JP2010025871A - 導通検査方法及び導通検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ｎ倍速導通検査を効率的に実現可能として検査時間を短縮した導通検査方法及び導通検査装置を提供する。
【解決手段】複数のネットを、未検査状態の検査対象部の数が多いものから順に並べ替える第１ステップと、並べ替えた複数のネットを対象として、ｎ（ｎは２以上の整数）個の検査対象部を特定する第２ステップと、特定したｎ個の検査対象部の直列接続回路に電流を通流してその抵抗値を測定し、直列接続回路の導通状態の良否を判定する第３ステップと、良否を判定した直列接続回路に含まれる検査対象部を検査済みとして処理する第４ステップと、第１〜第４ステップを未検査状態の検査対象部がなくなるまで順次繰り返し実行した後、全ての検査対象部が検査済みであることを判定する第５ステップと、を有し、
前記第１〜第５ステップをコンピュータシステムにより実行する。
【選択図】図３

Description

本発明は、回路基板上に形成された配線パターン等の導通状態を検査するための導通検査方法及び導通検査装置に関するものである。

この種の導通検査装置として、例えば特許文献１に記載された従来技術が知られている。図７は、この従来技術を示す回路図であり、同図において、１００は検査装置本体、１１は電流源、１２は電圧検出部、１３は電流検出部、Ｈ_ｃ，Ｈ_ｐ，Ｌ_ｐ，Ｌ_ｃは導線、Ｓ_１，Ｓ_２は切替スイッチ、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂはプローブを示している。また、Ｒ_１，Ｒ_２は導通検査を行うべき検査対象部であり、例えば回路基板上に形成された配線パターンの一部を構成している。
ここで、図８は上記検査対象部の説明図であり、Ｒ_１１〜Ｒ_１３は検査対象部、Ｔ_１〜Ｔ_４はプローブが接触する検査対象部両端の端子を示す。なお、同電位である一または複数の検査対象部から構成される配線パターンの全体をネットＮといい、例外的に、１個の端子のみからなるパターンもネットＮに含めるものとする。

図７に示した従来技術では、例えば、切替スイッチＳ_１，Ｓ_２を図示のように導線Ｈ_ｃ，Ｌ_ｃ側に接続すると共に、導線Ｈ_ｃ，Ｈ_ｐ，Ｌ_ｐ，Ｌ_ｃとプローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂとをスキャナスイッチにより接続または開離させる（●部分を接続点とする）ことにより、２個の検査対象部Ｒ_１，Ｒ_２の直列接続回路を形成してその導通状態を検査する。
すなわち、図７に破線で示すように、電流源１１から導線Ｈ_ｃ上の接続部３１→プローブ２１ａ→検査対象部Ｒ_１→プローブ２１ｂ→導線Ｈ_ｐ上の接続部３２，３３→プローブ２２ａ→検査対象部Ｒ_２→プローブ２２ｂ→導線Ｌ_ｃ上の接続部３４→電流検出部１３→グラウンドの経路で電流を流し、その時の導線Ｈ_ｃ，Ｌ_ｃ間の電圧を電圧検出部１２により検出してオームの法則に従い上記直列接続回路の抵抗値を求めることにより、直列接続された２個の検査対象部Ｒ_１，Ｒ_２の導通検査を一度に行っている。

検査装置本体１００は、算出した抵抗値が予め設定した閾値より小さければ導通状態が「良」（検査対象部Ｒ_１，Ｒ_２の何れも導通状態が「良」）と判断して「ＰＡＳＳ」を示す信号を出力（表示）し、閾値より大きければ導通状態が「不良」（検査対象部Ｒ_１，Ｒ_２の一方または双方の導通状態が「不良」）と判断して「ＦＡＩＬ」を示す信号を出力（表示）する。

特開２００８−４６０６０号公報（段落［００２７］〜［００３０］、図３等）

上述した測定原理に従えば、検査装置本体１００に設けられたガードライン（グラウンドガードライン）を最大限利用することにより、図９（ａ）〜（ｄ）に示す如く、複数（最大で５個）の検査対象部Ｒ_１〜Ｒ_５を直列に接続してこれらの導通状態を同時に検査することが可能である。つまり、直列接続されたｎ（ｎは２以上の整数）個の検査対象部の導通状態を一度に検査できるため、１個の検査対象部に電流を通流して抵抗値を測定する場合（標準導通検査という）に比べて、検査速度をｎ倍にしたｎ倍速導通検査を行うことができる。図９（ａ）〜（ｄ）においてＧ_ｃ，Ｇ_ｐはガードラインを示す。

