JP2728368B2 - 露光方法 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マスク上のパターン
を、投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に露光す
るに際し、マスク上のパターンの投影レンズによる像面
と被露光基板の露光面とが一致された状態で、マスク上
のパターンが投影レンズを介し被露光基板上の露光領域
に露光されるようにした露光方法に関するものである。 【０００２】に関する。 【０００３】 【従来の技術】従来より、半導体ウエハ上のＬＳＩパタ
ーンなど、被観察物表面の焦点位置に対する位置ずれを
検出した上、位置合せを行う方法としては、被観察物表
面に、断面形状が、例えば３ｍｍ×０．１ｍｍ程度とさ
れた単一の光束を斜めに照射した状態で、被観察物表面
からの反射光が光電変換されることによって、反射光の
光軸位置が検出されるようになっている。ところで、特
開昭５６−４２２０５号公報には、そのような不具合を
解決する１つの方法として、被観察物表面上での光束断
面の細長方向が、被観察物表面の表面形状に影響されな
い方向と一致すべく、光束を照射する方法が開示された
ものとなっている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ようにして、小さな断面形状の光束を用い被観察物表面
が検出される場合には、その表面に形成されている凹凸
形状や、その表面上の微小領域内での反射率の変化に起
因して、その表面の位置が精度大に検出され得なく、し
たがって、被観察物表面の焦点位置への位置合せは状態
良好にして行い得ないものとなっているのが実情であ
る。また、特開昭５６−４２２０５号公報に開示された
方法による場合でも、未だ十分な解決策とはなり得てい
ないのが実情である。検出領域が小さい程に、被観察物
表面の反り、うねり、傾きなどはその検出が困難である
からである。また、被観察物が透光性材質から構成され
ている場合には、反射光は一様には発生されなく、その
表面で直接反射される光束と、被観察物内部に進入して
その下層との境界面で反射されて再び表面に出現する光
束とが混じり合う結果として、検出精度の劣化は否めな
いものとなっているのが実情である。 【０００５】本発明の目的は、マスク上のパターンを、
投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に露光するに
際し、マスク上のパターンの投影レンズによる像面と被
露光基板の露光面とが一致された状態で、マスク上のパ
ターンが投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に露
光され得る露光方法を供するにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的は、外部から投
影レンズと被露光基板の間に導入された照射光によって
露光光軸に対し７０°以上の傾斜角を以て被露光基板上
の露光領域の複数の異なる場所を照射し、該照射による
前記露光領域表面からの反射光から得られる前記複数の
異なる場所毎に対応した、前記露光領域表面の複数の光
情報から、前記マスク上のパターンの前記投影レンズに
よる像面に対する前記露光領域の露光面の傾きと高さを
求め、該求めた傾きと高さとに応じて前記被露光基板を
前記露光光軸方向に微移動させるとともに、前記露光光
軸と直角な２軸回りに微回動させることにより、前記露
光領域の露光面を前記パターンの像面に合わせ、該露光
領域の露光面をパターンの像面に合わせ一致させた状態
で、前記パターンを前記投影レンズを介して前記露光領
域に露光することで達成される。 【０００７】 【作用】照射光により被露光基板上の露光領域の、少な
くとも複数の異なる場所を照射すれば、その被露光基板
上の照射場所各々からは反射光が得られるが、これら光
情報からは被露光基板自体の全体としての傾きと高さが
求められるというものである。求められた高さにもとづ
