JP2002170393A

JP2002170393A - フェイル解析装置

Info

Publication number: JP2002170393A
Application number: JP2000361118A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Fukuda; 浩章福田
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2000-11-28
Filing date: 2000-11-28
Publication date: 2002-06-14

Abstract

(57)【要約】【課題】複数のフェイルビットマップのウインドウを
表示する場合の切り替え操作の煩雑さを低減することが
できるフェイル解析装置を提供すること。【解決手段】マルチウインドウの表示状態が指示され
て、メインビューア・ウインドウ、ロジカルビューア・
ウインドウ、フィジカルビューア・ウインドウ等が重ね
て表示された場合に、管理ビューア作成部８６は、これ
ら重ねて表示された各ウインドウに対応する選択肢と、
対応する縮小ロジカルマップあるいは縮小フィジカルマ
ップを含む管理ビューア・ウインドウを作成して表示す
る。縮小ロジカルマップ等によって各ウインドウの内容
を概略的に把握することができ、いずれかの選択肢が指
定されると、対応するウインドウが画面の最前部に表示
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリの記
憶セルのフェイル分布状態の測定結果を表示するフェイ
ル解析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体試験装置は、被試験デバイス（Ｄ
ＵＴ）としての半導体メモリ（以下、単に「メモリ」と
称する）内の各記憶セルに対してデータの読み書きを行
うことにより、各記憶セルの不良を解析する。一般に、
半導体試験装置は、ＤＵＴから読み出されたデータと所
定の期待値データとを比較してパス・フェイルの判定を
行い、この結果をフェイルメモリに格納する。このよう
にしてフェイルメモリに格納されたフェイル情報を、ワ
ークステーション等によって構成されるフェイル解析装
置によって収集してその内容を調べることにより、この
ＤＵＴに対する各種の不良解析が行われる。

【０００３】例えば、フェイル解析装置は、所定のメモ
リデバイス評価ツールを用いることにより、大容量のＤ
ＲＡＭのフェイル分布状態をフィジカルマップあるいは
ロジカルマップとして表示することができる。フィジカ
ルマップは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる２
次元のフェイルビットマップであり、メモリの不良記憶
セルの物理的配置を確認するために用いられる。また、
ロジカルマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号と
を座標として用いる３次元のフェイルビットマップであ
り、論理アドレスＺを用いる場合には４次元になること
もある。上述したフェイルメモリから読み出されるフェ
イル情報に基づいてこのロジカルマップが生成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、一般的な半
導体試験装置は、複数個のメモリに対して同時に試験を
行うことが可能であり、これによりメモリ１個当たりの
試験時間の短縮を図っている。したがって、１回の試験
が終了すると、上述したフェイルメモリには、複数個の
メモリのそれぞれに対応するフェイル情報が格納され
る。

【０００５】ところが、このようにして得られたフェイ
ル情報を解析するために、従来のフェイル解析装置で複
数のロジカルマップやフィジカルマップの内容を表示さ
せようとすると、操作が煩雑になるという問題があっ
た。例えば、半導体試験装置内のフェイルメモリの内容
を読み出してロジカルマップやフィジカルマップの内容
を表示させる（この動作状態を「テスタモード」とい
う）場合には、ロジカルマップのウインドウとフィジカ
ルマップのウインドウを同時に表示したり、複数のロジ
カルマップのウインドウや複数のフィジカルマップのウ
インドウを同時に表示することができなかった。

【０００６】また、半導体試験装置内のフェイルメモリ
から読み出したフェイル情報を、一旦フェイル解析装置
内のメモリやハードディスク等に格納しておいて、この
格納されたフェイル情報を読み出してロジカルマップや
フィジカルマップの内容を表示させる（この動作状態を
「ファイルモード」と称する）場合には、従来のフェイ
ル解析装置でも、ロジカルマップのウインドウとフィジ
カルマップのウインドウを同時に表示したり、複数のロ
ジカルマップのウインドウや複数のフィジカルマップの
ウインドウを同時に表示することは可能であった。しか
し、これら複数のウインドウが部分的に重なって表示さ
れるだけであり、任意のウインドウの内容を見たい場合
には、見たいウインドウの一部をマウス等でクリックし
て一番上に表示位置を変更する必要があった。このよう
に、重なって表示された複数のウインドウの表示状態を
管理する方法がなかったため、内容を比較しながらいず
れかのウインドウを選択する等の操作が不可能であり、
操作が煩雑であって操作性が悪いという問題があった。