しかしながら、特許文献１には、ｎ倍速導通検査を効率的に行う具体的な方法が開示されておらず、その提供が導通検査装置の自動化に当たって課題となっていた。
そこで本発明は、ｎ倍速導通検査を効率的に実現可能として検査時間の短縮を図った導通検査方法及び導通検査装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、請求項１に係る導通検査方法は、被検査物が、一以上の検査対象部を有するネットを複数備え、前記検査対象部に電流を流してその抵抗値を測定することにより前記検査対象部の導通状態を検査する導通検査方法において、
複数のネットを、未検査状態の検査対象部の数が多いものから順に並べ替える第１ステップと、
第１ステップにより並べ替えた複数のネットを対象として、ｎ（ｎは２以上の整数）個の検査対象部を特定する第２ステップと、
第２ステップにより特定したｎ個の検査対象部からなる直列接続回路に電流を通流して当該直列接続回路の抵抗値を測定し、導通状態の良否を判定する第３ステップと、
第３ステップにより良否を判定した前記直列接続回路に含まれる検査対象部を検査済みとして処理する第４ステップと、
前記第１〜第４ステップを未検査状態の検査対象部がなくなるまで順次繰り返し実行した後、全ての検査対象部が検査済みであることを判定する第５ステップと、を有し、
前記第１〜第５ステップをコンピュータシステムにより実行するものである。

請求項２に係る導通検査方法は、請求項１において、
前記第２ステップにより特定される未検査状態の検査対象部の数がｎ個未満である場合は、その不足分だけ、検査済みであって導通状態が良と判定された前記直列接続回路内の検査対象部を用いて、直列接続回路を構成するものである。

請求項３に係る導通検査方法は、請求項１または２に記載した導通検査方法により、ｍ（ｍは３以上の整数）個の検査対象部からなる直列接続回路の導通状態が不良と判定された場合に、
前記直列接続回路を構成する複数の検査対象部を対象として、２個の検査対象部からなる一以上の直列接続回路にそれぞれ電流を通流して当該直列接続回路の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を判定する２倍速導通検査と、最大でｍ個の検査対象部のそれぞれに電流を通流して当該検査対象部の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を判定する標準導通検査と、を実行し、導通状態が不良である検査対象部を特定するものである。

また、請求項４に係る導通検査装置は、被検査物が、一以上の検査対象部を有するネットを複数備え、前記検査対象部に電流を流して前記検査対象部の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を検査する導通検査装置において、
検査装置本体を構成するコンピュータシステムが、
複数の前記ネットについて、前記検査対象部の数を含むネット情報を入力するネット情報入力手段と、
前記ネット情報に基づいて、未検査状態の検査対象部の数が多いものから順に前記ネットを並び替えるネット並び替え手段と、
並び替え後のネットを対象として、検査対象部をｎ（ｎは２以上の整数）個特定する検査対象部特定手段と、
特定したｎ個の検査対象部の直列接続回路を形成し、この直列接続回路に電流を通流したときの電圧を測定して前記直列接続回路の抵抗値を算出すると共に、この抵抗値を閾値と比較して前記直列接続回路の導通状態の良否を検査するｎ倍速導通検査実行手段と、
前記ｎ倍速導通検査実行手段による検査結果を出力する出力手段と、
全ての検査対象部について前記直列接続回路の導通状態の良否を検査済みか否かを判定する検査済み判定手段と、を備えたものである。

本発明によれば、多数のネットを有する回路基板等の被検査物に対し、標準導通検査を行う場合に比べて検査時間を大幅に短縮することができる。また、導通不良が検出された場合には、必要に応じて不良箇所を特定することができるので、検査精度や信頼性の向上が可能である。

以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
まず、図１は、１０個のネットを対象としてｎ倍速導通検査を行う場合の手順を説明する図である。ここで、各ネットは、一または複数の端子を有しており、複数の端子を有する場合には、一対の端子間に前述した検査対象部が形成されている。
例えば、図１におけるネットＮ_１は図２のように構成され、端子Ｔ_１〜Ｔ_５と検査対象部Ｒ_１〜Ｒ_４とからなっている。なお、図１では、便宜的に各ネットが有する端子をその添字の番号のみで示してある。また、ネットＮ_４は端子Ｔ_１５のみからなり、検査対象部を持たないため、導通検査の対象からは除外される。

