JP2012532350A - 慣性質量による水平駆動ミラーの動的変形の軽減 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水平駆動ミラーを形成すると共に、少なくとも1つの支持要素(2)、好ましくは2つ以上の支持要素を介してフレーム構造(3)に接続し、このフレーム構造に対して水平方向に動作するミラープレート(1)を含むマイクロメカニカルミラー構造であって、少なくとも1つの支持要素(2)、好ましくは全ての支持要素(2)とミラープレート(1)との接続領域(4)を、ミラープレートの外側縁(5)からミラープレートの中心(6)の方へと内側にオフセットさせて配置することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
−効果(慣性質量による動的変形の軽減)がさらに増す
及び/又は、
−モノリシックミラープレートと比較して大きさが同等という効果もあって、ミラープレートの質量を減らすことができる(耐衝撃性にプラスの効果をもたらす)。
2 支持要素
3 フレーム構造
6 中心
7 慣性要素
11 中心近接部分
12 フレーム要素
13 接続片
19 櫛形構造
20 梁
21 櫛歯
Claims (28)
- マイクロメカニカルミラー構造であって、
ミラープレート(1)であって、水平駆動ミラーとして形成すると共に、少なくとも2つの支持要素(2)を介してフレーム構造(3)に接続して前記フレーム構造に対して水平方向に動作可能である、前記ミラープレート(1)を含み、
前記ミラープレートの外側縁(5)から前記ミラープレートの中心(6)の方へと内側にオフセットさせて、前記支持要素(2)と前記ミラープレート(1)の接続領域(4)を配置し、
前記ミラープレート(1)が、その中心(6)に点対称となるよう配置した慣性要素(7)を有し、前記支持要素(2)の少なくとも1つ及び/又は前記支持要素(2)と前記ミラープレート(1)の少なくとも1つの接続領域(4)に対して、前記ミラープレート(1)の前記中心(6)から外方向へと突出するよう前記慣性要素(7)を配置すること、
を特徴とするマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の中心(6)から前記外側縁(5)までの平均距離(E)が、当該中心(6)から前記ミラープレート(1)と前記支持要素(2)との前記接続領域(4)までの離間距離より大きいこと、
を特徴とする請求項1に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記慣性要素(7)の中心(8)の、前記ミラープレート(1)の前記中心(6)を通って延在する直線(9)への直交射影(P8)が、前記支持要素(2)と前記ミラープレート(1)との前記接続領域(4)の直交射影(P4)よりも、前記ミラープレート(1)の前記中心(6)から更に遠くに存在するよう、前記慣性要素(7)を配置すること、
を特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレートの前記外側縁(5)から前記ミラープレートの前記中心(6)へと内側方向に、前記ミラープレート(1)の外側配置部分及び/又は前記ミラープレート(1)の前記慣性要素(7)と、前記中心(6)に面する及び/又は近接する前記ミラープレート(1)の内側配置部分及び/又は部分(11)との間に、前記支持要素(2)と前記ミラープレート(1)との少なくとも1つの接続領域(4)に近接及び/又は隣接させて、スロット(10)を配置及び導入すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレートの前記中心(6)に面する及び/又は近接する部分(11)を、オフセットフレーム要素(12)を介して前記ミラープレート(1)の前記慣性要素(7)に接続し、前記フレーム要素(12)には、前記ミラープレート(1)のプレート面方向に前記中心(6)に面する側と前記中心(6)から遠い側に複数の接続片(13)を設け、前記中心(6)に面する及び/又は近接する前記部分(11)と前記慣性要素(7)の両方に、前記接続片(13)を介して前記フレーム要素(12)を接続すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)が、そのプレート面に垂直方向に全て同一の厚さ(D)を有し、この厚さ(D)が10nm以上及び/又は500μm以下であること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー。 - 前記ミラープレート(1)が、そのプレート面に垂直方向に部分的に異なる厚さ(D1、D2)を有し、これらの厚さ(D1、D2)の少なくとも1つが、10nm以上及び/又は500μm以下であること、
を特徴とする前請求項を除いた先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)に面する及び/又は近接する部分(11)が第1の厚さ(D1)を有し、前記ミラープレートの前記慣性要素(7)が第2の厚さ(D2)を有し、前記第1の厚さ(D1)が前記第2の厚さ(D2)より小さいこと、
を特徴とする前請求項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記支持要素(2)の少なくとも1つが、前記ミラープレート(1)の前記プレート面に垂直方向に、前記ミラープレートの前記中心(6)に面する及び/又は近接する部分(11)と同じ厚さを有する、及び/又は前記ミラープレート(1)の前記慣性要素(7)と同じ厚さを有すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記慣性要素(7)が、前記ミラープレート(1)の前記プレート面に垂直な方向の上側(14)及び/又は下側(15)において、少なくとも1つの追加的慣性部分(16)を有すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)に面する及び/又は近接する部分(11)が、前記ミラープレート(1)の前記プレート面に垂直な方向の上側(14)及び/又は下側(15)において、少なくとも1つの表面補強構造(17)を有すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記上側(14)及び/又は前記下側(15)内に入り込む凹部として少なくとも部分的に前記表面補強構造(17)を形成すること、及び/又は、前記上側(14)及び/又は前記下側(15)を越えて突出する突起部分として少なくとも部分的に前記表面補強構造(17)を形成すること、及び/又は、前記表面補強構造(17)が、好ましくは互いに平行に且つ互いに離間させて配置した、及び/又は少なくとも部分的にハニカム構造として形成した複数の補強肋材を含むこと、
を特徴とする前請求項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)に面する少なくとも1つの部分又は前記ミラープレート(1)の前記中心に近接する1つの部分(11)又は前記ミラープレート(1)全体を、引張層プレート及び/又は複数層プレート(部分)構造とすること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記上側(14)及び/又は前記下側(15)に設けた引張層(18a、18b)において、前記ミラープレートの前記プレート面に垂直な方向に引張応力を実現すること、
を特徴とする前請求項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - ラメラ格子及び/又は櫛形構造(19)を有するように前記ミラープレート(1)を形成すること、及び/又は、少なくとも1つの梁(20)であって、その前記長手軸に垂直に突出する櫛形構造(19)の複数の櫛歯(21)を有する前記少なくとも1つの梁(20)を前記ミラープレート(1)が含むこと、
及び/又は、