【０００７】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、複数のフェイルビットマッ
プのウインドウを表示する場合の切り替え操作の煩雑さ
を低減することができるフェイル解析装置を提供するこ
とにある。また、本発明の他の目的は、複数のフェイル
ビットマップのウインドウを表示する場合に各ウインド
ウの内容を比較して、その結果をウインドウの表示切替
に反映させることができるフェイル解析装置を提供する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のフェイル解析装置は、半導体試験装置
によって半導体メモリを試験した結果を表示する場合
に、半導体メモリに対応する試験結果を表す複数の試験
結果ウインドウ画像を作成する試験結果ウインドウ作成
手段と、複数の試験結果ウインドウ画像のそれぞれに対
応する複数の選択肢を含む管理ウインドウ画像を表示す
る管理ウインドウ作成手段と、複数の試験結果ウインド
ウ画像と管理ウインドウ画像とを画面に表示する表示手
段と、管理ウインドウ画像内のいずれかの選択肢を指定
する操作手段と、指定された選択肢に対応する試験結果
ウインドウ画像の表示位置を最前部に設定する表示切替
手段とを備えている。複数の試験結果ウインドウ画像が
重なって表示されている場合であっても、表示の切り替
えが可能な複数の試験結果ウインドウ画像を管理ウイン
ドウ画像内の選択肢を指定するだけで選ぶことができる
ため、試験結果ウインドウ画像の切り替えを行う際の操
作の煩雑さを低減することができる。

【０００９】また、上述した管理ウインドウ画像には、
選択肢のそれぞれに対応する試験結果の内容を簡略表示
するフェイルビットマップの縮小画像が含まれているこ
とが望ましい。縮小画像によってフェイルビットマップ
の概略的な内容を確認しながら表示状態の切り替えを指
示することができるため、少ない操作回数で見たい試験
結果を表示させることができる。また、各試験結果ウイ
ンドウ画像の概略的な内容の比較が可能になるため、こ
の比較結果を表示切替に反映させることができる。

【００１０】また、上述した試験結果には、ロジカルフ
ェイルビットマップとフィジカルフェイルビットマップ
が含まれており、ロジカルフェイルビットマップのデー
タを用いてフィジカル変換処理を行うことによりフィジ
カルビットマップのデータを作成するフィジカル変換手
段をさらに備えることが望ましい。半導体試験装置を用
いた試験によってロジカルフェイルビットマップのデー
タが得られたときに、フィジカル変換処理によってフィ
ジカルフェイルビットマップのデータが作成されるた
め、これらのデータを用いることにより、両方のビット
マップのウインドウ画像を同時に表示するとともに、必
要に応じて表示状態を切り替えることが可能になる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本実施形態のフェイル解析装置が接続
される半導体試験装置の構成を示す図である。図１に示
すように、半導体試験装置１００は、タイミング発生器
１１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論
理比較器１１６、ＡＦＭ（アドレスフェイルメモリ）１
１８、ＣＦＭ（コンパクトフェイルメモリ）１２０、テ
スタ処理部１２２、通信制御部１２４、フィジカル変換
部１２６を含んで構成されている。

【００１２】パターン発生器１１２によって発生したア
ドレスとデータが波形整形器１１４により波形整形され
てＤＵＴ１３０に入力される。論理比較器１１６は、Ｄ
ＵＴ１３０から読み出されたデータと、パターン発生器
１１２から出力される期待値とを比較して、パス・フェ
イルの判定を行う。

【００１３】ＡＦＭ１１８は、論理比較器１１６より出
力されるフェイル信号と、パターン発生器１１２より出
力されるアドレス信号により、各アドレス毎のフェイル
情報を格納する。これらの一連の動作は全てタイミング
発生器１１０から各部に入力されるシステムクロックに
同期して行われる。このＡＦＭ１１８に格納されるフェ
イル情報は、論理フェイルビットマップデータであり、
各Ｉ／Ｏ番号毎にＸアドレスとＹアドレスによって特定
される各記憶セルについてパスかフェイルかを示すビッ
トデータ（例えば、パスが“０”に、フェイルが“１”
に対応する）が格納されている。

