JP2010061825A - 電池用集電箔及びその製造方法、並びに、電池 - Google Patents

Abstract

【課題】金属箔の表面に導電被膜を有し、且つ、シワ（皺）のない電池用集電箔、及びその製造方法、並びに、この電池用集電箔を用いた電池を提供する。
【解決手段】湿式エッチング（電解エッチング）により、金属箔（アルミニウム箔）の表面をエッチングする湿式エッチング工程（ステップＳ１）と、湿式エッチングを行った金属箔（アルミニウム箔３３）の表面に、蒸着法（ＡＩＰ法）により、導電被膜（炭素被膜）を形成する蒸着工程（ステップＳ２）と、を備える電池用集電箔の製造方法。
【選択図】 図８

Description

本発明は、電池用集電箔及びその製造方法、並びに、この電池用集電箔を用いた電池に関する。

近年、携帯電話、ノート型パソコン、ビデオカムコーダなどのポータブル電子機器やハイブリッド電気自動車等の車両の普及により、これらの駆動用電源に用いられる電池の需要は増大している。
このような電池の中には、アルミニウム箔を基材とした正極集電箔を用いた電池がある。例えば、アルミニウム箔を基材とした正極集電箔に、Ｌｉ化合物を含む正極活物質層を塗工した正極板を用いたリチウムイオン電池が挙げられる。

ところで、アルミニウム箔の表面には、アルミニウム酸化物の被膜が形成されている。このため、アルミニウム箔の表面にアルミニウム酸化物被膜が形成された状態の正極集電箔を用い、この正極集電箔の表面に正極活物質層を形成した場合には、アルミニウム酸化物被膜の影響で、アルミニウム箔と正極活物質層との間の導電性が低下する課題があった。この課題を解決するべく、集電体（アルミニウム箔）の表面をドライエッチングした後に、蒸着法により、炭素等からなる導電被膜を形成する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１１−２５０９００号公報

しかしながら、アルミニウム箔の表面に、蒸着法により、炭素等からなる導電被膜を形成する場合、蒸着した導電被膜に圧縮応力が発生し、この圧縮応力がアルミニウム箔に作用する。これにより、アルミニウム箔（正極集電箔）にシワが発生してしまうことがあった。さらに、このシワの影響で、正極集電箔の表面に、正極活物質層を適切に（均一に）塗工することができないことがあった。

本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、金属箔の表面に導電被膜を有し、且つ、シワ（皺）のない電池用集電箔、及びその製造方法、並びに、この電池用集電箔を用いた電池を提供することを目的とする。

その解決手段は、湿式エッチングにより、金属箔の表面をエッチングする湿式エッチング工程と、上記湿式エッチングを行った上記金属箔の表面上に、蒸着法により、導電性を有する導電被膜を形成する蒸着工程と、を備える電池用集電箔の製造方法である。

本発明の製造方法では、湿式エッチング（ウェットエッチング）により、金属箔の表面（両面または片面）をエッチングする。これにより、金属箔の表面に形成されている金属酸化物（金属箔がアルミニウム箔である場合は酸化アルミニウムの被膜）の被膜を除去することができる。さらに、湿式エッチングを行うことで、金属箔の表面全体にわたって、金属箔の厚み方向に窪んだ凹部を形成することができる。換言すれば、金属箔の表面全体を凹凸状にすることができる。

さらに、本発明の製造方法では、湿式エッチングを行った金属箔の表面（両面または片面）に、蒸着法により、導電性を有する導電被膜を形成する。金属酸化物の被膜が除去された金属箔の表面に、導電性を有する導電被膜（例えば、炭素被膜）を形成することで、金属箔と活物質層（後に、電池用集電箔の表面に塗工する）との間の導電性を良好にすることができる。これにより、電池の内部抵抗を小さくすることができる。

しかも、先の湿式エッチング工程において、金属箔の表面全体にわたって金属箔の厚み方向に窪んだ凹部を形成している（金属箔の表面全体を凹凸状にしている）。蒸着法により、凹部を有する金属箔の表面に導電被膜を形成する場合、導電被膜材料由来の粒子（イオンや原子など）は凹部内に進入し難いので、凹部には導電被膜が形成され難い。このため、凹部を除いた金属箔の表面に、導電被膜を形成することができる。すなわち、凹部の位置で分断された（隙間をあけた）形態の導電被膜を形成することができる。これにより、導電被膜の圧縮応力が分散（緩和）されるので、シワ（皺）のない電池用集電箔を製造することができる。従って、その後、電池用集電箔の表面全体にわたって、適切に（均一に）、活物質層を形成することができる。

なお、湿式エッチングとしては、電解エッチング、化学エッチングを挙げることができる。また、湿式エッチングを行うことで形成される凹部の深さ寸法（金属箔の厚み方向にかかる寸法）は、１μｍ以上となる。
また、蒸着法としては、アークイオンプレーティング法、スパッタリング法、プラズマＣＶＤ法などを挙げることができる。

さらに、上記の電池用集電箔の製造方法であって、前記金属箔の厚みは、５０μｍ以下である電池用集電箔の製造方法とすると良い。

厚みが５０μｍ以下の金属箔を用いることで、これを用いた電極板、電極体の小型化を図ることができ、ひいては、電池の小型化を図ることができる。
ところで、金属箔の厚みを５０μｍ以下に薄くすると、蒸着した導電被膜の圧縮応力により、金属箔にシワが発生し易くなる。しかしながら、本発明の製造方法では、前述のように、湿式エッチングにより、金属箔の表面全体にわたって凹部を形成した後に、蒸着法により、金属箔の表面に導電被膜を形成するので、導電被膜の圧縮応力を分散（緩和）することができる。従って、厚みが５０μｍ以下の金属箔を用いても、シワのない電池用集電箔を製造することができる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔の製造方法であって、前記蒸着工程は、アークイオンプレーティング法により、５０ｎｍ以上の厚みの前記導電被膜を形成する電池用集電箔の製造方法とすると良い。

