JP2011049284A - 計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】計測用の光学系を大型化することなく、投影光学系の動的な光学特性を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】投影光学系PLの光学特性を計測する計測装置において、物体面にY方向に配置される複数の位相マーク20が形成されたテストレチクルTRと、像面に沿って位相マーク20に対応して配置される複数の周期パターン39が形成された蛍光膜35と、位相マーク20、投影光学系PL、及び周期パターン39を通過した照明光ILから生成される検出光DLを検出するFOP37及び撮像素子38と、蛍光膜35、FOP37、及び撮像素子38を一体的にY方向に移動するウエハステージと、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】投影光学系PLの光学特性を計測する計測装置において、物体面にY方向に配置される複数の位相マーク20が形成されたテストレチクルTRと、像面に沿って位相マーク20に対応して配置される複数の周期パターン39が形成された蛍光膜35と、位相マーク20、投影光学系PL、及び周期パターン39を通過した照明光ILから生成される検出光DLを検出するFOP37及び撮像素子38と、蛍光膜35、FOP37、及び撮像素子38を一体的にY方向に移動するウエハステージと、を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、投影光学系の光学特性を計測する計測技術、この計測技術を用いるとともに投影光学系を介して物体を走査露光する露光技術、及びこの露光技術を用いるデバイス製造技術に関する。
半導体デバイス等の電子デバイス(マイクロデバイス)を製造するためのリソグラフィ工程で使用されるスキャニングステッパー等の走査露光型の露光装置(走査型露光装置)においては、走査露光時における平均的な像面の位置のような投影光学系の動的な光学特性を計測する必要がある。従来の計測方法としては、走査露光によって、テストレチクルの複数の所定の評価用マークの像をレジストが塗布された基板に転写し、現像後に得られるレジストパターンの状態から複数の位置におけるデフォーカス量を求める方法が知られている(例えば特許文献1参照)。
また、テストプリントを行うことなく、静止状態における投影光学系の像面の位置を計測する計測方法として、投影光学系を介して形成される位相マークの像を2つの周期パターン(検出用パターン)を介してそれぞれ光電センサで検出し、これらの光電センサの検出信号の差分からその位相マークの像のデフォーカス量を検出する方法が知られている(例えば特許文献2参照)。
テストプリントを行うことなく、投影光学系の動的な光学特性を効率的に計測するために、従来の位相マークの像を検出用パターンを介して光電センサで検出する方法をそのまま適用する場合には、外乱光又は検出対象の像とは異なる像からの光が各光電センサに入射して、計測精度が計測点の位置によって異なる恐れがある。
さらに、光電センサは熱源となるため、光電センサは像面からできるだけ離して配置することが好ましい。また、受光面は露光対象の一つのショット領域の全面を覆うような広い領域にする必要がある。従って、複数の検出用パターンと複数の光電センサとの間にリレーレンズを配置するものとすると、計測装置が大型化する。
さらに、光電センサは熱源となるため、光電センサは像面からできるだけ離して配置することが好ましい。また、受光面は露光対象の一つのショット領域の全面を覆うような広い領域にする必要がある。従って、複数の検出用パターンと複数の光電センサとの間にリレーレンズを配置するものとすると、計測装置が大型化する。
本発明はこのような事情に鑑み、計測用の光学系を大型化することなく、投影光学系の動的な光学特性を効率的にかつ高精度に計測することを目的とする。
本発明の第1の態様による計測方法は、第1面のパターンの像を第2面上に形成する投影光学系の光学特性を計測する計測方法であって、その第1面に沿って複数の第1パターンを配置し、その第2面に沿ってその複数の第1パターンの配置に対応させて複数の第2パターンを配置し、その複数の第1パターンを照明光で照明し、その複数の第1パターン、その投影光学系、及びその複数の第2パターンを通過したその照明光によって生成される検出光を、複数の光ファイバーを束ねて形成される導光部材を介して複数の画素を有する光電検出器で検出しつつ、その複数の第1パターンをその第1面に沿って所定方向に移動し、その複数の第2パターン、その導光部材、及びその光電検出器を一体的にその所定方向に対応する方向に移動し、その光電検出器の検出結果を処理してその光学特性を求めるものである。
また、本発明の第2の態様による計測装置は、第1面のパターンの像を第2面上に形成する投影光学系の光学特性を計測する計測装置であって、その第1面の所定方向に沿って配置される複数の第1パターンが形成された第1パターン形成部材と、その第2面に沿ってその複数の第1パターンの配置に対応して配置される複数の第2パターンが形成された第2パターン形成部材と、複数の光ファイバーを束ねて形成され、その第1パターン、その投影光学系、及びその第2パターンを通過した照明光によって生成される検出光を検出面に導く導光部材と、その検出面に配置される複数の画素を有し、その導光部材によって導かれるその検出光を検出する光電検出器と、その複数の第2パターン、その導光部材、及びその光電検出器を一体的に所定方向に対応する方向に移動する移動体と、その複数の第1パターンをその照明光で照明し、その複数の第1パターンの像をその複数の第2パターン上に投影しつつ、その複数の第1パターンをその所定方向に移動し、その移動体を介してその複数の第2パターンをその所定方向に対応する方向に移動したときに得られるその光電検出器の検出結果を処理してその光学特性を求める処理装置と、を備えるものである。
また、本発明の第3の態様による露光装置又は露光方法は、投影光学系を介して物体を走査露光する露光装置又は露光方法において、その投影光学系の光学特性を計測するために本発明の第1の態様による計測装置又は本発明の第2の態様による計測方法を用いる(備える)ものである。
また、本発明の第4の態様によるデバイス製造方法は、本発明の第3の態様による露光装置又は露光方法を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成された基板を処理することと、を含むものである。
また、本発明の第4の態様によるデバイス製造方法は、本発明の第3の態様による露光装置又は露光方法を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成された基板を処理することと、を含むものである。
本発明よれば、複数の第1パターンと複数の第2パターンとを対応する方向に移動しながら、複数の第1パターンの少なくとも一部の投影光学系による像が、対応する位置にある第2パターン及び導光部材を介して順次光電検出器で検出される。このように導光部材を介することによって、入射角の大きい外乱光等を排除して、第2パターンの形成面と光電検出器の受光面とを離すことができる。従って、計測用の光学系を大型化することなく、投影光学系の動的な光学特性を効率的にかつ高精度に計測できる。
[第1の実施形態]
以下、本発明の第1の実施形態につき図1〜図7を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係るスキャニングステッパー(スキャナー)よりなる走査露光型の露光装置EXの概略構成を示す。図1において、露光装置EXは、露光光源(不図示)と、この露光光源から射出される露光用の照明光(露光光)ILによりレチクルR(マスク)を照明する照明光学系ILSとを備えている。さらに、露光装置EXは、レチクルRを保持して移動するレチクルステージRSTと、レチクルRから射出された照明光ILをウエハW(基板)上に投射する投影光学系PLと、ウエハWの位置決め及び移動を行うウエハステージWSTと、装置全体の動作を統括制御するコンピュータよりなる主制御系2と、その他の駆動系等とを備えている。