【００１４】また、ＣＦＭ１２０は、ＡＦＭ１１８の内
容を縮小したフェイル情報を格納する。例えば、各Ｉ／
Ｏ番号毎に、Ｘアドレスがｎ分割、Ｙアドレスがｍ分割
され、各分割領域に対応する１ビットデータが得られ
る。具体的には、この１ビットデータの値は、Ｘアドレ
スの該当分割領域およびＹアドレスの該当分割領域に対
応するＡＦＭ１１８の複数のビットデータの論理和を演
算することにより求められる。すなわち、各分割領域で
特定される複数のビットデータの中に１つでもフェイル
を示す“１”が含まれる場合には、ＣＦＭ１２０内の対
応するビットデータがフェイルを示す“１”に設定さ
れ、各分割領域で特定される複数のビットデータの全て
がパスを示す“０”である場合には、ＣＦＭ１２０内の
対応するビットデータがパスを示す“０”に設定され
る。なお、以下の説明では、ＡＦＭ１１８から読み出さ
れるデータを「ＡＦＭデータ」あるいは「詳細ロジカル
データ」、ＣＦＭ１２０から読み出されるデータを「Ｃ
ＦＭデータ」あるいは「縮小ロジカルデータ」と称して
説明を行うものとする。

【００１５】フィジカル変換部１２６は、ＡＦＭ１１８
に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジ
カル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビ
ットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と
称する）を生成する。このフィジカル変換部１２６は、
専用のハードウエアによって構成されており、フィジカ
ル変換処理を高速に実行することができる。

【００１６】また、テスタ処理部１２２は、オペレーテ
ィングシステム（ＯＳ）によってテストプログラムを実
行して所定の試験を実施するために半導体試験装置１０
０の全体を制御する。例えば、ＡＦＭデータに基づいて
ＣＦＭデータを生成する処理はこのテスタ処理部１２２
によって行われる。通信制御部１２４は、半導体試験装
置１００に接続されたフェイル解析装置１０との間で各
種データの送受信を行う。

【００１７】図２は、本実施形態のフェイル解析装置１
０の詳細構成を示す図である。図２に示すように、フェ
イル解析装置１０は、通信制御部１２、ロジカルマップ
格納部１４、フィジカル変換部１６、フィジカルマップ
格納部１８、縮小処理部２０、詳細データ取得部３０、
縮小データ取得部４０、メインビューア作成部８０、ロ
ジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部
８４、管理ビューア作成部８６、表示切替部８８、表示
制御部９０、表示装置９４、操作部９６、ＧＵＩ処理部
９８を備えている。

【００１８】通信制御部１２は、半導体試験装置１００
との間で各種データの送受信を行う。ロジカルマップ格
納部１４は、ＤＵＴ１３０に対する試験によって得られ
た詳細ロジカルデータおよび縮小ロジカルデータを格納
する。フィジカル変換部１６は、詳細ロジカルデータに
基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジ
カルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジ
カルデータ」と称する）を生成する。フィジカルマップ
格納部１８は、フィジカル変換部１６によるフィジカル
変換処理によって得られた詳細フィジカルデータを格納
する。縮小処理部２０は、詳細フィジカルデータの内容
を縮小したビットマップデータ（以後、「縮小フィジカ
ルデータ」と称する）を生成する縮小処理を行う。この
縮小処理は、上述した半導体試験装置１００においてＡ
ＦＭデータからＣＦＭデータを生成する場合の処理と同
じである。

【００１９】詳細データ取得部３０は、詳細ロジカルデ
ータと詳細フィジカルデータを取得する。本実施形態の
フェイル解析装置１０は、半導体試験装置１００から直
接詳細ロジカルデータや縮小ロジカルデータを取得しな
がら各種の解析を行う「テスタモード」と、一旦保存し
た詳細ロジカルデータ等に基づいて各種の解析を行う
「ファイルモード」の２種類の動作モードを有する。

