される。第２８図に示すように素子の回転軸同士間に振れが存在する場合、トルク誤差が生じる。この誤差は素子が回転するに連れて循環的に変化する。ウインドウＡがセンサ配列上にある場合、正のトルク誤差が生じる。ウインドウＢがセンサ配列の上にある場合は、この誤差は負のトルク誤差に変化する。
ウインドウＣ、Ｄがセンサ配列上に存在する場合、振れの誤差は生じない。
対角線上の反対側にある２つのセンサ配列を、例えばウインドウＡ、Ｂの下に配置してトルクの読み取り値を平均化することによって、ディスクの振れの影響が無にされる。この機能は、アークタンジェントおよび視差の補正値がすでに正確に適用されていることを前提としている。
前述の自動アークタンジェント、自動視差および振れの補償を適用する通常の手順は次の通りである。
１．双方の回転素子に対して配列の中心からの距離Ａ、Ｂを測定する。
２．双方の素子に対して光学半径を計算する。
３．アークタンジェント補正を、以下の計算に使用される全てのスロットのエッジに適用する。
４．これらのアークタンジェント補正されたエッジを用いて、双方の素子に対してウインドウ期間を測定する。
５．２つの期間の寸法Pxに対する比を求める。
６．Pxを用いて、エッジが素子から光源に近づくように（配列の中心に向けて）視差縮小する。
７．視差補正されたエッジを用いて、トルクを計算する。
８．２つのセンサ配列に対してトルクの計算結果を平均して、振れ補正されたトルクを求める。
したがって、トルク・センサの形状寸法ならびに機械的変動もしくは製造公差を自動的に補正することが可能となる。このようなセンサの精度はしたがって改善可能であり、製造費用も減少可能である。
本発明は，位置センサおよびこのような位置センサを有するトルク・センサに関する。トルク・センサは、電気式パワー・ステアリング（EPAS）制御システム内部での使用に適する。
背景技術
SU 517 815に、トルク伝達シャフト上に２つのディスクが搭載されているトルク測定装置が開示されている。これらのディスクは間隔を置いて置かれ、その各々が２セットのスロットを持つ。これらのスロットは一緒になって、光の通過のための開口部を限定する。光源および光電検出器はこれらのディスクの互いに反対側に位置されている。これらのスロットは、シャフト内のトルクによるディスク同士間の相対的な運動によって開口部の寸法が変化し、それによって、協働するスロットのセットに関連する開口部の寸法が増加し、一方では他方の協働セットのスロットに関連する他方の開口部の寸法が減少するように重なりあい、配置されている。開口部を透過する光の強度は光電検出器によって測定され、ブリッジ回路を用いて比較される。
このような強度系装置は迷光に対してシールドする必要があり、また、光源と受光部との整合または注意深い校正を実行して信頼性の高い測定を遂行しなければならない。さらに、ディスクは高い公差値が得られるように製造され、注意深く搭載しなければならない。さもないと、スロット幅の誤差またはディスク同士間の振れ（すなわち非同軸アラインメント）によって透過光強度が体系的に変動する。
EP-A-0 194 930に、SU 517 815内に開示される装置に類似の装置が説明されている。
SU-A-1 364 918に類似の装置を開示する。しかし、検出器の出力はディジタル式タイマを制御するために使用される。タイマに記録された時刻は分析されて、シャフトの回転速度およびシャフトによって伝達されたトルクを求める。
発明の開示
本発明の第１の態様によれば、請求項１に明示される光学変位センサが装備される。
本発明の好ましい実施態様は、他の請求項に明示されている。
本発明の第２の態様によれば、衝突してくる放射光に反応する多素子式検出器および自身の位置が測定される入力素子の動きに反応してこの多素子式検出器を基準として可動であり、さらにこの検出器に入射する放射線パターンを変調するように配置された変調器を具備する位置センサが装備される。
データ・プロセッサ、例えば専用ハードウエアまたはプログラミング可能データ・プロセッサは、検出器の出力を受け取り、この出力を分析して、第１の強度と第２の強度の間の検出器に入射する放射線の強度の透過する位置、すなわち第１の強度の領域および第２の強度の領域の位置を確認することによって変調器の位置を求めるように配置することが望ましい。
第１および第２の強度の大きさが動的に調整可能であるという利点がある。第１の強度とは、第１強度のしきい値を上回る強度範囲と定義してもよい。第２の強度とは、第２強度しきい値を下回る強度範囲と定義してもよい。第２強度しきい値は、第１強度しきい値の予め定められた小数部でもあり得る。別法として、データ・プロセッサが検出器の各々の素子の出力を規格化し、この規格化された出力を予め定められたしきい値と比較することによって第１強度および第２強度を判定してもよい。
入力素子は、さらなる素子を基準として第２位置の方にバイアスすることが好ましい。このさらなる素子は、力伝達装置の出力素子でもよい。位置センサは、入力素子およびさらなる素子の相対的な並進位置および回転位置を測定するように配置してもよい。したがって、負荷センサおよびトルク・センサを装備できる。
本発明の第３の態様によれば、回転用に搭載され第１の変調パターンに従って透過する放射光を空間的に変調するように配置された第１の変調素子と、回転用に搭載され第２の変調パターンに従って透過する放射光を変調するように配置され第１の変調素子とねじり部材によって結合されてこれと光学的に直列を成している第２の変調素子と、第１および第２の変調素子によって変調された放射線の放射線パターンに反応する検出器の配列とを具備するトルク・センサが装備される。
第１および第２の変調パターンは正規のものであることが好ましい。第１変調パターンは、予め定められたマーク・スペース比を持つことが好ましい。第２変調パターンも、予め定められたマーク・スペース比を持つことが好ましい。利点として、第１変調パターンの期間は、第２変調パターンの期間に実質的に等しくなっている。第１変調パターンのマーク・スペース比が第２変調パターンのマーク・スペース比と異なっていることも利点である。これらの期間およびマーク・スペース比は、距離に関連して、または回転軸を基準にして測定された角度に関連して測定してもよい。
ねじり部材に回転方向の応力が実質的に印加されていない場合、第１変調パターンと第２変調パターンに、予め定められた分量だけ、互いを基準にしてオフセットが与えられているのが好ましい。ねじり部材に応力が印加されていない場合、１つのパターン中のマークの中心は、他方のパターン中のスペースの中心と一致することが好ましい。
第１および第２の変調器は、ねじり素子を介して一緒に結合されている第１および第２のシャフト上に搭載することが好ましい。第１および第２の変調器は、ねじり素子を基準にして同軸状に配置されたディスクまたはシリンダであってもよい。利点として、第１および第２の変調器にはその内部に、変調パターンのマークまたはスペースを限定する複数のスリットがある。利点として、各々のディスク中のスリットは実質的に同一である。利点として、第１のディスクのスリットの各々の端部を限定し、隣合っているスリットを分離している第１の領域の幅は、第２のディスクの相当領域の寸法の２倍である。
検出器配列の空間的広がりは、使用中、第１と第２のしきい値間の放射線の少なくとも５つのトランジション（移行）がこの配列によって常に検出可能であるようなものであることが好ましい。
検出器配列は、第１と第２の変調パターンを限定する方向に並列な方向（直線であれ曲線であれ）における自身の広がりが、これらのいずれのパターンの周期より自身が大きくなるような領域を通過する放射線に感応するように配置されるのが好ましい。利点として、検出器配列、第１変調器および第２変調器は相対的に緊密に置かれ、検出器配列は変調パターンの周期より長い。
利点として、検出器配列の各々の素子からの信号はデータ・プロセッサに提供される。配列を成す検出器の出力は、連続して出力してもよい。データ・プロセッサは配列の各々の素子の出力を正規化して、配列の素子間に感度の違いがないようにしてもよい。データ・プロセッサは配列の出力を検査して、第１と第２の強度レベル間にある放射線強度のトランジションの位置からの配列に入射する放射線パターンを決定してもよい。データ・プロセッサは強度のデータを内挿して、トランジションの位置の推測値をより緻密なものにしてもよい。
本発明の第４の態様によると、第１および第２の物体の相対的な位置を測定するための光学的位置センサ用に変調装置が配列されているが、この装置は、第１の部品を第１の物体に、第２の部品を第２の物体に取り付けるのに先だって、複数のリンクによって予め定められた関係に一緒に結合された第１および第２の部品を具備する。
したがって、光学的位置センサの構成の間に第１および第２の部品の相対的な位置が正確に維持されるような装置を提供することが可能である。このような装置は、SU 517 815に説明されている型の信頼性の高い位置センサを製造するに必用とされるような複雑で時間のかかるアラインメント（心合わせ）のステップがない。
第１と第２の部品が共通表面を限定しこの上を運動することが好ましい。利点として、第１と第２の部品の各々が平面性であれば、第１部分と第２部品は共角を成す。このような装置は、光学的位置センサ内部での視差の影響を減少し得る。
