JP2010076363A - 液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズルプレートに万一衝撃が加わってもこれを吸収緩和することができ、致命的な損傷を受けることを防止できる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口12を有するノズルプレート3、当該ノズル開口に連通する圧力発生室9、及び圧電素子6を備え、当該圧電素子の作動により前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド1で、前記ノズルプレート3は、前記圧力発生室9に対応する位置に中空部13を備えている。
【選択図】図1
【解決手段】ノズル開口12を有するノズルプレート3、当該ノズル開口に連通する圧力発生室9、及び圧電素子6を備え、当該圧電素子の作動により前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド1で、前記ノズルプレート3は、前記圧力発生室9に対応する位置に中空部13を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド、及びこの液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置に関し、特に、外力によるノズルプレートへの衝撃の緩和が可能なものに関する。
液体噴射装置は、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)を備え、この記録ヘッドのノズル開口から液体状のインクを記録紙等の記録媒体(噴射対象物)に対して噴射・着弾させてドットを形成することで画像等の記録を行うインクジェット式プリンタ等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置等、各種の製造装置にも液体噴射装置が応用されている。
液体を噴射するための記録ヘッドの一例は、流路形成基板、ノズルプレート、弾性体膜、絶縁体膜、及び、圧電素子等を積層して構成されている(例えば、特許文献1参照)。
この流路形成基板には、複数の圧力発生室が並設され、圧力発生室の外側の領域に連通部が形成され、圧力発生室よりも狭い幅のインク供給路を介して各圧力発生室と連通部とが連通されている。また、連通部は、保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室の共通のインク室となるリザーバの一部を構成している。
この流路形成基板には、複数の圧力発生室が並設され、圧力発生室の外側の領域に連通部が形成され、圧力発生室よりも狭い幅のインク供給路を介して各圧力発生室と連通部とが連通されている。また、連通部は、保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室の共通のインク室となるリザーバの一部を構成している。
一方、ノズルプレートには、各圧力発生室のインク供給路とは反対側の端部に連通するノズル開口が開設され、流路形成基板の開口面側に接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。このノズルプレートは、厚さが例えば、0.01〜1mmで、例えばガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などで構成されている。なお、ノズルプレートを液晶ポリマー(LCP)で構成したものもある(例えば、特許文献2参照)。
流路形成基板の開口面とは反対側には、弾性膜が形成され、この弾性膜上に絶縁体膜を介して下電極膜と、圧電体層と、上電極膜とを積層して構成した圧電素子が形成されている。
流路形成基板の開口面とは反対側には、弾性膜が形成され、この弾性膜上に絶縁体膜を介して下電極膜と、圧電体層と、上電極膜とを積層して構成した圧電素子が形成されている。
この記録ヘッドでは、インク供給手段からインクを取り込み、リザーバからノズル開口に至るまで内部をインクで満たした後、コントローラ側からの駆動信号の供給により、圧力発生室に対応するそれぞれの下電極膜と上電極膜との間に電圧を印加し、弾性膜、絶縁体膜、下電極膜及び圧電体層を撓み変形させることにより圧力発生室内の圧力を高め、この圧力変動を制御することで、ノズル開口からインク滴が噴射(吐出)される。
上記のような従来の記録ヘッドのノズルプレートは、流路形成基板の圧力発生室等の開口面を塞ぐように配置されて固着されるため、記録ヘッドの外側表面に位置することになり、ヘッドの組立工程等で外部から万一衝撃力が加えられると、ノズルプレートが変形してノズル開口からの噴射特性が確保できなくなったり、流路形成基板との固着部分が剥離して使用不能となる等致命的な損傷を受けてしまうという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズルプレートに万一衝撃が加わってもこれを吸収緩和することができ、致命的な損傷を受けることを抑制できる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズル開口を有するノズルプレートと、該ノズルプレートに一部が区画され前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内の圧力を変動する圧力変動素子とを備え、該圧力変動素子の作動により圧力発生室内の圧力を変動して前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートは、前記圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を有することを特徴とする。