【００２０】具体的には、詳細ロジカルデータは、テス
タモード時には半導体メモリ１００内のＡＦＭ１１８か
らＡＦＭデータを読み出すことによって取得され、ファ
イルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当す
るデータを読み出すことにより取得される。また、詳細
フィジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装
置１００内のＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカ
ルデータに基づいてフィジカル変換部１２６によるフィ
ジカル変換処理を行った結果を読み込むことにより取得
され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１
８から該当するデータを読み出すことにより取得され
る。

【００２１】また、縮小データ取得部４０は、縮小ロジ
カルデータと縮小フィジカルデータを取得する。具体的
には、縮小ロジカルデータは、テスタモード時には半導
体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からＣＦＭデータを
読み出すことにより取得され、ファイルモード時にはロ
ジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出す
ことにより行われる。また、縮小フィジカルデータは、
テスタモード時にはフィジカル変換処理によって得られ
た詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０によ
る縮小処理を行うことにより取得され、ファイルモード
時にはフィジカルマップ格納部１８から読み出した詳細
フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小
処理を行うことにより取得される。

【００２２】メインビューア作成部８０は、表示装置９
４にメインビューア・ウインドウを表示するために必要
な描画データを作成する。このメインビューア・ウイン
ドウには、試験対象となった複数個のＤＵＴ１３０の試
験結果が一覧形式で含まれている。

【００２３】ロジカルビューア作成部８２は、表示装置
９４にロジカルビューア・ウインドウを表示するために
必要な描画データを作成する。このロジカルビューア・
ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０およびＩ／Ｏ番号
が指定されたときのロジカルフェイルビットマップが含
まれる。

【００２４】また、フィジカルビューア作成部８４は、
表示装置９４にフィジカルビューア・ウインドウを表示
するために必要な描画データを作成する。このフィジカ
ルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０が指
定されたときのフィジカルフェイルビットマップが含ま
れる。

【００２５】ところで、本実施形態のフェイル解析装置
１０では、一のメインビューア・ウインドウと１あるい
は複数のロジカルビューア・ウインドウと１あるいは複
数のフィジカルビューア・ウインドウを１画面内に重ね
て表示を行うことが可能な「マルチウインドウ」の表示
状態を指定することができる。

【００２６】管理ビューア作成部８６は、表示装置９４
に管理ビューア・ウインドウを表示するために必要な描
画データを作成する。この管理ビューア・ウインドウ
は、上述したマルチウインドウの表示状態が指定されて
複数のウインドウが１画面内に重ねて表示されたとき
に、いずれのウインドウを最前部に表示するかを指定す
るための複数の選択肢を有している。各選択肢は、その
時点で重ねて表示されている複数のウインドウのそれぞ
れに対応している。上述したメインビューア・ウインド
ウ、ロジカルビューア・ウインドウ、フィジカルビュー
ア・ウインドウの具体例については後述する。

【００２７】表示切替部８８は、管理ビューア・ウイン
ドウに含まれる複数の選択肢のいずれかが指定されたと
きに、対応するウインドウの表示を画面の最前部に切り
替える処理を行う。表示制御部９０は、メインビューア
作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカル
ビューア作成部８４、管理ビューア作成部８６のそれぞ
れによって作成された描画データに基づいて、表示装置
９４に出力する映像信号を生成する。この表示制御部９
０にはＶＲＡＭ（ビデオＲＡＭ）９２が備わっており、
画面上で一番上に表示したいウインドウの描画データが
格納される。

【００２８】操作部９６は、利用者が各種の指示入力を
行うためのものであり、表示装置９４の表示画面の任意
位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウス
や、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号
キーからなるキーボードが含まれている。ポインティン
グデバイスは、マウス以外のデバイス、例えば入力タブ
レットやタッチパネル等を用いるようにしてもよい。Ｇ
ＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）処理部
９８は、操作部９６の操作状態に対応するＧＵＩ処理を
実現するためのものである。例えば、メインビューア・
ウインドウ等に含まれる各種のコマンドやボタンがマウ
スを用いてクリックされたときに、対応する処理を判定
し、この処理の依頼を行う。

【００２９】上述したメインビューア作成部８０、ロジ
カルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８
４が試験結果ウインドウ作成手段に、管理ビューア作成
部８６が管理ウインドウ作成手段に、表示制御部９０、
表示装置９４が表示手段に、操作部９６、ＧＵＩ処理部
９８が操作手段に、表示切替部８８が表示切替手段にそ
れぞれ対応する。