この複数のリンクは、第１と第２の部品を接続する材料の減少した（すなわち狭くなった）領域であることが好ましい。この複数のリンクは、第１部品を第１物体に、第２部品を第２物体に取り付けた後で解体できる。この複数のリンクは、応力をかけることによって、エッチングによって、機械的なカッティングによって、スパーク侵食によって、レーザ・カッティングによってまたは他の適切な処理によって解体してもよい。
第１および第２の部品は個別のマーカを持つことが好ましい。トルク・センサにおけるような定位置相対回転運動測定用の装置においては、第１部品は、複数の放射状に伸長するランドまたはフィンガを搭載した第１のリングを具備し得る。ランドまたはフィンガは内方向に伸長してもよい。第２部品は、第１部品のランドまたはフィンガと互いにかみ合っている第２部品の、自身から伸長する複数のランドまたはフィンガを有する第２のリングを具備してもよい。第１および第２のリングの一方または双方を複数のセグメントに分割してもよい。１つの実施態様においては、第２のリングは、個別の複数のリンクによって第１部品に保持され、各々のセグメントは第２物体に対して個別に取り付けられるように配置される。
本発明の第５の態様によれば、第１および第２物体の相対位置測定用の光学的位置センサのための変調器装置が提供されるが、この装置は、第１物体と第２物体にそれぞれ取り付けられている、共通表面を限定する第１および第２の部品を具備する。
利点として、第１と第２部品は共角を成している。利点として、第１と第２部品は、個別のマーカを搭載した同中心のリングとなっている。
【図面の簡単な説明】
本発明は、以下に示す添付図面を参照にしてさらに説明される。
第１図は本発明の一実施態様を構成するトルク・センサの略図であり、
第２図は第１の変調器ディスクの部分平面図であり、
第３図は第２の変調器ディスクの部分平面図であり、
第４図は第２図に示す型の２つのディスクを具備する第１の装置の平面図であり、
第５図は一方は第２図に示す型であり他方が第３図に示す型であるところの２つのディスクを具備する第２の装置の平面図であり、
第６図は第１図のディスクと検出器配列間の関係を示し、さらに検出器配列の理想化された出力を示す略図であり、
第７図は検出器配列および関連の出力回路の略図であり、
第８図は入射光が静的パターンを形成する場合の第１図に示す検出器から収集された出力データの図であり、
第９図は再スケーリング（再収縮）後の第８図に示す出力データの図であり、
第１０図の（ａ）から（ｄ）は４つの異なった領域のためのセンサ配列の出力部からの波形を示し、さらにセンサ配列の出力の処理中に得られた各々の領域の２つの測定値を示す図であり、
第１１図は入射光が可動パターンを形成する場合の第１図に示す検出器から収集された再スケーリングされた出力データを示す図であり、
第１２図は本発明の一実施態様を構成するトルク・センサを組み込んだ自動車用の電気式パワー・ステアリング・システム略図であり、
第１３図は本発明の一実施態様を構成する変調器装置の平面図であり、
第１４図は本発明の一実施態様を構成する変調器装置の平面図であり、
第１５図は第１３図に示す変調器装置を用いる自動車用電動式パワー・ステアリング・システム中での使用に適するトルク測定装置の斜視図であり、
第１６図は本発明の一実施態様を構成する変調器を用いる自動車用電気式パワー・ステアリング・システム中での使用に適するトルク測定装置の斜視図であり、
第１７図はトルク・センサの検出器配列のディスク同士間の関係を示し、さらに検出器配列の理想化された出力を示す図であり、
第１８図は通常のディスク・パターンと検出器配列との間の関係を示す図であり、
第１９図は第１８図の検出器配列の補正された出力を示す図であり、
第２０図は第１の変更されたディスク・パターンと検出器配列との間の関係を示す図であり、
第２１図は第２０図の検出器配列の補正された出力を示す図であり、
第２２図は第２の変更されたディスク・パターンと検出器配列との間の関係を示す図であり、
第２３図は第２２図の検出器配列の補正された出力を示す図であり、
第２４図から第２７図は形状寸法および機械的変動の補正用の技術を示す略図であり、
第２８図はトルク・センサのディスク同士間の振れの影響を示す図である。
図中、同様の部分は同様の参照番号で示されている。
第１図に示すように、入力シャフト２は、入出力シャフト２、４と同軸のねじり棒６を介して出力シャフト４に結合されている。ねじり棒６は、出力シャフト４内に形成されている凹部８の内部に伸長している。ねじり棒は見えないようにシールドされているが、装置の内部構造を示すために破線で示されている。第１のディスク１０および第２のディスク１２は、それぞれ入力シャフトおよび出力シャフトに保持されている。これらのディスクは近い間隔で置かれ、内部に形成された複数のスロット１６、１８を有する。第１ディスク１０のスロット１６は、第２ディスク１２のスロット１８と重なるように配置されている。ディスク１０、１２は、光電検出器の光源２０（可視の赤外線または紫外線を放出する）と配列２２との間に置かれている。スロット１６、１８は、光源２０から検出器配列２２に通過する光を変調するように配置されている。データ・プロセッサ２４は、検出器配列２２の出力を受け、そこからのトルクと位置のデータを得るように配置されている。
第２図に、第１の設計のディスクの部品を示す。等間隔に置かれたスロット３０はディスク内部に形成されている。これらのスロットは、比較的に薄く、ディスクの周辺に続いて弧状に伸長しているように示されている。しかし、他のスロット形状寸法を用いてもよい。ディスクの軸の方向から見ると、各々のスロットは角度αに対し、各々のスロット間領域３２は角度βに対する。第３図は、その内部で各々のスロット３４が角度γに対し、各々のスロット間領域３６が角度θに対する第２のディスク設計を示す。
第１図に示す装置は、類似のまたは非類似のディスク設計で構成してもよい。
第４図に、第１設計による２つのディスクのような、同一設計の２つのディスクを用いた装置を図示し、第５図には、第１および第２の設計によるディスクのような非類似のディスクの型を用いた装置を図示する。
第４図に、ディスク１０、１２の双方が第１の設計であり、ねじり棒６によってトルクが伝達されないときの図を示す。これらのディスクは互いを基準として回転方向にオフセットをかけられている。領域４０は、各々のディスクのスロットがアラインメント（心合わせ）する場所を示す。領域４２は、第２のディスク内のスロット１８が第１のディスクのスロット間領域と重なる場所を示す。領域４４は、第１のディスク１０のスロット１６が第２のディスクのスロット間領域と重なる場所を示す。領域４５は、双方のディスクのスロット間領域が重なる場所を示す。線４６は、第１のディスク１０のスロット１６が対する角度を示し、線４７は第１ディスク１０内のスロット間領域が対する角度を示す。線４８は、第２ディスク１２のスロット１８が対する角度を示し、線４９は第２ディスク内のスロット間領域が対する角度を示す。この装置内のディスクは、スロット間領域の２倍の角度長のスロット領域を持つ。この装置の光透過領域は角度Ａに対し、同装置の非透過領域は角度Ｂに対する。ディスクは、トルクがゼロの状態でＡ＝Ｂとなるように配置してもよい。第１の方向にトルクがあると、ＡはＢより大きくなり、反対方向ではＡはＢより小さくなる。ＡとＢの相対的な寸法は、入力シャフト２から出力シャフト４へ伝達されるトルクを示す。
第５図に、第２ディスクが第２図の設計であり、第１ディスクが第３図の設計である状況を示す。和α＋β＝γ＋θである。したがって、ディスクは同一の空間周期を持つ。さらに、本実施態様においては、β＝２θとなる。ディスクは空間周期の半分だけオフセットがかけられているので、トルクがゼロの状態では、第２ディスクの非透過領域は第１ディスクのスロットを基準にして実質的に中心合わせされている。したがって、第５図のＣとＣ’間の曲線経路に沿って運動する場合、非透過領域５０は角度θに対し、透過領域５２は角度Ｂに対し、非透過領域５４は角度２θに対し、透過領域５６は角度Ａに対し、非透過領域５８は角度θに対し、透過領域６０は角度Ｂに対し、非透過領域６２は角度２θに対す。
角度Ａ、Ｂ、すなわち透過領域の寸法は、トルクの関数であり、一方、角度θおよび角度２θは一定である。
第６図に、第５図の装置の略断面図を図示し、さらに配列内の位置の変動に伴う配列素子の出力の変化も示す。
ねじり素子６に応力がかけられていない場合、透過領域５２、５６の寸法は実質的に等しい。第１の方向にトルクが加えられると、領域５２の寸法は減少し、一方領域５６の寸法は増大する。反対方向に作用するトルクは領域５２を増大させ、領域５６を減少させる。配列は、光の透過領域５０から非透過領域６２の寸法を測定することによってディスク１０、１２の相対的位置を測定する。シャフトが回転するに連れ、パターン全体が配列を横切ってシフトする。しかし、ディスク１０、１２は複数のスロットを持つので、透過領域および非透過領域の繰り返しパターンは常に配列２２の入射光を変調する。ディスク同士間の相対的運動は、領域５４が領域５０または５８と重なり得ないように拘束される。この相対的運動の許容範囲は矢印６４によって示す。
矢印の長さは、スロットの１つの空間周期より大きな領域内で変調された光を見、さらに、比較的暗い所と比較的明るい所との間の光強度に少なくとも５つのトランジションを見るようになっている。