本発明の製造方法では、アークイオンプレーティング法（ＡＩＰ法）により、５０ｎｍ以上の厚みの導電被膜を、湿式エッチングを行った金属箔の表面に形成する。ＡＩＰ法により形成した導電被膜は、他の手法（例えば、スパッタリング法など）により形成したものに比べて、高い導電性を示す。また、導電被膜の厚みを５０ｎｍ以上とすることで、電性をより一層高めることができる。従って、本発明の製造方法により製造した電池用集電箔を用いることで、電池の内部抵抗（特に、反応抵抗）を小さくすることができる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔の製造方法であって、前記導電被膜は、炭素からなる導電被膜である電池用集電箔の製造方法とするのが好ましい。

この製造方法では、湿式エッチングを行った金属箔の表面に、炭素からなる導電被膜（以下、炭素被膜ともいう）を形成する。これにより、金属箔と活物質層との間の導電性を良好にできると共に、金属箔表面の腐食を防止することができる。
ところで、蒸着した炭素被膜中には高い圧縮応力が発生するので、特に、金属箔にシワが発生し易くなる。しかしながら、本発明の製造方法では、前述のように、湿式エッチングにより、金属箔の表面全体にわたって凹部を形成した後に、蒸着法により、金属箔の表面に導電被膜を形成するので、導電被膜の圧縮応力を分散（緩和）することができる。従って、導電被膜として炭素被膜を形成しても、電池用集電箔のシワの発生を防止することができる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔の製造方法であって、前記金属箔は、アルミニウムからなる金属箔である電池用集電箔の製造方法とするのが好ましい。

この製造方法では、アルミニウムからなる金属箔（以下、アルミニウム箔ともいう）を用いる。アルミニウム箔は、その表面に、酸化アルミニウムの被膜が形成されているが、前述のように、湿式エッチング工程を行うことで、酸化アルミニウムの被膜を除去することができる。さらには、アルミニウム箔の表面全体にわたって凹部を形成することができる（アルミニウム箔の表面を凹凸にすることができる）。

さらに、エッチングを行ったアルミニウム箔の表面に、蒸着法により導電被膜を形成することで、アルミニウム箔と活物質層との間の導電性を良好にすることができる。しかも、湿式エッチングにより、アルミニウム箔の表面全体にわたって凹部を形成した後に、蒸着法により、金属箔の表面に導電被膜を形成するので、導電被膜の圧縮応力を分散（緩和）することができる。これにより、シワのない電池用集電箔を製造することができる。

なお、この製造方法により製造した電池用集電箔は、リチウムイオン二次電池の正極集電箔として好適である。

他の解決手段は、金属箔と、上記金属箔の表面上に形成された導電性を有する導電被膜と、を備える電池用集電箔であって、上記導電被膜は、上記金属箔をなす金属と直接接触してなり、上記金属箔は、その表面全体にわたって、上記金属箔の厚み方向に窪んだ凹部を有する電池用集電箔である。

本発明の電池用集電箔は、金属箔と、この金属箔の表面（両面または片面）に形成された導電性を有する導電被膜とを備える電池用集電箔である。このうち、金属箔は、その表面（両面または片面）全体にわたって、金属箔の厚み方向に窪んだ凹部を有している。換言すれば、金属箔の表面全体が凹凸状になっている。このような電池用集電箔は、例えば、前述のいずれかの製造方法により製造することができる。従って、本発明の電池用集電箔は、シワのない電池用集電箔になる。このため、本発明の電池用集電箔は、その表面（両面または片面）全体にわたって、活物質層を適切に（均一に）形成することができる。

しかも、導電被膜は、金属箔をなす金属（金属箔がアルミニウム箔である場合は金属アルミニウム）と直接接触している。すなわち、金属箔の表面に形成されていた金属酸化物（金属箔がアルミニウム箔である場合は酸化アルミニウムの被膜）の被膜が除去された状態で、金属箔の表面（両面または片面）に導電被膜（例えば、炭素被膜）が形成されている。これにより、金属箔と活物質層との間の導電性を良好にすることができ、ひいては、電池の内部抵抗を小さくすることができる。

さらに、上記の電池用集電箔であって、前記導電被膜は、前記凹部を除く前記金属箔の表面上に形成されてなる電池用集電箔とすると良い。

本発明の電池用集電箔は、導電被膜が、凹部を除く金属箔の表面上に形成されている。すなわち、導電被膜を、凹部の位置で分断された（隙間をあけた）形態としている。これにより、導電被膜の圧縮応力が分散（緩和）されるので、シワ（皺）のない電池用集電箔となる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔であって、前記金属箔の厚み方向にかかる前記凹部の寸法は、１μｍ以上である電池用集電箔とすると良い。

本発明の電池用集電箔では、金属箔の厚み方向にかかる凹部の寸法（以下、深さ寸法ともいう）が、１μｍ以上である。凹部の深さ寸法を１μｍ以上としておくことで、蒸着法により金属箔の表面に導電被膜を形成したとき、凹部内に導電被膜が形成されるのを防止できる。これにより、導電被膜の圧縮応力が分散（緩和）されるので、電池用集電箔にシワが発生することがない。従って、本発明の電池用集電箔は、シワのない電池用集電箔になる。
なお、深さ寸法が１μｍ以上の凹部は、湿式エッチング（電解エッチングなど）により形成することができる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔であって、前記金属箔の厚みは、５０μｍ以下である電池用集電箔とすると良い。