【００３０】本実施形態のフェイル解析装置１０はこの
ような構成を有しており、次にその動作を説明する。図
３は、フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であ
り、メインビューア・ウインドウを表示した後にマルチ
ウインドウの表示状態が指定される場合の一連の動作手
順が示されている。なお、動作モードにはテスタモード
とファイルモードがあるが、マルチウインドウの表示状
態に関しては、これらは主にデータの取得先が異なるだ
けであるため、以下ではテスタモードに着目して説明を
行うものとする。

【００３１】フェイル解析装置１０が起動されると、ま
ず、メインビューア作成部８０は、メインビューア・ウ
インドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ス
テップ１００）。図４は、メインビューア・ウインドウ
の具体例を示す図である。以下、メインビューア・ウイ
ンドウ内の主な表示内容について説明する。

【００３２】ＤＵＴデータ表示領域（ａ７）試験対象となった複数のＤＵＴ１３０のそれぞれの試験
結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形
で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＤＵＴ
番号を示しており、このＤＵＴ番号によって特定された
ＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかがこの矩形内
の色によって表現されている。例えば、パスの場合（こ
のＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパス
である場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイ
ルの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデー
タに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤
色に着色される。なお、図４に示したＤＵＴデータ表示
領域ａ７には、１〜１２８のＤＵＴ番号を示したが、半
導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の
数が１２８より少ない場合には、対応するＤＵＴ１３０
が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表
示される。また、半導体試験装置１００に実際に実装さ
れたＤＵＴ１３０の数が１２８を超える場合には、１２
８個のＤＵＴ１３０の結果画像が含まれるページを切り
替えて表示する。

【００３３】Ｉ／Ｏデータ表示領域（ａ８）ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０について、
各Ｉ／Ｏ番号毎の試験結果を示す結果画像を表示するた
めに用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に
含まれる数字がＩ／Ｏ番号を示しており、このＩ／Ｏ番
号によって指定されるロジカルフェイルビットマップが
パスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表
現されている。例えば、パスの場合（このＩ／Ｏ番号に
対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）に
は矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（この
Ｉ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフ
ェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色され
る。なお、図４に示したＩ／Ｏデータ表示領域ａ８に
は、０〜１４３のＩ／Ｏ番号を示したが、半導体試験装
置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０のＩ／Ｏ番号
の最大値が１４３より小さい場合には、対応するＩ／Ｏ
番号が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャド
ウ表示される。このＤＵＴ１３０の数や次に示すＩ／Ｏ
番号は、例えば、半導体試験装置１００からフェイル解
析装置１０に通知（Notify）が送られてきたときに、こ
れらの数に関する情報が読み込まれて更新される。ま
た、ＤＵＴ番号の最大値が１４３を超える場合には、ペ
ージを切り替えて表示する。

【００３４】表示切替オプションメニュー（ａ９）上述したＤＵＴデータ表示領域ａ７あるいはＩ／Ｏデー
タ表示領域ａ８における表示内容を切り替えるために用
いられる。ＤＵＴデータ表示領域ａ７について、「Ｐａ
ｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ
（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」の各表示
オプションが用意されている。また、Ｉ／Ｏデータ表示
領域ａ８について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ
（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、
「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」の各表示オプション
が用意されている。

【００３５】「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」は、試験結果がパ
スかフェイルかを示す上述した結果画像を表示するため
のオプションである。図４に示したメインビューア・ウ
インドウの画面では、起動時のデフォルトとしてこの表
示オプションが選択された状態が示されている。

【００３６】また、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ
（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」、「ＣＦ
Ｍ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６
Ｉ／Ｏ）」のそれぞれは、縮小ロジカルデータに対応す
るロジカルフェイルビットマップ（以後、「縮小ロジカ
ルマップ」と称する）を示す縮小画像を括弧内の数だけ
表示するためのオプションである。縮小画像の具体的な
表示例については後述する。

【００３７】「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタン（ａ１０）ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０に対応する
フィジカルビューア・ウインドウの表示を指示するため
に用いられる。図５は、縮小ロジカルマップを示す縮小
画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具
体例を示す図である。例えば、ＤＵＴデータ表示領域ａ
７に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ＤＵ
Ｔ）」が、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に対応する表示オ
プションとして「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」がそ
れぞれ選択された状態が示されている。