適切な配列として、６４個の光知覚素子およびこれらの出力を連続的に読み取る回路を組み込んだTexas TSL213またはTSL401装置がある。さらに多くの光知覚素子を持つ他の類似の装置が計画されている。光知覚素子Ｓ１からＳ６４（第７図）は、連続操作式スイッチ７０から７３を介して第１の画素バッファ７４（画素１つ当たり１つのスイッチがある）に出力する。暗基準７６は同時に、第２の画素バッファ７８に基準信号を供給する。画素バッファの内容は順次読み出され、信号同士間の差を形成する作動増幅器８０の反転入力部と非反転入力部に供給される。増幅器８０の出力は、サンプルホールド回路８４に供給されその後バッファ８６を介して出力される。本装置の全ての機能は、クロック・ゼネレータ・シフト・レジスタ素子８２を介して制御される。
第８図に、入射光が単一の静止ディスクによって変調される場合の配列２２の出力の一例を示す。配列の各々の素子の素子番号は横軸に示され、各々の素子の対応する出力は縦軸に示される。鎖線１０２は、比較対象として均一に照射された配列の基本反応を表す。各々のデータは、図をより明瞭にするために直線によって隣接するデータと繋がれている。
この配列はその反応においては、明らかに非均一性である。データ・プロセッサ２４は、トルク・センサの動作中、各々の素子から記録された最大と最小の出力の現行の記録（すなわち、それぞれその完全に照射された値および暗い値）を保持し、この記録を使用して配列の出力を正規化するように配置されている。任意の素子に対する信号値がその素子の最大値として記憶されている現行値を超えると、この最大値は新しい信号値に更新すなわち増加される。信号値が最大値として記憶されている現行値未満であれば、この最大値は減少される。類似の構成を用いて、配列の各々の素子の最小値を設定するが、この最小値は、センサからの信号が現行の記憶最小値未満であればより低い値に再設定すなわち減少され、信号値が現行最小値より大きければ増加される。したがって、次に、これらの最大値および最小値は信号の再スケーリングのために用いられる。
第９図に、第８図に示す出力信号の正規化の結果を示す。実線１０４は正規化された値を示す。基本反応１０２および非正規化値１００が比較のため示されている。
次にデータ・プロセッサは、正規化されたデータを、このデータをしきい値１０５と比較することによって、高い値と低い値との間のトランジションのためにチェックする。高・低トランジションの数および低・高トランジションの数が記録される。第５図に示す実施態様の場合、誤差は、トランジションの総数が５未満の場合に示される。
例えば第５図に示すように、２つのディスクを使用する場合、４つのケースを考慮する必要がある。データ・プロセッサは、ディスク位置のインジケータとして立ち上がりエッジを用いるか立ち下がりエッジを用いるか判断しなければならない。データ・プロセッサはさらに、自身が検出する第１のエッジが（角度θに対する非透過領域を持つ）第１のディスク１０に属すかまたは（角度２θに対する非透過領域を持つ）第２のディスク１２に属すかを判断しなければならない。
もし検出された第１トランジションが立ち上がりエッジであれば、次の測定は立ち上がりエッジを用いてなされ、同様に、もし第１のトランジションが立ち下がりエッジであれば、次の測定は立ち下がりエッジを用いてなされる。
第１０図の（ａ）から（ｄ）に、同一量のトルクの場合に発生し得る４つのケースの略図を示す。各々のケースにおいて、第１の立ち上がりトランジションはPOS(0)、第２の立ち上がりトランジションはPOS(1)等と印される。立ち下がりトランジションは同様に、NEG(0)、NEG(1)等と印される。第１０図の（ａ）から（ｄ）において、２Ｘと示された領域は、第６図に示すスロット間領域５４、６２に対応する。Ｘと示される領域は、第６図に示すスロット間領域５０、５８に対応する。
データ・プロセッサは、検出器配列２２の入射光の期間Ｐを計算する。比較的暗い所から比較的明るい方向へ第１のトランジションが発生すると、第１０図の（ａ）から（ｃ）に示すように、期間はPOS(2)-POS(0)として計算される。期間Ｐは、比較的明るい所から比較的暗い方向に第１のトランジションが発生すると、第１０図の（ｂ）から（ｄ）に示すように、NEG(2)-NEG(0)として計算される。
データ・プロセッサは、またマークＭの長さを計算する。比較的暗い所から比較的明るい方向に第１のトランジションが発生し、POS(1)-NEG(0)がPOS(2)-NEG(1)より大きい場合、ＭはPOS(2)-POS(1)として計算される。比較的暗い所から比較的明るい方向に第１のトランジションが発生し、POS(1)-POS(0)がPOS(2)-NEG(1)より小さい場合、Ｍは、第１０図（ｃ）に示すようにPOS(1)-POS(0)として計算される。
他の２つのケースは、第１のトランジションが比較的明るい所から比較的暗い方向に発生する場合に起こる。POS(0)-NEG(0)がPOS(1)-NEG(1)より大きい場合、Ｍは、第１０図（ｂ）に示すようにNEG(1)-NEG(0)として計算される。POS(0)-NEG(0)がPOS(1)-NEG(1)より小さい場合、Ｍは、第１０図（ｄ）に示すようにNEG(2)-NEG(1)として計算される。第１０図の（ａ）から（ｃ）に示すケースは、長さＸの暗期間を含むマークＭを有し、一方、第１０図の（ｂ）から（ｄ）に示すケースは、長さ２Ｘの暗期間を含むマークＭを有する。
トルクは、マークＭと期間Ｐを比較することによって計算可能である。計算の正確な詳細は、ディスク１０、１２の形状寸法によって異なる。計算の一例を第５図に示す実施態様に対して与える。スロットおよびスロット間領域の相対的な寸法は、α＝５．５θ、β＝２θおよびγ＝６．５θとなるように配慮される。
ディスク１０、１２はこのように配慮されるので、ゼロ・トルク状態では角度ＡとＢは互いに等しく２．２５θの大きさを持つ。さらに、ディスク同士間の相対的動きは、ＡとＢの最小値がθに等しくなるように拘束される。このような実施態様の場合、第１０図（ａ）、（ｃ）に示すケースの場合にねじり棒を介して伝達される最大トルクのパーセンテージ値は次式から計算される。
トルク（％）＝６００Ｍ／（Ｐ−２６０） （１）
第１０図（ｂ）、（ｄ）に示すケースにおいて伝達されるトルクのパーセンテージ値は次式から計算される。
トルク（％）＝６００Ｍ／（Ｐ−３４０） （２）
トルクのパーセンテージ値は、ねじり棒のねじり剛性が既知であれば、直接に力に変換することができる。
検出器配列２２は、任意の時点において衝突してくる光の”スナップ・ショッド”を得るように操作される。データ・プロセッサ２４は、予め定められた時間間隔で検出器配列２２からのデータをサンプリングする。サンプル同士間の時間間隔は、最大設計値に至る回転速度が正確に測定できるように選択される。検出配列２２の光電検出器の立ち上がり時間と立ち下がり時間が、光電検出器からの読み取り値にほとんどまたは何の影響も与えないほど充分に急速であることが理想である。しかし、ディスク１０、１２が充分に速い場合、検出器配列２２の出力は、内部の検出器の立ち上がり時間と立ち下がり時間だけ変更してもよい。立ち上がり時間と立ち下がり時間の影響を第１１図に示す。線１０４、１００は第９図に示すものと等しい。第９図のほぼ矩形波形状の線１０４は、立ち上がり時間と立ち下がり時間のために歪められる。検出構成には、常に、測定をするときは同一の極性のトランジションが用いられる、すなわち、Ｍ、Ｐを計算するために使用される全てのトランジションは第１０図（ａ）、（ｃ）に示すような立ち上がりトランジションであるか、または全てのトランジションが第１０図（ｂ）、（ｄ）に示すような立ち下がりトランジションであるかである。したがって、装置は、検出器配列２２の素子の立ち上がり時間と立ち下がり時間の非対称性に影響されない。トランジションの発生位置は、配列に沿った位置を基準とした配列の出力が５０％を超える位置であると判断される。しきい値測定値は次に、第５図および第１０図を参照として既に説明した計算に用いられる。
配列２２の検出器素子は空間的には有限である。しかし、トランジションが発生する位置は、配列の出力の内挿による検出器配列の素子間距離よりも大きな分解能が得られるように推測可能である。この場合の内挿法は、検出器配列の各々の素子の中心位置同士間の単純な直線内挿法である。
検出器配列の素子は連続しているのが理想である。しかし、本発明は、検出器配列の隣接する素子同士にギャップが存在する場合でも実施可能である。このようなギャップは”デッド・ゾーン”を生じる。トランジションがデッド・ゾーン中に発生すると、トランジションの実際の発生位置を推定することが困難となる。この問題は、非点光源を用いてディスク１０、１２を照射することによって克服され得る。非点光源照射によって、検出器配列における光強度のトランジションが不鮮明になる。トランジションが検出器配列の隣接素子同士間のギャップにわたって発生すると、不鮮明となったトランジションは隣接素子上に伸長する。隣接素子の各々が受領した光強度はトランジション位置の関数であり、したがって素子の出力を内挿してトランジション位置を推定してもよい。
拡散装置を光源２０とディスク１０との間に置いて非点光源照射を発生させてもよい。
非点光源照射を用いることによってさらに、検出器配列２２の動的範囲（ダイナミック・レンジ）が制限されるという問題の解決にも役立つ。トランジションが不鮮明になってトランジションが隣接する３つもの検出器素子に伸長することによって、少なくとも１つの検出器素子が、素子の反応特性の不飽和領域内部で動作できる。したがって、これら素子の出力を内挿してトランジションの位置を正確に求めることができる。