厚みが５０μｍ以下の金属箔を用いることで、これを用いた電極板、電極体の小型化を図ることができ、ひいては、電池の小型化を図ることができる。
ところで、金属箔の厚みを５０μｍ以下に薄くすると、蒸着法により金属箔の表面に導電被膜を形成する場合、導電被膜の圧縮応力により金属箔にシワが発生し易くなる。しかしながら、前述のように、本発明の電池用集電箔では、導電被膜の圧縮応力が分散（緩和）されているので、シワのない電池用集電箔となる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔であって、前記導電被膜の厚みは、５０ｎｍ以上である電池用集電箔とすると良い。

導電被膜の厚みを５０ｎｍ以上とすることで、導電被膜の導電性を高めることができる。従って、本発明の電池用集電箔を用いることで、電池の内部抵抗（特に、反応抵抗）を小さくすることができる。なお、導電被膜は、アークイオンプレーティング（ＡＩＰ法）により、金属箔の表面に形成したものが好ましい。ＡＩＰ法により形成した導電被膜は、他の手法（例えば、スパッタリング法など）により形成したものに比べて、高い導電性を示すからである。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔であって、前記導電被膜は、炭素からなる導電被膜である電池用集電箔とするのが好ましい。

この電池用集電箔は、炭素からなる導電被膜（以下、炭素被膜ともいう）を有しているので、金属箔と活物質層との間の導電性を良好にできると共に、金属箔表面の腐食を防止することができる。
ところで、蒸着した炭素被膜中には高い圧縮応力が発生するので、特に、金属箔にシワが発生し易くなる。しかしながら、前述のように、本発明の電池用集電箔では、導電被膜の圧縮応力が分散（緩和）されているので、シワのない電池用集電箔となる。

さらに、上記いずれかの電池用集電箔であって、前記金属箔は、アルミニウムからなる金属箔である電池用集電箔とするのが好ましい。

この電池用集電箔は、リチウムイオン二次電池の正極集電箔として好適である。

他の解決手段は、前記いずれかの電池用集電箔の製造方法により製造された電池用集電箔と、活物質を含み、上記電池用集電箔の表面上に積層された活物質層と、を有する電極板を備える電池である。

本発明の電池は、前述のいずれかの製造方法により製造された電池用集電箔と、この電池用集電箔の表面（両面または片面）に積層された活物質層とを有する電極板を備えている。前述のいずれかの製造方法により製造された電池用集電箔はシワがないので、電池用集電箔の表面全体にわたって、適切に（均一に）、活物質層を形成することができる。このため、本発明の電池にかかる電極板は、電池用集電箔の表面全体にわたって均一な厚みで積層された活物質層を有する電極板になる。しかも、前述の製造方法により製造された電池用集電箔を用いることで、金属箔と活物質層との間の導電性が良好になる。従って、本発明の電池は、内部抵抗（特に、反応抵抗）の小さな電池となる。

他の解決手段は、前記いずれかの電池用集電箔と、活物質を含み、上記電池用集電箔の表面上に積層された活物質層と、を有する電極板を備える電池である。

本発明の電池は、前述のいずれかの電池用集電箔と、この電池用集電箔の表面に積層された活物質層とを有する電極板を備えている。前述の電池用集電箔はシワがないので、電池用集電箔の表面全体にわたって、均一な厚みで、活物質層を塗工することができる。このため、本発明の電池にかかる電極板は、電池用集電箔の表面全体にわたって均一な厚みで積層された活物質層を有する電極板になる。しかも、前述の電池用集電箔は、金属箔と活物質層との間の導電性を良好にすることができる。従って、本発明の電池は、内部抵抗（特に、反応抵抗）の小さな電池となる。

（実施例１）
次に、本発明の実施例１について、図面を参照しつつ説明する。
まず、本実施例１にかかる電池１について説明する。図１に電池１の斜視図を、図２に電池１の部分破断断面図を示す。
本実施例１にかかる電池１は、電極体２０及び電解液６０を備えるリチウムイオン二次電池である。この電池１は、電極体２０及び電解液６０を、矩形箱状の電池ケース１０内に収容している。この電池ケース１０は、アルミニウム製の電池ケース本体１１及び封口蓋１２を有する。このうち、電池ケース本体１１は、有底矩形箱状であり、内側全面に樹脂からなる絶縁フィルム（図示しない）を貼付している。

また、封口蓋１２は矩形板状であり、電池ケース本体１１の開口部１１Ａを閉塞して、この電池ケース本体１１に溶接されている。この封口蓋１２には、後述する電極体２０と接続している正極端子部材７１及び負極端子部材７２のうち、それぞれ先端に位置する正極端子部７１Ａ及び負極端子部７２Ａが貫通して、上面１２ａから突出している。これら正極端子部７１Ａ及び負極端子部７２Ａと封口蓋１２との間には、それぞれ樹脂製の絶縁部材７５が介在して、互いを絶縁している。さらに、この封口蓋１２には矩形板状の安全弁７７も封着されている。

電解液６０は、エチレンカーボネート（ＥＣ）とジメチルカーボネート（ＤＭＣ）とエチルメチルカーボネート（ＥＭＣ）とを、体積比でＥＣ：ＤＭＣ：ＥＭＣ＝１：１：１に調整した混合有機溶媒に、溶質としてＬｉＰＦ₆を１ｍｏｌ／Ｌ添加し、リチウムイオンを１ｍｏｌ／Ｌの濃度とした有機電解液である。

電極体２０は、帯状の正極板３０及び負極板４０が、ポリエチレンからなる帯状のセパレータ５０を介して扁平形状に捲回されてなる（図１参照）。なお、この電極体２０のうち、正極板３０は、正極端子部材７１と接合され、負極板４０は、負極端子部材７２と接合されている。

負極板４０は、図３に示すように、長手方向ＤＡに帯状に延びる形態をなし、銅からなる負極集電箔４２と、この負極集電箔４２の第１表面４２ａ上に積層された第１負極活物質層４１Ａと、負極集電箔４２の第２表面４２ｂ上に積層された第２負極活物質層４１Ｂとを有している。なお、負極活物質層４１Ａ，４１Ｂには、それぞれ、図示しないグラファイト及び結着剤が含まれる。