この実施形態におけるｎ倍速導通検査の手順を、請求項１に相当する図３のフローチャートを参照しつつ説明する。
いま、図１（ａ）に示すように、端子数が１個から６個までの１０個のネットＮ_１〜Ｎ_１０があるものとし、第１ステップでは、これらのネットＮ_１〜Ｎ_１０を対象として、後述する検査済みフラグが立っていない端子数の多いもの、つまり、未検査状態の検査対象部の多いものから順に並び替える（図３のステップＳ１）。開始当初は全てのネットの検査対象部について未検査であるので、図１（ａ）のネットＮ_１〜Ｎ_１０を並び替えると図１（ｂ）のようになる。

次に、複数のネットを対象として、一対の端子をそれぞれ選択することによりこれらの端子間の検査対象部をｎ個特定可能かどうかを判断する（ステップＳ２）。ここで、ｎはｎ倍速導通検査における検査対象部の直列接続数であって２以上の整数であり、５倍速導通検査の場合にはｎ＝５となる。
導通検査が進んでいくと、未検査の検査対象部が徐々に少なくなっていき、ある時点からは未検査の検査対象部がｎ個より少なくなる（ステップＳ２ ＮＯ）。この場合には、後述するようにｎ個より不足する分の検査対象部を検査済みの検査対象部の中から補完することにより（ステップＳ３）、常にｎ個の検査対象部を形成するようにする。
なお、検査の開始当初は未検査状態の検査対象部をｎ個特定可能であるため（ステップＳ２ ＹＥＳ）、次のステップに進む。

すなわち、次のステップでは、端子数の多いネットから順に、一対の端子をそれぞれ選択してこれら一対の端子間の検査対象部をｎ個特定する（ステップＳ４）。このステップＳ４は、請求項１における第２ステップに相当する。
図１（ｃ）は、５倍速導通検査を行うために、端子数の多い５個のネットＮ_３，Ｎ_７，Ｎ_１，Ｎ_２，Ｎ_６について、それぞれ一対の端子を選択した状態を示しており、選択された端子を○によって囲んである。これにより、ネットＮ_３については端子Ｔ_９，Ｔ_１０により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_７については端子Ｔ_２１，Ｔ_２２により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_１については端子Ｔ_１，Ｔ_２により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_２については端子Ｔ_６，Ｔ_７により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_６については端子Ｔ_１８，Ｔ_１９により挟まれた検査対象部が、それぞれ特定される。つまり、合計５個の検査対象部が特定されることになる。

次に、上述のように特定された５個の検査対象部を全て直列に接続し、５倍速導通検査を実行する（ステップＳ５）。このステップＳ５は、請求項１における第３ステップに相当する。
具体的には、前述したように検査装置本体の複数の導線及びプローブを用いて、上記５個の検査対象部の直列接続回路を形成し、この回路に電流源から電流を通流した際の両端電圧を測定して直列接続回路の抵抗値を算出することにより、直列接続回路の導通検査を行う。
なお、上記抵抗値を閾値と比較して「ＰＡＳＳ」または「ＦＡＩＬ」を示す信号を出力する点は従来と同様である。

次に、導通検査を終えた検査対象部両端の端子のうち基準の端子ではない方の端子に、検査済みフラグを立てる（ステップＳ６）。つまり、図１（ｄ）では、端子Ｔ_９，Ｔ_２１，Ｔ_１，Ｔ_６，Ｔ_１８がそれぞれ基準の端子となるため、端子Ｔ_１０，Ｔ_２２，Ｔ_２，Ｔ_７，Ｔ_１９に検査済みフラグが立てられる。このステップＳ６は、請求項１における第４ステップに相当する。
その後、全ての端子が検査済みであるか否かを判断し（ステップＳ７）、図１（ｄ）のように未検査の端子（検査対象部）が残っている場合には、ステップＳ１に戻ってネットの並び替えを再び行う。このステップＳ７は、請求項１における第５ステップに相当する。

図１（ｅ）は図１（ｄ）を対象としてネットの並び替えを行った状態を示しており、この図１（ｅ）に対して前記ステップＳ２以降の処理を繰り返し実行する。
すなわち、図１（ｆ）に示すように、ネットＮ_３については端子Ｔ_９，Ｔ_１１により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_７については端子Ｔ_２１，Ｔ_２３により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_１については端子Ｔ_１，Ｔ_３により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_１０については端子Ｔ_３１，Ｔ_３２により挟まれた検査対象部が、ネットＮ_２については端子Ｔ_６，Ｔ_８により挟まれた検査対象部がそれぞれ特定され、これら５個の検査対象部の直列接続回路について５倍速導通検査が行われると共に、その後、図１（ｇ）に示すように、検査済みフラグが端子Ｔ_１１，Ｔ_２３，Ｔ_３，Ｔ_３２，Ｔ_８に立てられる。