データ・プロセッサはさらに、任意の基準位置からの回転数および回転速度を推定するように配慮可能である。
第１図に示す実施態様は車両のパワー・ステアリング装置内に組み込むのに適しておりしたがって、例えば、EPA-A-0 555 987に説明されるトルク・センサ装置の替わりに用いてもよい。２セットの光源およびセンサ配列をトルク・センサ内の対角線上に反対側にくるように用いてもよい。このように配置することによって、ディスクの振れの影響を補正でき、さらに、安全クリティカル・システム内で重要となり得る冗長度も得られる。
第１２図に示すパワー・ステアリング・システムは、車両ステアリング・ホイール１１２からラック・アンド・ピニオン・システム１１６を介して車両ホイールに伝達されるトルクを測定するための本発明の一実施態様を構成する光学トルク・センサ１１０を具備する。電気モータ１１８はトルク・センサ１１０とラック・アンド・ピニオン１１６との間のシャフト１１７に搭載され、ラック・アンド・ピニオンに供給されたトルクをトルク・センサ１１０から供給された信号に反応して増加させるように配慮される。
したがって、粗でかつ信頼性の高いトルク知覚素子を含む電気式パワー・ステアリング・システムを提供することが可能である。
第１３図に示す光学変調器は、内部のそれぞれ第１と第２の協働光学変調器２０４、２０６を限定するように処置された材料のディスク２０２を具備する。第１の光学変調器２０４は内部リング２０８、外部リング２１０およびこれら内部および外部リング２０８、２１０を結合する複数の規則正しい間隔で置かれた放射状に伸長するサポート２１２から成る。外部リング２１０は、放射状に伸長するサポート２１２の各々の隣接する対間に形成された各々のギャップ２１６内の２つの内部に伸長するランド２１４を限定するような形状となっている。ランド２１４は各々のギャップ内に規則正しい間隔で置かれ、放射状に伸長するサポート２１２と同一の幅を持つ。ランド２１４およびサポート２１２は、外部ディスク２１０から内側に伸長する突出部の規則正しいパターンを限定する。
第２の変調素子２０６は、複数の部分環状セグメント２２０を具備する。１つのセグメント２２０は、隣接の放射状に伸長する各々の対のサポート２１２同士間に限定されるギャップ２１６の各々の中に提供される。各々のセグメント２２０は、その上に形成された放射状にそして外部に伸長する３つのランド２２２を持つ。ランド２２２は、ランド２１４および外部リング２１０に最も近い放射状に伸長するサポート２１２の部分とかみ合っている。ランド２２２は、隣接するランド２１４同士間およびランド２１４と隣接する放射状に伸長するサポート２１２との間に限定されるスペースを２等分する。
各々のセグメント２２０は、分離可能なリンク２２６を介して内部リング２０８に担保される。これらの分離可能リンク２２６は、各々のセグメントから内部リング２０８に放射状に伸長する材料の削減された部分である。この削減された部分は、第１５図に示すように、セグメント２２０の各々が第１シャフト２５０の端部２５１に担保されるまで、また、内部リング２０８が第２シャフト２５２に担保されるまで、セグメント２２０を第１光学変調器２０４との予め定められた関係に保持する役目を果たすだけである。
第１４図に示す実施態様は、自身から内側に伸長する規則正しい間隔で置かれたランド２３２を持つ外部リング２３０を具備する第１の光学変調器２０４を持つ。各々のランド２３２は、他の全てのランド２３２と同一の幅を持つ。第２の光学変調器２０６は、自身上に形成された規則正しい間隔で置かれた放射状に外側に伸長するランド２３６を持つ内部リング２３４を具備する。ランド２３６はランド２３２とかみ合っており、各々のランド２３６は、隣接するランド２３２同士間に限定された各々のギャップ２３８を２等分する。ランド２３６はランド２３２より幅が狭い。
分離可能リンク２４０は、第１６図に示すように、ランド２３２のいくつかと内部リング２３４との間に伸長し、第１の光学変調器が第１シャフト２５０の端部２５１に取り付けられ、第２光学変調器が第２シャフト２５２に取り付けられるまで外部リング２３０および内部リング２３４を予め定められた関係に保持する。
第１５図および第１６図に示す装置の各々において、第１および第２シャフト２５０、２５２は、第１５図の鎖線で示されるように第１シャフト２５０中の凹部内に伸長しこれに取り付けられているねじり棒２５４によって一緒に結合されている。ねじり棒２５４によって、第１光学変調器のランド２１４、２３２が第２光学変調器のランド２２２、２３６と決して接触しないように第１および第２のシャフト２５０と２５２間での制限された相対的な運動だけが可能となっている。第１６図に示す装置では、セグメント２２０の最内部の放射状の部分は第１シャフト２５０に溶接され、一方、第１６図の装置では、ランド２３２の最内側の部分が第１シャフト２５０に溶接されている。各々の場合において、ランドのかみ合った装置の一部は第１シャフト２５０から外側に放射状に伸長し、光学変調器が光源と検出器素子または検出器配列（図示されていない）との間に置かれるようになっている。
光学変調器は、例えば、マスク操作、およびその後のディスクの直接カッティング、スパーク・カッティング、電型法、レーザ・カッティングまたは精密打ち抜きによる金属デョスクの化学的エッチングによって形成してもよい。分離可能リンクは、スパーク侵食、レーザ・カッティングまたは機械力によって分離してもよい。さらに、光学変調器を形成するように選択された材料は、変調素子の特定の用途を基準として選択してもよく、可塑材または他の適切な材料で形成してもよい。
使用に際しては、光学変調器は共角を成してもよい。これによって変調パターンが改善されるが、それは視差が解消または減少するからである。第１３図および第１４図に示す実施態様のいくつかの利点は、光学変調器を分離することによってまたは、使用に際して共通平面上に搭載することによって達成できる。
第１３図から第１６図に図示する光学変調器は、第１図から第１２図に示す型のトルク・センサ内で使用するには特に適している。一方の光学変調器を１つの入力シャフトに取り付け、他方の光学変調器を１つの出力シャフトに取り付け、この入力シャフトはこの出力シャフトに、第１５図に示すのと類似の方法でねじり棒を介して接続する。入力シャフトおよび出力シャフトは自由に回転するが、他方のシャフトを基準とした一方のシャフトの動きは小さな角度偏差に制限される。光学変調器は光源によって照射され、変調器によって形成された光学パターンは多素子光学配列によって分析される。照射のパターンは分析されて、類似のトランジションの対（すなわち、明るい所から暗い所または暗い所から明るい所）同士間における分離が求められ、これらのデータは次に、第１シャフトと第２シャフトとの間の角度変位の計算に用いられる。
第１７図に、検出器配列２６０の位置および検出器配列２６２の理想化された出力とともに、第１６図に示す装置内のランド２３２、２３６の位置の略図を示す。鎖線は、ランド２３２が、入力シャフトから出力シャフトに伝達されたトルクの結果、ランド２３６を基準として運動し得る最大範囲を表す。
入力シャフトおよび出力シャフトが回転するに連れて、光学変調のパターンおよび、それに継いで出力信号が、センサ配列２６０を基準として動く。しかし、既述の処理技術によってセンサ上の明と暗の間のトランジションの位置が検査され、明暗間の５つのトランジションがセンサ配列２６０上に発生すればシャフトに作用するトルクが常に推定されるので、これはなんら問題ではない。光学変調器およびセンサ配列の相対的寸法は、この条件が常に満足されるように選択される。
入力シャフトおよび出力シャフト２５０、２５２がなんらトルクを受けない場合、第１および第２の光学変調器の相対的な位置が良好に限定されることが必要である。第１３図および第１４図に例示されるように、無トルク状態でディスクをシャフト２５０、２５２に取り付けることによって、第１および第２の光学変調器の正確なアラインメントが担保される。これによって、先行技術で説明された型の分離ディスクを用いた場合に必要とされる比較的に時間のかかるチェックが無用となり、結果、トルク・センサのアラインメントおよびその結果としての性能が向上し、製造時間が減少する。この装置はまた、線形変位センサと共に使用されるように変更してもよい。さらに、共角ディスクを装備することによってトルク・センサ内の視差が減少し、したがってその精度が向上する。
したがって、光学変位検出器内で使用される正確にアラインメントされ、比較的低価格の光学変調器を提供することが可能となる。
第１８図に、分離可能リンクが分離された後の第１４図に示す型の一実施態様を示す。光学変調器２０４、２０６は、光源（図示せず）側から眺められ、センサ配列２６０の作用面積はランド２３２、２３６の背後に示されている。本実施態様においては、ランド２３２各々が２×という角度幅を保ち、一方ランド２３６の各々は×という角度幅を持っている。
センサ配列２６０の出力は正規化され、ランド２３２、２３６のエッジの曲線経路は直線センサ配列２６０上にマッピングされて、第１９図に示す補償された波形を発生させる。期間Ａ、Ｂは、光学変調器２０４と２０６間の相対的な角度変位に従って変化する。光学変調器２０４、２０６がねじり棒によって相互接続されている所では、相対的変位はトルクに比例する。したがって、トルクは（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）に正比例する。