前記ノズルプレートは、前記圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、ノズルプレートの圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を備えるので、ノズルプレートに外部から万一衝撃が加わっても中空部によって衝撃を吸収緩和することが可能となる。これにより、ノズルプレートの変形によるノズル開口からの噴射特性への影響を回避することができ、特に噴射特性に影響を及ぼし易い圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を備えるので、噴射特性への影響を効率良く抑制できる。また、ノズルプレートの変形を抑えることができるので、ノズルプレートの剥離などを防止することができ、使用不能となることを抑制できる。
また、前記ノズルプレートは、複数枚のプレートを積層して構成され、
前記中空部は、重ねたプレートの間の一部分に非接合空部を形成して構成することができる。
この様に構成すると、中空部を簡単に形成することができ、製造が容易である。
前記中空部は、重ねたプレートの間の一部分に非接合空部を形成して構成することができる。
この様に構成すると、中空部を簡単に形成することができ、製造が容易である。
また、前記ノズルプレートは、前記中空部よりも前記圧力発生室側の剛性が圧力発生室と反対側の剛性よりも大きく設定することが望ましい。
上記構成によれば、ノズルプレートの外側の剛性を小さくすることで、中空部と協働して外部からの衝撃の吸収緩和機能を一層高めることができると同時に、圧力発生室側の剛性を大きくすることで、ノズル開口から噴射される液体への影響を抑えることが可能となり、噴射特性を確保することができる。
また、本発明の液体噴射装置(プリンタ)は、ノズル開口を有するノズルプレートと、該ノズルプレートに一部が区画され前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内の圧力を変動する圧力変動素子とを備え、該圧力変動素子の作動により圧力発生室内の圧力を変動して前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、
前記ノズルプレートは、前記圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を有することを特徴とする。
前記ノズルプレートは、前記圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、ノズルプレートの圧力発生室に対応する位置に中空部を備えることで、ノズルプレートに外部から万一衝撃が加わっても中空部によって衝撃を吸収緩和することが可能となる。これにより、ノズルプレートの変形によるノズル開口からの噴射特性への影響を回避した液体噴射装置とすることができる。また、ノズルプレートの変形を抑えることができ、ノズルプレートの剥離などを抑制した液体噴射装置とすることができる。
前記ノズルプレートは、複数枚のプレートを積層して構成され、
前記中空部は、前記ノズルプレートの少なくとも1枚のプレートに穴部を形成するなどして、重ねたプレートの間の一部分に接合されない空部を形成して構成してもよい。
そして、前記ノズルプレートは、前記中空部の前記圧力発生室側の剛性が圧力発生室と反対側の剛性よりも大きいことが望ましい。
前記中空部は、前記ノズルプレートの少なくとも1枚のプレートに穴部を形成するなどして、重ねたプレートの間の一部分に接合されない空部を形成して構成してもよい。
そして、前記ノズルプレートは、前記中空部の前記圧力発生室側の剛性が圧力発生室と反対側の剛性よりも大きいことが望ましい。
上記構成によれば、ノズルプレートの外側の剛性を小さくすることで、中空部と協働して外部からの衝撃の吸収緩和機能を一層高めることができると同時に、圧力発生室側の剛性を大きくすることで、圧力発生室内の圧力変動によってノズルプレートが撓むことを抑制することができ、噴射される液体への影響を抑えることが可能となり、噴射特性に優れた液体噴射装置にすることができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式プリンタ(本発明の液体噴射装置の一種)に搭載されるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)を例に挙げて行う。