以下、本発明の第1の実施形態につき図1〜図7を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係るスキャニングステッパー(スキャナー)よりなる走査露光型の露光装置EXの概略構成を示す。図1において、露光装置EXは、露光光源(不図示)と、この露光光源から射出される露光用の照明光(露光光)ILによりレチクルR(マスク)を照明する照明光学系ILSとを備えている。さらに、露光装置EXは、レチクルRを保持して移動するレチクルステージRSTと、レチクルRから射出された照明光ILをウエハW(基板)上に投射する投影光学系PLと、ウエハWの位置決め及び移動を行うウエハステージWSTと、装置全体の動作を統括制御するコンピュータよりなる主制御系2と、その他の駆動系等とを備えている。
以下、投影光学系PLの光軸AXと平行にZ軸を取り、これに垂直な面(ほぼ水平面)内の直交する2方向にX軸及びY軸を取り、X軸、Y軸、及びZ軸に平行な軸の回りの回転(傾斜)方向をそれぞれθx、θy、及びθz方向として説明を行う。本実施形態では、走査露光時のレチクルR及びウエハWの走査方向はY軸に平行な方向(Y方向)である。
露光光源としてはArFエキシマレーザ(波長193nm)が使用されている。露光光源として、それ以外にKrFエキシマレーザ(波長248nm)などの紫外パルスレーザ光源、YAGレーザの高調波発生光源、固体レーザ(半導体レーザなど)の高調波発生装置、又は水銀ランプ等の放電ランプ等も使用することができる。
照明光学系ILSは、例えば米国特許出願公開第2003/0025890号明細書などに開示されるように、オプティカルインテグレータ(フライアイレンズ、ロッドインテグレータ、回折光学素子など)等を含む照度均一化光学系、レチクルブラインド(可変視野絞り)、及びコンデンサ光学系等を含んでいる。なお、通常照明、輪帯照明、又は4極(若しくは2極)照明等の照明条件に応じて、照明光学系ILS内の瞳面(照明瞳面)に不図示の設定機構によって対応する開口絞りを設置してもよい。
照明光学系ILSは、例えば米国特許出願公開第2003/0025890号明細書などに開示されるように、オプティカルインテグレータ(フライアイレンズ、ロッドインテグレータ、回折光学素子など)等を含む照度均一化光学系、レチクルブラインド(可変視野絞り)、及びコンデンサ光学系等を含んでいる。なお、通常照明、輪帯照明、又は4極(若しくは2極)照明等の照明条件に応じて、照明光学系ILS内の瞳面(照明瞳面)に不図示の設定機構によって対応する開口絞りを設置してもよい。
照明光学系ILSは、露光時には、レチクルRのパターン面(下面)のパターン領域上のX方向(非走査方向)に細長い矩形の照明領域18Rを照明光ILによりほぼ均一な照度分布で照明する。
レチクルRはレチクルホルダ(不図示)を介してレチクルステージRST上に吸着保持されている。レチクルステージRSTはレチクルベース14のXY平面に平行な上面にエアベアリングを介して載置され、その上面でY方向に一定速度で移動するとともに、X方向、Y方向の位置及びθz方向の回転角の微調整を行う。レチクルステージRSTの少なくともX方向、Y方向の位置、及びθz方向の回転角を含む2次元的な位置情報は、一例としてX軸のレーザ干渉計16Xと、Y軸の2軸のレーザ干渉計16YA,16YBとを含むレチクル側干渉計によって計測され、この計測値がステージ駆動系4及び主制御系2に供給される。ステージ駆動系4は、その位置情報及び主制御系2からの制御情報に基づいて、不図示の駆動機構(リニアモータなど)を介してレチクルステージRSTの速度及び位置を制御する。
レチクルRはレチクルホルダ(不図示)を介してレチクルステージRST上に吸着保持されている。レチクルステージRSTはレチクルベース14のXY平面に平行な上面にエアベアリングを介して載置され、その上面でY方向に一定速度で移動するとともに、X方向、Y方向の位置及びθz方向の回転角の微調整を行う。レチクルステージRSTの少なくともX方向、Y方向の位置、及びθz方向の回転角を含む2次元的な位置情報は、一例としてX軸のレーザ干渉計16Xと、Y軸の2軸のレーザ干渉計16YA,16YBとを含むレチクル側干渉計によって計測され、この計測値がステージ駆動系4及び主制御系2に供給される。ステージ駆動系4は、その位置情報及び主制御系2からの制御情報に基づいて、不図示の駆動機構(リニアモータなど)を介してレチクルステージRSTの速度及び位置を制御する。
照明光ILのもとで、レチクルRの照明領域18R内の回路パターンは、両側テレセントリック(又はウエハ側に片側テレセントリック)の投影光学系PLを介して所定の投影倍率(例えば1/4,1/5等の縮小倍率)で、ウエハW上の一つのショット領域SA上の露光領域18W(照明領域18Rと共役な領域)に投影される。ウエハW(基板)は、例えば直径が200mm又は300mm等の円板状のシリコン等の基材上にフォトレジスト(感光剤)を塗布したものである。投影光学系PLは例えば屈折系であるが、反射屈折系等も使用できる。レチクルのパターン面は投影光学系PLの物体面に配置され、ウエハWの表面(露光面)は投影光学系PLの像面に配置される。
また、露光装置EXは、投影光学系PLのディストーション、像面湾曲、及び球面収差等の光学特性を制御する特性制御機構を備えている。特性制御機構は、投影光学系PL中の複数のレンズL1,L2の周囲の3箇所に設置されたZ方向に伸縮可能なピエゾ素子等の駆動素子12A,12Bと、駆動素子12A,12Bの駆動量を制御する駆動系10と、主制御系2からの制御情報に応じて駆動系10を介してレンズL1,L2の位置及び傾斜角を制御する特性制御系8とを有する。なお、駆動対象のレンズの個数及び配置は、制御対象の光学特性に応じて設定される。
一方、ウエハWはウエハホルダWHを介してウエハステージWSTに吸着保持されている。ウエハステージWSTは、XYステージ24と、この上に設置されウエハWを保持するウエハホルダWHが設けられたZチルトステージ22とを含んでいる。XYステージ24は、ウエハベース26のXY平面に平行な上面にエアベアリングを介して載置され、その上面をX方向、Y方向に移動し、必要に応じてθz方向の回転角が補正される。Zチルトステージ22は、例えばZ方向に変位可能な3箇所のZ駆動部を含むフォーカスレベリング機構(不図示)を有し、このフォーカスレベリング機構を駆動することで、Zチルトステージ22の上面(ウエハW)の光軸AX方向の位置(フォーカス位置又はZ位置)、及びθx方向、θy方向の傾斜角を制御可能である。
また、Zチルトステージ22の上部のウエハホルダWHの近傍に、例えばテストレチクルTRに形成された複数の評価用マークの投影光学系PLによる像の状態を計測するための撮像ユニット32が固定されている。撮像ユニット32の上部の検出用パターンが形成された面はウエハWの表面とほぼ同じ高さに設定され、その検出用のパターンは保護膜34で覆われている(詳細後述)。
さらに投影光学系PLの側面に、例えば米国特許第5,448,332号明細書等に開示されるものと同様の構成の、ウエハWの表面等の被検面の複数点でのフォーカス位置(Z位置)を計測する斜入射方式の多点のオートフォーカスセンサ(不図示)が設けられている。ステージ駆動系4は、そのオートフォーカスセンサの計測結果に基づいて、被検面が投影光学系PLの像面に対して所定の関係を維持するように、オートフォーカス方式でZチルトステージ22を駆動する。
ウエハステージWST(Zチルトステージ22)の少なくともX方向、Y方向の位置、及びθz方向の回転角を含む2次元的な位置情報が、一例としてX軸の2軸のレーザ干渉計28XP,28XFと、Y軸の2軸のレーザ干渉計28YA,28YBとを含むウエハ側干渉計によって計測され、この計測値がステージ駆動系4及び主制御系2に供給される。ステージ駆動系4は、その位置情報及び主制御系2からの制御情報に基づいて、不図示の駆動機構(リニアモータなど)を介して、ウエハステージWSTのXYステージ24の2次元的な位置を制御する。
