JP2010050149A - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置は、半導体基板40上に、光電変換部及び信号走査回路部を含む単位セル行列を配置して成る撮像領域12と、信号走査回路を駆動するための駆動回路を配置して成る駆動回路領域14とを備え、前記信号走査回路部が形成される基板表面とは反対側の基板表面に受光面が形成され、前記受光面側の前記半導体基板上の周辺領域に設けられる第1パッド41と、前記信号走査回路部が形成される側の前記半導体基板上に基準電位Vssを供給するために設けられ、前記半導体基板の厚さ方向で前記撮像領域と重なる位置にのみ配置される第2パッド42とを具備する。
【選択図】 図16
Description
<1.構成例>
まず、図1乃至図7を用いて、この発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の構成例について説明する。
1−1.全体構成例
図1を用いて、本例に係る固体撮像装置の全体構成例について説明する。図1は、本例に係る固体撮像装置の全体構成例を示すシステムブロック図である。図1では、画素アレイのカラム位置にAD変換回路が配置された場合の一構成について示した。
画素アレイ12は、半導体基板に、光電変換部及び信号走査回路部を含み単位画素行列を配置して成るものである。
光電変換部は、光電変換し蓄積するフォトダイオードを含む単位画素1を備え、撮像部として機能する。信号走査回路部は、後述する増幅トランジスタ等を備え、光電変換部からの信号を読み出し増幅しAD変換回路15に送信する。本例の場合、受光面(光電変換部)は、信号走査回路部が形成される半導体基板表面と反対側の半導体基板の裏面側に設けられる。
次に、図2を用いて、図1中の画素アレイ(撮像領域)12の構成例について説明する。図2は、本例に係る画素アレイの構成例を示す等価回路図である。本例では、単一の画素アレイ12で複数の色情報を取得する単版式撮像素子を一例に挙げて説明する。
増幅トランジスタ3は、浮遊拡散層(フローティングディフュージョン)42からの信号を増幅して出力するように構成されている。増幅トランジスタ3のゲートは浮遊拡散層32に接続され、ソースは垂直信号線VSLに接続され、ドレインはアドレストランジスタ31のソースに接続されている。垂直信号線VSLにより送信される単位画素1の出力信号は、CDS雑音除去回路8により雑音が除去された後、出力端子81から出力される。
この画素アレイ構造による読み出し駆動動作は、次のようになっている。まず、読み出し行のアドレストランジスタ31が、垂直シフトレジスタ13から送られる行選択パルスによりオン(ON)状態になる。
次に、図3および図4を用いて、本例に係る固体撮像装置の平面構成例について説明する。図3は光照射面側の平面構成例であり、図4は図3の裏面である信号走査回路形成面側の平面構成例を示す図である。
次に、図5を用いて、本例に係る固体撮像装置の平面構成例について説明する。ここでは、図3および図4中のV−V線に沿った断面構成を一例に挙げて説明する。
次に、図6を用いて、本例に係る固体撮像装置が有する色フィルタ52の平面構成例について説明する。図6は、単版式固体撮像素子構造において色信号を取得するために、どのように色フィルタが配置されているかを示したレイアウト図である。
次に、図7を用いて、本例に係る固体撮像装置が有する単位画素1の構成例について、より詳しく説明する。
次に、図8乃至図15を用いて、本例に係る固体撮像装置の製造方法について説明する。
続いて、例えば、RIE法等を用いて、周辺領域における半導体基板40の光照射面側の表面上から信号走査回路部の配線層47−1に至る第1ビア46−1を形成する。続いて、第1ビア47−1中から半導体基板40の光照射面側の表面上に渡って、例えば、CVD法等によりCu等の金属層を形成し、第1パッド41を形成する。
この実施形態に係る固体撮像装置およびその製造方法によれば、少なくとも下記(1)乃至(2)の効果が得られる。
ここで、画素アレイ(撮像領域)12を駆動する際には、単位画素1の内部に配置された信号走査回路を駆動するため、例えば、ゲートに駆動パルスが印加される、あるいは入力信号となる入射光の強さに応じて信号線の電位が変化する等、の種々の電位変動が発生する。
上記式(1)に示すように、撮像領域112の端部と画素アレイ112の中心部では、概略τの期間基準電位に差が生じてしまうことになる。その場合、単位画素1内で信号検出を行う浮遊拡散層の電位が、撮像領域112端部とその中心部で変ってしまうことになり、それがそのまま出力信号の差となってしまう。そうすると再生画面上で画素アレイ112端部と画素アレイ112中心部で信号量に差が発生してしまい、一様な絵柄の被写体を撮像しているのにもかかわらず、再生画面上では絵柄が非一様となるシェーディングと呼ばれる偽信号が発生してしまう。シェーディングが発生するとそれが雑音となり再生画面の画質を著しく損なう。
ここで、輝度の極めて高い被写体を撮像した場合には、半導体基板40内で光電変換により発生した光電子は、単位画素1内の電源端子に流入し、それが多層配線中のコンタクト、配線を介して撮像素子外に電流として流出することになるが、被写体の輝度が極めて高く、従って、排出される電流値Ieが著しく大きい場合の電位差ΔVは、コンタクト抵抗Rc、配線抵抗Rlにより、以下の式(2)のように示される。