図1は、本実施形態の記録ヘッド1の構成を示す分解斜視図である。また、図2(a)は記録ヘッド1の平面図、図2(b)は(a)におけるA−A′線断面図である。また、図3(a)はノズルプレートの断面図、図3(b)はノズルプレートの衝撃吸収状態の説明図である。
本実施形態における記録ヘッド1は、流路形成基板2、ノズルプレート3、弾性体膜4、絶縁体膜5、圧力変動素子としての圧電素子6、及び、保護基板7等を積層して構成されている。
流路形成基板2は、本実施形態ではシリコン単結晶基板からなり、この流路形成基板2には、複数の圧力発生室9がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板2の圧力発生室9の長手方向外側の領域には連通部10が形成され、連通部10と各圧力発生室9とが、各圧力発生室9毎に設けられたインク供給路11を介して連通されている。なお、連通部10は、後述する保護基板7のリザーバ部20と連通して各圧力発生室9の共通のインク室となるリザーバ21の一部を構成する。インク供給路11は、圧力発生室9よりも狭い幅で形成されており、連通部10から圧力発生室9に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
本実施形態における記録ヘッド1は、流路形成基板2、ノズルプレート3、弾性体膜4、絶縁体膜5、圧力変動素子としての圧電素子6、及び、保護基板7等を積層して構成されている。
流路形成基板2は、本実施形態ではシリコン単結晶基板からなり、この流路形成基板2には、複数の圧力発生室9がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板2の圧力発生室9の長手方向外側の領域には連通部10が形成され、連通部10と各圧力発生室9とが、各圧力発生室9毎に設けられたインク供給路11を介して連通されている。なお、連通部10は、後述する保護基板7のリザーバ部20と連通して各圧力発生室9の共通のインク室となるリザーバ21の一部を構成する。インク供給路11は、圧力発生室9よりも狭い幅で形成されており、連通部10から圧力発生室9に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
流路形成基板2の開口面側には、ノズル開口12が開設されたノズルプレート3が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着され、各ノズル開口12は、インク供給路11とは反対側の端部において各圧力発生室9と連通している。そして、このノズルプレート3には、外部からの万一の衝撃を吸収緩和するための薄い中空部13が板厚内部に形成され、この中空部13が圧力発生室9に対応する位置に複数の圧力発生室9を横切る状態で配置され、リザーバ部20に対応する部分には、ほとんど位置しないようにしてある。ここでは、中空部13は一つの連続した空間として形成され、ノズル開口12の側方からインク供給路11を越えてわずかに連通部10に至る範囲に亘って形成してある。
このノズルプレート3の各圧力発生室9の周辺において、ノズルプレート3に対して圧力発生室9の反対側から衝撃が加えられた場合に、中空部13が衝撃吸収層として機能し、外部から加えられた衝撃を和らげることができる。したがって、記録ヘッド1の致命的な損傷を防止する。なお、ノズルプレート3は、例えば薄いプレート2層の積層構造とされて、その積層プレート間の一部分に非接合部分を形成して構成された中空部13を備え、厚さが例えば、0.01〜1mmで、線膨張係数が300℃以下で、例えば2.5〜4.5[×10-6/℃]であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などから構成してもよい。また、ガラスセラミックス等で構成する場合には、燒結により一層構造とすることもできる。
一方、流路形成基板2の開口面とは反対側には、厚さが例えば約1.0μmの二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜4が形成され、この弾性膜4上には、厚さが例えば、約0.4μmの酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜5が形成されている。また、この絶縁体膜5上には、厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜14と、厚さが例えば、約1.0μmの圧電体層15(圧電体膜32)と、厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜16とが形成され、全体として約1.25μmの膜厚の圧電素子6(薄膜圧電素子)を構成している。したがって、圧電素子6は、下電極膜14、圧電体層15、及び上電極膜16を含み、上下何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層15を圧力発生室9毎にパターニングして構成する。そして、パターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層15から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜14は圧電素子6の共通電極とし、上電極膜16を圧電素子6の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合によってこれを逆にする構成とすることもできる。何れの場合においても、圧力発生室9毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、このような各圧電素子6の上電極膜16には、例えば、金(Au)等からなるリード電極17がそれぞれ接続され、このリード電極17を介して各圧電素子6に選択的に電圧が印加されるようになっている。
