JP2010034256A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被吸着物を吸着固定するための吸着面13を有する絶縁板11と、絶縁板11の内部に設けられた静電電極12とを備えた静電チャック10であって、絶縁板11は、ヤング率が100〜200GPaのセラミックからなり、かつ吸着面13の表面粗さ(Ra)が1〜2μmである。
【選択図】図1
Description
ここで、ヤング率は、JIS R 1602に規定する超音波パルス法により室温で測定された値である。
(1)イットリア粉末:97.9質量%、分散剤:2.0質量%及びカルシア粉末(CaO):0.1質量%を、エタノールとトルエンの混合溶媒(重量比1:1)中で十分に湿式混合した後、バインダ(ブチラール樹脂)を添加し、さらに混合して流動性のあるスラリーとする。
(2)次に、このスラリーから、ドクターブレード法により、厚さ0.2mmのイットリアグリーンシートを得る。
(3)また、白金粉末とイットリア粉末を体積比で1:1となるように秤量し、分散剤、バインダ(エチルセルロース)及びターピネオールとともに混合し、3本ロールで混練してメタライズペーストを調製する。
(4)イットリアグリーンシートを450mm角の大きさに切断し、この切断したイットリアグリーンシートを4枚、40℃、0.5MPaの条件で積層した後、この積層体上に、メタライズペーストを用いて、スクリーン印刷法により、静電電極12のパターンを印刷する。また、切断したイットリアグリーンシートを10枚、前記と同様の条件で積層し、この積層体の所定の位置にドリルで冷却ガス供給孔15用の貫通孔を穿設する。その後、貫通孔を設けた積層体(10層)上に、静電電極12のパターンを印刷した積層体(4層)を、パターン印刷面を積層体(10層)側に向けて積層し、50℃、6MPaの条件で圧着する。
(5)以上のようにして積層圧着したイットリアグリーンシートの積層体を、直径400mmの円板に加工する。
(6)次に、加工した積層体を、大気中、500℃で脱脂した後、大気中、1550℃で焼成を行い、さらに、大気中、1500℃で反りの修正を行い、セラミック焼結体を得る。
(7)セラミック焼結体に、平行研削加工及び外周加工を行い、厚さ約2mm、直径300mmとした後、金属製のベース板20の表面に、例えばシリコーン系接着剤を用いて接合し、電極端子又は静電電極12にピン端子をロー付け又は半田付けする。電極端子又は静電電極12には、必要に応じて予めニッケルメッキを施しておく。
(8)次に、セラミック焼結体の表面をサンドブラスト処理して、表面粗さ(Ra)を1〜2μmとした後、所定のレジストパターンを形成し、レジスト非形成部分に再度、サンドブラスト処理を行い、溝14を形成する。その後、レジストを除去することにより、表面粗さ(Ra)が1〜2μmの吸着面13を有する本実施形態の静電チャック10を備えた静電チャック装置100が完成する。
コーディエライト粉末を、高純度アルミナ球石(純度99.9%以上)を用いてエタノールとトルエンの混合溶媒(重量比1:1)で粉砕混合した後、この粉末に(粉末に対する割合として)、バインダ(ブチラール樹脂):10質量%、可塑剤:4質量%を加え、ボールミルで混合して、流動性のあるスラリーとし、このスラリーから、イットリアグリーンシートと同様にして、ドクターブレード法により作製した。
アルミナ粉末:92質量%、MgO:1質量%、CaO:1質量%及びSiO2:6質量%をボールミルでトルエンとエタノール(重量比1:1)を溶媒として湿式粉砕した後、この粉末に(粉末に対する割合として)、バインダ(ブチラール樹脂):10質量%、可塑剤:4質量%を加え、ボールミルで混合して、流動性のあるスラリーとし、このスラリーから、イットリアグリーンシートと同様にして、ドクターブレード法により作製した。
タングステン粉末とアルミナ粉末を体積比で1:1となるように秤量し、分散剤、バインダ(エチルセルロース)とともに混合し、3本ロールで混練して調製した。
Claims (6)
- 被吸着物を吸着固定するための吸着面を有する絶縁板と、前記絶縁板の内部に設けられた静電電極とを備えた静電チャックであって、
前記絶縁板は、ヤング率が100〜200GPaのセラミックからなり、かつ前記吸着面の表面粗さ(Ra)が1〜2μmであることを特徴とする静電チャック。 - 前記絶縁板は、ヤング率が130〜180GPaのセラミックからなることを特徴とする請求項1記載の静電チャック。
- 前記セラミックは、イットリアを主体とするものであることを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャック。
- 前記絶縁板には、前記吸着面に冷却用のガスを供給するためのガス供給孔が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の静電チャック。
- 前記吸着面には、前記被吸着物を吸着したときに該被吸着物との間で冷却用ガスの流路を形成するような溝が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の静電チャック。
- 前記被吸着物は、前記吸着面との接触面積が500cm2以上のものであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の静電チャック。
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