JP2010016243A - 結像光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 原版のパターンを投影光学系を介して基板に露光する露光装置において前記投影光学系の光軸方向における計測領域の位置を検出する検出手段に用いられる結像光学系であって、前記結像光学系は、前記基板面内であって前記投影光学系の鏡筒の中心軸から離れた位置の計測領域に物体の像を斜入射により結像させる第1の結像光学系と、前記第1の結像光学系で斜入射により前記基板面に結像された前記物体の像を受光手段に結像させる第2の結像光学系とを含み、前記第1の結像光学系の倍率の絶対値をβ、像距離をα×L2、前記第2の結像光学系の倍率の絶対値をγ/β、物体距離をL2としたとき(α−1)×(γ−1)>0(但しα、γは共に正の実数)の関係を満足することを特徴とする結像光学系を提供する
【選択図】 図1
Description
本発明の第1の実施例を、図1、2、5、6を用いて説明する。
1.反射型投影光学系の、最もウエハに近い部分の光学部品を支持する鏡筒4を、斜入射光学系によるフォーカス位置計測系の投光光学系の光軸、および受光側の主光線の光軸を含む面で切断する。そして、その断面を見た時(図1、あるいは図2がその断面図に相当する)、その断面における鏡筒4の外形に対する中心線15に対し、フォーカス位置計測点cが偏心している場合。つまり、ウエハ上であって投影光学系の鏡筒4の中心軸から離れた位置にフォーカス位置計測点(計測領域)を有する場合。または、反射型投影光学系の、最もウエハに近い部分の光学部品を支持する鏡筒4のウエハに相対する面を上記面で切断する。そして、その切断された面がなす線分の中心からウエハへ垂線を引き、その垂線とウエハとが交差する位置から離れた位置にフォーカス位置計測点を有する場合。
2.反射型投影光学系の、最もウエハに近い部分の光学部品を支持する鏡筒4のウエハに相対する面と、ウエハ6の間隔が狭く、その空間に光学部品を配置できない場合。
L1 :投光光学系9の物体側主点位置bから計測マーク8上の点a迄の距離
α1×L2:投光光学系9の像側主点位置bからフォーカス位置計測点c迄の距離
ここでα1は、正の符号を有する実数とする。
L2 :フォーカス位置計測点cから受光光学系10の物体側主点位置d迄の距離
L3 :受光光学系10の像側主点位置dから光電変換器11の検出面e迄の距離
f1 :投光光学系9の焦点距離
f2 :受光光学系10の焦点距離
β :投光光学系9の結像倍率(絶対値)
γ1/β:受光光学系10の結像倍率(絶対値)
ここでγ1は、正の符号を有する実数とする。
とした時、
投光光学系9に関する結像式
=(α1/β)L2+α1L2+L2+(γ1/β)L2
=L2(α1/β+α1+1+γ1/β) 式(5)
次に、本発明を適用していない図2に示す光学系配置の場合の、フォーカス位置計測光学系の全光路長TL2を求める手順を説明する。図2に示すフォーカス位置計測系が、図1の場合に比べて異なるところは、投光光学系と受光光学系の配置が、鏡筒4を挟んで左右入れ替わって、かつ入れ替わったことにより、投光光学系の像距離、及び受光光学系の物体距離の値に増減が生じていることである。一方、投光光学系、及び受光光学系の結像倍率の値は、図1に比べて変化は無いものとしている。
L4 :投光光学系16の物体側主点位置gから計測マーク8上の点a迄の距離
α4×L2’:投光光学系16の像側主点位置gからフォーカス位置計測点c迄の距離
L2’ :フォーカス位置計測点cから受光光学系17の物体側主点位置h迄の距離
ここでα4は、正の符号を有する実数とする。
L5 :受光光学系17の像側主点位置hから光電変換器11の検出面e迄の距離
f3 :投光光学系16の焦点距離
f4 :受光光学系17の焦点距離
β :投光光学系16の結像倍率(絶対値)
γ4/β:受光光学系17の結像倍率(絶対値)
ここでγ4は、正の符号を有する実数とする。
とした時、
投光光学系16に関する結像式
TL2=L4+α4×L2’+L2’+L5
=(α4/β)L2’+α4×L2’+L2’+(γ4/β)L2’
=L2’(α4/β+1+α4+γ4/β) 式(10)
ここで、図1、及び図2に示す光学系において、具体的な数値を当てはめて全光路長TL1、TL2の長さの比較を行うと以下のようになる。
TL2−TL1>0 式(13)
式(13)に、式(5)、式(10)を代入すると、
