JP2010073711A - セラミック部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、多数個取り用のセラミック焼結体を作製し、そのセラミック焼結体を分割することにより、前記複数のセラミック部品を個片化するセラミック部品の製造方法に関する。レーザ加工工程では、未焼結セラミック成形体50に未焼結導体49を接触させて配置した状態で、レーザ照射により未焼結セラミック成形体50を加工することにより、分割溝51,52を形成する。レーザ加工工程の後に行われる焼成工程では、未焼結セラミック成形体50及び未焼結導体49を同時に加熱して焼結させてセラミック焼結体を得る。分割工程では、セラミック焼結体を分割溝51,52に沿って分割することにより、複数のセラミック部品を個片化する。
【選択図】図13
Description
11…素子としての水晶振動子
20…キャビティ
23…導体部としての端子
24…導体部としてのビア導体
25…導体部としてのシール用メタライズ層
26,27…導体部としての内層導体パターン
28…導体部としてのパッド部
30…導体部としてのビア導体
31…導体部としてのキャスタレーション
49…未焼結導体としてのタングステンペースト
50…未焼結セラミック成形体としてのセラミックグリーンシート積層体
51…表面側分割溝
52…裏面側分割溝
101…セラミック焼結体としてのセラミックパッケージ
Claims (6)
- 複数のセラミック部品を連結してなる多数個取り用のセラミック焼結体を作製し、そのセラミック焼結体を分割することにより、前記複数のセラミック部品を個片化するセラミック部品の製造方法であって、
焼結後に前記セラミック焼結体となるべき未焼結セラミック成形体に、焼結後に導体部となるべき未焼結導体を接触させて配置した状態で、レーザ照射により前記未焼結セラミック成形体を加工することにより、分割溝を形成するレーザ加工工程と、
前記レーザ加工工程の後に前記未焼結セラミック成形体及び前記未焼結導体を同時に焼結させて前記セラミック焼結体を作製する焼成工程と、
前記焼成工程の後に前記セラミック焼結体を前記分割溝に沿って分割することにより、前記複数のセラミック部品を個片化する分割工程と
を含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。 - 前記レーザ加工工程において、前記レーザ照射による加工屑を除去しながらレーザ加工を行うことを特徴とする請求項1に記載のセラミック部品の製造方法。
- 前記レーザ加工工程において、レーザ照射により前記未焼結セラミック成形体を加工することにより、前記分割溝に加えて、素子を搭載可能なキャビティを形成することを特徴とする請求項1または2に記載のセラミック部品の製造方法。
- 前記未焼結セラミック成形体の表面に前記キャビティ及び表面側分割溝を形成し、前記未焼結セラミック成形体の裏面に前記表面側分割溝よりも深さが浅い裏面側分割溝を形成することを特徴とする請求項3に記載のセラミック部品の製造方法。
- 前記レーザ加工工程において、前記未焼結セラミック成形体の表面及び裏面を加工することにより、互いの内端部が対向して配置されるように表面側分割溝及び裏面側分割溝を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のセラミック部品の製造方法。
- 前記セラミック部品の厚さは0.3mm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のセラミック部品の製造方法。
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