【００３８】ＤＵＴデータ表示領域ａ７内において、数
字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａ
ｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、
この番号で指定されるＤＵＴ１３０がパスなのかフェイ
ルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置す
る矩形領域は、ＤＵＴ１３０毎の縮小ロジカルマップの
内容を示す縮小画像を示している。半導体試験装置１０
０内のＣＦＭ１２０からは、Ｉ／Ｏ番号毎のＣＦＭデー
タ（縮小ロジカルデータ）が読み出されるため、メイン
ビューア作成部８０は、各ＤＵＴ１３０毎に全Ｉ／Ｏ番
号の縮小ロジカルデータの各ビットの論理和を求めてこ
の縮小画像を生成する。

【００３９】また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８内におい
て、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして
「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容で
あり、このＩ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータがパスなの
かフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部
に位置する矩形領域は、Ｉ／Ｏ番号毎の縮小ロジカルマ
ップの内容を示す縮小画像を示している。

【００４０】なお、図６に示した例では、ＤＵＴデータ
表示領域ａ７とＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の両方が表示
されているが、いずれか一方を非表示状態にして他方の
表示可能数を増やすこともできる。図４に示したメイン
ビューア・ウインドウを表示した状態で、次に、ＧＵＩ
処理部９８は、マルチウインドウの表示状態が指示され
たか否かを判定する（ステップ１０１）。例えば、メイ
ンビューア・ウインドウの上部に表示されたメニューバ
ーの中の「Ｏｐｔｉｏｎｓ」に対応するプルダウンメニ
ューに、マルチウインドウの表示状態を指示する「Ｍｕ
ｌｔｉ−Ｗｉｎｄｏｗ」が含まれているものとする。Ｇ
ＵＩ処理部９８は、この「Ｍｕｌｔｉ−Ｗｉｎｄｏｗ」
がマウスによってクリックされたりキーボードを使って
指し示されたか否かを監視することにより、上述したス
テップ１０１の判定を行う。

【００４１】マルチウインドウの表示状態が指示されな
い場合にはステップ１０１の判定で否定判断が行われ、
通常の表示動作が行われる（ステップ１０２）。また、
マルチウインドウの表示動作が指示された場合にはステ
ップ１０１の判定で肯定判断が行われ、次に、ＧＵＩ処
理部９８は、ロジカルビューア・ウインドウあるいはフ
ィジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたか否
か（ステップ１０３）、管理ビューア・ウインドウの表
示が指示されたか否か（ステップ１０４）を判定する。

【００４２】メインビューア・ウインドウが表示された
状態で、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に含まれるいずれか
のＩ／Ｏ番号が指定されると、これはロジカルビューア
・ウインドウの表示が指示されたことになる。この場合
にはステップ１０３の判定で肯定判断が行われ、次に、
ロジカルビューア作成部８２は、この指定されたＩ／Ｏ
番号に対応するロジカルビューア・ウインドウの画像を
作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０５）。

【００４３】図６は、ロジカルビューア・ウインドウの
具体例を示す図である。このウインドウには、縮小ロジ
カルマップａ１１とその一部あるいは全部に対応するロ
ジカルフェイルビットマップａ１２が含まれている。こ
のロジカルフェイルビットマップａ１２は、詳細データ
取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基
づいて作成される。

【００４４】また、メインビューア・ウインドウが表示
された状態で、「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタンａ１０が選
択されると、これはフィジカルビューア・ウインドウの
表示が指示されたことになる。この場合にもステップ１
０３の判定で肯定判断が行われ、次に、フィジカルビュ
ーア作成部８４は、そのとき指定されているＤＵＴ番号
に対応するフィジカルビューア・ウインドウの画面を作
成して表示装置９４に表示する（ステップ１０５）。

【００４５】図７は、フィジカルビューア・ウインドウ
の具体例を示す図である。このウインドウには、縮小フ
ィジカルマップａ１３とその一部あるいは全部に対応す
るロジカルフェイルビットマップａ１４が含まれてい
る。このロジカルフェイルビットマップａ１４は、詳細
データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデー
タに基づいて作成される。