以後、基準となる端子以外の全ての端子が検査済み（ステップＳ７ ＹＥＳ）となるまで、上記の処理を繰り返す。

また、導通検査が進んでいき、前述したステップＳ２で未検査の検査対象部がｎ個より少なくなった場合には、例えば、既に検査済みであって「ＰＡＳＳ」（導通）判定となった端子Ｔ_１０を用いた検査対象部（端子Ｔ_９，Ｔ_１０間の検査対象部）や、同じく既に検査済みであって「ＰＡＳＳ」判定となった端子Ｔ_２２を用いた検査対象部（端子Ｔ_２１，Ｔ_２２間の検査対象部）等により不足分の検査対象部を形成し、合計の検査対象部の数が常にｎ個となるようにする（ステップＳ３）。
これにより、導通検査に当たって直列接続される検査対象部の数が常に一定数ｎとなるので、検査装置本体におけるスキャナスイッチの制御プログラム等を単純化することができる。また、不足分の検査対象部として「ＰＡＳＳ」判定であった端子を使用するので、「ＦＡＩＬ」（導通不良）判定であった場合に、不足を補った箇所以外の検査対象部が不良であることが明確になる。

この実施形態による検査時間の短縮効果は、以下の通りである。
いま、図４に示すように５個のネットＮ_１１〜Ｎ_１５があり、これらのネットの全２０個の端子をＴ_１〜Ｔ_２０とする。この場合、本実施形態のようにｎ倍速導通検査を行わず、標準導通検査により各端子間の検査対象部の導通検査を個別に行うとすると、図４のネットＮ_１１では、端子Ｔ_１，Ｔ_２間、端子Ｔ_１，Ｔ_３間、……、端子Ｔ_１，Ｔ_６間というように端子Ｔ_１を基準として５回、以下同様にネットＮ_１２，Ｎ_１３では各３回、ネットＮ_１４，Ｎ_１５では各２回の検査が必要であり、全ネットＮ_１１〜Ｎ_１５の合計で１５回の検査が必要である。これを数式により表すと、ネット数Ｎ＝５、端子数Ｔ＝２０とした場合、検査回数Ｘ’はＸ’＝Ｔ−Ｎ＝１５となる。

一方、本実施形態において倍速数（１回の検査でまとめるネットの数）ｎ＝５とすると、検査回数ＸはＸ＝（Ｔ−Ｎ）／ｎ＝３となり、検査速度を大幅に向上させることができる。
なお、図４のネット構成に対して図１と同様な手順で処理を行うと、第３回目の検査でネットＮ_１１の端子Ｔ_１，Ｔ_４間、ネットＮ_１２の端子Ｔ_７，Ｔ_１０間、ネットＮ_１３の端子Ｔ_１１，Ｔ_１４間の合計３個の検査対象部を検査することになり、ネットＮ_１１の端子Ｔ_５，Ｔ_６が余ってしまう。しかし、前述したように検査対象部を常にｎ個（５個）としてｎ倍速（５倍速）導通検査を行うために、例えば、検査済みの端子Ｔ_２と端子Ｔ_５とによって４個目の検査対象部を形成し、同じく端子Ｔ_２と端子Ｔ_６とによって５個目の検査対象部を形成すれば、第３回目の検査においても５倍速導通検査が可能になり、これにより全ての端子Ｔ_１〜Ｔ_２０（検査対象部）の導通検査を完了できることとなる。上述した着想は、請求項２に相当するものである。

次いで、図５は本実施形態に係る導通検査装置のブロック構成図であり、請求項４に相当する。図において、検査装置本体１００は、ネット情報入力手段１１０、ネット並び替え手段１２０、検査対象部特定手段１３０、ｎ倍速導通検査実行手段１４０、検査済み判定手段１５０及び表示出力手段１６０を備えており、これらは、ＣＰＵを含む演算・制御部、入出力装置、記憶装置、各種インターフェース等からなるコンピュータシステムと、その実装プログラムによって実現されるものである。
また、２００は導通検査を行う回路基板等の被検査物を示している。