き被露光基板が露光光軸方向に微移動されるとともに、
求められた傾きにもとづき被露光基板が微回動される場
合には、マスク上のパターンの投影レンズによる像面と
被露光基板の露光面とは一致された状態で、マスク上の
パターンは投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に
露光され得るものである。 【０００８】 【実施例】以下、本発明を図１から図１１により説明す
る。先ず本発明に係る投影露光装置について説明すれ
ば、図１はその一例での要部構成を示したものである。
図１において、レーザ光源３からのレーザ光束をビーム
エキスパンダ４により図の紙面表裏方向に拡げて偏平な
光束にし、スリット５に入射させる。スリット５を通過
した断面が細長形状の光を第１レンズ６を介して第１反
射ミラー７に入射させ、ミラー７で前記光束断面の細長
い方向と直交する方向に光路を曲げて、ウエハ２上に斜
め上方から照射することによって、ウエハ２上にスリッ
ト５の像５′を投影結像させる。このスリット像５′は
第２反射ミラー８で光路を曲げて第２レンズ９により対
物レンズ１０の手前に結像させる。この位置におけるス
リット像はスリット５の位置の像と同形状である。対物
レンズ１０はこのスリット像を更に拡大するためのもの
であるが、対物レンズ１０の視野には限界があるため、
スリット像の長手方向を圧縮すべく、本例では第１円筒
レンズ１１を配置してある。対物レンズ１０で拡大され
たスリット像をＣＣＤの如きリニアイメージセンサ１２
上に投影結像させるが、この場合もセンサ１２の受光部
は細幅の窓であるため、第２円筒レンズ１３を配置し、
スリット像の全てを圧縮してセンサ１２の受光画素列上
に投影結像させている。 【０００９】図２は図１において、スリット像が各結像
位置で如何なる形状になるかを、上部方向からみた状態
として示しており、図の紙面表裏方向に細長い一本のス
リット５の像はウエハ２上では、幅方向に拡大されたス
リット像５ａとして投影結像され、また、対物レンズ１
０の手前では、円筒レンズ１１によって長手方向が圧縮
されたスリット像５′ａとして結像され、更に、リニア
イメージセンサ１２上では、対物レンズ１０で拡大され
たスリット像５′ａの長手方向を円筒レンズ１３によっ
て圧縮されたスリット像５″ａとして投影結像されてい
る。 【００１０】図３にウエハ２上に結像される一本のスリ
ット像５ａの照射位置の違いによって、焦点位置が如何
に検出されるものか、その検出位置の差を示す。例えば
ウエハ２表面形状が凹凸形状であるとすれば、その上に
塗布されたフォトレジスト１４もその凹凸形状に倣った
表面形状となる。さて、そのレジスト１４表面を検出す
るに際し、スリット像５ａが小さいとして、実線で示す
光束で凹部を検出し、これに縮小レンズ１の焦点位置に
合せた状態で、露光を行った場合には、表面部（凸部）
は焦点位置からずれることになることから、部分的に解
像状態が悪いという事態が生じる恐れがあり、また、こ
れとは逆に、一点鎖線で示す光束で凸部を検出すれば、
凹部で焦点ずれを起こすことになる。更に、ウエハ２が
縮小レンズ１の光軸に対して傾斜していれば、合焦点位
置では高解像度で露光し得るが、合焦点位置以外では焦
点ずれを起こし、解像しないという不具合が生じる恐れ
がある。しかしながら、本発明に従えば、図４に示すよ
うに、ウエハ２上の表面にスリット像５ａを複数同時に
投影結像させた状態で、各々のスリット像の平均位置を
合焦点位置とすれば、以上に述べた焦点ずれは解消され
るというものである。 【００１１】図５は、図１の装置において、スリット５
を複数並べた場合に、スリット像が各結像位置で如何な
る形状になるかを、上部方向からみた状態として示した
ものである。このように、スリット５を複数平行に並べ
た多重スリット１５が配置される場合には、第１レンズ
６によってウエハ２上の露光領域にはスリット５の幅方
向が拡大された平行スリット像５ｂが投影結像される。
この平行スリット像５ｂは、その後、第２レンズ９で対
