JP4988655B2 - 半導体機械構造体 - Google Patents
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Description
4 固定フレーム
5 第1ヒンジ(ヒンジ)
50 可動部
110 上部保護基板(保護基板)
120 下部保護基板(保護基板)
200 SOI基板(半導体基板)
Claims (2)
- 半導体基板に、可動部と、それぞれ前記可動部に一端部が接続され前記可動部の1つの揺動軸を構成する一対のヒンジと、前記一対のヒンジのそれぞれの他端部が接続されており前記ヒンジを支持する固定フレームとが設けられており、
前記可動部が、前記一対のヒンジをねじりながら前記固定フレームに対して揺動可能に構成されている半導体機械構造体において、
前記半導体基板の少なくとも一面には、前記可動部を保護するための保護基板が接合されており、
前記保護基板は、前記可動部の揺動の中心軸に向けて突設されたストッパを有し、それにより、前記可動部の前記半導体基板に対し垂直な方向への変位が制限されていることを特徴とする半導体機械構造体。 - 前記ストッパは、前記可動部が変位したときに前記ヒンジに当接しないように、前記ヒンジに近接しないように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体機械構造体。
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