(L4+α4×L2’+L2’+L5)−(L1+(α1×L2)+L2+L3)>0
ここで、α1×L2=L2’、L2=α4×L2’とすると、
L2(1/β+1+α1+α1γ1/β)−L2(α1/β+α1+1+γ1/β)>0
となり、α1=α、γ1=γ4=γとし、式の形を整えると、式(14)のようになる。
1/β+αγ/β−α/β−γ/β>0
1+αγ−α−γ>0
(α―1)(γ―1)>0 α、γは正の実数 式(14)
α−1>0、かつγ−1>0の場合 → ケース1
α−1<0、かつγ−1<0の場合 → ケース2
の2つのケースであり、式(14)を満たさない光学系とは、
α−1>0、かつγ−1<0の場合 → ケース3
α−1<0、かつγ−1>0の場合 → ケース4
の2つのケースに場合分けできる。以下、ケース1〜ケース4の光学系とは、どのような光学配置を有する光学系であるかを各ケース毎に説明する。前述した通り、α、γは正の実数である。
ケース1の光学系は、図1に示す光学系のことである。α−1>0とは、α1>1ということであり、投光光学系の像距離(点bと点cの距離:α1×L2)が、受光光学系の物体距離(点cと点dの距離:L2)に比べて長いことを意味している。ここで、他のケースでのαの値と区別する為に、ケース1で用いるαはα1と言う記載にした。以下、αの値を区別する為に、αの後に数値を付加する。一方γ−1>0とは、投光光学系9の結像倍率βの絶対値の逆数と、受光光学系10の結像倍率γ1/βの絶対値を比べた時、γ1>1である為、受光光学系10の結像倍率の絶対値の方が大きいことを示している。ここで、他のケースでのγと区別する為に、ケース1でのγをγ1とした。以下αと同様に、ケース毎のγを区別するために、γの後に数値を付加する。
ケース4は、図2に示す光学系のことである。図1との違いは、投光光学系と受光光学系の配置を、図1に対して逆にしたものである。α−1<0とは、1>α4>0のことであり、これは投光光学系の像距離(点cと点gの距離:α4×L2’)が、受光光学系の物体距離(点cと点hの距離:L2’)に比べて短いことを意味している。また、γ−1>0は、γ4>1ということであり、ケース1と同様の意味を有している。図2においては、投光光学系16の結像倍率βの絶対値の逆数1/βと、受光光学系17の結像倍率γ4/βの絶対値を比べた時、γ4>1である為、受光光学系17の結像倍率の絶対値の方が大きいことを示している。
ケース2は、図3に示す光学配置を示していて、α―1<0とは、1>α2>0のことである。これは投光光学系の像距離(点cと点gの距離:α2×L2’)が、受光光学系の物体距離(点cと点hの距離:L2’)に比べて短いことを意味している。また、γ−1<0は、1>γ2>0ということであり、投光光学系の結像倍率βの絶対値の逆数である1/βと、受光光学系の結像倍率γ2/βの絶対値を比べると、1>γ2>0であることから受光光学系の結像倍率の絶対値の方が小さいことを示している。
ケース3は、図4に示す光学配置を示していて、図3との違いは、投光光学系と受光光学系の配置を図3に対して逆にしたものである。α−1>0とは、α3>1ということであり、投光光学系の像距離(点bと点cの距離:α3×L2)が、受光光学系の物体距離(点cと点dの距離:L2)に比べて長いことを意味している。また、γ−1<0は、1>γ3>0ということであり、投光光学系の結像倍率βの絶対値の逆数である1/βと、受光光学系の結像倍率γ3/βの絶対値を比べると、1>γ3>0であることから受光光学系の結像倍率の絶対値の方が小さいことを示している。
受光光学系の物体距離(点cと点hの距離):50cm
投光光学系の像距離(点cと点gの距離):10cm(この場合、α2=1/5)
投光光学系の結像倍率(絶対値):1/2倍
受光光学系の結像倍率(絶対値):1.2倍(この場合、γ2=0.6)
とした時、図3の投光光学系と受光光学系を合わせた全光路長TL3(点a〜点g〜点c〜点h〜点e)は、
TL3=L4+α2×L2’+L2’+L5
=20+10+50+60
=140cm 式(15)
図4に示すケース3の場合を、
受光光学系の物体距離(点cと点dの距離):10cm
投光光学系の像距離(点cと点bの距離):50cm(この場合、α3=5)
投光光学系の結像倍率(絶対値):1/2倍
受光光学系の結像倍率(絶対値):1.2倍(この場合、γ3=0.6)
とした時、図4の投光光学系と受光光学系を合わせた全光路長TL4(点a〜点b〜点c〜点d〜点e)は、