次いで、正極板３０について説明する。この正極板３０は、図４に示すように、長手方向ＤＡに帯状に延びる正極集電箔３２と、この正極集電箔３２の表面（第１表面３２ａ及び第２表面３２ｂ）に積層された、第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂとを有している。

第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂは、いずれも、ＬｉＮｉＯ₂からなる正極活物質（図示しない）と、アセチレンブラック（ＡＢ、図示しない）と、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ、図示しない）と、カルボキシルメチルセルロース（ＣＭＣ、図示しない）とを含む。
なお、第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂでは、いずれも、正極活物質とＡＢとＰＴＦＥとＣＭＣとの混合割合を、正極活物質：ＡＢ：ＰＴＦＥ：ＣＭＣ＝８７：１０：１：２（重量比）としている。

また、正極集電箔３２は、金属アルミニウムからなり、長手方向ＤＡに帯状に延びるアルミニウム箔３３と、このアルミニウム箔３３の第１表面３３ａ上に形成された第１炭素被膜３４Ａと、アルミニウム箔３３の第２表面３３ｂ上に形成された第２炭素被膜３４Ｂとを有している（図５参照）。すなわち、アルミニウム箔３３の両面に炭素被膜が形成されている。

第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂは、いずれも、カーボンをアークイオンプレーティング法（ＡＩＰ法）により、アルミニウム箔３３の第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ上に蒸着させたもので、その厚み（図５において厚さ方向ＤＴの膜厚）は、５０〜１００ｎｍである。

ところで、アルミニウム箔の表面に、ＡＩＰ法などの蒸着法により炭素被膜を形成する場合、蒸着した炭素被膜に大きな圧縮応力が発生する。このため、この圧縮応力がアルミニウム箔に作用することで、アルミニウム箔（正極集電箔）にシワが発生してしまうことがあった。

これに対し、本実施例１のアルミニウム箔３３は、図６及び図７に示すように、第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂの全体にわたって、アルミニウム箔３３の厚み方向（図６及び図７において上下方向）に窪んだ凹部３３ｄを多数有している。換言すれば、第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂの全体が凹凸状になっている。

このため、ＡＩＰ法により炭素被膜を形成すると、図１２に示すように、炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）は、凹部３３ｄを除くアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に形成される。すなわち、凹部３３ｄの位置で分断された（隙間をあけた）形態の導電被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成することができる。ＡＩＰ法では、導電被膜を形成する粒子（導電被膜材料由来のイオンなど）が凹部３３ｄ内に進入し難いからである。これにより、導電被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）の圧縮応力Ｓが分散（緩和）されるので、本実施例１の正極集電箔３２は、シワ（皺）のない正極集電箔となっている。

なお、図６は、正極集電箔３２を厚さ方向（図６において上下方向）に切断した切断面を、２５００倍に拡大したＳＥＭ写真図である。図６の右下に示す目盛りは、１０目盛りで２０μｍ（１目盛りが２μｍ）である。また、図７は、正極集電箔３２の断面を７５００倍に拡大したＳＥＭ写真図であり、図６のＢ部拡大図に相当する。図７の右下に示す目盛りは、１０目盛りで５μｍ（１目盛りが０．５μｍ）である。

本実施例１では、アルミニウム箔３３の厚みが約１８μｍ、凹部３３ｄの深さ寸法（アルミニウム箔３３の厚み方向にかかる寸法、図６及び図７において上下方向の寸法）が３〜７μｍとなっている。
なお、凹部３３ｄは、後述する湿式エッチング（具体的には、電解エッチング）により、アルミニウム箔の表面をエッチングすることで形成される。

さらに、本実施例１の正極集電箔３２では、第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂが、アルミニウム箔３３をなす金属アルミニウムと直接接触している（図７参照）。すなわち、アルミニウム箔３３の表面に形成されていた金属酸化物（酸化アルミニウム）の被膜が除去された状態で、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に、炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）が形成されている。これにより、アルミニウム箔３３と正極活物質層（第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂ）との間の導電性を良好にすることができ、ひいては、電池１の内部抵抗を小さくすることができる。

なお、アルミニウム箔３３の表面に形成されていた金属酸化物（酸化アルミニウム）の被膜は、後述する湿式エッチング（具体的には、電解エッチング）により、アルミニウム箔の表面をエッチングすることで除去される。

次に、本実施例１にかかる電池１の製造方法について、図面を参照しつつ説明する。
まず、正極板３０の製造方法について説明する。図８は、正極板の製造方法の流れを示すフローチャートである。まず、アルミニウム箔を用意し、ステップＳ１において、湿式エッチング（具体的には、電解エッチング）により、このアルミニウム箔の表面（両面）をエッチングする。これにより、アルミニウム箔の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ、すなわち両面）に形成されていた金属酸化物（酸化アルミニウム）の被膜を除去することができる。さらには、図１１に示すように、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）全体にわたって、アルミニウム箔３３の厚み方向（図１１において上下方向）に窪んだ凹部３３ｄを多数形成することができる。換言すれば、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）全体を凹凸状にすることができる。

なお、本実施例１のステップＳ１では、アルミニウム箔をアノードとして電解エッチングを行っている。また、電解液として、鉱酸（硫酸、硝酸、塩酸など）を用いている。
また、本実施例１では、ステップＳ１が、湿式エッチング工程に相当する。

次に、ステップＳ２に進み、電解エッチングを行ったアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ、すなわち両面）に、蒸着法（具体的には、アークイオンプレーティング法）により、導電性を有する導電被膜（具体的には、炭素被膜）を形成した。詳細には、蒸着材としてカーボンを用い、アークイオンプレーティング法（ＡＩＰ法）により、アルミニウム箔３３の第１表面３３ａに５０〜１００ｎｍの厚みの第１炭素被膜３４Ａを形成し、さらに、アルミニウム箔３３の第２表面３３ｂに５０〜１００ｎｍの厚みの第２炭素被膜３４Ｂを形成した。これにより、正極集電箔３２（図６参照）を得ることができる。