また、投影光学系PLの側面において、ウエハW上のアライメントマークの位置を計測するための、オフアクシス方式で例えば画像処理方式のウエハアライメント系30が不図示のフレームに支持されている。また、Zチルトステージ22内に、レチクルRのアライメントマーク(不図示)等の像を検出する空間像計測系(不図示)が設置されている。空間像計測系及びウエハアライメント系30の検出結果はアライメント制御系(不図示)に供給され、その検出結果からレチクルR等及びウエハWのアライメントを行うことができる。
露光時には、レチクルRの照明領域18R内のパターンの投影光学系PLによる像をウエハW上の一つのショット領域SA上に露光しつつ、レチクルステージRST及びウエハステージWSTを駆動して、レチクルRとウエハWとをY方向に投影倍率を速度比として同期して移動することで、当該ショット領域にレチクルRのパターンの像が走査露光される。その後、ウエハステージWSTを駆動してウエハWをX方向、Y方向にステップ移動する動作と、その走査露光動作とを繰り返すことによって、ステップ・アンド・スキャン方式でウエハW上の各ショット領域にレチクルRのパターン像が露光される。
この走査露光時における投影光学系PLの像面の平均的な位置等の投影光学系PLの動的な光学特性を計測するために、テストレチクルTR及び撮像ユニット32を含む計測装置が使用される。即ち、投影光学系PLの動的な光学特性を計測する場合には、レチクルステージRST上にレチクルRの代わりにテストレチクルTRがロードされる。そして、レチクルステージRSTを介して、照明領域18Rに対して図2(A)の矢印A1で示す−Y方向(又は+Y方向)にテストレチクルTRを移動するのと同期して、ウエハステージWSTを介して、露光領域18Wに対して矢印A2で示す+Y方向(又は−Y方向)に撮像ユニット32の上面が移動される。従って、テストレチクルTRに形成された後述の複数の評価用マークの像と撮像ユニット32とは実質的に相対的に静止している。なお、本実施形態では、一例として投影光学系PLは倒立像を形成するものとしている。図2(B)及び図2(C)は図2(A)のテストレチクルTR及び撮像ユニット32を示す平面図である。
図2(B)に示すように、テストレチクルTRのパターン領域には、X方向及びY方向に所定間隔で、かつX方向にI行でY方向にJ列に配列されたI×J個の計測点が設定され、そのうちの+X方向にi番目で−Y方向にj番目の計測点がP(i,j)である(1≦i≦I,1≦j≦J)。整数Iは例えば10〜20程度、整数Jは例えば15〜30程度である。また、各計測点P(i,j)に中心が来るようにそれぞれ評価用マークとしての位相マーク20が形成されている。さらに、そのパターン領域のY方向の中央のX方向の両端部にアライメントマークFM1,FM2が形成されている。
位相マーク20は、図3(A)の拡大平面図及びその図3(B)の断面図で示すように、X方向に細長い矩形の複数の凹部20aをY方向(計測方向)にピッチ(周期)P1で形成したものである。凹部20aのY方向の幅と、これらの間の凸部20bのY方向の幅とはほぼ等しい。投影光学系PLの投影倍率をβとして、投影像の段階でのピッチP1の値(=β・P1)は、例えば数μm〜数10μmである。また、位相マーク20に照射される光(照明光IL)の波長をλとしたとき、正又は負の奇数nを用いて、凹部20aを通過する光の位相と、凸部20bを通過する光の位相との位相差φ(光路長差)は、ほぼ次のように設定されている。この場合、位相差φは角度ではほぼ90°又は270°(−90°)である。
φ=nλ/4 …(1)
なお、本実施形態では、凹部20aを通過する光に対する凸部20bを通過する光の位相差φは、角度でほぼ90°(n=…,−7,−3,1,5,…)に設定されている。なお、凹部20aを通過する光に対する凸部20bを通過する光の位相差φは、角度でほぼ270°(n=…,−5,−1,3,7,…)に設定されていてもよい。
なお、本実施形態では、凹部20aを通過する光に対する凸部20bを通過する光の位相差φは、角度でほぼ90°(n=…,−7,−3,1,5,…)に設定されている。なお、凹部20aを通過する光に対する凸部20bを通過する光の位相差φは、角度でほぼ270°(n=…,−5,−1,3,7,…)に設定されていてもよい。
この場合、図3(B)の位相マーク20が投影光学系PLの物体面に配置されているものとして、位相マーク20の投影光学系PLの像のY方向の光強度分布は、図3(C)のIA1,IA2,IA3のようになる。図3(C)において、光強度分布IA1は、位相マーク20の像を計測する計測面(後述の検出用パターンが配置される面)が投影光学系PLのベストフォーカス位置にあるときの分布であり、光強度分布IA1は位相マーク20の凹部20a及び凸部20bの像の中心で同じ値のピークとなる。従って、光強度分布IA1はX方向にピッチβ・P1/2の正弦波状である。
また、光強度分布IA2は、計測面が投影光学系PLのベストフォーカス位置に対して+Z方向(上方)にずれたときの分布であり、光強度分布IA2は位相マーク20の凸部20bの像の中心のピークが小さくなる。さらに、光強度分布IA3は、計測面が投影光学系PLのベストフォーカス位置に対して−Z方向にずれたときの分布であり、光強度分布IA3は、位相マーク20の凹部20aの像の中心のピークが小さくなる。さらに、計測面のデフォーカス量が大きくなるほど、凹部20aの像のピークと凸部20bの像のピークとの差は大きくなる。撮像ユニット32は、そのようなデフォーカスの状態による光強度分布IA1〜IA3の変化に基づいて受光面のデフォーカス量(フォーカス位置)を計測する。
図2(A)において、撮像ユニット32は、CCD又はCMOSよりなる2次元の撮像素子38と、撮像素子38の多数の画素がX方向及びY方向に格子状に配置された検出面38aに設置され、多数の可視光を透過する光ファイバーを束ねて形成されたファイバーオプティックプレート(以下、FOPという。)37と、FOP37の入射面(上面)に形成された波長選択膜36と、波長選択膜36上に形成された蛍光膜35と、蛍光膜35の上面(計測面)に形成された検出用パターンとしての複数の周期パターン39と、これらの周期パターン39を覆うように蛍光膜35上に形成された保護膜34とを備えている。
投影光学系PLを通過した照明光ILは、保護膜34及び周期パターン39を介して蛍光膜35に入射する。蛍光膜35は、紫外光である照明光ILの照射によって高い変換効率で蛍光としての可視域の検出光DLを発生し、検出光DL及び変換されなかった紫外光は波長選択膜36に入射する。波長選択膜36は検出光DLをFOP37側に透過し、変換されなかった紫外光(照明光IL)を反射する。検出光DLは、FOP37によって入射面における光強度分布を維持した状態で撮像素子38の多数の画素が配置された検出面38aに導かれ、撮像素子38の検出信号は図1の演算装置6に供給される。演算装置6は、その検出信号を処理して投影光学系PLの所定の光学特性を求める。保護膜34は、空気や水蒸気から下層の膜を保護する。なお、撮像ユニット32を液浸露光を行う露光装置に用いる場合には、保護膜34は耐水性又は撥水性であることが好ましい。
撮像ユニット32の上面の形状、ひいてはFOP37の断面形状、及び撮像素子38の検出面38aの形状は、図2(C)に示すように、ウエハの露光対象の一つのショット領域(投影光学系PLの露光フィールド)よりもX方向及びY方向の幅が広く設定されている。従って、撮像ユニット32の上面の形状は、露光領域18WよりもX方向の幅が広く形成されている。一例としてショット領域(露光フィールド)のX方向の幅は26mm、Y方向の長さは33mmであり、露光領域18WのX方向の幅は26mm、Y方向の幅(スリット幅)SLYは8mm程度であるため、撮像素子38の検出面38aは例えばX方向の幅が30mm程度、Y方向の幅が35mm程度でもよい。