TL4=L1+α3×L2+L2+L3
=100+50+10+12
=172cm 式(16)
となり、式(14)を満たしているケース2の方が、全光路長が短くなっていることが判る。
図7に示すフォーカス位置計測光学系の投光光学系(第1の結像光学系)9は、計測マーク8を、ウエハ6の表面に縮小倍率で投影している。一方、受光光学系(第2の結像光学系)10は、ウエハ6上の計測マーク8の投影像を、拡大倍率で光電変換器11の検出面上に結像している。
本発明の第3の実施例を、図8と図9を用いて説明する。まず、第3の実施例と第1の実施例との違いを示すために、図8を用いて第1の実施例の構成を説明する。第1の実施例では、ウエハステージ5上に設置されたウエハ6のスキャン方向yに対して平行方向の位置から、投光光学系によりウエハ6上の測定点p1、あるいはp2に向けて測定光を照射しウエハ6からの反射光を受光光学系で受光していた。それに対して第3の実施例は、x軸に平行な方向に、投光光学系22、受光光学系23(投光光学系22と受光光学系23を入れ替えても可)を配置したものである。ここで図8における投光光学系22、受光光学系23は、ウエハのスキャン方向に対する各光学系の配置を説明した図である為、図8においては、投光光学系22、受光光学系23の詳細な光学配置は説明していない。また、投光光学系、受光光学系の配置は、y軸、あるいはx軸に平行な光軸に対して、ωzだけ回転させて配置しても良い。
α×L2:投光光学系16の像側主点bと点p1の距離
L1 :投光光学系16の物体側主点bと点aの距離
L2 :受光光学系17の物体側主点dと点p1の距離
L3 :受光光学系17の像側主点dと点eの距離
β :投光光学系16の結像倍率(絶対値)
γ/β:受光光学系17の結像倍率(絶対値)
とすると、点a〜点b〜点p1〜点d〜点eの光路長は、実施例1で述べた式(14)を満たすα、γに設定すれば、フォーカス位置計測光学系の光路長をコンパクトにできる設計が可能となる。
α×L2:投光光学系18の像側主点gと点p2の距離
L1 :投光光学系18の物体側主点gと点fの距離
L2 :受光光学系19の物体側主点hと点p2の距離
L3 :受光光学系17の像側主点hと点kの距離
β :投光光学系18の結像倍率(絶対値)
γ/β:受光光学系19の結像倍率(絶対値)
とすれば、点f〜点g〜点p2〜点h〜点kの光路長は、実施例1で述べた式(14)を満たすα、γに設定すれば、フォーカス位置計測光学系の光路長をコンパクトにできる設計が可能となる。
デバイス製造方法について説明する。デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラス基板等)を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
2、100、170 レチクル
3 EUV光
4 鏡筒
5、194 ウエハステージ
6、190、803 ウエハ
7、24、130 照明光学系
8、25、807 計測マーク
9、16、18、22、23、805 投光光学系
10、17、19、22、23、806 受光光学系
11、20、21、804 光電変換器
110 EUV光源
180 投影光学系
800 光源
801 照明系
802 投影レンズ
833、834 フォーカス、チルト検出系
Claims (6)
- 原版のパターンを投影光学系を介して基板に露光する露光装置において前記投影光学系の光軸方向における基板の位置を検出する検出手段に用いられる結像光学系であって、
前記結像光学系は、前記基板面内であって前記投影光学系の鏡筒の中心軸から離れた位置の計測領域に物体の像を斜入射により結像させる第1の結像光学系と、
前記第1の結像光学系により前記基板面に結像された前記物体の像を受光手段に結像させる第2の結像光学系とを含み、
前記第1の結像光学系の倍率の絶対値をβ、像距離をα×L2、
前記第2の結像光学系の倍率の絶対値をγ/β、物体距離をL2としたとき、
(α−1)×(γ−1)>0 (但しα、γは共に正の実数)
の関係を満足することを特徴とする結像光学系。 - 前記第1の結像光学系を構成する光学部品の最も像側の面の光軸上の点と、前記第1の結像光学系の光軸が前記基板と交わる点を結ぶ距離をmとし、
前記第2の結像光学系を構成する光学部品の最も物体側の面の光軸上の点と、前記第2の結像光学系の光軸と前記基板と交わる点を結ぶ距離をnとした時、