ある種の用途の変位センサおよびトルク・センサの場合、光学変調器の回転位置が既知であることが必要または望ましい。例えば、この型のトルク・センサを電気式パワー・ステアリング・システムに用いる場合、ステアリング・ホイールがいつ”真上”位置にくるかを検出できることが必須である。
ステアリング・システムの既知の一技術では、車両のドライブ中のステアリング・ホイールの平均位置を計算する過程が含まれる。しかし、この平均値は収斂するにはかなり多くの時間を必要とし、ドライブの経路によっても異なる。例えば、このようなセンタリング(centring)は、車両が円形の軌跡をドライブする場合には変動する。
別の既知の技術では、ステアリングされたホイールがいつ真上位置にくるかをこのホイールの速度を測定することによって求める。しかし、このような装置は道路速度センサを２組と、さらに関連の配線要素および信号要素を必要とし、したがって比較的に高価である。さらに、センタリングは、例えばホイールの回転やスリップの結果、変動しかねない。
第１８図に示すセンサは第２０図に示すように変更して、光学変調器２０４、２０６の回転位置が求められる基準となる検出可能な指標位置を提供してもよい。光学変調器２０４は変更され、１つのランド２７０が減少した幅、例えば第２０図に示すような１．５×のものとなる。さらに、光学変調器２０６は、ランド２７０の両側にある２つのランド２７２が増加した幅、例えば１．２５×のものであるように変更される。これは、期間Ａ、Ｂに対応する角度ギャップがトルク・センサの回転全般を通じて不変であるように、ランド２７０に面するランド２７２のエッジをランド２７０の方向に移動させることによって達成される。
第２１図に、第２０図に示すような光学変調器によって、センサ配列２６０から出力された修正され補正された波形を示す。この場合でも、トルクは（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）に正比例する。
変更されたランド２７０、２７２は、各々のランドの幅の測定値の（Ａ＋Ｂ）に対する比を測定することによってソフトウエア的に検出可能である。これによって、光学変調器２０４、２０６のセンサ配列２６０からの間隔による光学倍率のいかなる変動も補償される。したがって、追加のハードウエアを必要とすることなくソフトウエア系の実施態様の場合の追加のソフトウエアを比較的に少し必要とするだけでトルク・センサの指標位置を検出することが可能である。第２２図に、幅１．５×の歯２７０がランド２３２の１つと入れ替わっている点だけが第１８図に示すものとは異なる別の変更実施態様を図示する。第２３図は、センサ配列２６０の補償された出力を図示する。光学変調器２０６の全てのランド２３６は同一の幅×を持つ。ここでも、トルクは（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）に比例し、指標位置は、ランド２３２、２７０の角度範囲を（Ａ＋Ｂ）と比較することによって求められる。ランド２７０と隣接するランド２３６は変更されないが、ランド２３２、２３６は全て少し大きく作られており、これによって幅の減少したランド２７０を補償している。
この装置によって指標位置の認識が簡略化され、非標準のスロット期間を持つ光学変調器の面積が減少する。
したがって、このような装置は、以下に説明されるある種の信号処理技術には特に有益である。
第２０図および第２２図に示す装置は指標位置を認識する能力があるとはいえ、ステアリング・システムのような用途では、これらの装置では、ステアリング・ホイールが真上の位置にあるのかまたは真上の位置から１つの（または以上の）完全回転数だけ隔たっているのか判断できない。しかし、真上の位置から１つ以上の完全回転数だけ隔たった位置は、ある道路速度を上回るステアリング・ホイール・トルクをチェックすることによって検出してもよいし、予め定められた量を上回ってトルクが伝達されたということは、ステアリング・ホイールが真上の位置から隔たっていることを示す。
以上に述べたように、トルク・センサは、小さな開口部の光源から２つの不透明な回転素子２０４、２０６を通って線形配列２６０、例えば１２８個の光学センサ素子に照射される光に依存する。シャフトのトルクは、２つの素子２０４、２０６に相対的な回転を与えるように配慮される。この結果得られる、これら２つの素子２０６、２０８を介してセンサ配列２６０に投影されるパターンによって対応する波形が発生され、この波形は印加されたシャフトのトルクの基準となるように処理され得る。
このプロセスは次の３つの要因によって複雑になる。
１．印加されたトルクおよびシャフトの回転により、スロットの角度変位が生じ、一方ではセンサ配列２６０で線形変位を測定し、２．素子２０４、２０６（異なった平面上で回転することもあるが）の異なった光学的倍率により、２つの平面からのエッジの投影がセンサ配列２６０上で互いに相対的に運動し、３．素子２０４、２０６の非同心的回転がトルクの見かけ上の変動を生ずる。
スロットのエッジは回転軸の周りを回転するが、センサの線形配列２６０上に投影される。配列２６０を走査することによって作られるエッジは、したがって、センサの湾曲配列を模倣するように修正される。しかし、投影されたイメージ（結像）の実効半径は、光学的倍率の影響のために、ディスクの光学半径には等しくならない。
第２４図に、湾曲スロット経路の、エッジの平面上の直線に対するマッピングを図示する。
配列の中心から測定したセンサの波形のエッジの位置に対しては次式が成り立つ。
Tanα＝ｘ／ｒ
ｙ＝ｒ．Ａ
したがって、次式が成り立つ。
α＝Tan-1(x/r)したがって、
ｙ＝r.Tan-1(x/r)となる。
もし、
Ei＝配列の最初から測定した入力画素番号
Eo＝弧に沿って測定した（画素内の）出力エッジ位置
Ｎ＝配列内の画素の数
ｄ＝画素の幅(mm)
であれば、
ｘ＝d.(N/2-Ei)
ｙ＝d.(N/2-Eo)または、
Eo＝N/2-y/dとなる。
これらを代入すると、
Eo＝N/2-r/d.Tan-1(x/r)
Eo＝N/2-r/d.Tan-1(d/r/(N/2-Ei))となる。
この式はディスクの光学半径ｒおよび入力エッジ位置Eiを用いて、マッピングされた出力エッジ位置Eoを求めている。実際問題として、第２５図に示すように、光源から配列に至る距離ａは光源からディスクに至る距離（ａ−ｂ）より大きいので光学半径は増加する。
配列平面上の実効光学半径Ｒは次式で与えられる。
R/a＝r/(a-b)または
Ｒ＝a.r/(a-b)
半径倍率因数Moは次のようになる。
Mo＝a/(a-b)
この倍率因数は設計された光学コンポーネントの間隔から求めることができるが、これはアッセンブリの公差、シャフト端部の浮きおよびディスクの（光路軸に沿った）ウオブルの対象となる。したがって、エッジ補正式は次のようになる。
Eo＝N/2-R/d.Tan-1(d/R.(N/2-Ei))
回転素子は精密に作成されているので、実際の光学半径を自動的に求めることが可能である。特に、光学構成要素の間隔の詳細は、センサ配列上に投影されたスロット・エッジの位置を処理することによって求めることができる。同一素子上の隣接するウインドウの２つの互いに対応するエッジがセンサ配列上に同時に投影されると、これらのエッジを処理して、光学倍率因数（またはセンサ配列での実際の光学半径）の尺度を与えることができる。第２６図に、センサ配列上にこのような２つのエッジが投影される様子を図示する。
単純三角法によると、次のようになる。
A/R＝Tanαさらに、
B/R＝Tan(γ-α)
再配列すると、次のようになる。
α＝Tan-1(A/R)さらに、
B/R＝(Tanγ-Tanα)/(1+Tanα.Tanγ)
αを置換すると、次のようになる。
B/R＝(Tanγ-A/R)/(1+A/R.Tanγ)
しかし、γは光学倍率とは無関係で、回転素子の形状寸法によって決まる。
したがって、Ｇ定数＝Tanγとすると、次のようになる。
B/R＝(G-A/R)/(1+G.A/R)これにＲを乗算すると、
B/R＝(G.R-A)/(R+G.A)
乗算をすると、次のようになる。
G.R2-(A+B).R-A.B.G＝0
平方根で表すと、次のようになる。
R＝(A+B)±((A+B)2+4.G2.A.B)1/2/2.G
こうして、配列の平面上の光学半径となるＲを解くことができる。
２つの回転素子からのイメージを使用して、各々の素子に対して異なった光学半径を与えることができる。算法（アルゴリズム）には未処理のエッジを用いるが、このエッジでは、互いに異なった光学半径によって素子同士間で視差が生じる。
さまざまの用途で生じ得る光学半径の変動を見込んで、根号下の因数はk.A.B（ｋは定数）によって近似させてもよい。
これら２つのトルク知覚回転素子は必ずしも同一平面上にはないので、光源に近い方の素子がより大きな倍率のイメージを配列上に投影する。１つの素子からのイメージは、したがって、トルクが決定され得る以前のイメージ寸法と等しくなるように縮尺される。第２７図に、素子♯２が素子＃１より大きなイメージを投じ、さらに、このイメージがその結果、共角を成す＃の素子を模倣するように収縮される様子を図示する。
第２７図において、
ａ＝光源から配列への距離
ｂ＝素子＃１から配列への距離
ｃ＝素子＃１平面から素子＃２平面との間の距離