また、本実施形態における圧電素子6は、耐湿性を有する絶縁材料からなる保護膜によって全体を覆われている。このように圧電素子6を保護膜で覆うことにより、大気中の水分等に起因する圧電素子6の破壊を防止することができる。このような保護膜の材料としては、耐湿性を有する材料、例えば、酸化シリコン(SiOx)、酸化タンタル(TaOx)、酸化アルミニウム(AlOx)等の無機絶縁材料、または、ポリイミド(PI)等の有機絶縁材料を用いることができる。
流路形成基板2上の圧電素子6側の面には、圧電素子6に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持部19を有する保護基板7が接合されている。圧電素子6は、この圧電素子保持部19内に収容されるため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。さらに、保護基板7には、流路形成基板2の連通部10に対応する領域にリザーバ部20が設けられている。このリザーバ部20は、保護基板7を厚さ方向に貫通して圧力発生室9の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板2の連通部10と連通されて各圧力発生室9の共通のインク室となるリザーバ21を構成している。
また、保護基板7の圧電素子保持部19とリザーバ部20との間の領域には、保護基板7を厚さ方向に貫通する貫通孔22が設けられ、この貫通孔22内に下電極膜14の一部及びリード電極17の先端部が露出され、これら下電極膜14及びリード電極17には、図示しないが、駆動ICからの配線の一端部が電気的に接続される。保護基板7上には、封止膜23及び固定板24とからなるコンプライアンス基板25が接合されている。封止膜23は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイドフィルム)からなり、この封止膜23によってリザーバ部20の一方面が封止されている。また、固定板24は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼等)で形成される。この固定板24のリザーバ21に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部26となっているため、リザーバ21の一方面は可撓性を有する封止膜23のみで封止されている。
上記構成の記録ヘッド1では、インクカートリッジ等のインク供給手段からインクを取り込み、リザーバ21からノズル開口12に至るまで内部をインクで満たした後、プリンタ本体の図示しないプリンタコントローラ側からの駆動信号の供給により、圧力発生室9に対応するそれぞれの下電極膜14と上電極膜16との間に電圧を印加し、弾性膜4、絶縁体膜5、下電極膜14及び圧電体層15を撓み変形させることにより圧力発生室9内の圧力が高まり、この圧力変動を制御することで、ノズルプレート3に開設したノズル開口12からインク滴が噴射(吐出)される。
このような記録ヘット1において、ヘッドの外側表面に位置するノズルプレート3に、組立工程や使用時等で、万一衝撃が加わった場合に、従来のノズルプレート3では、変形が生じたり、変形によって圧力発生室9の長手方向外側の連通部10との固着部分での剥離が発生することがあったが、本発明のノズルプレート3では、図3(b)に示すように、中空部13によって衝撃を吸収緩和して変形を抑えることができ、ノズルプレート3の損傷を防止することができる。さらに、ノズルプレート3の変形が抑えられることで、流路形成基板2との固着部分の剥離を防止することができる。また、ノズルプレート3は中空部13よりも圧力発生室9側の部分が各圧力発生室9の開口部側の周囲(例えば、隔壁などの区画構成部分)に固着されることで、支持されているので、中空部13による剛性低下の影響は少なく、これまでと同様な噴射特性を確保することができる。一方、ノズルプレート3の中空部13よりも圧力発生室9側と反対側の部分は支持されておらず、中空部13よりも圧力発生室9側の部分よりも剛性が低くなっている。なお、ノズルプレート3に備える中空部13は1つの空間として形成する場合に限らず、各圧力発生室9に対応して複数の空間として、あるいは複数の圧力発生室9に纏めた領域に対応して複数の空間に区分けして形成することもできる。この様に、中空部13を複数の小さな空間に区分けして構成すると、中空にしたことに起因するノズルプレート3の剛性低下を極力抑えることができ、噴射特性を確保することが容易となる。