m>n
であることを特徴とした請求項1記載の結像光学系。 - 前記結像光学系は、EUV光により原版のパターンを基板に露光する露光装置の、前記投影光学系の光軸方向における前記基板の位置を検出する検出手段に用いられる結像光学系であることを特徴とする請求項1または2に記載の結像光学系。
- 原版のパターンを投影光学系を介して基板に露光する露光装置において前記投影光学系の光軸方向における計測領域の位置を検出する検出手段に用いられる結像光学系であって、
前記結像光学系は、計測領域に物体の像を斜入射により結像させる第1の結像光学系と、
前記第1の結像光学系で斜入射により前記基板面に結像された前記物体の像を受光手段に結像させる第2の結像光学系とを含み、
前記第1の結像光学系の倍率の絶対値をβ、像距離をα×L2、
前記第2の結像光学系の倍率の絶対値をγ/β、物体距離をL2としたとき、
(α−1)×(γ−1)>0 (但しα、γは共に正の実数)
の関係を満足することを特徴とする結像光学系。 - 原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記投影光学系の光軸方向における前記基板の位置を検出する検出手段とを有し、
前記検出手段は請求項1〜4のいずれか1項に記載の結像光学系を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項5に記載の露光装置を用いて原版のパターンを基板に露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008175916A JP5197198B2 (ja) | 2008-07-04 | 2008-07-04 | 結像光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
US12/496,544 US20100002215A1 (en) | 2008-07-04 | 2009-07-01 | Imaging optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method |
KR1020090060440A KR101306431B1 (ko) | 2008-07-04 | 2009-07-03 | 결상광학계, 노광장치, 및 디바이스의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008175916A JP5197198B2 (ja) | 2008-07-04 | 2008-07-04 | 結像光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010016243A true JP2010016243A (ja) | 2010-01-21 |
JP5197198B2 JP5197198B2 (ja) | 2013-05-15 |
Family
ID=41464115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008175916A Expired - Fee Related JP5197198B2 (ja) | 2008-07-04 | 2008-07-04 | 結像光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100002215A1 (ja) |
JP (1) | JP5197198B2 (ja) |
KR (1) | KR101306431B1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100004882A (ko) | 2010-01-13 |
JP5197198B2 (ja) | 2013-05-15 |
KR101306431B1 (ko) | 2013-09-09 |
US20100002215A1 (en) | 2010-01-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110704 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130205 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |