JP2010040133A

JP2010040133A - 半導体メモリ検査装置

Info

Publication number: JP2010040133A
Application number: JP2008203771A
Authority: JP
Inventors: Atsuko Nogami; 敦子野上
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2008-08-07
Filing date: 2008-08-07
Publication date: 2010-02-18

Abstract

【課題】所望の条件と一致するフェイルチップを効率よく検索でき、その検索結果を見やすく表示できる半導体メモリ検査装置を提供すること。
【解決手段】フェイルメモリから取り込んだフェイルデータに基づきウェハ単位でフェイルビットマップ表示するように構成された半導体メモリ検査装置において、フェイルチップ検索条件を任意に設定できるチップ検索条件設定部を設けたことを特徴とするもの。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体メモリ検査装置に関し、詳しくは、フェイルチップの検索に関するものである。

図３は従来の半導体メモリ検査装置による半導体メモリの検査説明図であり、（Ａ）は検査のブロック図を示し、（Ｂ）はフェイルビットマップ表示の一例を示している。

図３（Ａ）において、半導体メモリ検査装置２００のうち、検査部２１０とＧＵＩ部２２０を示している。検査部２１０の検査回路２１１は、被検査対象デバイス（以下ＤＵＴという）である半導体メモリ１００の各記憶セルに対して検査用データの書き込み/読み出しを行って記憶セルの不良の有無を判定し、それらの判定結果はフェイル情報としてフェイルメモリ（以下ＦＭという）２１２に格納される。

ＧＵＩ部２２０は、一連の検査が終了すると、ＦＭ２１２からＤＵＴ１００であるウェハ上のチップのそれぞれについてフェイルになったアドレス情報を受け取り、ウェハ形状のビットマップデータ（以下ウェハビットマップという）に加工してウェハビットマップ表示部２２１に図３（Ｂ）に示すようなフェイルセルの分布状態を圧縮した複数のパターンとして表示するとともに、フェイル情報表示部２２２にテキストとして表示する。

たとえばウェハビットマップ表示部２２１ではウェハビットマップの拡大縮小表示や重ね合わせ表示も行われ、フェイル情報表示部２２２にはチップごとにフェイルアドレスの検索・フェイル数の取得などの各種テキスト情報が表示される。

特許文献１には、半導体ウェハのメモリセルの不良情報をインターネットやイントラネットを介して開示する構成が開示されている。特許文献２には、フェイルビットマップ同士の重ね合わせ操作の簡略化に関する構成が開示されている。

特開平１０−３０８０９９特開平２００２−１６２４４９

しかし、図３の構成のＧＵＩ部２２０によれば、
・「指定したアドレス領域がフェイルになっているチップ」
・「フェイルカウントが○○以上のチップ」
などのように、ＤＵＴ１００のウェハ上のチップすべてを対象として所望の条件と一致するチップを検索するという機能がなかった。

したがって、ある所望の条件に適合するチップを検索するためには、ユーザ自身がチップのビットマップデータやフェイルアドレスなどを見比べたり、複数のチップを重ね合わせ表示したりして探すしかなく、重ね合わせできるチップの個数にも上限があり、ウェハ全体での検索になるとかなりの時間がかかってしまうという問題があった。

本発明は、このような課題を解決するものであり、その目的は、所望の条件と一致するフェイルチップを効率よく検索でき、その検索結果を見やすく表示できる半導体メモリ検査装置を提供することにある。

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
フェイルメモリから取り込んだフェイルデータに基づきウェハ単位でフェイルビットマップ表示するように構成された半導体メモリ検査装置において、
フェイルチップ検索条件を任意に設定できるチップ検索条件設定部を設けたことを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体メモリ検査装置において、
フェイルビットマップ表示にあたり、前記チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップ部分が他のチップとは異なる表示形態で強調表示されることを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の半導体メモリ検査装置において、
フェイルビットマップ表示にあたり、共通の画面に複数のウェハが表示され、前記チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップを含むウェハが他のウェハとは異なる表示形態で強調表示されることを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の半導体メモリ検査装置において、
フェイルビットマップ表示にあたり、共通の画面に複数のウェハロットが表示され、前記チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップを含むウェハロットが他のウェハロットとは異なる表示形態で強調表示されることを特徴とする。

請求項１〜請求項４のいずれかに記載の半導体メモリ検査装置において、
前記検索結果が、インターネットやイントラネットを介して関係者に開示されることを特徴とする。

本発明によれば、所望の条件と一致するフェイルチップを効率よく検索でき、その検索結果を見やすく表示できる。

以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に基づく半導体メモリ検査装置による半導体メモリの検査説明図であって、（Ａ）は検査のブロック図を示し、（Ｂ）はフェイルビットマップ表示の一例を示している。なお、図３と共通する部分には同一符号を付けている。図１において、ＧＵＩ部２２０には、図３のウェハビットマップ表示部２２１とフェイル情報表示部２２２に加えて、チップ検索条件設定部２２３が設けられている。

このチップ検索条件設定部２２３には、検索するチップの条件として、
・セルアレイ指定
・アドレス範囲指定
・チップを複数のブロックに分割した場合のブロック指定
などいくつかの項目を用意されていて、ユーザがこれらの条件を設定することにより、検索を開始する。