ネット情報入力手段１１０は、被検査物２００が有する多数のネットについて、端子数、検査対象部数などをネット情報として入力する。ネット並び替え手段１２０は、入力されたネット情報や後述する検査済み判定手段１５０からの検査済み端子情報に基づいて、前述したネットの並び替え処理（図３のステップＳ１）を行う。
検査対象部特定手段１３０は、並び替え後のネットを対象として、直列接続する検査対象部をｎ個特定する（ステップＳ２〜Ｓ４）。

ｎ倍速導通検査実行手段１４０は、図７に示したように、複数の導線及びプローブを用いて、ｎ個の検査対象部の直列接続回路を形成し、電流源から電流を通流した際の前記回路の両端電圧を測定して抵抗値を算出すると共に、閾値との比較によって直列接続回路の導通検査を行うものであり（ステップＳ５）、このｎ倍速導通検査実行手段１４０はスキャナスイッチの開閉制御手段等も含んでいる。
表示出力手段１６０は、直列接続回路の導通検査結果を「ＰＡＳＳ」または「ＦＡＩＬ」として表示出力する。
検査済み判定手段１５０は、前述したフラグ処理（ステップＳ６）や全端子の検査済み判断（ステップＳ７）等を実行し、検査済み端子情報を前記ネット並び替え手段１２０に出力する。

次に、図６を参照しながら、５倍速導通検査により導通不良と判断された場合の不良箇所特定方法を説明する。
前述した実施形態によれば、ｎ個の検査対象部の直列接続回路の導通不良を検出することは可能であるが、その場合に、どの検査対象部が不良であるか、つまり不良箇所を特定することができない。

そこで、ｍ（ｍは３以上の整数）個の検査対象部からなる直列接続回路の導通状態が不良と判定された場合に、この直列接続回路を構成する複数の検査対象部を対象として、２個の検査対象部からなる一以上の直列接続回路にそれぞれ電流を通流して当該直列接続回路の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を判定する２倍速導通検査と、最大でｍ個の検査対象部のそれぞれに電流を通流して当該検査対象部の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を判定する標準導通検査と、を実行し、これによって導通状態が不良である検査対象部を特定することができる。この着想は、請求項３に相当するものである。
以下、ｍ＝ｎ＝５の場合について説明する。

５倍速導通検査を行った結果、導通不良と判断された直列接続回路を構成する検査対象部をＲ_ａ，Ｒ_ｂ，Ｒ_ｃ，Ｒ_ｄ，Ｒ_ｅとすると、これらを２個ずつの検査対象部の組に分割してそれぞれ２倍速導通検査を行う。また、この例のようにｎが奇数であって余りが生じる場合には、その１個の検査対象部について標準導通検査を行う。

例えば、図６に示すように、検査対象部Ｒ_ａ，Ｒ_ｂ及びＲ_ｃ，Ｒ_ｄについては、第１回目検査として２倍速導通検査を行う。以下では、検査対象部Ｒ_ａ，Ｒ_ｂのみを例示して説明すると、２倍速導通検査による中間結果が「ＰＡＳＳ」であれば、検査対象部Ｒ_ａ，Ｒ_ｂは「良」と判断してこれを最終結果とする。また、中間結果が「ＦＡＩＬ」であれば、第２回目検査として検査対象部Ｒ_ａ，Ｒ_ｂをそれぞれ個別に標準導通検査し、最終結果として、検査対象部Ｒ_ａ，Ｒ_ｂの何れかまたは両者が「不良」という結論を得る。
上記の処理は、検査対象部Ｒ_ｃ，Ｒ_ｄについても同様である。
一方、余りの検査対象部Ｒ_ｅについては標準導通検査のみを行い、その結果に応じて検査対象部Ｒ_ｅの「良」、「不良」を判断する。

上記の一連の処理により、検査対象部Ｒ_ａ，Ｒ_ｂ，Ｒ_ｃ，Ｒ_ｄ，Ｒ_ｅのうちのどれが不良であるかを特定することが可能である。
この方法では、ｍが偶数の場合、奇数の場合を問わず、２個の検査対象部からなる一以上の直列接続回路に対する２倍速導通検査と、最大でｍ個の検査対象部に対する標準導通検査とを実行することになる。
一般に、ｍが３以上の場合には上述した方法を類推適用して不良の検査対象部を特定することができる。なお、ｍが３である場合（３倍速導通検査の結果、不良と判断された場合）には、第１回目検査において、個々の検査対象部につき標準導通検査を行っても良い。