物レンズの手前にスリット長手方向に縮小された像５′
ｂとして結像される。前述と同様に、対物レンズ１０に
より拡大された上、第２円筒レンズ１３でスリット長さ
方向に圧縮されたスリット像５′ｂは、図６に示すよう
に、リニアイメージセンサ１２上に平行なスリット像
５″ｂの列として投影結像されるが、その際でのセンサ
１２出力分布が図６に併せて示されたものとなってい
る。 【００１２】ここで、投影露光装置における一般的な焦
点合せについて説明すれば、この焦点合せでは、先ず試
し焼きを行って縮小レンズの合焦位置（結像面の高さ位
置）を求めておき、これを基準位置としてウエハ２の位
置決めが行われるものとなっている。即ち、ウエハ２の
高さ位置を微小距離（０．５μｍ程度）ずつ上下させて
試し焼きを行い、最も良好な解像状態が得られた際での
ウエハ２の位置を、センサ１２上でのスリット像５″ｂ
の位置データＸ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ……Ｘn として適当な記
憶装置に記憶させておく。次いで、新たにセットされた
ウエハ２上にスリット像５ｂを投影結像し、それによっ
てセンサ１２上に結像されるスリット像５″ｂが位置デ
ータＸ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ……Ｘn で表わされる位置に一致
されるべく、ウエハステージ１６を上下動させ焦点合せ
を行う。尚、スリット像５″ｂの位置は、図７に拡大図
示するように、センサ１２出力に対し閾値Ｔh を適当に
設定した上、その閾値Ｔh に相当するセンサ１２上の画
素２０位置を求め、その中央値をスリット像５″ｂの位
置として設定、検出するようにしてもよい。 【００１３】ところで、図５に示す例では、複数のスリ
ット５はＸ方向のみに並べられていたが、図８に示す例
では、Ｘ，Ｙの２方向にそれぞれ複数のスリット５が並
べられた多重スリット１７が用いられたものとなってい
る。この場合、光電変換器としては、２次元のエリアイ
メージセンサ１８が用いられる。このように、ＸＹ方向
にスリット５を設ければ、ウエハ２の傾きまでも検出し
得、傾きを考慮した上での位置合せが可能とされるもの
である。この場合においても、前述と同様に、合焦位置
を予め試し焼きによって求めた上、その合焦位置をエリ
アイメージセンサ１８上でのスリット像５″ｂ位置デー
タとして記憶しておく。このようにすれば、図９（ａ）
〜（ｄ）に示すように、ウエハ２上に投影結像されたス
リット像５ｂ位置（これは、センサ１８上に投影結像さ
れたスリット像５″ｂの位置と同等）により、ウエハ２
の傾き、即ち、姿勢も容易に検出可とされるものであ
る。なお、図９において、（ａ）は合焦位置にある時
を、（ｂ）はＸ方向に上下の傾きがあるも、Ｙ方向につ
いては合焦している時を、（ｃ）はＸ方向について合焦
しているも、Ｙ方向については上下の傾きがある時を、
（ｄ）はＸＹ両方向について上下の傾きがある場合をそ
れぞれ示す。 【００１４】最後に、ウエハ２上へ照射される光束の入
射角とその偏光方向の望ましい態様について図１０，図
１１により説明する。ウエハ２上にフォトレジスト１４
を塗布されている場合での光の進行方向は、図１０に示
すように、レジスト１４表面で直接反射されるもの、レ
ジスト１４内部に一旦入り込んで下地層１９との境界面
で反射された上、再びレジスト１４表面から出てくるも
の、レジスト１４内部で繰返し反射されるもの、下地層
１９に入り込むものなどがある。この場合、レジスト１
４表面だけで光が反射すれば、リニアイメージセンサ１
２やエリアイメージセンサ１８でそのレジスト１４表面
の合焦位置検出が可能となることは明らかである。しか
しながら、下地層１９からの反射光が共存する場合に
は、センサ１２，１８上では何れの位置が検出されてい
るのか、正確に判断し得ないというものである。そこ
で、可能な限りレジスト１４表面での反射率を高くする
必要があり、そのためには、好ましくは、ウエハ２上へ
の光束の入射角は７０°以上に設定すればよいと云うも
