JP2010008613A - 半導体機械構造体及びそれを用いた光走査ミラー - Google Patents
半導体機械構造体及びそれを用いた光走査ミラー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010008613A JP2010008613A JP2008166606A JP2008166606A JP2010008613A JP 2010008613 A JP2010008613 A JP 2010008613A JP 2008166606 A JP2008166606 A JP 2008166606A JP 2008166606 A JP2008166606 A JP 2008166606A JP 2010008613 A JP2010008613 A JP 2010008613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- substrate
- mirror
- optical scanning
- scanning mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Abstract
【解決手段】光走査ミラー1は、SOI基板200からなる半導体部100と、半導体部100の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板110及び下部保護基板120を有している。半導体部100は、SOI基板200の第1シリコン層200aに形成され、ミラー面20が搭載された可動部50を有している。第1シリコン層200aはトレンチ101a,101b等の絶縁分離部が形成されることにより複数の部位に絶縁分離され、各部位の電位を変更して可動部50の櫛歯電極7,8に電圧を印加可能である。トレンチ101a,101b等の絶縁分離部は半導体部100の外周側部に露出せず、上部保護基板110及び下部保護基板120を半導体部100に接合することにより、光走査ミラー1の内部の気密を容易に確保可能である。
【選択図】図1
Description
7 第1櫛歯電極(駆動部)
8 第2櫛歯電極(駆動部)
20 ミラー面
50 可動部(可動構造)
101a,101b トレンチ(絶縁分離部、溝部)
110 上部保護基板(ガラス基板)
113 貫通穴(貫通電極)
120 下部保護基板(ガラス基板)
200 SOI基板
200a 第1シリコン層(活性層)
220 酸化膜(BOX層)
Claims (5)
- 半導体基板に形成され、電圧が印加されることにより駆動力を発生する駆動部を有する可動構造と、
前記駆動部に電圧を印加するために前記半導体基板に設けられ、互いに絶縁された複数の部分を有する電圧印加部と、
前記電圧印加部の複数の部分を互いに絶縁するように前記半導体基板に形成された絶縁分離部とを備えた半導体機械構造体において、
前記絶縁分離部は、前記可動構造と当該可動構造の周辺部において閉ループを形成するように、且つ、当該半導体機械構造体の外周側部に露出しないように形成されていることを特徴とする半導体機械構造体。 - 前記半導体基板は、活性層及びBOX(Buried OXide)層を有するSOI(Silicon On Insulator)基板であって、
前記可動構造は前記活性層を含むように形成されており、
前記絶縁分離部は、前記BOX層に到達し前記活性層を分離するように前記活性層に形成された溝部を有することを特徴とする請求項1記載の半導体機械構造体。 - 前記半導体基板のうち、少なくとも前記絶縁分離部が形成されている一面に接合されたガラス基板をさらに有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体機械構造体。
- 前記電圧印加部に外部から電圧印加可能に構成された貫通電極をさらに有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の半導体機械構造体。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体機械構造体を有し、前記可動構造に光を反射可能なミラー面が設けられていることを特徴とする光走査ミラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008166606A JP2010008613A (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 半導体機械構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008166606A JP2010008613A (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 半導体機械構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010008613A true JP2010008613A (ja) | 2010-01-14 |
Family
ID=41589221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008166606A Pending JP2010008613A (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 半導体機械構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010008613A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012051102A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Freescale Semiconductor Inc | Memsデバイスアセンブリ及びそのパッケージング方法 |
JP2013076780A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2013097139A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyushu Univ | マイクロスキャナ |
JP2014023207A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Kyushu Univ | 回転型アクチュエータ |
JP2014524594A (ja) * | 2011-07-29 | 2014-09-22 | ケンブリッジ テクノロジー インコーポレイテッド | 化学エッチングを行って高剛性且つ低慣性のミラーを提供するシステム及び方法 |
US8944598B2 (en) | 2012-11-13 | 2015-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrostatic comb actuator, deformable mirror using the electrostatic comb actuator, adaptive optics system using the deformable mirror, and scanning laser ophthalmoscope using the adaptive optics system |
US10377625B2 (en) | 2016-04-18 | 2019-08-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Scanning mirror device and a method for manufacturing it |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007034777A1 (ja) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | アクチュエータ |
JP2007121467A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Works Ltd | チルトミラー素子 |
-
2008
- 2008-06-25 JP JP2008166606A patent/JP2010008613A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007034777A1 (ja) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | アクチュエータ |
JP2007121467A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Works Ltd | チルトミラー素子 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012051102A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Freescale Semiconductor Inc | Memsデバイスアセンブリ及びそのパッケージング方法 |
JP2014524594A (ja) * | 2011-07-29 | 2014-09-22 | ケンブリッジ テクノロジー インコーポレイテッド | 化学エッチングを行って高剛性且つ低慣性のミラーを提供するシステム及び方法 |
US10761293B2 (en) | 2011-07-29 | 2020-09-01 | Novanta Corporation | Systems and methods for providing mirrors with high stiffness and low inertia involving chemical etching |
JP2013076780A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2013097139A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyushu Univ | マイクロスキャナ |
JP2014023207A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-03 | Kyushu Univ | 回転型アクチュエータ |
US8944598B2 (en) | 2012-11-13 | 2015-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrostatic comb actuator, deformable mirror using the electrostatic comb actuator, adaptive optics system using the deformable mirror, and scanning laser ophthalmoscope using the adaptive optics system |
US9377618B2 (en) | 2012-11-13 | 2016-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrostatic comb actuator, deformable mirror using the electrostatic comb actuator, adaptive optics system using the deformable mirror, and scanning laser ophthalmoscope using the adaptive optics system |
US10377625B2 (en) | 2016-04-18 | 2019-08-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Scanning mirror device and a method for manufacturing it |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2009157509A1 (ja) | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー | |
JP5701772B2 (ja) | ビア構造及びその製造方法 | |
JP2010008613A (ja) | 半導体機械構造体及びそれを用いた光走査ミラー | |
JP5038732B2 (ja) | 光走査ミラー | |
JP5486312B2 (ja) | 封入能力を有するマイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法 | |
TWI411064B (zh) | Microelectromechanical system | |
US7843620B2 (en) | Micromirror system | |
US20090302716A1 (en) | Piezoelectric device | |
JP2006116696A (ja) | 2軸アクチュエータ及びその製造方法 | |
US20100067084A1 (en) | Optical scanning mirror, semiconductor structure and manufacturing method thereof | |
JP4765840B2 (ja) | チルトミラー素子 | |
JP2010026147A (ja) | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー | |
JP5834431B2 (ja) | アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP5053194B2 (ja) | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー | |
JP4988655B2 (ja) | 半導体機械構造体 | |
JP5052148B2 (ja) | 半導体構造及びその製造方法 | |
JP4534952B2 (ja) | チルトミラー素子 | |
JP2012024897A (ja) | Memsデバイス | |
TWI758906B (zh) | 微型掃描面鏡 | |
TW200930653A (en) | Micro-device and method for manufacturing the same | |
JP2012051062A (ja) | Memsデバイス | |
JP7090249B2 (ja) | 静電型デバイスを製造する製造方法 | |
JP4126308B2 (ja) | 静電駆動型アクチュエータ | |
JP2014164170A (ja) | 光走査ミラーデバイス及びこれを備えた画像描画装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110323 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120502 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121225 |