なお、ＡＩＰ法により形成した炭素被膜は、他の手法（例えば、スパッタリング法など）により形成したものに比べて、高い導電性を示す。従って、本実施例１の正極集電箔３２を用いることで、電池の内部抵抗（特に、反応抵抗）を小さくすることができる。

さらに、本実施例１では、酸化アルミニウムの被膜が除去されたアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ、すなわち両面）に、炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成している。これにより、アルミニウム箔３３と第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂ（後に、正極集電箔３２の表面に塗工する）との間の導電性を良好にすることができ、ひいては、電池の内部抵抗を小さくすることができる。

しかも、先の湿式エッチング工程（ステップＳ１）において、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）全体にわたって凹部３３ｄを多数形成している。換言すれば、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）全体を凹凸状にしている。

このため、蒸着法（具体的には、アークイオンプレーティング法）により炭素被膜を形成すると、図１２に示すように、炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）は、凹部３３ｄを除くアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に形成される。すなわち、凹部３３ｄの位置で分断された（隙間をあけた）形態の導電被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成することができる。蒸着法では、導電被膜を形成する粒子（導電被膜材料由来のイオンや原子など）が凹部３３ｄ内に進入し難いからである。

これにより、導電被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）の圧縮応力Ｓが分散（緩和）されるので、シワ（皺）のない正極集電箔３２を製造することができる。従って、その後、正極集電箔３２の表面全体にわたって、適切に（均一に）、正極活物質層（第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂ）を形成することができる。
なお、本実施例１では、ステップＳ２が、蒸着工程に相当する。

次に、ステップＳ３に進み、正極活物質ペーストを、正極集電箔３２の表面（第１表面３２ａ，第２表面３２ｂ）に塗布した。なお、活物質ペーストは、ＬｉＮｉＯ₂からなる正極活物質（図示しない）、アセチレンブラック（ＡＢ、図示しない）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ、図示しない）、及びカルボキシルメチルセルロース（ＣＭＣ、図示しない）を、有機溶媒（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）に分散させて混練してなる流動体である。また、この活物質ペーストに含まれる正極活物質３１Ｘ、ＡＢ、ＰＴＦＥ、及びＣＭＣの重量比を、正極活物質：ＡＢ：ＰＴＦＥ：ＣＭＣ＝８７：１０：１：２としている。

なお、本実施例１では、正極集電箔３２の表面（第１表面３２ａ，第２表面３２ｂ）全体にわたって、均一な厚みで、正極活物質ペーストを適切に塗布することができた。これは、先のステップＳ１，Ｓ２の処理（湿式エッチング工程及び蒸着工程）で、シワ（皺）のない正極集電箔３２を製造することができたためである。

次いで、ステップＳ４に進み、正極集電箔３２の表面（第１表面３２ａ，第２表面３２ｂ）に塗布した正極活物質ペーストをプレス機で圧縮し、正極集電箔３２と共に所定形状に成形した。次いで、ステップＳ５に進み、正極活物質ペーストを乾燥させて、正極活物質層（第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂ）を有する正極板３０（図４参照）を得た。

その後、作製した正極板３０を、別途用意した負極板４０と共にセパレータ５０を介して捲回して電極体２０とする。さらに、この電極体２０に正極端子部材７１および負極端子部材７２を溶接し、電池ケース本体１１に挿入し、電解液６０を注入後、封口蓋１２で電池ケース本体１１を溶接で封口する。かくして、電池１が完成する（図１参照）。

次に、正極集電箔３２の導電性を評価するために、正極集電箔３２の接触抵抗を測定した。具体的には、図９に示すように、正極集電箔３２を幅２．０ｃｍのリボン状に切断し、これに導線ＬＦを接合してなる試料Ａを２つ用意し、互いが２．０ｃｍ×２．０ｃｍからなる接触面で接触するように、２つの試料Ａ同士を重ね合わせる。次いで、図１０に示すように、試料Ａの接触面を挟圧可能な２つの平面を有する挟圧装置５００により、重ね合わせ方向ＤＰに試料Ａ同士を押圧する。なお、挟圧装置５００は、１０ＭＰａ／ｃｍ²の挟圧力Ｐで接触面を挟圧する。そして、挟圧装置５００で挟圧したまま、試料Ａのそれぞれの導線ＬＦ，ＬＦに１．０Ａの電流を流す。そのときの電圧値から、試料Ａ同士の間に生じる抵抗値（接触抵抗値）を算出した。

また、比較例１として、ドライエッチングにより表面の酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３３（図１３参照）を用意した。このアルミニウム箔３３３を幅２．０ｃｍのリボン状に切断し、これに導線ＬＦを接合した試料Ｂについて、上述の試料Ａと同様にして、接触抵抗を測定した。
さらに、比較例２として、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に、スパッタリング法により、膜厚約５０ｎｍの炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）を形成した正極集電箔３３２（図１４）を作製した。この正極集電箔３３２を幅２．０ｃｍのリボン状に切断し、これに導線ＬＦを接合した試料Ｃについても、上述の試料Ａと同様にして、接触抵抗を測定した。これらの結果を表１に示す。

表１に示すように、試料Ａ（実施例１）、試料Ｂ（比較例１）、及び試料Ｃ（比較例２）の接触抵抗値の大小関係は、Ａ＜Ｂ＜Ｃとなった。具体的には、試料Ａ（実施例１）の接触抵抗値は３．５Ω・ｃｍ²、試料Ｂ（比較例１）の接触抵抗値は１８．５Ω・ｃｍ² 、試料Ｃ（比較例２）の接触抵抗値は２１．９Ω・ｃｍ² であった。