本発明の実施形態における導通検査手順の説明図である。 本発明の実施形態におけるネットの一例を示す図である。 実施形態における導通検査手順を示すフローチャートである。 実施形態の効果を説明するための図である。 実施形態に係る導通検査装置のブロック構成図である。 実施形態において、５倍速導通検査により導通不良と判断された場合の不良箇所特定方法を説明するための図である。 従来技術を示す構成図である。 検査対象部及び端子の説明図である。 ｎ倍速導通検査の接続状態を示す図である。

符号の説明

１００：検査装置本体
１１：電流源
１２：電圧検出部
１３：電流検出部
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ：プローブ
３１，３２，３３，３４：接続点
１１０：ネット情報入力手段
１２０：ネット並び替え手段
１３０：検査対象部特定手段
１４０：ｎ倍速導通検査実行手段
１５０：検査済み判定手段
１６０：表示出力手段
２００：被検査物
Ｈ_ｃ，Ｈ_ｐ，Ｌ_ｐ，Ｌ_ｃ：導線
Ｇ_ｐ，Ｇ_ｃ：ガードライン
Ｓ_１，Ｓ_２：切替スイッチ
Ｒ_１〜Ｒ_５，Ｒ_１１〜Ｒ_１４：検査対象部
Ｔ_１〜Ｔ_５：端子
Ｎ_１〜Ｎ_１５：ネット

Claims (4)

1. 被検査物が、一以上の検査対象部を有するネットを複数備え、
   前記検査対象部に電流を流してその抵抗値を測定することにより前記検査対象部の導通状態を検査する導通検査方法において、
   複数のネットを、未検査状態の検査対象部の数が多いものから順に並べ替える第１ステップと、
   第１ステップにより並べ替えた複数のネットを対象として、ｎ（ｎは２以上の整数）個の検査対象部を特定する第２ステップと、
   第２ステップにより特定したｎ個の検査対象部からなる直列接続回路に電流を通流して当該直列接続回路の抵抗値を測定し、導通状態の良否を判定する第３ステップと、
   第３ステップにより良否を判定した前記直列接続回路に含まれる検査対象部を検査済みとして処理する第４ステップと、
   前記第１〜第４ステップを未検査状態の検査対象部がなくなるまで順次繰り返し実行した後、全ての検査対象部が検査済みであることを判定する第５ステップと、を有し、
   前記第１〜第５ステップをコンピュータシステムにより実行することを特徴とする導通検査方法。
2. 請求項１に記載した導通検査方法において、
   前記第２ステップにより特定される未検査状態の検査対象部の数がｎ個未満である場合は、その不足分だけ、検査済みであって導通状態が良と判定された前記直列接続回路内の検査対象部を用いて、直列接続回路を構成することを特徴とする導通検査方法。
3. 請求項１または２に記載した導通検査方法により、ｍ（ｍは３以上の整数）個の検査対象部からなる直列接続回路の導通状態が不良と判定された場合に、
   前記直列接続回路を構成する複数の検査対象部を対象として、２個の検査対象部からなる一以上の直列接続回路にそれぞれ電流を通流して当該直列接続回路の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を判定する２倍速導通検査と、最大でｍ個の検査対象部のそれぞれに電流を通流して当該検査対象部の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を判定する標準導通検査と、を実行し、導通状態が不良である検査対象部を特定することを特徴とする導通検査方法。
4. 被検査物が、一以上の検査対象部を有するネットを複数備え、
   前記検査対象部に電流を流して前記検査対象部の抵抗値を測定することにより導通状態の良否を検査する導通検査装置において、
   検査装置本体を構成するコンピュータシステムが、
   複数の前記ネットについて、前記検査対象部の数を含むネット情報を入力するネット情報入力手段と、
   前記ネット情報に基づいて、未検査状態の検査対象部の数が多いものから順に前記ネットを並び替えるネット並び替え手段と、
   並び替え後のネットを対象として、検査対象部をｎ（ｎは２以上の整数）個特定する検査対象部特定手段と、
   特定したｎ個の検査対象部の直列接続回路を形成し、この直列接続回路に電流を通流したときの電圧を測定して前記直列接続回路の抵抗値を算出すると共に、この抵抗値を閾値と比較して前記直列接続回路の導通状態の良否を検査するｎ倍速導通検査実行手段と、
   前記ｎ倍速導通検査実行手段による検査結果を出力する出力手段と、
   全ての検査対象部について前記直列接続回路の導通状態の良否を検査済みか否かを判定する検査済み判定手段と、
   を備えたことを特徴とする導通検査装置。

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