ｙ＝配列の中心線から典型的なスロットのエッジへの距離。
素子＃２のエッジは、配列の中心から距離ｑの所にイメージを形成する。
素子が共角を成す場合、エッジは中心から距離ｐだけ隔たった所に現れる。
等しい角度を用いると次のようになる。
p/a＝y/(a-b)さらに、
q/a＝y/((a-(b+c))
双方の式をｙに付いて解くと次のようになる。
ｙ＝p.(a-b)/aさらに、
ｙ＝q.(a-(b+c))/a
等置してｐに付いて解くと次のようになる。
ｐ＝q.(a-(b+c))/(a-b)
もし、
Ei＝入力エッジ位置
Eo＝出力エッジ位置
Ｎ＝配列中の素子の数
ｄ＝素子の幅
とすると、
ｑ＝d.(N/2-Ei)
となり、次のようになる。
ｐ＝d/(N/2-Ei)(((a-(b+c))/(a-b))さらに、
ｐ＝.(N/2-Eo)または
Eo＝N/2-p/d
となり、次のようになる。
Eo＝N/2-(N/2-Ei)(((a-(b+c))/(a-b))
これにより、入力エッジ位置に対する出力エッジ位置および光学構成要素の間隔が与えられる。最後の項は、必要とされる視差補正機能が自動的に実行されるように、得られた波形から求めることができる。
視差の項は、回転素子同士間の間隔および光源と配列との間の距離の関数である。補正係数はイメージの寸法を変化させるがその相対的な寸法には影響を与えないので、素子と配列との間の距離によって異なることはない。
アークタンジェント補正がすでに実行済みであると仮定すると、視差補正項Pxは次式で与えられる。
Px＝(a-(b+c))/(a-b)
すると、素子＃２に対しては、素子上のウンドウの期間は次式で与えられる。
Pdisc#2＝N/2Px(N/2-Elast#2)-(N/2-Px.(N/2-Efirst#2))
単純化すると、次のようになる。
Pdisc#2＝Px.(Elast#2-Efirst#2)
素子＃１に対しては、素子上のウインドウの期間は次式で与えられる。
Pdisc#1＝N/2-(N/2-Elast#1)-(N/2-(N/2-Efirst#1))
単純化すると、次のようになる。
Pdisc#1＝(Elast#1-Efirst#1)
２つの素子から測定した期間が等しくなるためには、
Pdisc#2＝Pdisc#1であり、
Px.(Elast#2-Efirst#2)＝(Elast#1-Efirst#1)となる。
したがって、次のようになる。
Px＝(Elast#1-Efirst#1)/(Elast#2-Efirst#2)
このようにして、２つの回転素子から測定した期間の比によって、視差を補償するために用いられる相対的倍率係数が与えられる。
トルクの測定値は、２つの回転素子上のウインドウのエッジの相対的な位置によって決定される。第２８図に示すように素子の回転軸同士間に振れが存在する場合、トルク誤差が生じる。この誤差は素子が回転するに連れて循環的に変化する。ウインドウＡがセンサ配列上にある場合、正のトルク誤差が生じる。ウインドウＢがセンサ配列の上にある場合は、この誤差は負のトルク誤差に変化する。
ウインドウＣ、Ｄがセンサ配列上に存在する場合、振れの誤差は生じない。
対角線上の反対側にある２つのセンサ配列を、例えばウインドウＡ、Ｂの下に配置してトルクの読み取り値を平均化することによって、ディスクの振れの影響が無にされる。この機能は、アークタンジェントおよび視差の補正値がすでに正確に適用されていることを前提としている。
前述の自動アークタンジェント、自動視差および振れの補償を適用する通常の手順は次の通りである。
１．双方の回転素子に対して配列の中心からの距離Ａ、Ｂを測定する。
２．双方の素子に対して光学半径を計算する。
３．アークタンジェント補正を、以下の計算に使用される全てのスロットのエッジに適用する。
４．これらのアークタンジェント補正されたエッジを用いて、双方の素子に対してウインドウ期間を測定する。
５．２つの期間の寸法Pxに対する比を求める。
６．Pxを用いて、エッジが素子から光源に近づくように（配列の中心に向けて）視差縮小する。
７．視差補正されたエッジを用いて、トルクを計算する。
８．２つのセンサ配列に対してトルクの計算結果を平均して、振れ補正されたトルクを求める。
したがって、トルク・センサの形状寸法ならびに機械的変動もしくは製造公差を自動的に補正することが可能となる。このようなセンサの精度はしたがって改善可能であり、製造費用も減少可能である。
Claims (14)
- 光学放射線の光源と、複数の放射線検出器の少なくとも１つの配列と、第１の素子および第２の素子とを具備する光学変位センサにおいて、
前記第１および第２の素子の各々が交替する第１および第２の領域を有し、
前記第１の領域と前記第２の領域とが異なる光学特性を有し、
前記第１および第２の素子の各々は、前記第１および第２の領域が前記光源から光学放射線が照射され前記検出器の配列に通過するように可動であり、
前記第１および第２の素子の前記第１および第２の領域のイメージ（結像）が前記配列上に形成され、
前記配列の各検出器上で下降する放射線の強さを表す前記配列からの信号を受け取るためにデータ・プロセッサが前記配列に接続され、
前記データ・プロセッサは、前記第１および第２の素子の前記第２の領域により生じるイメージの暗い所のエッジの相対位置を検出することにより、前記第１および第２の素子の相対位置を検出するように作動することを特徴とする光学変位センサ。 - 前記光源が非点光源を有することを特徴とする請求項１記載のセンサ。
- 前記非点光源が、前記光源からの放射線を拡散させるための拡散装置を具備することを特徴とする請求項２記載のセンサ。
- 前記配列が線形配列を具備することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のセンサ。
- 前記放射線検出器が連続的であることを特徴とする請求項４記載のセンサ。
- 前記第１および第２の素子が回転素子であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のセンサ。
- 前記第１および第２の素子の前記第１および第２の領域が定まった等しい空間期間を有することを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のセンサ。
- 前記第１および第２の素子の各々の前記第１および第２の領域が定まったマーク・スペース比を有することをと特徴とする請求項１記載のセンサ。
- 前記第１の素子の前記第１および第２の領域のマーク・スペース比が、前記第２の素子の前記第１および第２の領域のマーク・スペース比に等しいことを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載のセンサ。
- 前記データ・プロセッサが、配列上のイメージにおいて、予め定められた値より大きな放射レベルとこの予め定められた値より小さな放射レベルとの間のトランジション（移行）の位置を検出することを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載のセンサ。
- 前記第１および第２の領域ならびに配列が、前記第１および第２の素子の位置と無関係に、少なくとも５つのトランジションが配列上のイメージに発生するように配置されることを特徴とする請求項１０記載のセンサ。
- 前記第１および第２の素子が回転素子であり、さらに前記光源および配列の対角線上の反対側に配置された、前記放射線検出器のさらなる配列および光学放射線の光源を具備することを特徴とする請求項１記載のセンサ。
- 請求項１〜１２の何れか１項に記載のセンサおよび第１と第２の素子間の弾性カップリングを有することを特徴とするトルク・センサ。
- 前記第１の素子がｎ個の第２の領域を有し、その内の（ｎ−１）個の領域が第１の幅を有し、その他の領域が第１の幅とは異なった第２の幅を有することを特徴とする請求項１記載のセンサ。
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|---|---|---|---|---|
| DE59805985D1 (de) * | 1997-06-28 | 2002-11-21 | Kostal Leopold Gmbh & Co Kg | Verfahren zum bestimmen der absoluten winkelstellung des lenkrades eines kraftfahrzeuges sowie optoelektronischer lenkwinkelsensor |
| DE19745823A1 (de) * | 1997-10-16 | 1999-04-29 | Sensor Instr Gmbh | Vorrichtung zum gleichzeitigen Messen von Drehmoment und Drehwinkel |
| AUPP098497A0 (en) * | 1997-12-17 | 1998-01-15 | Bishop Innovation Pty Limited | Transmission path torque transducer |
| GB9802064D0 (en) | 1998-01-31 | 1998-03-25 | Lucas Ind Plc | Combined torque and angular position sensor |
| ES2156561B1 (es) * | 1999-07-16 | 2002-03-16 | Del Toro Jose Fernand Cremades | Sistema optico detector de esfuerzos mecanicos. |
| JP2001066203A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-16 | Sony Corp | トルク検出装置 |
| AU7826800A (en) * | 1999-09-03 | 2001-04-10 | American Precision Industries Inc. | Incremental optical encoder |
| DE19942477C2 (de) * | 1999-09-06 | 2001-07-12 | Kostal Leopold Gmbh & Co Kg | Lenkwinkelsensor |
| WO2001036983A2 (en) | 1999-11-04 | 2001-05-25 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Crash sensing system |
| JP3623707B2 (ja) * | 2000-01-19 | 2005-02-23 | アルプス電気株式会社 | 回転検出装置 |
| DE10003738A1 (de) * | 2000-01-28 | 2001-08-09 | Bosch Gmbh Robert | Drehmoment-Erfassungseinrichtung an einer sich drehenden oder ruhenden Vorrichtung, insbesondere an der Welle einer Fahrzeuglenkung |
| US7180053B2 (en) * | 2000-10-17 | 2007-02-20 | Motion Controls, Llc | Apparatus, a system and method for determining a position within a cylinder |
| GB0107605D0 (en) * | 2001-03-27 | 2001-05-16 | Trw Lucas Varity Electric | An improved displacement and torque sensor |
| US6679126B2 (en) * | 2001-07-10 | 2004-01-20 | Control Devices | System and method for measuring torque using filtration of light to detect angular displacement of a pair of wheels |
| US6817528B2 (en) * | 2001-07-17 | 2004-11-16 | Honeywell International Inc. | Reflective apparatus and method for optically sensing relative torque employing Moirè fringes |
| DE10140616A1 (de) * | 2001-08-18 | 2003-03-06 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messdatenerfassung |
| KR20030060576A (ko) * | 2002-01-10 | 2003-07-16 | 주식회사 만도 | 광학식 토크 센서 |
| US7089672B2 (en) * | 2002-02-08 | 2006-08-15 | Robert Bosch Gmbh | Optical angle and torque sensor |
| DE10230347B4 (de) * | 2002-07-02 | 2006-04-20 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen eines Lenkwinkels und eines an einer Lenkwelle ausgeübten Drehmoments |
| US7559258B2 (en) * | 2003-06-12 | 2009-07-14 | Matzoll Robert J | Torque sensor using signal amplitude analysis |
| US7406884B2 (en) | 2004-01-20 | 2008-08-05 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Device for determining a steering angle and a torque that is exerted on a steering shaft |
| GB0402013D0 (en) * | 2004-01-30 | 2004-03-03 | Trw Ltd | Displacement sensor and torque sensor |
| US6927704B1 (en) * | 2004-03-05 | 2005-08-09 | Delphi Technologies, Inc. | Fault tolerant optoelectronic position sensor |
| JP2005283274A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Fujinon Corp | 位置検出装置 |
| JP4938265B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2012-05-23 | ライカ ジオシステムズ アクチェンゲゼルシャフト | 回転角を正確に測定する方法及び装置 |
| FI118979B (fi) * | 2005-04-29 | 2008-05-30 | Metso Automation Oy | Menetelmä sakeuden mittaamiseksi, katkojarakenne ja sakeusmittari |
| DE102006031275A1 (de) * | 2006-07-06 | 2008-01-10 | Daimlerchrysler Ag | Vorrichtung zur Bestimmung der Phasenlage zweier rotierender Wellen |
| US20090288499A1 (en) * | 2006-07-13 | 2009-11-26 | Shuichi Umezawa | Torque measurement device and program |
| US7578357B2 (en) * | 2006-09-12 | 2009-08-25 | Black & Decker Inc. | Driver with external torque value indicator integrated with spindle lock and related method |
| US7784364B2 (en) * | 2008-04-28 | 2010-08-31 | Matzoll Robert J | Optical sensor for measurement of static and dynamic torque |
| US8290240B2 (en) * | 2008-06-11 | 2012-10-16 | Sirona Dental Systems Gmbh | System, apparatus, method, and computer program product for determining spatial characteristics of an object using a camera and a search pattern |
| US8121389B2 (en) * | 2008-06-11 | 2012-02-21 | Sirona Dental Systems Gmbh | System, apparatus, method and computer program product for optical position recognition |
| US8077301B2 (en) * | 2009-11-30 | 2011-12-13 | Bi Technologies Corporation | Rotation and differential angle optical sensor with integral bearing races |
| US8077303B2 (en) * | 2009-11-30 | 2011-12-13 | Bi Technologies Corporation | Rotation and differential angle optical sensor with short optical sensing array |