このように、本実施例１の正極集電箔３２は、ドライエッチングにより表面の酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３３よりも、接触抵抗が小さくなった。さらに、本実施例１の正極集電箔３２は、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に、スパッタリング法により、膜厚約５０ｎｍの炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）を形成した正極集電箔３３２よりも、接触抵抗が小さくなった。

その理由は、本実施例１では、酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に、アークイオンプレーティング法（ＡＩＰ法）により炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成しているからであると考えられる。

具体的には、ＡＩＰ法により形成した炭素被膜は、他の手法（例えば、スパッタリング法など）により形成したものに比べて、高い導電性を示すため、実施例１（試料Ａ）の接触抵抗は、比較例２（試料Ｃ）の接触抵抗よりも小さくなったと考えられる。

しかも、比較例２では、図１４に示すように、炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）の圧縮応力Ｓにより、アルミニウム箔３３３（正極集電箔３３２）に、小さなシワＣが発生した。ドライエッチングでは、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に凹部を形成することができなかったからである（図１３参照）。換言すれば、ドライエッチングでは、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）を凹凸状にできなかったからである。

このため、図１４に示すように、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に隙間無く炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）が形成され、実施例１に比べて、炭素被膜の圧縮応力Ｓが大きくなったと考えられる。このために、比較例２では、シワＣが発生したと考えられる。これに対し、実施例１の正極集電箔３２には、前述のようにシワが生じていない。このシワＣも、比較例２（試料Ｃ）の接触抵抗が大きくなった要因であると考えられる。

また、比較例１（試料Ｂ）では、ドライエッチングによりアルミニウム箔の表面の酸化アルミニウムの被膜を除去しているが、アルミニウム箔の表面に炭素被膜を形成していないので、再び、アルミニウム箔の表面が酸化して、酸化アルミニウムの被膜が形成されたと考えられる。これに対し、本実施例１では、酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成しているので、アルミニウム箔３３の酸化を防止することができる。このため、実施例１（試料Ａ）の接触抵抗は、比較例１（試料Ｂ）の接触抵抗よりも小さくなったと考えられる。

以上の結果より、本実施例１の正極集電箔３２は、接触抵抗が小さく、導電性に優れているといえる。このため、正極集電箔３２の第１表面３２ａ及び第２表面３２ｂ上に積層された第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂに含まれる正極活物質が、アルミニウム箔３３と低抵抗で、電子のやりとりをすることができる。即ち、本実施例１によれば、正極板３０を低抵抗とすることができ、内部抵抗が小さい電池１を実現できる。

（内部抵抗の評価）
次に、本実施例１の電池１の内部抵抗を評価するために、インピーダンスの測定を行った。具体的には、電池電圧を３．８Ｖとした電池１について、２５℃の恒温環境下で、０．０１Ｖの電位振幅を与えつつ、測定周波数を０．０１Ｈｚ〜１００ｋＨｚの範囲で変動させて、同期した電流値からインピーダンスの測定を行った。得られたインピーダンス測定結果より、直流抵抗（Ω）と反応抵抗（Ω）を算出した。この結果を表１に示す。なお、本実施例１では、ソーラトロン製の１２５５ＷＢ型電気化学測定システム（周波数アナライザ＋ポテンショガルバノスタット）を用いて、インピーダンスの測定を行っている。

また、比較例１として、正極集電箔としてアルミニウム箔３３３（図１３参照）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして製造した電池を用意した。さらに、比較例２として、正極集電箔として正極集電箔３３２（図１４）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして製造した電池を用意した。比較例１，２の電池についても、実施例１の電池１と同様にして、インピーダンス測定を行って、直流抵抗（Ω）と反応抵抗（Ω）を算出した。これらの結果を表１に示す。

なお、比較例３として、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に、ＡＩＰ法により膜厚約５０ｎｍの炭素被膜を形成した正極集電箔を作製した。この正極集電箔を用いて正極板を作製しようとしたが、正極集電箔のシワが大きすぎて、正極活物質層を形成することが困難であった。このため、比較例３の電池を製造することができなかった。

まず、比較例１，２の電池、及び実施例１の電池１について、直流抵抗を比較する。表１に示すように、比較例１の電池では２．７６×１０^-2Ωとなった。これに対し、実施例１の電池１では２．６７×１０^-2Ωとなり、比較例１の電池に比べて３％小さくなった。一方、比較例２の電池では２．７８×１０^-2Ωとなり、比較例１の電池に比べて０．９％大きくなった。

さらに、比較例１，２の電池、及び実施例１の電池１について、反応抵抗を比較する。表１に示すように、比較例１の電池では７．６４×１０^-3Ωとなった。これに対し、実施例１の電池１では６．６１×１０^-3Ωとなり、比較例１の電池に比べて１３．４％も小さくなった。一方、比較例２の電池では８．３７×１０^-3Ωとなり、比較例１の電池に比べて９．６％も大きくなった。

以上のように、実施例１の電池１は、比較例１の電池に比べて、内部抵抗（特に、反応抵抗）が小さくなった。その理由は、比較例１の電池で用いた正極集電箔では、ドライエッチングによりアルミニウム箔の表面の酸化アルミニウムの被膜を除去しているが、アルミニウム箔の表面に炭素被膜を形成していないので、再び、アルミニウム箔の表面が酸化して、酸化アルミニウムの被膜が形成されたためと考えられる。この酸化アルミニウムの被膜の影響で、アルミニウム箔と正極活物質層との間の導電性が低下したため、比較例１の内部抵抗（特に、反応抵抗）が大きくなったと考えられる。

これに対し、実施例１の電池１で用いた正極集電箔３２では、酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成しているので、アルミニウム箔３３の酸化を防止することができたと考えられる。しかも、酸化アルミニウムの被膜が除去されたアルミニウム箔３３の表面に、導電性を有する炭素被膜を形成することで、アルミニウム箔３３と第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂとの間の導電性を良好にすることができる。これにより、電池の内部抵抗を小さくすることができたと考えられる。