式(2)に示すように、電位差ΔVが、輝度の高い被写体を撮像している単位画素1の電源電位に加わる。その場合、図25乃至図27において後述する比較例のような構成であると、基準電位用のパッド141が上下面に振り分けられておらず、基準電位Vssを撮像領域112とその他の領域に振り分けて与えることができないため、信号出力が変化する。従って、輝度の高い被写体を撮像している画素と電源配線を共通化している画素に偽信号が発生してしまうことになり、そのため再生画面上では絵柄が非一様となり、それが雑音となって再生画面の画質を著しく損なう。
次に、変形例1に係る固体撮像装置について、図16を用いて説明する。この実施形態は、ボールランドを信号走査回路形成面側に備える一例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
次に、変形例2に係る固体撮像装置について、図17を用いて説明する。この実施形態は、ボールランドを光照射面側および信号走査回路形成面側に備える一例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
次に、第2の実施形態に係る固体撮像装置について、図18乃至図20を用いて説明する。この第2の実施形態は、基準電位用の拡散層の平面レイアウトのその他の一例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
次に、変形例3に係る固体撮像装置について、図21を用いて説明する。この変形例3は、上記第2の実施形態に係る構成において、ボールランドを光照射面側および信号走査回路形成面側に備える一例に関するものである。この説明において、上記第2の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
次に、第3の実施形態に係る固体撮像装置について、図22乃至図24を用いて説明する。この第3の実施形態は、二層の拡散層48、70が同層に設けられる一例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
次に、上記実施形態および変形例に係る固体撮像装置と比較するために、比較例に係る固体撮像装置について、図25乃至図27を用いて説明する。この比較例は、基準電位(Vss)用パッドを上下面に分けていない一例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
以上説明した以外にも、基準電位印加用パッド或いはボールランドと電源電位印加用パッド或いはボールランドの両方を、信号走査回路形成面側の画素領域12と重なる領域に配置することも可能である。その場合には、基準電位の変動が抑えられ、また電源電位の変動を抑えられるため、一層雑音の低減した再生画像を得ることができる点でより有利である。
Claims (5)
- 半導体基板上に、光電変換部及び信号走査回路部を含む単位セル行列を配置して成る撮像領域と、信号走査回路を駆動するための駆動回路を配置して成る駆動回路領域とを備え、
前記信号走査回路部が形成される基板表面とは反対側の基板表面に受光面が形成され、前記受光面側の前記半導体基板上の周辺領域に設けられる第1パッドと、
前記信号走査回路部が形成される側の前記半導体基板上に基準電位を供給するために設けられ、前記半導体基板の厚さ方向で前記撮像領域と重なる位置にのみ配置される第2パッドとを具備すること
を特徴とする固体撮像装置。 - 前記信号走査回路部が形成される側の前記半導体基板上に設けられ、前記第2パッドを形成するために貫通されるビアが形成される支持基板を更に具備すること
を特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 基準電源を与えるために前記第2パッドと電気的に接続され、前記半導体基板中に設けられる第1拡散層と、
電源電位を与えるために前記第2パッドと電気的に接続され、前記半導体基板中に設けられる第2拡散層とを更に具備すること
を特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 半導体基板の光照射面と反対側の表面上に、信号走査回路部を形成する工程と、
前記信号走査回路部上に第1支持基板を形成する工程と、
前記半導体基板の光照射面側の表面上に光電変換部を形成する工程と、
周辺領域における前記半導体基板の光照射面側の表面上から前記信号走査回路部配線層に至る第1ビアを形成し、前記第1ビアから前記光照射面側の半導体基板の表面上に第1パッドを形成する工程と、
前記光照射面側の前記半導体基板の表面上に接続材を形成する工程と、
前記接続材上に第2支持基板を形成する工程と、
前記周辺領域以外の撮像領域のみにおいて、前記第1支持基板の表面上から前記信号走査回路部に至る第2ビアを形成し、前記第2ビアから前記信号走査回路部側の半導体基板の表面上に第2パッドを形成する工程とを具備すること
を特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2支持基板および前記接続材を除去する工程と、
前記第1、第2パッドのボールランド上にボンディングワイヤを形成する工程とを更に具備すること
を特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置の製造方法。
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