FOP37は、多数の可視光を透過する外径が3〜6μm程度の光ファイバーを入射面と射出面とが同じ配列になるように束ね、入射面及び射出面を研磨したものである。FOP37の高さは例えば数mm〜20mm程度である。FOP37としては、浜松ホトニクス(株)又はショット社等の製品を使用可能である。撮像素子38としては、画素サイズが10μm程度又はそれより大きい撮像素子を使用可能である。蛍光膜35及び波長選択膜36を合わせた厚さは、横方向の分解能を高く維持するために、FOP37を構成する1つの光ファイバーの直径程度又はこれより薄いことが好ましい。
また、保護膜34は、例えば二酸化ケイ素の薄膜である。蛍光膜35は、例えばフッ化物(例えばフッ化ランタン(LaF3))の母材に対して遷移金属及び希土類元素から選択される賦活剤(例えばユーロピウム(Eu))をドープした材料で形成される。なお、賦活剤の濃度は、フッ化物の母材に対して例えば陽イオン比で1モル%〜10モル%の範囲で設定され、好ましくは約5モル%である。波長選択膜36は、例えば可視光を透過して紫外光を反射する誘電体多層膜ミラーで構成されている。
撮像ユニット32の蛍光膜35の上面に形成された多数の周期パターン39の中心は、図2(C)に示すように、テストレチクルTRの計測点P(i,j)の配列を投影光学系PLの投影倍率βで縮小した配列で設定されている計測点Q(i,j)(i=1〜I,j=1〜J)に配置されている。なお、本実施形態の投影光学系PLは倒立像を形成するものとしているため、計測点Q(i,j)の配列は計測点P(i,j)の配列を配列中心に関して反転したものである。投影光学系PLの光学特性の計測時には、テストレチクルTRの各計測点P(i,j)と投影光学系PLに関してほぼ共役な位置に撮像ユニット32の各計測点Q(i,j)が配置される。
図2(C)の計測点Q(i,j)にある周期パターン39は、図4(A)の拡大図で示すように、遮光膜中にX方向に細長い幅β・P1/2の複数の開口パターン39AaをY方向にピッチβ・P1で形成した第1周期パターン39Aと、遮光膜中に開口パターン39Aaの間に位置するように、開口パターン39Aaに対して位相をずらして配置され、開口パターン39Aaと同じ大きさの複数の開口パターン39BaをY方向に周期β・P1で形成した第2周期パターン39Bとを、X方向に近接して形成したものである。周期パターン39のX方向の長さは、位相マーク20の像20PのX方向の長さよりも或る程度長く設定されている。投影光学系PLの光学特性の計測時には、計測点P(i,j)の位相マーク20の像20Pの−X方向及び+X方向のほぼ1/2の部分が、それぞれ周期パターン39A及び39B上に重ねて形成される。さらに、位相マーク20の像20Pのうちの凹部20aの像20aPが周期パターン39Aの開口パターン39Aa内に形成され、凸部20bの像20bPが周期パターン39Bの開口パターン39Ba内に形成される。
また、図2(A)の撮像素子38のうちで、計測点Q(i,j)上の第1周期パターン39Aを通過した照明光IL(実際には蛍光)を検出する複数の画素を画素群38Aijと呼び、第2周期パターン39Bを通過した照明光IL(実際には蛍光)を検出する複数の画素を画素群38Bijと呼ぶ。図1の演算装置6内で図4(A)の画素群38Aij,38Bijの検出信号を処理する部分を演算ユニット6Aijとすると、演算ユニット6Aijは、画素群38Aijからの検出信号の和と、画素群38Bijからの検出信号の和との差分を各計測点Q(i,j)に関するフォーカス信号SFij(i=1〜I,j=1〜J)として出力する。なお、実際には撮像素子38の各画素の検出信号(画像データ)は演算装置6内の画像メモリにまとめて格納され、演算処理時に必要な画素の検出信号が順次読み出される。従って、演算ユニット6Aijは、演算処理を行うソフトウェア上の機能であってもよい。
図3(C)を参照して説明したように、周期パターン39A,39Bの形成面(計測面)が投影光学系PLのベストフォーカス位置にあるときには、開口パターン39Aa,39Ba内の光量が同じであり、フォーカス信号SFijは0になる。一方、計測面がベストフォーカス位置より上方にずれると、開口パターン39Ba内の光量が減少し、計測面がベストフォーカス位置より下方にずれると、開口パターン39Aa内の光量が減少する。従って、フォーカス信号SFijは、図4(B)に示すように、特に計測面のベストフォーカス位置からのデフォーカス量Zijが小さい範囲では、デフォーカス量Zijにほぼ比例して変化する。図2(C)の全部の計測点Q(i,j)のうち、露光領域18Wを通過している複数の計測点で検出される検出信号が所定の閾値を超える値となり、露光領域18Wの外にある計測点で検出される検出信号はほぼ0になる。また、全部の計測点Q(i,j)において、それぞれ撮像ユニット32によって所定のサンプリングレートで光量検出が行われ、検出信号は画像メモリに格納される。
各計測点Q(i,j)(対応するテストレチクルTRの計測点P(i,j)の位相マーク20の像)が露光領域18WをY方向に横切る間に、撮像素子38はm回(mは2以上の整数)のサンプリングを行うものとする。その回数mは例えば3回以上であることが好ましい。その後の演算処理時に、各計測点Q(i,j)毎に、m個のフォーカス信号SFijが検出される。そこで、演算装置6内のフォーカス演算部(例えばソフトウェア上の別の機能でもよい)は、全部の演算ユニット6Aijから出力されるm個のフォーカス信号SFijからそれぞれm個のデフォーカス量Zijを求める。この場合の計測面をデフォーカス量Zijだけ補正した位置が対応する計測点Q(i,j)におけるベストフォーカス位置となる。
次に、本実施形態の露光装置EXにおける投影光学系PLの動的な光学特性の計測動作及び露光動作の一例につき図6のフローチャートを参照して説明する。この動作は主制御系2の制御のもとで、露光工程中に例えば定期的に実行される。先ず、図6のステップ102において、レチクルステージRST上にテストレチクルTRをロードし、アライメントマークFM1,FM2をウエハステージWSTの空間像計測系(不図示)で検出することで、テストレチクルTRのアライメントを行う。その後、レチクルステージRSTを駆動して、テストレチクルTRのパターン領域を照明領域18Rの手前(+Y方向又は−Y方向側)の走査開始位置に移動する。
次のステップ104において、ウエハステージWSTを駆動して、テストレチクルTRの各計測点P(i,j)の位相マーク20と対応する位置、即ち位相マーク20と投影光学系PLに関してほぼ共役な位置に、撮像ユニット32の計測点Q(i,j)の周期パターン39A,39Bを移動する。これによって、撮像ユニット32の上面は露光領域18Wの手前の走査開始位置に移動する。この後、計測点P(i,j)の位相マーク20と計測点Q(i,j)の周期パターン39A,39Bとが投影光学系PLに関してほぼ共役な位置関係を維持するように、テストレチクルTRと撮像ユニット32とを同期して移動する。そのように同期して移動するときに、Zチルトステージ22のフォーカスレベリング機構によって、撮像ユニット32の周期パターン39A,39Bの形成面(計測面)は、露光領域18W内でそれまでの計測結果等によって投影光学系PLの平均的な像面(ベストフォーカス位置)とされた面に沿って移動するように制御される。しかしながら、実際には、投影光学系PLの像面の経時的な変動と、レチクルステージRSTのピッチングによる像面の変動と、ウエハステージWSTのピッチング並びにフォーカスレベリング機構の応答速度等による撮像ユニット32の計測面のZ位置及び傾斜角の変動とによって、撮像ユニット32を介して計測される計測点Q(i,j)の位相マーク20の像のデフォーカス量は変化する。