しかも、実施例１の電池１では、酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に、アークイオンプレーティング法（ＡＩＰ法）により炭素被膜（第１炭素被膜３４Ａ及び第２炭素被膜３４Ｂ）を形成した正極集電箔３２を用いている。ＡＩＰ法により形成した炭素被膜は、他の手法（例えば、スパッタリング法など）により形成したものに比べて、高い導電性を示す。このため、実施例１の電池１では、内部抵抗を小さくすることができたと考えられる。

ところで、比較例２の電池では、酸化アルミニウムの被膜を除去したアルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）を形成した正極集電箔３３２を用いているにも拘わらず、比較例１の電池に比べて、内部抵抗（特に、反応抵抗）が小さくなった。

その理由は、実施例１と異なり、ドライエッチングにより酸化アルミニウムの被膜を除去しているために、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に凹部を形成することができなかった（図１３参照）ためと考えられる。換言すれば、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）を凹凸状にすることができなかったためと考えられる。

このため、図１４に示すように、アルミニウム箔３３３の表面（第１表面３３３ａ及び第２表面３３３ｂ）に隙間無く炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）が形成され、実施例１に比べて、炭素被膜の圧縮応力Ｓが大きくなったと考えられる。このために、アルミニウム箔３３３（正極集電箔３３２）にシワＣが発生し、このシワＣの影響で、正極集電箔３３２の表面全体にわたって、均一な厚みで、正極活物質層を適切に形成することができなかったためと考えられる。

また、比較例２の電池では、スパッタリング法により炭素被膜（第１炭素被膜３３４Ａ及び第２炭素被膜３３４Ｂ）を形成した正極集電箔３３２を用いている。スパッタリング法により炭素被膜は、ＡＩＰ法により形成した炭素被膜に比べて導電性が低い。従って、スパッタリング法により炭素被膜を形成していることも、比較例２の内部抵抗を小さくできなかった要因の１つと考えられる。

（実施例２）
次に、実施例２の電池１００について説明する。本実施例２の電池１００は、図１及び図２に括弧書きで示すように、実施例１の電池１と比較して、電極体（詳細には、正極板）が異なり、その他の部位については同一である。具体的には、図４に括弧書きで示すように、本実施例２の電池１００では、実施例１の正極板３０に代えて、正極板１３０を用いている。この正極板１３０では、実施例１の正極板３０と異なり、正極集電箔１３２を用いている。

本実施例２の正極集電箔１３２は、実施例１の正極集電箔３２と異なる製法で作製している。具体的には、図８に示すように、ステップＳ１において、実施例１と同様にして、湿式エッチング（具体的には、電解エッチング）により、このアルミニウム箔の表面（両面）をエッチングする。その後、ステップＳ２に進み、電解エッチングを行ったアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に、実施例１とは異なる蒸着法により、炭素被膜を形成した。具体的には、実施例１では、蒸着法として、アークイオンプレーティング法を用いたが、本実施例２では、スパッタリング法を用いた。

詳細には、本実施例２では、公知のスパッタリング法により、アルミニウム箔３３の第１表面３３ａに約５０ｎｍの厚みの第１炭素被膜１３４Ａを形成し、さらに、アルミニウム箔３３の第２表面３３ｂに約５０ｎｍの厚みの第２炭素被膜１３４Ｂを形成した。

ところで、本実施例２でも、実施例１と同様に、先の湿式エッチング工程（ステップＳ１）において、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）全体にわたって凹部３３ｄを多数形成している。換言すれば、アルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）全体を凹凸状にしている。

このため、スパッタリング法により炭素被膜を形成すると、図１２に示すように、炭素被膜（第１炭素被膜１３４Ａ及び第２炭素被膜１３４Ｂ）は、凹部３３ｄを除くアルミニウム箔３３の表面（第１表面３３ａ及び第２表面３３ｂ）に形成される。すなわち、凹部３３ｄの位置で分断された（隙間をあけた）形態の導電被膜（第１炭素被膜１３４Ａ及び第２炭素被膜１３４Ｂ）を形成することができる。スパッタリング法では、導電被膜を形成する粒子（スパッタ粒子）が凹部３３ｄ内に進入し難いからである。

これにより、導電被膜（第１炭素被膜１３４Ａ及び第２炭素被膜１３４Ｂ）の圧縮応力Ｓが分散（緩和）されるので、シワ（皺）のない正極集電箔１３２を製造することができた。

その後、実施例１と同様にして、ステップＳ３〜Ｓ５の処理（図８参照）を行って正極板１３０を作製した。上述のように、正極集電箔１３２にはシワがないので、正極集電箔１３２の表面全体にわたって、均一な厚みで、正極活物質層（第１正極活物質層３１Ａ及び第２正極活物質層３１Ｂ）を適切に形成することができた。その後、この正極板１３０を用いて、実施例１と同様の手順で、電池１００を作製した。

本実施例２の電池１００についても、実施例１と同様にして、インピーダンスの測定を行い、直流抵抗及び反応抵抗を算出したところ、いずれの抵抗値も、比較例１，２より小さな値を示した。実施例２では、正極集電箔として、蒸着した炭素被膜（第１炭素被膜１３４Ａ及び第２炭素被膜１３４Ｂ）を有し、且つ、シワ（皺）のない正極集電箔１３２を用いているためであるといえる。この結果より、本実施例２の電池１００は、内部抵抗の小さな電池といえる。

但し、実施例２にかかる電池１００の直流抵抗及び反応抵抗の値は、いずれも、実施例１より大きな値になった。この理由は、アルミニウム箔３３の表面に炭素被膜を形成するのに、実施例１では、ＡＩＰ法を用いたが、実施例２では、スパッタリング法を用いたためであると考えられる。スパッタリング法により炭素被膜は、ＡＩＰ法により形成した炭素被膜に比べて導電性が低くなるので、実施例２の電池１００は、実施例１の電池１よりも内部抵抗が大きくなったと考えられる。