前記フレーム構造(3)が、前記ミラープレート(1)に面する少なくとも1つの内側(22)の表面に垂直に突出する櫛形構造(24)の複数の櫛歯(23)を有し、前記ミラープレート(1)の前記櫛形構造(19)の前記櫛歯(21)と前記フレーム構造(3)の前記櫛形構造(24)の前記櫛歯(23)とが、互いにオフセットして配置されると共に互いに間に入り込んだ形で噛み合っていること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)が、長手軸方向に互いに垂直となるよう配置した2つの梁(20a、20b)を含み、前記梁(20a、20b)のそれぞれの長手軸に垂直に突出する櫛形構造(19)の複数の櫛歯(21)を、前記梁(20a、20b)に備えること、
を特徴とする前請求項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)が第1の梁(20a)と、互いに離間して互いに平行に配置した2つの更なる第2の梁(20b、20c)を有し、前記第1の梁(20a)を2つの前記第2の梁(20b、20c)に垂直に配置し、少なくとも1つの前記梁(20a、20b、20c)に、前記梁のそれぞれの長手軸に垂直に突出する櫛形構造(19)の複数の櫛歯(21)を備えること、
を特徴とする前2つの請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 少なくとも1つの梁(20、20a、20b、20c)の各長手軸方向の両端(25a、25b)に、前記ミラープレート(1)の少なくとも1つの突出する慣性要素(7)を配置すること、
を特徴とする前3つの請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記櫛形構造(19)と前記フレーム構造(3)の前記櫛形構造(24)をコームドライブとして形成すること、
を特徴とする前4つの請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)から外側に配置した及び/又は前記外側縁(5)に配置した前記ミラープレート(1)の前記慣性要素(7)を第1の材料で形成し、前記ミラープレート(1)の前記中心(6)に面する及び/又は近接する部分(11)を第2の材料で形成すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記第1の材料及び/又は前記第2の材料が、アモルファスシリコン、単結晶シリコン、又は多結晶シリコン、酸化シリコン、アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、チタン、チタンアルミナイド、又は酸化チタンを含む又はからなること、
を特徴とする前請求項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - モノリシックミラープレート(1)であること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。
- 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)から外側に配置した及び/又は前記外側縁(5)に配置した前記ミラープレート(1)の少なくとも1つの慣性要素(7)をミラーで被覆しないことと、前記ミラープレート(1)の前記中心(6)に面する及び/又は近接する部分(11)をミラーで被覆することと、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)から外側に配置した及び/又は前記外側縁(5)に配置した前記ミラープレート(1)の少なくとも1つの前記慣性要素(7)をミラーで被覆すると共に、ラメラ格子及び/又は櫛形構造として形成することと、前記ミラープレート(6)の中心(11)に面する及び/又は近接する部分(11)をミラーで被覆すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記支持要素(2)を曲げ梁、蛇行ばね要素、梁状ばね要素、又はパンタグラフ型支持手段の構造とすること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。
- 前記ミラープレート(1)の前記中心(6)に面する及び/又は近接する少なくとも1つの部分(11)を、円形、楕円形、矩形、若しくは正方形のプレート部分として、又は点対称若しくは非対称の自由形状の面として作製すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - 前記ラメラ格子又は前記水平駆動ミラーを、静電駆動、電磁駆動、圧電駆動、圧磁駆動、電歪駆動、磁歪駆動、熱駆動、又は空気圧駆動で駆動可能な水平駆動ミラー又はラメラ格子として形成すること、及び/又は、前記ミラー構造若しくは前記格子構造をセンサ若しくはアクチュエータとして作製すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造。 - フーリエ変換分光計、干渉計、特にラメラ格子干渉計、共焦点顕微鏡、光波長変調器、又は加速度センサにおける、先行する請求項のうちの一項に記載のマイクロメカニカルミラー構造の使用。
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---|---|---|---|
DE102009033191A DE102009033191A1 (de) | 2009-07-07 | 2009-07-07 | Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von trägen Massen |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014127920A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | 振動子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
KR20180016503A (ko) * | 2015-06-09 | 2018-02-14 | 다이-이치 세이코 가부시키가이샤 | 가동 반사 소자 및 이차원 주사 장치 |
JP2019207402A (ja) * | 2018-05-03 | 2019-12-05 | 株式会社村田製作所 | 拡大された画像領域を備える走査光学デバイス |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130278984A1 (en) * | 2011-02-25 | 2013-10-24 | Takeshi Honda | Optical scanning device |
JP5876345B2 (ja) * | 2012-03-23 | 2016-03-02 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
JP2014107711A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Seiko Epson Corp | 振動子および電子機器 |
JP2014107710A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Seiko Epson Corp | 振動子および電子機器 |
US20160317542A1 (en) | 2013-12-09 | 2016-11-03 | Respira Therapeutics, Inc. | Pde5 inhibitor powder formulations and methods relating thereto |
JP6336274B2 (ja) * | 2013-12-25 | 2018-06-06 | キヤノン株式会社 | 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 |
DE102017206252A1 (de) | 2017-04-11 | 2018-10-11 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanische Spiegelvorrichtung |
DE102017118776B4 (de) * | 2017-08-17 | 2020-11-12 | Blickfeld GmbH | Scaneinheit mit mindestens zwei Stützelementen und einem freistehenden Umlenkelement und Verfahren zum Scannen von Licht |