【００４６】なお、既にマルチウインドウの表示状態が
指示されているため、それまでに他のウインドウが表示
されている場合であっても、表示済みのウインドウの表
示状態はそのままにして、新たに作成したロジカルビュ
ーア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウが
重ねて表示される。

【００４７】図８は、マルチウインドウの表示状態が指
定されて複数のウインドウが重ねて表示された場合の表
示例を示す図である。図８に示すように、ステップ１０
５において新しいウインドウの表示が行われると、その
都度画面の最前部に新しいウインドウが重ねて表示され
る。

【００４８】また、例えば、メインビューア・ウインド
ウの上部に表示されたメニューバーの中の「Ｗｉｎｄｏ
ｗ」に対応するプルダウンメニューに、管理ビューア・
ウインドウの表示を指示する「Ｖｉｅｗｅｒｓ…」が含
まれているものとする。ＧＵＩ処理部９８は、この「Ｖ
ｉｅｗｅｒｓ…」がマウスによってクリックされたりキ
ーボードを使って指し示されたか否かを監視することに
より、上述したステップ１０４の判定を行う。

【００４９】管理ビューア・ウインドウの表示が指示さ
れるとステップ１０４の判定で肯定判断が行われ、次
に、管理ビューア・ウインドウの画面を作成して表示装
置９４に表示する（ステップ１０６）。図９は、管理ビ
ューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウイ
ンドウには、その時点で表示されている複数のウインド
ウを簡略化した名称が含まれる複数のボタンが表示され
ている。例えば、メインビューア・ウインドウに対応し
て「Ｍａｉｎ」の文字が付されたボタンが表示されてい
る。また、４つのロジカルビューア・ウインドウに対応
してそれぞれ「Ｌｏｇｉｃａｌ−１」、「Ｌｏｇｉｃａ
ｌ−２」、「Ｌｏｇｉｃａｌ−３」、「Ｌｏｇｉｃａｌ
−４」の文字が付された４つのボタンが表示されてい
る。さらに、２つのフィジカルビューア・ウインドウに
対応してそれぞれ「Ｐｈｙｇｉｃａｌ−１」、「Ｐｈｙ
ｇｉｃａｌ−２」の文字が付された２つのボタンが表示
されている。これらの各ボタンは、表示を切り替えた
い、すなわち画面の最前部に表示したウインドウを選択
するための選択肢となる。

【００５０】また、上述した管理ビューア・ウインドウ
には、各ウインドウに対応した複数のボタンの上部に、
各ボタンに１対１に対応する縮小ロジカルマップあるい
は縮小フィジカルマップを示す縮小画像が含まれてい
る。なお、メインビューア・ウインドウには、対応する
縮小画像がないため、対応するボタンのみが表示されて
いる。

【００５１】次に、ＧＵＩ処理部９８は、管理ビューア
・ウインドウに含まれるいずれかのボタン（選択肢）が
選択されたか否かを判定する（ステップ１０７）。選択
されない場合には否定判断された後、この判定が繰り返
される。また、いずれかのボタンがマウスでクリックさ
れて選択されるとステップ１０７の判定で肯定判断が行
われれ、次に、表示切替部８８は、この選択されたボタ
ンに対応するウインドウが画面の最前部になるように表
示制御部９０に指示を送る。これにより、ＶＲＡＭ９２
の描画データの格納順番等が変更されて、ウインドウの
表示順番が更新され、選択されたウインドウが最前部に
表示される（ステップ１０８）。その後、ステップ１０
１に戻る。なお、既にマルチウインドウの表示状態が指
示されている場合には、ステップ１０１の判定において
肯定判断が行われ、それ以降の処理が繰り返される。

【００５２】このように、本実施形態のフェイル解析装
置１０では、メインビューア・ウインドウやロジカルビ
ューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウイ
ンドウが重なって表示されている場合であっても、最前
部に表示したいウインドウを管理ビューア・ウインドウ
内の選択肢（ボタン）を指定するだけで選ぶことができ
るため、ウインドウの切り替えを行う際の操作の煩雑さ
を低減することができる。