のである。また、入射光束として直線偏光光が用いられ
る場合には、図１１に示すように、Ｓ偏光光がＰ偏光光
に比しレジスト１４表面での反射率を高く、Ｓ偏光光が
入射光束として用いられるのが望ましくなっている。 【００１５】 【発明の効果】以上、述べたように、請求項１によれ
ば、マスク上のパターンを、投影レンズを介し被露光基
板上の露光領域に露光するに際し、マスク上のパターン
の投影レンズによる像面と被露光基板の露光面とが一致
された状態で、マスク上のパターンを投影レンズを介し
被露光基板上の露光領域に露光し得るものとなってい
る。
を、投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に露光す
るに際し、マスク上のパターンの投影レンズによる像面
と被露光基板の露光面とが一致された状態で、マスク上
のパターンが投影レンズを介し被露光基板上の露光領域
に露光されるようにした露光方法に関するものである。 【０００２】に関する。 【０００３】 【従来の技術】従来より、半導体ウエハ上のＬＳＩパタ
ーンなど、被観察物表面の焦点位置に対する位置ずれを
検出した上、位置合せを行う方法としては、被観察物表
面に、断面形状が、例えば３ｍｍ×０．１ｍｍ程度とさ
れた単一の光束を斜めに照射した状態で、被観察物表面
からの反射光が光電変換されることによって、反射光の
光軸位置が検出されるようになっている。ところで、特
開昭５６−４２２０５号公報には、そのような不具合を
解決する１つの方法として、被観察物表面上での光束断
面の細長方向が、被観察物表面の表面形状に影響されな
い方向と一致すべく、光束を照射する方法が開示された
ものとなっている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ようにして、小さな断面形状の光束を用い被観察物表面
が検出される場合には、その表面に形成されている凹凸
形状や、その表面上の微小領域内での反射率の変化に起
因して、その表面の位置が精度大に検出され得なく、し
たがって、被観察物表面の焦点位置への位置合せは状態
良好にして行い得ないものとなっているのが実情であ
る。また、特開昭５６−４２２０５号公報に開示された
方法による場合でも、未だ十分な解決策とはなり得てい
ないのが実情である。検出領域が小さい程に、被観察物
表面の反り、うねり、傾きなどはその検出が困難である
からである。また、被観察物が透光性材質から構成され
ている場合には、反射光は一様には発生されなく、その
表面で直接反射される光束と、被観察物内部に進入して
その下層との境界面で反射されて再び表面に出現する光
束とが混じり合う結果として、検出精度の劣化は否めな
いものとなっているのが実情である。 【０００５】本発明の目的は、マスク上のパターンを、
投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に露光するに
際し、マスク上のパターンの投影レンズによる像面と被
露光基板の露光面とが一致された状態で、マスク上のパ
ターンが投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に露
光され得る露光方法を供するにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的は、外部から投
影レンズと被露光基板の間に導入された照射光によって
露光光軸に対し７０°以上の傾斜角を以て被露光基板上
の露光領域の複数の異なる場所を照射し、該照射による
前記露光領域表面からの反射光から得られる前記複数の
異なる場所毎に対応した、前記露光領域表面の複数の光
情報から、前記マスク上のパターンの前記投影レンズに
よる像面に対する前記露光領域の露光面の傾きと高さを
求め、該求めた傾きと高さとに応じて前記被露光基板を
前記露光光軸方向に微移動させるとともに、前記露光光
軸と直角な２軸回りに微回動させることにより、前記露
光領域の露光面を前記パターンの像面に合わせ、該露光