以上において、本発明を実施例１，２に即して説明したが、本発明は上記実施例等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることは言うまでもない。

例えば、実施例１，２では、電池の電池ケースを矩形形状の収容容器としたが、例えば、円筒形状や、ラミネート形状の収容容器としても良い。
また、実施例１，２では、正極集電箔の導電被膜を炭素被膜としたが、金属からなる被膜としても良い。すなわち、アルミニウム箔３３の表面に、蒸着法により、金属からなる被膜を形成するようにしても良い。

また、実施例１，２では、電池用集電箔として、正極集電箔３２，１３２を例示した。しかしながら、本発明は、負極集電箔に適用しても良い。すなわち、湿式エッチング（例えば、電解エッチング）により負極用金属箔（例えば、銅箔）の表面をエッチングし、その後、蒸着法（例えば、ＡＩＰ法）により、負極用金属箔の表面に導電被膜（例えば、炭素被膜）を形成して、負極集電箔を作製するようにしても良い。

また、図１５に示すように、一対の加熱加圧ローラ４１０を用いて、正極集電箔４３２のシワを伸ばして、シワのない正極集電箔に矯正することができる。一対の加熱加圧ローラ４１０は、図示しないヒータにより加熱（例えば、３００℃）されており、両者の間に、正極集電箔を挟んで押圧（例えば、３０×１０⁵Ｎの圧力で押圧）する。なお、正極集電箔４３２としては、例えば、比較例３として作製した正極集電箔を挙げることができる。一対の加熱加圧ローラ４１０を用いて、シワのない正極集電箔に矯正することで、矯正後の正極集電箔の表面に、適切に、正極活物質層を形成することが可能となる。

実施例１，２にかかる電池の斜視図である。 実施例１，２にかかる電池の部分破断断面図である。 実施例１，２にかかる負極板の斜視図である。 実施例１，２にかかる正極板の斜視図である。 実施例１，２にかかる正極板の拡大端面図（図４のＡ部拡大図）である。 実施例１にかかる正極集電箔を厚さ方向に切断した断面を、２５００倍に拡大したＳＥＭ写真図である。 実施例１にかかる正極集電箔の断面を７５００倍に拡大したＳＥＭ写真図（図６のＢ部拡大図）である。 実施例１，２にかかる正極板の製造方法の流れを示すフローチャートである。 正極集電箔の接触抵抗の測定方法を説明する図である。 正極集電箔の接触抵抗の測定方法を説明する図である。 電解エッチングを行った正極集電箔を厚さ方向に切断した断面を、模式的に表した図である。 電解エッチングを行った正極集電箔の表面に炭素被膜を形成したときの様子を説明する図である。 ドライエッチングを行った正極集電箔を厚さ方向に切断した断面を、模式的に表した図である。 ドライエッチングを行った正極集電箔の表面に炭素被膜を形成したときの様子を説明する図である。 シワの生じた正極集電箔について、シワを伸ばす手法を説明する図である。

符号の説明

１，１００ 電池
３０，１３０ 正極板（電極板）
３１Ａ 第１正極活物質層（活物質層）
３１Ｂ 第２正極活物質層（活物質層）
３２，１３２ 正極集電箔（電池用集電箔）
３３ アルミニウム箔（金属箔）
３３ａ アルミニウム箔の第１表面（金属箔の表面）
３３ｂ アルミニウム箔の第２表面（金属箔の表面）
３３ｄ 凹部
３４Ａ，１３４Ａ 第１炭素被膜（導電被膜）
３４Ｂ，１３４Ｂ 第２炭素被膜（導電被膜）

Claims (10)

1. 湿式エッチングにより、金属箔の表面をエッチングする湿式エッチング工程と、
   上記湿式エッチングを行った上記金属箔の表面上に、蒸着法により、導電性を有する導電被膜を形成する蒸着工程と、を備える
   電池用集電箔の製造方法。
2. 請求項１に記載の電池用集電箔の製造方法であって、
   前記金属箔の厚みは、５０μｍ以下である
   電池用集電箔の製造方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の電池用集電箔の製造方法であって、
   前記蒸着工程は、アークイオンプレーティング法により、５０ｎｍ以上の厚みの前記導電被膜を形成する
   電池用集電箔の製造方法。
4. 金属箔と、
   上記金属箔の表面上に形成された導電性を有する導電被膜と、を備える
   電池用集電箔であって、
   上記導電被膜は、上記金属箔をなす金属と直接接触してなり、
   上記金属箔は、その表面全体にわたって、上記金属箔の厚み方向に窪んだ凹部を有する
   電池用集電箔。
5. 請求項４に記載の電池用集電箔であって、
   前記導電被膜は、前記凹部を除く前記金属箔の表面上に形成されてなる
   電池用集電箔。
6. 請求項４または請求項５に記載の電池用集電箔であって、
   前記金属箔の厚み方向にかかる前記凹部の寸法は、１μｍ以上である
   電池用集電箔。
7. 請求項４〜請求項６のいずれか一項に記載の電池用集電箔であって、
   前記金属箔の厚みは、５０μｍ以下である
   電池用集電箔。
8. 請求項４〜請求項７のいずれか一項に記載の電池用集電箔であって、
   前記導電被膜の厚みは、５０ｎｍ以上である
   電池用集電箔。
9. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の電池用集電箔の製造方法により製造された電池用集電箔と、
   上記電池用集電箔の表面上に積層された活物質層と、を有する
   電極板を備える
   電池。
10. 請求項４〜請求項８のいずれか一項に記載の電池用集電箔と、
    上記電池用集電箔の表面上に積層された活物質層と、を有する
    電極板を備える
    電池。