JP2010028063A - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1次剥離工程にて接着シートSの端部をウェハWから剥離してから、2次貼付工程にて第2押圧ヘッド34により剥離用テープTの第2接着領域を接着シートSに貼付し、2次剥離工程にて接着シートS全体をウェハWから剥離することで、接着シートSを段階的に剥離することができる。そして、2次貼付工程では、当て板60の上面に配置した接着シートSおよび剥離用テープTを押圧することで、押圧ヘッド33からの押圧力を当て板60で支持することができ、第2接着領域の接着面積を大きく設定することが可能となる。従って、ウェハWの起き上がりに伴う割れを防止して接着シートSをウェハWから円滑に剥離することができる。
【選択図】図3
Description
このようなウェハWの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域90のウェハWの中心に向かう径方向の長さ(距離d0)を短くすれば、解消されるが、ウェハWの全面から接着シート91を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープTが接着シート91から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープの第1接着領域は、前記接着シートの端縁に沿って設けられ、前記第2接着領域は、前記第1接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第1接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることが好ましい。
以上のような本発明のシート剥離装置およびシート剥離方法によれば、段階的に剥離用テープを接着シートに貼付して剥離することで、被着体の起き上がりを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
また、剥離用テープの第1接着領域を接着シートの端縁に沿って設け、第2接着領域を第1接着領域よりも被着体の中央寄りに、かつ第1接着領域よりも広く設けることで、接着シートの端部を確実に剥離してから接着シート全体を剥離することができ、被着体の起き上がりをさらに効果的に防止することができる。
図1は、実施形態に係るシート剥離装置1を示す側面図である。
図1において、シート剥離装置1は、被着体としてのウェハWの表面に貼付された接着シートSを剥離用テープであるテープTを用いて剥離する装置であって、ウェハWを保持する保持手段であるテーブル10と、テープTを繰出す繰出手段である繰出ユニット20と、繰出されたテープTを接着シートSに貼付する貼付手段である貼付ユニット30と、ウェハWとテープTとを相対移動させる移動手段40とを備えて構成されている。また、移動されるウェハWの上方には、押圧力支持手段として機能するとともに、押え手段としても機能する当て板60が設けられている。なお、ウェハWはダイシングテープDを介してリングフレーム12と一体化されている。
ウェハWから接着シートSを剥離する手順としては、先ず、図1に示すように、ウェハWがテーブル10の所定位置に保持されるとともに、シート剥離装置1の各部が初期位置設定された状態において、テープ切断部26および貼付ユニット30が上方に移動して退避してから、単軸ロボット41を介してチャック部材28が繰出ユニット20に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪27がテープ受け板253に当接すると、テープ受け板253をブッシュ251方向に押し込み、テープTの先端を上下の把持爪27間に受け入れる。そして、チャック部材28は、把持爪27を閉じてテープTの先端を把持するとともに、テープTを把持したままで繰出ユニット20から離れる方向に移動し、テープTを所定長さ引き出して停止する。
すなわち、1次剥離工程にて剥離した接着シートSとウェハWとの間に当て板60を配置した状態で、2次貼付工程にてテープTの第2接着領域を接着シートSに貼付することで、押圧ヘッド33からの押圧力がウェハWに作用しないようにできるため、第2接着領域の接着面積を大きく設定することが可能となる。従って、2次剥離工程において必要とされる接着面積が容易に確保できることから、ウェハWの外形が大型化されて接着シートSの剥離に大きな力が必要となったとしても、接着領域が不足してテープTが接着シートSから外れてしまうといった剥離不良を抑制し、確実にウェハWから接着シートSを剥離することができる。
さらに、1次剥離工程で先に接着シートSの端部を剥離しているため、2次剥離工程においてウェハWが起き上がって割れてしまうことを確実に防止することができる。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の接着テープであるテープTを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートSを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。
また、前記実施形態のシート剥離装置1において、本願発明の要部ではない部分に関しては、それらの説明を省略または簡略したが、省略した構成や動作としては、前記特許文献1に開示されたものが利用可能である。ただし、必ずしも特許文献1に開示された形態に限定されるものではなく、各部の機能に応じて適宜な改変を加えたものを用いてもよい。
また、前記実施形態では、ウェハWとテープTとの両方を移動させて相対移動させる移動手段40を構成したが、これに限らず、ウェハWとテープTとのいずれか一方のみを移動させるように移動手段40を構成してもよい。また、ウェハWとテープTとを相対移動させるのは、1次剥離工程および2次剥離工程の両方であってもよいし、いずれか一方であってもよい。
10 テーブル(保持手段)
20 繰出ユニット(繰出手段)
30 貼付ユニット(貼付手段)
33 押圧ヘッド
34 ヒータ(加熱手段)
40 移動手段
60 当て板(押圧力支持手段、押え手段)
RP 剥離境界
S 接着シート
T テープ(剥離用テープ)
W ウェハ(被着体)
Claims (5)
- 表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、
前記剥離用テープおよび接着シートを挟んで前記貼付手段の反対側から当該貼付手段の押圧力を支持する押圧力支持手段とを備え、
前記貼付手段により前記剥離用テープの第1接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を前記被着体から剥離する1次剥離を行い、
前記1次剥離で剥離した接着シートと前記被着体との間に前記押圧力支持手段を介在させた状態で、前記貼付手段により前記剥離用テープの第2接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて2次剥離を行うことを特徴とするシート剥離装置。 - 前記押圧力支持手段は、前記被着体の表面から離隔した状態で当該表面に沿って相対移動可能に設けられ、前記2次剥離における前記接着シートと前記被着体との剥離境界にて当該接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え手段としても機能することを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、
前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。 - 前記剥離用テープの第1接着領域は、前記接着シートの端縁に沿って設けられ、前記第2接着領域は、前記第1接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第1接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート剥離装置。
- 表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰出す工程と、
前記繰出された剥離用テープの第1接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する1次貼付工程と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する1次剥離工程と、
前記剥離した接着シートと前記被着体との間に押圧力支持手段を介在させる工程と、
前記剥離用テープおよび接着シートを挟んで前記押圧力支持手段の反対側から前記剥離用テープを押圧し当該剥離用テープの第2接着領域を前記接着シートに貼付する2次貼付工程と、
前記2次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートを剥離する2次剥離工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
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