設定された検索条件と一致するチップが検索されると、ＧＵＩ部２２０は、図１（Ｂ）のフェイルビットマップ表示にたとえば太枠のＣＰ１〜ＣＰ５で示すように、ＤＵＴ１００の該当するチップの背景を変えたり赤枠で囲むなどして、直観的・視覚的に識別把握できるような表示形態で検索結果を表示する。一方、検索条件と一致するチップが存在しない場合には、その旨のメッセージを表示画面に表示してユーザにチップがないことを知らせる。

図２は、図１のＧＵＩ部２２０における検索結果表示動作の流れを説明するフローチャートである。始めに、ＧＵＩ部２２０は、一連の検査が終了すると、ＦＭ２１２からＤＵＴ１００であるウェハ上のチップのそれぞれについてフェイルになったアドレス情報を含むフェイルデータを受け取る（ＳＰ１）。

ＧＵＩ部２２０は、取得したフェイルデータに基づき、ウェハ形状のビットマップデータに加工してウェハビットマップ表示部２２１に図１（Ｂ）に示すようなフェイルの形態に応じて異なる複数のパターンとして表示するとともに、フェイル情報表示部２２２にテキストとして表示する（ＳＰ２）。

続いて、チップ検索条件設定部２２３には、セルアレイ指定や、アドレス範囲指定や、チップを複数のブロックに分割した場合のブロック指定など、所望のチップ検索条件を設定する（ＳＰ３）。

ＧＵＩ部２２０は、チップ検索条件設定部２２３に設定されたチップ検索条件に基づいて、検索条件と一致するチップの有無を判断する（ＳＰ４）。

設定された検索条件と一致したチップを検索すると、ＧＵＩ部２２０は、ウェハビットマップ表示部２２１に表示されるフェイルビットマップ表示に、たとえば図１（Ｂ）に太枠のＣＰ１〜ＣＰ５で示すように、検索条件と一致したチップを直観的・視覚的に識別把握できるような表示形態で強調表示する（ＳＰ５）。

これに対し、検索条件と一致するチップが存在しない場合は、その旨のメッセージを表示画面に表示するなどしてユーザにチップがないことを知らせる（ＳＰ６）。

これにより、ユーザはフェイルチップについて検索したい所望の条件を選択設定するだけで、従来のように多大の時間をかけることなく、自動的にその検索条件に当てはまるチップをウェハ上で直観的・視覚的に識別把握できるように強調表示する表示形態のパターンとして検索結果を得ることができる。

なお、検索条件としては、ウェハ単位やセルアレイ単位を設定してもよい。たとえばウェハ単位で検索を行うことにより、複数の検索対象ウェハの中から、チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップを含むウェハを検索することができる。この場合、共通の画面に複数の検索対象ウェハを表示しておき、フェイルチップ検索条件と一致したチップを含むウェハを、他のウェハとは異なる表示形態で強調表示することにより、ウェハ単位での大局的なフェイルチップの発生状況を的確に把握することができる。

また、検索条件をウェハのロット単位に設定することにより、特定のフェイルチップの発生状況をロット固有の特異性の有無として解析することもできる。

さらに、このような検索結果を、インターネットやイントラネットなどのネットワークを介して複数の関係者が必要に応じて見られるようにしてもよい。これにより、たとえば半導体メモリの生産部署と開発部署と品質管理部署など、海外を含む遠隔地であっても検索結果を共有することができ、各部署の視点から不具合を発見したり対策を見出した場合に迅速に意見交換を行って最適な対応処置をすることができる。

以上説明したように、本発明によれば、所望の条件と一致するフェイルチップを効率よく検索でき、その検索結果を見やすく表示できる半導体メモリ検査装置が実現でき、半導体メモリのフェイル解析作業を効率よく行える。

本発明に基づく半導体メモリ検査装置による半導体メモリの検査説明図である。図１のＧＵＩ部２２０における検索結果表示動作の流れを説明するフローチャートである。従来の半導体メモリ検査装置による半導体メモリの検査説明図である。

符号の説明

１００被検査対象デバイス（ＤＵＴ）
２００半導体メモリ検査装置
２１０検査部
２１１検査回路
２１２フェイルメモリ（ＦＭ）
２２０ＧＵＩ部
２２１ウェハビットマップ表示部
２２２フェイル情報表示部
２２３チップ検索条件設定部

Claims

フェイルメモリから取り込んだフェイルデータに基づきウェハ単位でフェイルビットマップ表示するように構成された半導体メモリ検査装置において、
フェイルチップ検索条件を任意に設定できるチップ検索条件設定部を設けたことを特徴とする半導体メモリ検査装置。
フェイルビットマップ表示にあたり、前記チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップ部分が他のチップとは異なる表示形態で強調表示されることを特徴とする請求項１記載の半導体メモリ検査装置。
フェイルビットマップ表示にあたり、共通の画面に複数のウェハが表示され、前記チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップを含むウェハが他のウェハとは異なる表示形態で強調表示されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体メモリ検査装置。
フェイルビットマップ表示にあたり、共通の画面に複数のウェハロットが表示され、前記チップ検索条件設定部で設定されたフェイルチップ検索条件と一致したチップを含むウェハロットが他のウェハロットとは異なる表示形態で強調表示されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体メモリ検査装置。
前記検索結果が、ネットワークを介して関係者に開示されることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の半導体メモリ検査装置。