次のステップ106において、照明光ILの照射を開始し、レチクルステージRST及びウエハステージWSTを駆動して、例えば図2(A)に示すように、テストレチクルTRと撮像ユニット32とをY方向に投影倍率βを速度比として同期して移動する。この同期移動時に、撮像ユニット32の複数の計測点Q(i,j)において、所定のサンプリングレートでそれぞれ周期パターン39A,39Bを通過した照明光ILによって蛍光膜35で生成される検出光DL(蛍光)をFOP37を介して撮像素子38で受光し、周期パターン39A,39Bを通過する光量の差分に対応するフォーカス信号SFijを検出する。さらに、各フォーカス信号SFijから対応するテストレチクルTRの計測点P(i,j)にある位相マーク20の像のデフォーカス量Zijを求める。この際に、露光領域18Wの外に計測点Q(i,j)があり、対応する画素群で検出される光量が少ない場合には、その計測点Q(i,j)で検出されるフォーカス信号SFijは有効な計測値ではないものとする。各計測点Q(i,j)が露光領域18Wを通過中に計測される有効なデフォーカス量Zijはm個である。
例えば図5(A)、図5(B)、及び図5(C)に誇張して示すように、位相マーク20の像20P及びこれを検出する撮像ユニット32の計測点Q(i,j)の周期パターン39(39A,39B)が矢印A2で示す+Y方向に移動して露光領域18Wを横切る際に、撮像ユニット32(ウエハステージWST)のZ位置及び傾斜角が僅かに変動するものとする。この場合、図5(A)、図5(B)、図5(C)の時点t1,t2,t3で撮像素子38の画像データのサンプリングを行うものとすると、計測点Q(i,j)で検出されるデフォーカス量Zijは図5(D)に示すように変化する。
次のステップ108において、演算装置6内のフォーカス演算部は、各計測点Q(i,j)で計測された有効なm個のデフォーカス量Zij(以下、Z(i)とする。i=1〜m)の平均値Mean1 を次式(2)を用いて計算する。平均値Mean1 は、計測点P(i,j)にある位相マーク20の像の走査露光時の平均的なフォーカス位置とみなすことができる。
次のステップ110において、そのフォーカス演算部は、有効なデフォーカス量Z(i)及び平均値Mean1 を用いて上記の式(3)からデフォーカス量Z(i)の動的な標準偏差MSD1を計算する。なお、式(3)において、平方和を割る数としては(m−1)の代わりにmを用いることも可能である。このように、テストプリントを行うことなく、かつ走査露光時と同じ条件のもとで、効率的に投影光学系PLの動的な光学特性(ここでは平均値Mean1 及び標準偏差MSD1)を計測できる。
図7(A)及び図7(B)は、それぞれ図2(C)の各計測点Q(i,j)において計算されたデフォーカス量の平均値Mean1 及び標準偏差MSD1の分布の一例を示す。図7(A)の平均値Mean1 が等しい計測点を結ぶ曲線B1〜B6においては、曲線B1から曲線B6に向かって平均値Mean1 が次第に大きくなっている。また、図7(B)の標準偏差MSD1が等しい計測点を結ぶ曲線B11から曲線B12に向かって標準偏差MSD1は大きくなっている。
次のステップ112で、レチクルステージRST上にレチクルRがロードされ、このアライメントが行われる。次のステップ114でウエハステージWST上に未露光のウエハ(ウエハWとする)がロードされ、このアライメントが行われる。次のステップ116で、露光装置EXにおいて、ウエハWの各ショット領域SAにレチクルRのパターンの像が走査露光される。この際に、ウエハWの表面の露光領域18W内の領域のZ位置が、例えば図7(A)に示されるデフォーカス量の平均値Mean1 を相殺する値になるように、Zチルトステージ22内のフォーカスレベリング機構が駆動される。これによって、投影光学系PLの動的な像面変動の影響が抑制されるため、レチクルRのパターンの像が高解像度でウエハWの各ショット領域に走査露光される。
また、例えば図7(B)のデフォーカス量の標準偏差MSD1の最大値が所定の許容範囲を超えている場合には、ウエハWの各ショット領域SA内で部分的に解像度等が低下する恐れがあるため、例えばウエハステージWSTの走査速度(ひいてはレチクルステージRSTの走査速度)を調整する等の対策を施してもよい。次のステップ118でウエハWがアンロードされ、次のステップ120において露光対象のウエハがなくなるまで、ステップ114〜118の露光が繰り返される。
本実施形態の作用効果等は以下の通りである。
(1)本実施形態の露光装置EXが備える計測装置は、物体面(第1面)のパターンの像を像面(第2面)上に形成する投影光学系PLの光学特性を計測する計測装置において、物体面のY方向に沿った計測点P(i,j)に配置される複数の位相マーク20(第1パターン)が形成されたテストレチクルTRと、像面に沿って複数の位相マーク20の配置に対応した計測点Q(i,j)に配置される複数の周期パターン39(第2パターン)が形成された蛍光膜35と、複数の光ファイバーを束ねて形成され、位相マーク20、投影光学系PL、及び周期パターン39を通過した照明光ILによって生成される検出光DLを検出面に導くFOP37(導光部材)と、その検出面に配置される複数の画素を有し、FOP37によって導かれる検出光DLを検出する撮像素子38と、を備えている。
(1)本実施形態の露光装置EXが備える計測装置は、物体面(第1面)のパターンの像を像面(第2面)上に形成する投影光学系PLの光学特性を計測する計測装置において、物体面のY方向に沿った計測点P(i,j)に配置される複数の位相マーク20(第1パターン)が形成されたテストレチクルTRと、像面に沿って複数の位相マーク20の配置に対応した計測点Q(i,j)に配置される複数の周期パターン39(第2パターン)が形成された蛍光膜35と、複数の光ファイバーを束ねて形成され、位相マーク20、投影光学系PL、及び周期パターン39を通過した照明光ILによって生成される検出光DLを検出面に導くFOP37(導光部材)と、その検出面に配置される複数の画素を有し、FOP37によって導かれる検出光DLを検出する撮像素子38と、を備えている。
さらにその計測装置は、複数の周期パターン39、FOP37、及び撮像素子38を一体的にY方向に移動するウエハステージWST(移動体)と、複数の位相マーク20を照明光ILで照明し、複数の位相マーク20の像を複数の周期パターン39上に投影しつつ、位相マーク20を+Y方向又は−Y方向に移動し、ウエハステージWSTを介して周期パターン39を−Y方向又は+Y方向に移動したときに得られる撮像素子38の検出結果を処理して投影光学系PLの走査露光時の各計測点P(i,j)毎のデフォーカス量の平均値Mean1 等(動的な光学特性)を求める演算装置6(処理装置)と、を備えている。
また、その計測装置による計測方法は、ステップ102〜110の工程によって投影光学系PLの走査露光時の各計測点P(i,j)毎のデフォーカス量の情報を求めている。
本実施形態よれば、複数の位相マーク20と対応する複数の周期パターン39とを対応する方向(Y方向)に移動しながら、複数の位相マーク20の少なくとも一部の投影光学系PLによる像が、対応する位置にある周期パターン39及びFOP37を介して順次撮像素子38で検出される。このようにFOP37を介することによって、入射角の大きい外乱光及び離れた位置にある像からの光等を排除して、周期パターン39を通過した光を高いSN比で検出できる。さらに、周期パターン39の形成面(計測面)と撮像素子38の検出面38aとを離すことができるため、撮像素子38の発熱の影響が軽減されている。従って、計測用の光学系を大型化することなく、撮像ユニット32を小型な装置として構成できるとともに、1回の同期移動で、投影光学系PLの露光フィールド(ウエハ上のショット領域)の全面の動的な光学特性を効率的にかつ高精度に計測できる。
本実施形態よれば、複数の位相マーク20と対応する複数の周期パターン39とを対応する方向(Y方向)に移動しながら、複数の位相マーク20の少なくとも一部の投影光学系PLによる像が、対応する位置にある周期パターン39及びFOP37を介して順次撮像素子38で検出される。このようにFOP37を介することによって、入射角の大きい外乱光及び離れた位置にある像からの光等を排除して、周期パターン39を通過した光を高いSN比で検出できる。さらに、周期パターン39の形成面(計測面)と撮像素子38の検出面38aとを離すことができるため、撮像素子38の発熱の影響が軽減されている。従って、計測用の光学系を大型化することなく、撮像ユニット32を小型な装置として構成できるとともに、1回の同期移動で、投影光学系PLの露光フィールド(ウエハ上のショット領域)の全面の動的な光学特性を効率的にかつ高精度に計測できる。
