JP2010026162A - 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光走査ミラー1は、可動板2と、可動板2の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板2の1つの揺動軸を構成する一対のヒンジ3と、可動板2の周囲を囲むように配され各ヒンジ3の他端部を支持する固定フレーム4と、可動板2と固定フレーム4との間に設けられた櫛歯電極5と、可動板2のうち櫛歯電極5の近傍部位に形成されたストッパ部6を備えている。ストッパ部6は、固定フレーム4に向けて突設されており、可動板2が側方に変位すると、ストッパ部6が固定フレーム4に接触し、可動板2の側方への変位が制限される。従って、外部から衝撃が加わっても、櫛歯電極5の破損が防止される。
【選択図】図1
Description
2,22 可動板
3 ヒンジ
4,24 固定フレーム(フレーム部)
5 櫛歯電極
6,16,26 ストッパ部
6a,26a 面取部
10 ミラー面
16c 突起部
Claims (6)
- 可動板と、
それぞれ前記可動板に一端部が接続され前記可動板の1つの揺動軸を構成する一対のヒンジと、
前記可動板の周囲に配置され、前記一対のヒンジのそれぞれの他端部が接続されており、前記ヒンジを支持するフレーム部と、
前記可動板の一部及びそれと対向する前記フレーム部の一部に互いに噛み合うように形成され前記可動板を前記フレーム部に対し揺動させる櫛歯電極とを備えた可動構造体において、
前記可動板が側方へ変位するときに、前記櫛歯電極を除く可動構造体の他の部位に接触するように配置されたストッパ部をさらに備え、それにより、前記可動板の側方への変位量が制限されていることを特徴とする可動構造体。 - 前記ストッパ部は、前記可動板又はフレーム部に一体に形成されていることを特徴とする請求項1記載の可動構造体。
- 前記ストッパ部の角部には、R面取り形状の面取部が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の可動構造体。
- 前記ストッパ部は、前記可動板が側方へ変位するときに当該ストッパ部に接触する可動構造体の他の部位と同電位になるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 前記ストッパ部の少なくとも一部には、当該ストッパ部に接触したものとの間でスティッキングが発生しないように、スティッキング防止膜又は突起部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の可動構造体を有し、
前記可動板の上面に、入射した光を反射するミラー面を設けたことを特徴とする光走査ミラー。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008186189A JP5053194B2 (ja) | 2008-07-17 | 2008-07-17 | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
US13/001,197 US20110188104A1 (en) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | Moving structure and light scanning mirror using the same |
EP09770219.5A EP2299584A4 (en) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | MOVABLE STRUCTURE AND LIGHTING MIRRORS WITH IT |
SG2013024815A SG189738A1 (en) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | Semiconductor mechanical structure |
SG2013024781A SG189737A1 (en) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | Moving structure and light scanning mirror using the same |
PCT/JP2009/061583 WO2009157509A1 (ja) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
DE09770219T DE09770219T8 (de) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | Bewegliche struktur und lichtabtastspiegel damit |
CN2009801237280A CN102067433A (zh) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | 可动结构体及使用它的光扫描反射镜 |
KR1020107029073A KR101183915B1 (ko) | 2008-06-25 | 2009-06-25 | 가동 구조체 및 이것을 사용한 광주사 미러 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008186189A JP5053194B2 (ja) | 2008-07-17 | 2008-07-17 | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010026162A true JP2010026162A (ja) | 2010-02-04 |
JP2010026162A5 JP2010026162A5 (ja) | 2012-06-07 |
JP5053194B2 JP5053194B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=41732069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008186189A Active JP5053194B2 (ja) | 2008-06-25 | 2008-07-17 | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5053194B2 (ja) |
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JP5053194B2 (ja) | 2012-10-17 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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