領域の露光面をパターンの像面に合わせ一致させた状態
で、前記パターンを前記投影レンズを介して前記露光領
域に露光することで達成される。 【０００７】 【作用】照射光により被露光基板上の露光領域の、少な
くとも複数の異なる場所を照射すれば、その被露光基板
上の照射場所各々からは反射光が得られるが、これら光
情報からは被露光基板自体の全体としての傾きと高さが
求められるというものである。求められた高さにもとづ
き被露光基板が露光光軸方向に微移動されるとともに、
求められた傾きにもとづき被露光基板が微回動される場
合には、マスク上のパターンの投影レンズによる像面と
被露光基板の露光面とは一致された状態で、マスク上の
パターンは投影レンズを介し被露光基板上の露光領域に
露光され得るものである。 【０００８】 【実施例】以下、本発明を図１から図１１により説明す
る。先ず本発明に係る投影露光装置について説明すれ
ば、図１はその一例での要部構成を示したものである。
図１において、レーザ光源３からのレーザ光束をビーム
エキスパンダ４により図の紙面表裏方向に拡げて偏平な
光束にし、スリット５に入射させる。スリット５を通過
した断面が細長形状の光を第１レンズ６を介して第１反
射ミラー７に入射させ、ミラー７で前記光束断面の細長
い方向と直交する方向に光路を曲げて、ウエハ２上に斜
め上方から照射することによって、ウエハ２上にスリッ
ト５の像５′を投影結像させる。このスリット像５′は
第２反射ミラー８で光路を曲げて第２レンズ９により対
物レンズ１０の手前に結像させる。この位置におけるス
リット像はスリット５の位置の像と同形状である。対物
レンズ１０はこのスリット像を更に拡大するためのもの
であるが、対物レンズ１０の視野には限界があるため、
スリット像の長手方向を圧縮すべく、本例では第１円筒
レンズ１１を配置してある。対物レンズ１０で拡大され
たスリット像をＣＣＤの如きリニアイメージセンサ１２
上に投影結像させるが、この場合もセンサ１２の受光部
は細幅の窓であるため、第２円筒レンズ１３を配置し、
スリット像の全てを圧縮してセンサ１２の受光画素列上
に投影結像させている。 【０００９】図２は図１において、スリット像が各結像
位置で如何なる形状になるかを、上部方向からみた状態
として示しており、図の紙面表裏方向に細長い一本のス
リット５の像はウエハ２上では、幅方向に拡大されたス
リット像５ａとして投影結像され、また、対物レンズ１
０の手前では、円筒レンズ１１によって長手方向が圧縮
されたスリット像５′ａとして結像され、更に、リニア
イメージセンサ１２上では、対物レンズ１０で拡大され
たスリット像５′ａの長手方向を円筒レンズ１３によっ
て圧縮されたスリット像５″ａとして投影結像されてい
る。 【００１０】図３にウエハ２上に結像される一本のスリ
ット像５ａの照射位置の違いによって、焦点位置が如何
に検出されるものか、その検出位置の差を示す。例えば
ウエハ２表面形状が凹凸形状であるとすれば、その上に
塗布されたフォトレジスト１４もその凹凸形状に倣った
表面形状となる。さて、そのレジスト１４表面を検出す
るに際し、スリット像５ａが小さいとして、実線で示す
光束で凹部を検出し、これに縮小レンズ１の焦点位置に
合せた状態で、露光を行った場合には、表面部（凸部）
は焦点位置からずれることになることから、部分的に解
像状態が悪いという事態が生じる恐れがあり、また、こ
れとは逆に、一点鎖線で示す光束で凸部を検出すれば、
凹部で焦点ずれを起こすことになる。更に、ウエハ２が
縮小レンズ１の光軸に対して傾斜していれば、合焦点位
置では高解像度で露光し得るが、合焦点位置以外では焦
点ずれを起こし、解像しないという不具合が生じる恐れ
がある。しかしながら、本発明に従えば、図４に示すよ
うに、ウエハ２上の表面にスリット像５ａを複数同時に
投影結像させた状態で、各々のスリット像の平均位置を
合焦点位置とすれば、以上に述べた焦点ずれは解消され
るというものである。 【００１１】図５は、図１の装置において、スリット５
を複数並べた場合に、スリット像が各結像位置で如何な