(2)また、周期パターン39は蛍光膜35上に形成され、蛍光膜35で発生する可視域の蛍光が波長選択膜36を介してFOP37に入射しているため、照明光ILが紫外光であっても、可視光を伝送するFOP37を用いて投影光学系PLの光学特性を計測できる。なお、FOP37が紫外光を高効率に伝送できる場合には、蛍光膜35及び波長選択膜36を省略できる。
(3)撮像ユニット32は1つの撮像素子38を備えている。しかしながら、画像データのサンプリング周期を短縮して、より多くのデフォーカス量の計測データを得るために、撮像素子38を複数の撮像素子から構成してもよい。
(4)また、本実施形態では、走査露光時の各計測点P(i,j)の位相マーク20の像のデフォーカス量の平均値Mean1 及び標準偏差MSD1(動的な像面情報)を求めている(ステップ108,110)。従って、実際の走査露光時に、例えばその平均値Mean1 を相殺するようにウエハWのZ位置を補正することによって、走査露光中にウエハWの表面を投影光学系PLの像面に高精度に合焦でき、高精度に露光を行うことができる。
(4)また、本実施形態では、走査露光時の各計測点P(i,j)の位相マーク20の像のデフォーカス量の平均値Mean1 及び標準偏差MSD1(動的な像面情報)を求めている(ステップ108,110)。従って、実際の走査露光時に、例えばその平均値Mean1 を相殺するようにウエハWのZ位置を補正することによって、走査露光中にウエハWの表面を投影光学系PLの像面に高精度に合焦でき、高精度に露光を行うことができる。
なお、デフォーカス量の平均値Mean1 又は標準偏差MSD1の一方を求めるだけでもよい。
(5)また、位相マーク20の像20Pのデフォーカス量を計測するために、周期パターン39を周期パターン39A,39Bから構成し、像20Pの一部分を周期パターン39Aを介して検出し、像20Pの他の部分を周期パターン39Bを介して検出している。従って、撮像ユニット32をZ方向に移動することなく、1回の画像のサンプリングによって像20Pのデフォーカス量を計測できる。
(5)また、位相マーク20の像20Pのデフォーカス量を計測するために、周期パターン39を周期パターン39A,39Bから構成し、像20Pの一部分を周期パターン39Aを介して検出し、像20Pの他の部分を周期パターン39Bを介して検出している。従って、撮像ユニット32をZ方向に移動することなく、1回の画像のサンプリングによって像20Pのデフォーカス量を計測できる。
なお、位相マーク20及び周期パターン39A,39Bの計測方向(周期方向)はY方向であるが、位相マーク20及び周期パターン39A,39Bの計測方向はX方向(非走査方向)であってもよい。さらに、デフォーカス量を計測するためには、位相マーク20及び周期パターン39A,39Bと異なるマーク及びパターンを使用してもよい。
(6)また、本実施形態の露光方法は、投影光学系PLを介してウエハWを走査露光する露光方法において、本実施形態の計測方法を用いて投影光学系PLの動的な光学特性を計測している。また、本実施形態の露光装置EXは、投影光学系PLを介してウエハWを走査露光する露光装置において、投影光学系PLの光学特性を計測するために本実施形態の計測装置を備えている。
(6)また、本実施形態の露光方法は、投影光学系PLを介してウエハWを走査露光する露光方法において、本実施形態の計測方法を用いて投影光学系PLの動的な光学特性を計測している。また、本実施形態の露光装置EXは、投影光学系PLを介してウエハWを走査露光する露光装置において、投影光学系PLの光学特性を計測するために本実施形態の計測装置を備えている。
この場合、計測装置を構成する小型の撮像ユニット32はウエハステージWSTに容易に組み込むことができるため、オンボディで1回の同期走査を行うのみで、投影光学系PLの露光フィールドの全面の動的な光学特性を高精度に計測できる。従って、その計測結果に応じて、ウエハWのZ位置及び傾斜角等を制御することで、レチクルRのパターンの像をウエハW上に高精度に走査露光できる。
なお、撮像ユニット32は、ウエハステージWSTとは独立にウエハベース26の上面を移動する計測ステージ(不図示)等に固定してもよい。また、テストレチクルTRの代わりに、実露光用の回路パターンとともに複数の評価用マークが形成されたレチクル、又はレチクルステージRST上に固定され、複数の評価用マークが形成されたレチクルマーク板等を使用してもよい。
なお、上記の実施形態では、各位相マーク20の投影光学系PLによる像のデフォーカス情報を求めている。しかしながら、図8(A)〜図8(C)に示すように、Y方向に配列された複数(この例では3個)の位相マーク20の像20Pのデフォーカス量から、撮像ユニット32の対応する3個の周期パターン39が形成された局所的な計測面のX軸に平行な軸の回りの傾斜角であるチルト角TiltY を求めてもよい。なお、図8(A)〜図8(C)において、図5(A)〜図5(C)に対応する部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
この場合、図2(B)のテストレチクルTRのY方向に一列に配列される3個の計測点P(i,j-1)〜P(i,j+1)にある3個の位相マーク20の像20Pが、時点t1において、図8(A)の撮像ユニット32の対応する3個の計測点Q(i,j-1)〜Q(i,j+1)の周期パターン39を介して検出されて、3個のデフォーカス量が得られる。これら3個のデフォーカス量を用いて平均的に定められる直線とY軸との角度がチルト角TiltY である。次の時点t2においては、図8(B)に示すように、3個の位相マーク20の像20Pのデフォーカス量が露光領域18Wの中央付近で検出され、この検出結果からチルト角TiltY が求められる。次の時点t3においては、図8(C)に示すように、3個の位相マーク20の像20Pのデフォーカス量が露光領域18Wの+Y方向の端部で検出され、この検出結果からチルト角TiltY が求められる。以上のように3回計測されたチルト角TiltY の一例を図4(D)に示す。
実際には、チルト角TiltY は、テストレチクルTRの各計測点P(i,j)を中心とする3個の位相マーク20の像毎にそれぞれm回(mは2以上の整数)計測される。その後、演算装置6内のフォーカス演算部は、各計測点P(i,j)(又はQ(i,j))に関して計測された有効なm個のチルト角TiltY (以下、TiltY(i)とする。i=1〜m)の平均値Mean3 を次の式(5)を用いて計算する。
さらに、そのフォーカス演算部は、有効なチルト角TiltY(i)及び平均値Mean3 を用いて次の式(7)からチルト角TiltY の標準偏差MSD3を計算する。なお、式(7)において、平方和を割る数としては(m−1)の代わりにmを用いることも可能である
さらに、テストレチクルTR上でX方向(非走査方向)に配列された複数の位相マーク20の像のデフォーカス量から、撮像ユニット32の周期パターン39が形成された局所的な計測面のY軸に平行な軸の回りの傾斜角であるチルト角TiltX を計測してもよい。さらに、各計測点P(i,j)(Q(i,j))毎にm回計測された有効なチルト角TiltX (以下、TiltX(i)とする。i=1〜m)の平均値Mean2 及び標準偏差MSD2を上記の式(4)及び式(6)から計算してもよい。
このように、テストプリントを行うことなく、かつ走査露光時と同じ条件のもとで、効率的に投影光学系PLの動的な光学特性として、像面に対する計測面の局所的なチルト角TiltY,TiltX)の平均値Mean2,Mean3 及び標準偏差MSD2,MSD3)を計測できる。この後の走査露光時には、例えばウエハステージWSTのZチルトステージ22及び/又は特性制御系8を含む特性制御機構による投影光学系PLの光学特性の制御によって、走査露光中のウエハWのY方向の位置に応じて、チルト角の平均値Mean2,Mean3 を相殺するように、ウエハWの表面と投影光学系PLの像面との相対的な傾斜角を制御することで、合焦精度が向上する。