また、記録ヘッド1のノズルプレート3としては、図示例のように、2層の積層構造とし、圧力発生室9側のプレートに中空部13となる凹部を形成しておき、平坦なプレートを接着剤等で一体化して製造することができるが、中空部13の部分を切り欠いたプレートとして3層の積層構造として製造することもできる。
また、複数層の積層構造としてノズルプレート3を構成する場合には、中空部13よりも圧力発生室9側となる内側のプレートの剛性が反圧力発生室側(圧力発生室と反対側)となる外側のプレートの剛性よりも大きくなるような材質とすることで、外側の剛性の小さいプレートで、中空部13と協働して外部からの衝撃の吸収緩和機能を一層高めることができると同時に、圧力発生室9側の剛性の大きいプレートで、圧力発生室9内の圧力変動の吸収を抑えることができ、ノズル開口12からの液体の噴射特性を一層確実に確保することができる。
また、複数層の積層構造としてノズルプレート3を構成する場合には、中空部13よりも圧力発生室9側となる内側のプレートの剛性が反圧力発生室側(圧力発生室と反対側)となる外側のプレートの剛性よりも大きくなるような材質とすることで、外側の剛性の小さいプレートで、中空部13と協働して外部からの衝撃の吸収緩和機能を一層高めることができると同時に、圧力発生室9側の剛性の大きいプレートで、圧力発生室9内の圧力変動の吸収を抑えることができ、ノズル開口12からの液体の噴射特性を一層確実に確保することができる。
そして、上記中空部13を備えるノズルプレート3のノズル開口12からインクを噴射する記録ヘッド(液体噴射ヘッド)1、及び、この記録ヘッド1を備えるプリンタ(液体噴射装置)では、万一の衝撃が加わってもこれを吸収緩和することができるから、組立工程での取扱いが容易となり、生産効率や信頼性を向上させることが可能となる。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、様々な流路構造や材質を採用してもよい。また、上述した実施形態では、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示したが、勿論、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成装置に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
また、圧力変動素子は、圧電素子に限定されるものではなく、磁歪素子などでもよいし、気泡を発生させるインクを使用する場合の発熱素子でもよい。
また、圧力変動素子は、圧電素子に限定されるものではなく、磁歪素子などでもよいし、気泡を発生させるインクを使用する場合の発熱素子でもよい。
1…記録ヘッド,2…流路形成基板,3…ノズルプレート,6…圧電素子,9…圧力発生室、12…ノズル開口,13…中空部,20…リザーバ部,21…リザーバ,26…開口部
Claims (6)
- ノズル開口を有するノズルプレートと、該ノズルプレートに一部が区画され前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内の圧力を変動させて前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力変動素子とを備える液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートは、前記圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記ノズルプレートは、複数枚のプレートを積層して構成され、
前記中空部は、前記ノズルプレートの少なくとも1枚のプレートに穴部を形成して構成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記ノズルプレートは、前記中空部の前記圧力発生室側の剛性が圧力発生室と反対側の剛性よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
- ノズル開口を有するノズルプレートと、該ノズルプレートに一部が区画され前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内の圧力を変動させて前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力変動素子とを備える液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、
前記ノズルプレートは、前記圧力発生室に対応する部位の内部に中空部を有することを特徴とする液体噴射装置。 - 前記ノズルプレートは、複数枚のプレートを積層して構成され、
前記中空部は、前記ノズルプレートの少なくとも1枚のプレートに穴部を形成して構成されていることを特徴とする請求項4に記載の液体噴射装置。 - 前記ノズルプレートは、前記中空部の前記圧力発生室側の剛性が圧力発生室と反対側の剛性よりも大きいことを特徴とする請求項4又は5に記載の液体噴射装置。
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