DE102018200052A1 (de) * | 2018-01-03 | 2019-07-04 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Beschleunigungsmesssystem |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003136497A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-05-14 | Samsung Electronics Co Ltd | 光スキャナおよびその製造方法 |
JP2004325578A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
JP2005266074A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
JP2005345748A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Brother Ind Ltd | ミラー駆動装置およびそれを備えた網膜走査型ディスプレイ |
JP2010026162A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5894090A (en) | 1996-05-31 | 1999-04-13 | California Institute Of Technology | Silicon bulk micromachined, symmetric, degenerate vibratorygyroscope, accelerometer and sensor and method for using the same |
JP2003075738A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Hitachi Ltd | 光スイッチ |
US6876124B1 (en) | 2001-12-06 | 2005-04-05 | Tera Fiberoptics | Method and system for securing and controlling an electro-statically driven micro-mirror |
DE10226305C1 (de) * | 2002-06-13 | 2003-10-30 | Infratec Gmbh Infrarotsensorik | Durchstimmbares, schmalbandiges Bandpassfilter für die Infrarot-Messtechnik |
US7019434B2 (en) * | 2002-11-08 | 2006-03-28 | Iris Ao, Inc. | Deformable mirror method and apparatus including bimorph flexures and integrated drive |
DE102004030803A1 (de) * | 2004-06-25 | 2006-01-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Hochreflektiv beschichteter mikromechanischer Spiegel, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung |
US7190508B2 (en) * | 2005-06-15 | 2007-03-13 | Miradia Inc. | Method and structure of patterning landing pad structures for spatial light modulators |
EP1754683A1 (de) | 2005-08-18 | 2007-02-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikro-Elektromechanisches Element |
JP2008116699A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Sony Corp | 駆動素子 |
WO2008089786A1 (de) | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches bauelement mit erhöhter steifigkeit und verfahren zum herstellen desselben |
DE102008012825B4 (de) * | 2007-04-02 | 2011-08-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden |
JP2009003429A (ja) * | 2007-05-18 | 2009-01-08 | Panasonic Corp | アクチュエータ |
WO2009044360A1 (en) | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Mems scanning micromirror with reduced dynamic deformation |
-
2009
- 2009-07-07 DE DE102009033191A patent/DE102009033191A1/de not_active Ceased
-
2010
- 2010-07-06 JP JP2012518751A patent/JP2012532350A/ja active Pending
- 2010-07-06 US US13/377,667 patent/US8873128B2/en active Active
- 2010-07-06 WO PCT/DE2010/000805 patent/WO2011003404A1/de active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003136497A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-05-14 | Samsung Electronics Co Ltd | 光スキャナおよびその製造方法 |
JP2004325578A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
JP2005266074A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Anritsu Corp | 光スキャナ |
JP2005345748A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Brother Ind Ltd | ミラー駆動装置およびそれを備えた網膜走査型ディスプレイ |
JP2010026162A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014127920A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | 振動子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
KR20180016503A (ko) * | 2015-06-09 | 2018-02-14 | 다이-이치 세이코 가부시키가이샤 | 가동 반사 소자 및 이차원 주사 장치 |
KR102004101B1 (ko) * | 2015-06-09 | 2019-07-25 | 다이-이치 세이코 가부시키가이샤 | 가동 반사 소자 및 이차원 주사 장치 |
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