また、そのチルト角TiltY の計測は、例えば累進焦点露光法で投影光学系PLの像面に対してウエハWの表面を所定角度だけ傾斜させた状態で、ウエハWを走査露光する場合のその傾斜角の精度を評価するために行うようにしてもよい。
[第2の実施形態]
本発明の第2の実施形態につき図10を参照して説明する。本実施形態は、液浸法で露光を行う露光装置に本発明を適用したものであり、図10において図1及び図2(A)に対応する部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
本発明の第2の実施形態につき図10を参照して説明する。本実施形態は、液浸法で露光を行う露光装置に本発明を適用したものであり、図10において図1及び図2(A)に対応する部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
図10は、本実施形態の露光装置の投影光学系PLの光学特性を計測している状態を示す。図10において、投影光学系PLの物体面にテストレチクルTRのパターン面が配置され、投影光学系PLの像面側にZチルトステージ22(ウエハステージWST)に設けられた撮像ユニット32の周期パターン39の形成面(計測面)が配置されている。また、投影光学系PLの下端部と撮像ユニット32の上面(保護膜34)との間の枠状のノズルヘッド43で囲まれた液浸空間に、走査露光時と同様に、液体供給装置41Aから配管42A及び供給口43aを介して照明光ILを透過する純水等の液体Lqが供給されている。その液浸空間の液体Lqは、フィルタ部材45、排出口43b、及び配管42Bを介して液体回収装置41Bに回収される。液体供給装置41A等を含む局所液浸機構としては、例えば米国特許出願公開第2007/242247号明細書、又は欧州特許出願公開第1420298号明細書等に開示されている機構を使用できる。
本実施形態において、走査露光時の投影光学系PLの光学特性を計測する場合には、一例として、露光時と同様にノズルヘッド43で囲まれた液浸空間内への液体Lqの供給及び回収を行いながら、かつテストレチクルTRとZチルトステージ22とを矢印A1,A2で示すようにY方向に同期して移動しつつ、撮像ユニット32の撮像素子38の検出信号を記憶する。その後、計測点Q(i,j)毎にm個の有効なデフォーカス量Zijを求め、これらのデフォーカス量Zijから例えば式(2)、式(3)の平均値Mean1 及び標準偏差MSD1を計算する。
ただし、本実施形態では、光学特性の計測時に投影光学系PLと撮像ユニット32と間の液体Lq中に微小な泡又はレジスト残滓等の異物が混入していると、それに対応する計測点Q(i,j)における光学特性(ここではデフォーカス量Zij)の値が平均値から大きく外れる異常値になるため、その異常値を除外することが好ましい。そのためには、一例として各計測点Q(i,j)(又はP(i,j))毎のm回の計測値(デフォーカス量Zij)のうちで、その平均値Mean1 からの偏差の絶対値が所定の閾値を超えた計測値を異常値とみなし、この異常値を除外して、平均値Mean1 及び標準偏差MSD1を計算してもよい。これによって、液体Lq中の異物の影響を軽減できる。
また、上記の実施形態の露光装置又は露光方法を用いて半導体デバイス等の電子デバイス(又はマイクロデバイス)を製造する場合、電子デバイスは、図11に示すように、電子デバイスの機能・性能設計を行うステップ221、この設計ステップに基づいたレチクル(マスク)を製作するステップ222、デバイスの基材である基板(ウエハ)を製造してレジストを塗布するステップ223、前述した実施形態の露光装置又は露光方法によりレチクルのパターンを基板(感光基板)に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱(キュア)及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ224、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む)225、並びに検査ステップ226等を経て製造される。
言い換えると、このデバイスの製造方法は、上記の実施形態の露光装置又は露光方法を用いて基板(ウエハ)上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成された基板を処理すること(ステップ224)とを含んでいる。この際に、上記の実施形態の露光装置又は露光方法によれば、投影光学系PLの動的な光学特性を効率的に高精度に計測できるため、例えばその計測結果に応じた補正を行うことによって、レチクルのパターンの像を基板上に高精度に露光できる。従って、高精度に電子デバイスを製造できる。
なお、上記の実施形態の投影光学系PLは縮小倍率であるが、投影光学系PLの倍率は等倍又は拡大倍率であってもよい。さらに、投影光学系PLは正立像を形成してもよい。
なお、上記の実施形態の撮像ユニット32等は蛍光膜35を備えているため、撮像ユニット32等は、露光光として波長100nm程度以下の極端紫外光(Extreme Ultraviolet Light:EUV光)を用いるEUV露光装置の投影光学系(反射系)の光学特性を計測する場合にも適用可能である。
なお、上記の実施形態の撮像ユニット32等は蛍光膜35を備えているため、撮像ユニット32等は、露光光として波長100nm程度以下の極端紫外光(Extreme Ultraviolet Light:EUV光)を用いるEUV露光装置の投影光学系(反射系)の光学特性を計測する場合にも適用可能である。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置への適用に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに形成される液晶表示素子、若しくはプラズマディスプレイ等のディスプレイ装置用の露光装置や、撮像素子(CCD等)、マイクロマシーン、薄膜磁気ヘッド、MEMS(Microelectromechanical Systems)、若しくはDNAチップ等の各種デバイス、又はマスク(レチクル等)自体を製造するための露光装置にも広く適用できる。
また、本発明は露光装置以外の装置で使用される投影光学系の光学特性を計測する場合も適用可能である。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
EX…露光装置、R…レチクル、TR…テストレチクル、RST…レチクルステージ、PL…投影光学系、W…ウエハ、WST…ウエハステージ、P(i,j)…計測点、2…主制御系、6…演算装置、6Aij…演算ユニット、20…位相マーク、32…撮像ユニット、35…蛍光膜、36…波長選択膜、37…FOP(ファイバーオプティックプレート)、38…2次元の撮像素子、39…周期パターン
Claims (21)
- 第1面のパターンの像を第2面上に形成する投影光学系の光学特性を計測する計測方法において、
前記第1面に沿って複数の第1パターンを配置し、
前記第2面に沿って前記複数の第1パターンの配置に対応させて複数の第2パターンを配置し、
前記複数の第1パターンを照明光で照明し、前記複数の第1パターン、前記投影光学系、及び前記複数の第2パターンを通過した前記照明光によって生成される検出光を、複数の光ファイバーを束ねて形成される導光部材を介して複数の画素を有する光電検出器で検出しつつ、前記複数の第1パターンを前記第1面に沿って所定方向に移動し、前記複数の第2パターン、前記導光部材、及び前記光電検出器を一体的に前記所定方向に対応する方向に移動し、
前記光電検出器の検出結果を処理して前記光学特性を求める
ことを特徴とする計測方法。 - 前記検出光を前記導光部材を介して前記光電検出器で検出するときに、
前記第2パターンを通過した前記照明光を蛍光膜に照射し、前記蛍光膜で発した蛍光を前記検出光とすることを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記光学特性を求めるときに、