【００５３】また、管理ビューア・ウインドウには、切
り替え対象となる各ウインドウに対応する縮小ロジカル
マップや縮小フィジカルマップが含まれているため、こ
れらによって概略的な内容を確認しながら表示状態の切
り替えを指示することができる。このため、少ない操作
回数で見たいウインドウを表示させることができる。ま
た、各ウインドウの概略的な内容の比較が可能になるた
め、この比較結果を表示切替に反映させることができ
る。

【００５４】なお、上述した実施形態では、メインビュ
ーア・ウインドウが表示されている状態で、マルチウイ
ンドウの表示状態を指示したり、管理ビューア・ウイン
ドウの表示を指示したが、他のロジカルビューア・ウイ
ンドウやフィジカルビューア・ウインドウが表示されて
いるときにこれらの指示を行うようにしてもよい。

【００５５】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、複数
の試験結果ウインドウ画像が重なって表示されている場
合であっても、表示の切り替えが可能な複数の試験結果
ウインドウ画像を管理ウインドウ画像内の選択肢を指定
するだけで選ぶことができるため、試験結果ウインドウ
画像の切り替えを行う際の操作の煩雑さを低減すること
ができる。

【００５６】また、縮小画像によってフェイルビットマ
ップの概略的な内容を確認しながら表示状態の切り替え
を指示することができるため、少ない操作回数で見たい
試験結果を表示させることができる。さらに、各試験結
果ウインドウ画像の概略的な内容の比較が可能になるた
め、この比較結果を表示切替に反映させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態のフェイル解析装置が接続される半
導体試験装置の構成を示す図である。

【図２】本実施形態のフェイル解析装置の詳細構成を示
す図である。

【図３】フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であ
る。

【図４】メインビューア・ウインドウの具体例を示す図
である。

【図５】縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含
まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図で
ある。

【図６】ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す
図である。

【図７】フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示
す図である。

【図８】マルチウインドウの表示状態が指定されて複数
のウインドウが重ねて表示された表示例を示す図であ
る。

【図９】管理ビューア・ウインドウの具体例を示す図で
ある。

【符号の説明】

１０フェイル解析装置１４ロジカルマップ格納部１６フィジカル変換部１８フィジカルマップ格納部２０縮小処理部３０詳細データ取得部４０縮小データ取得部８０メインビューア作成部８２ロジカルビューア作成部８４フィジカルビューア作成部８６管理ビューア作成部８８表示切替部９０表示制御部９４表示装置９６操作部９８ＧＵＩ処理部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０１Ｒ 31/28 ＲＦターム(参考） 2G032 AA07 AB01 AE09 AE10 AE11 AG01 AG07 AL00 5B018 GA03 KA01 QA13 5E501 AA30 AC32 BA03 CA03 CB09 EA10 FA03 FA13 FA14 FA23 FB04 FB34 5L106 AA01 DD01 DD03 DD24 DD25 DD26 GG06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体試験装置によって半導体メモリを
試験した結果を表示するフェイル解析装置であって、前記半導体メモリに対応する試験結果を表す複数の試験
結果ウインドウ画像を作成する試験結果ウインドウ作成
手段と、前記複数の試験結果ウインドウ画像のそれぞれに対応す
る複数の選択肢を含む管理ウインドウ画像を表示する管
理ウインドウ作成手段と、前記試験結果ウインドウ作成手段によって作成された前
記複数の試験結果ウインドウ画像と、前記管理ウインド
ウ作成手段によって作成された前記管理ウインドウ画像
とを画面に表示する表示手段と、前記管理ウインドウ画像内のいずれかの前記選択肢を指
定する操作手段と、前記操作手段によって指定された前記選択肢に対応する
前記試験結果ウインドウ画像の表示位置を最前部に設定
する表示切替手段と、を備えることを特徴とするフェイル解析装置。
【請求項２】請求項１において、前記管理ウインドウ画像には、前記選択肢のそれぞれに
対応する前記試験結果の内容を簡略表示するフェイルビ
ットマップの縮小画像が含まれていることを特徴とする
フェイル解析装置。
【請求項３】請求項１または２において、前記試験結果には、ロジカルフェイルビットマップとフ
ィジカルフェイルビットマップが含まれており、前記ロジカルフェイルビットマップのデータを用いてフ
ィジカル変換処理を行うことにより前記フィジカルビッ
トマップのデータを作成するフィジカル変換手段をさら
に備えることを特徴とするフェイル解析装置。