| US8077302B2 (en) * | 2009-11-30 | 2011-12-13 | Bi Technologies Corporation | Rotation and differential angle optical sensor which does not require keyed installation |
| WO2011066066A2 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | Bi Technologies Corporation | Rotation and differential angle optical sensors |
| US8218134B2 (en) | 2009-11-30 | 2012-07-10 | Bi Technologies Corporation | Rotation and differential angle optical sensor with non-transition pattern sampling |
| KR101104722B1 (ko) * | 2010-03-03 | 2012-01-10 | 한국도로공사 | 구조물의 변위 및 회전변위 측정방법 |
| US8801569B2 (en) | 2011-12-14 | 2014-08-12 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus for flexure-based torque sensor in a bicycle |
| DE102012109173B4 (de) * | 2012-09-27 | 2017-08-03 | Optical Torque Systems Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des auf einen um eine Drehachse drehbar antreibbaren Rotationskörper ausgeübten Drehmoments |
| EP2972169B1 (en) * | 2013-03-12 | 2018-09-19 | Stryker Corporation | Sensor assembly and method for measuring forces and torques |
| CN103792035B (zh) * | 2014-01-22 | 2016-06-15 | 中国矿业大学 | 一种基于转角测量的提升机主轴扭矩监测装置 |
| CN103792034B (zh) * | 2014-01-22 | 2016-06-29 | 中国矿业大学 | 一种轴向差动式矿井提升机主轴扭矩检测装置 |
| DE102014223783B4 (de) * | 2014-11-21 | 2017-08-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Erfassung von Kräften und Drehmomenten an einer Antriebsvorrichtung |
| DE102014223782B4 (de) * | 2014-11-21 | 2016-07-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Erfassung von Kräften und Drehmomenten an einer Antriebsvorrichtung |
| KR20170040922A (ko) * | 2015-10-06 | 2017-04-14 | 삼성전자주식회사 | 회전 입력 측정 방법 및 장치 |
| US10030961B2 (en) | 2015-11-27 | 2018-07-24 | General Electric Company | Gap measuring device |
| TWI634312B (zh) * | 2017-07-17 | 2018-09-01 | 財團法人工業技術研究院 | 用於輪組的光學感測裝置及其使用之光學感測方法 |
| RU2679925C1 (ru) * | 2018-04-25 | 2019-02-14 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Дальневосточный федеральный университет" (ДВФУ) | Торсиометр |
| FR3109993B1 (fr) * | 2020-05-11 | 2022-05-13 | Jtekt Europe Sas | détection d’un mouvement de deux pièces d’un système de direction assistée. |
| FR3110236B1 (fr) * | 2020-05-15 | 2022-05-06 | Safran Aircraft Engines | Dispositif de mesure du couple d’un arbre de turbomachine et turbomachine comprenant un tel dispositif |
| EP4030160A1 (de) * | 2021-01-15 | 2022-07-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur überwachung einer eine erste welle und eine zweite welle kuppelnden wellenkupplung |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU517815A1 (ru) * | 1974-12-11 | 1976-06-15 | Государственный Всесоюзный Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Технологический Институт Ремонта И Эксплуатации Машинно-Тракторного Парка (Госнити) | Устройство дл измерени крут щего момента |
| US4184071A (en) * | 1978-01-12 | 1980-01-15 | Electro-Craft Corporation | Modular encoder |
| US4678908A (en) * | 1983-07-25 | 1987-07-07 | Bei Electronics, Inc. | Zero reference generating method and apparatus for optical encoders |
| US4641027A (en) * | 1984-12-18 | 1987-02-03 | Battelle Memorial Institute | Indicating positions |
| ES8605898A1 (es) * | 1985-03-14 | 1986-03-16 | Bendiberica Sa | Perfeccionamientos en dispositivos captadores de par para mecanismo de accionamiento, especialmente de timoneria o ruedas orientables de un vehiculo |
| SU1364918A1 (ru) * | 1985-08-02 | 1988-01-07 | Целиноградский инженерно-строительный институт | Устройство дл измерени механических параметров вращающегос вала |
| DE9012171U1 (de) * | 1990-08-24 | 1990-10-25 | Beier, Edgar, 7082 Oberkochen | Berührungsfreie Meßvorrichtung für Drehmoment und/oder Drehwinkel |
| GB9202868D0 (en) * | 1992-02-12 | 1992-03-25 | Lucas Ind Plc | Optical torque sensors and steering systems for vehicles incorporating them |
| US5438193A (en) * | 1992-04-22 | 1995-08-01 | Copan Company Limited | Absolute rotary encoder with slit patterns having bit-coded tracks ranging from higher to lower order |
| US5317149A (en) * | 1992-11-12 | 1994-05-31 | Hewlett-Packard Company | Optical encoder with encapsulated electrooptics |
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