前記複数の第1パターンの像のフォーカス位置の情報に基づいて前記投影光学系の動的な像面情報を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の計測方法。 - 前記動的な像面情報は、前記複数の第1パターンの像のフォーカス位置の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項3に記載の計測方法。
- 前記動的な像面情報は、前記複数の第1パターンのうち、前記移動方向または前記移動方向に直交する方向に配置される複数の1組の前記第1パターンの像のフォーカス位置によって定められる像面の傾斜角の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の計測方法。
- 前記第1パターンは、周期的な位相パターンを含み、
前記第2パターンは、前記位相パターンの前記投影光学系による像の異なる第1部分及び第2部分の像を形成する光を通過させる第1部分パターン及び第2部分パターンを含み、
前記光学特性を求めるときに、前記複数の第1パターンの像のフォーカス位置を求めることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の計測方法。 - 前記照明光の波長をλとしたとき、正又は負の奇数nを用いて、前記位相パターンの位相差θは、
θ=nλ/4
であることを特徴とする請求項6に記載の計測方法。 - 前記検出光を前記導光部材を介して前記複数の画素を有する光電検出器で検出するときに、
前記投影光学系と前記第2パターンとの間の空間を含む液浸空間に前記照明光を透過する液体を供給し、
前記光学特性を求めるときに、前記光学特性に基づいて前記液体中の異物の有無を判定することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の計測方法。 - 第1面のパターンの像を第2面上に形成する投影光学系の光学特性を計測する計測装置において、
前記第1面の所定方向に沿って配置される複数の第1パターンが形成された第1パターン形成部材と、
前記第2面に沿って前記複数の第1パターンの配置に対応して配置される複数の第2パターンが形成された第2パターン形成部材と、
前記第1パターン、前記投影光学系、及び前記第2パターンを通過した照明光によって生成される検出光を検出面に導き、複数の光ファイバーを束ねて形成される導光部材と、
前記検出面に配置される複数の画素を有し、前記導光部材によって導かれる前記検出光を検出する光電検出器と、
前記複数の第2パターン、前記導光部材、及び前記光電検出器を一体的に所定方向に対応する方向に移動する移動体と、
前記複数の第1パターンを前記照明光で照明し、前記複数の第1パターンの像を前記複数の第2パターン上に投影しつつ、前記複数の第1パターンを前記所定方向に移動し、前記移動体を介して前記複数の第2パターンを前記所定方向に対応する方向に移動したときに得られる前記光電検出器の検出結果を処理して前記光学特性を求める処理装置と、
を備えることを特徴とする計測装置。 - 前記導光部材の入射面側に形成され、前記第2パターンを通過した前記照明光を入射して蛍光を発する蛍光膜と、
前記蛍光膜と前記導光部材との間に形成され、前記蛍光を通過させる波長選択膜と、を備え、
前記検出光は、前記波長選択膜を通過した前記蛍光であることを特徴とする請求項9に記載の計測装置。 - 前記処理装置は、前記複数の第1パターンの像のフォーカス位置の情報に基づいて前記投影光学系の動的な像面情報を求めることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の計測装置。
- 前記動的な像面情報は、前記複数の第1パターンの像のフォーカス位置の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項11に記載の計測装置。
- 前記動的な像面情報は、前記複数の第1パターンのうち、前記所定方向または前記所定方向に直交する方向に配置される複数の1組の前記第1パターンの像のフォーカス位置によって定められる像面の傾斜角の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項11または請求項12に記載の計測装置。
- 前記第1パターンは、周期的な位相パターンを含み、
前記第2パターンは、前記位相パターンの前記投影光学系による像の異なる第1部分及び第2部分の像を形成する光を通過させる第1部分パターン及び第2部分パターンを含み、
前記処理装置は、前記第1部分パターン及び前記第2部分パターンを通過する光量の情報から前記複数の第1パターンの像のフォーカス位置を求めることを特徴とする請求項9から請求項13のいずれか一項に記載の計測装置。 - 前記照明光の波長をλとしたとき、正又は負の奇数nを用いて、前記位相パターンの位相差θは、
θ=nλ/4
であることを特徴とする請求項14に記載の計測装置。 - 前記投影光学系と前記第2パターンとの間の空間を含む液浸空間に前記照明光を透過する液体を供給する液体供給装置を備え、
前記処理装置は、前記光学特性に基づいて前記液体中の異物の有無を判定することを特徴とする請求項9から請求項15のいずれか一項に記載の計測装置。 - 投影光学系を介して物体を走査露光する露光方法において、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の計測方法を用いて前記投影光学系の光学特性を計測することを特徴とする露光方法。 - 前記計測方法を用いて前記光学特性を計測するときに前記複数の第2パターンが移動する方向は、走査露光時の前記物体の走査方向に平行であることを特徴とする請求項17に記載の露光方法。
- 投影光学系を介して物体を走査露光する露光装置において、
前記投影光学系の光学特性を計測するために請求項9から請求項16のいずれか一項に記載の計測装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項17または請求項18に記載の露光方法を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項19に記載の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009195417A JP2011049284A (ja) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | 計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
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JP2009195417A Withdrawn JP2011049284A (ja) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | 計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
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JP2019518233A (ja) * | 2016-04-26 | 2019-06-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 測定システム、較正方法、リソグラフィ装置及びポジショナ |
JP7361599B2 (ja) | 2019-12-26 | 2023-10-16 | キヤノン株式会社 | 露光装置および物品製造方法 |
-
2009
- 2009-08-26 JP JP2009195417A patent/JP2011049284A/ja not_active Withdrawn
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