JP2010073918A - 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】描画データに定義されている図形パターンをショット単位の図形に分割する(S20)。分割された図形は、メモリに一時的に格納される。描画データに圧縮された状態で定義された位置情報を展開しながら、S20で分割された図形をサブフィールド領域に振り分ける(S30)。多重描画でパターンを描画する場合、1パス目に分割された図形を、2パス目以降のサブフィールド領域への振り分けに用いる。
【選択図】図3
Description
図9に示すように、描画データには、図形パターンの形状及び位置が定義されている。従来の方法では、先ず、描画データに定義された図形パターンが、複数のサブフィールド領域に分割される。次いで、各サブフィールド領域内で、図形がショット単位に分割される。
また、図6に示すように、ショット分割された各図形の重心を基準部として、その基準部の位置に基づいていずれか1つのサブフィールド領域に図形を振り分けてもよい。図6(A)に示すように、サブフィールド領域の重複幅を最大ショットサイズaの4/3倍の長さとしており、その重複領域を半分に区切る線をショット判定線としている。そして、図6(B)に示すように、各図形の基準部たる重心がショット判定線よりもどちらのサブフィールド領域側に位置するか否かにより、いずれかのサブフィールド領域SFa又はSFbに当該図形を振り分けている。
さらに、同一ストライプ領域内でサブフィールド領域をずらして多重描画を行う場合、1パス目のショットデータ生成時にショット分割された図形が、すぐに行われる2パス目のサブフィールド領域への振り分けで用いられるため、メモリ216に格納されている図形を短時間で消去することができる。従って、ショット分割された図形を記憶させるメモリ216の容量を小さくすることができるという効果が得られる。
132 副偏向器
210 ショットデータ生成部
212 ショット分割手段
214 振分手段
216 メモリ
218 偏向制御部
Claims (5)
- 荷電粒子ビームを主偏向器及び副偏向器で偏向して試料にパターンを描画する荷電粒子ビーム描画装置において、
図形パターンの形状及び位置が定義された描画データからショットデータを生成するショットデータ生成部と、
前記ショットデータから前記主偏向器及び副偏向器を制御するための偏向データを生成する偏向制御部とを備え、
前記ショットデータ生成部は、前記描画データに定義された図形パターンをショット単位の図形に分割するショット分割手段と、このショット分割手段により分割された各図形を前記主偏向器で偏向可能なサブフィールド領域に振り分ける振分手段とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 隣り合うサブフィールド領域が最大ショットサイズ以上の幅で重複するように複数のサブフィールド領域を構成し、
前記振分手段は、前記ショット分割手段により分割された図形の一部が前記サブフィールド領域の重複部分に位置する場合、その図形の基準部分の位置に基づいていずれか1つのサブフィールド領域に振り分けることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子ビーム描画装置。 - 主偏向器及び副偏向器により偏向される荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する荷電粒子ビーム描画方法において、
図形パターンの形状及び位置が定義された描画データからショットデータを生成するステップと、
前記ショットデータから前記主偏向器及び副偏向器を制御するための偏向データを生成するステップとを含み、
前記ショットデータを生成するステップは、前記描画データに定義された図形パターンをショット単位の複数の図形に分割するショット分割ステップと、分割された各図形を前記主偏向器で偏向可能なサブフィールド領域に振り分ける振分ステップとを有することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - 隣り合うサブフィールド領域が最大ショットサイズ以上の幅で重複するように複数のサブフィールド領域を構成し、
前記振分ステップでは、前記分割ステップで分割された図形の一部がサブフィールドの重複部分に位置する場合、その図形の基準部分の位置に基づいていずれか1つのサブフィールド領域に振り分けることを特徴とする請求項3記載の荷電粒子ビーム描画方法。 - 前記ショット分割ステップの終了後、前記描画データに定義された位置情報の展開処理を行いながら、前記振分ステップを実行することを特徴とする請求項3又は4記載の荷電粒子ビーム描画方法。
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