る形状になるかを、上部方向からみた状態として示した
ものである。このように、スリット５を複数平行に並べ
た多重スリット１５が配置される場合には、第１レンズ
６によってウエハ２上の露光領域にはスリット５の幅方
向が拡大された平行スリット像５ｂが投影結像される。
この平行スリット像５ｂは、その後、第２レンズ９で対
物レンズの手前にスリット長手方向に縮小された像５′
ｂとして結像される。前述と同様に、対物レンズ１０に
より拡大された上、第２円筒レンズ１３でスリット長さ
方向に圧縮されたスリット像５′ｂは、図６に示すよう
に、リニアイメージセンサ１２上に平行なスリット像
５″ｂの列として投影結像されるが、その際でのセンサ
１２出力分布が図６に併せて示されたものとなってい
る。 【００１２】ここで、投影露光装置における一般的な焦
点合せについて説明すれば、この焦点合せでは、先ず試
し焼きを行って縮小レンズの合焦位置（結像面の高さ位
置）を求めておき、これを基準位置としてウエハ２の位
置決めが行われるものとなっている。即ち、ウエハ２の
高さ位置を微小距離（０．５μｍ程度）ずつ上下させて
試し焼きを行い、最も良好な解像状態が得られた際での
ウエハ２の位置を、センサ１２上でのスリット像５″ｂ
の位置データＸ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ……Ｘn として適当な記
憶装置に記憶させておく。次いで、新たにセットされた
ウエハ２上にスリット像５ｂを投影結像し、それによっ
てセンサ１２上に結像されるスリット像５″ｂが位置デ
ータＸ1 ，Ｘ2 ，Ｘ3 ……Ｘn で表わされる位置に一致
されるべく、ウエハステージ１６を上下動させ焦点合せ
を行う。尚、スリット像５″ｂの位置は、図７に拡大図
示するように、センサ１２出力に対し閾値Ｔh を適当に
設定した上、その閾値Ｔh に相当するセンサ１２上の画
素２０位置を求め、その中央値をスリット像５″ｂの位
置として設定、検出するようにしてもよい。 【００１３】ところで、図５に示す例では、複数のスリ
ット５はＸ方向のみに並べられていたが、図８に示す例
では、Ｘ，Ｙの２方向にそれぞれ複数のスリット５が並
べられた多重スリット１７が用いられたものとなってい
る。この場合、光電変換器としては、２次元のエリアイ
メージセンサ１８が用いられる。このように、ＸＹ方向
にスリット５を設ければ、ウエハ２の傾きまでも検出し
得、傾きを考慮した上での位置合せが可能とされるもの
である。この場合においても、前述と同様に、合焦位置
を予め試し焼きによって求めた上、その合焦位置をエリ
アイメージセンサ１８上でのスリット像５″ｂ位置デー
タとして記憶しておく。このようにすれば、図９（ａ）
〜（ｄ）に示すように、ウエハ２上に投影結像されたス
リット像５ｂ位置（これは、センサ１８上に投影結像さ
れたスリット像５″ｂの位置と同等）により、ウエハ２
の傾き、即ち、姿勢も容易に検出可とされるものであ
る。なお、図９において、（ａ）は合焦位置にある時
を、（ｂ）はＸ方向に上下の傾きがあるも、Ｙ方向につ
いては合焦している時を、（ｃ）はＸ方向について合焦
しているも、Ｙ方向については上下の傾きがある時を、
（ｄ）はＸＹ両方向について上下の傾きがある場合をそ
れぞれ示す。 【００１４】最後に、ウエハ２上へ照射される光束の入
射角とその偏光方向の望ましい態様について図１０，図
１１により説明する。ウエハ２上にフォトレジスト１４
を塗布されている場合での光の進行方向は、図１０に示
すように、レジスト１４表面で直接反射されるもの、レ
ジスト１４内部に一旦入り込んで下地層１９との境界面
で反射された上、再びレジスト１４表面から出てくるも
の、レジスト１４内部で繰返し反射されるもの、下地層
１９に入り込むものなどがある。この場合、レジスト１
４表面だけで光が反射すれば、リニアイメージセンサ１
２やエリアイメージセンサ１８でそのレジスト１４表面
の合焦位置検出が可能となることは明らかである。しか
しながら、下地層１９からの反射光が共存する場合に
は、センサ１２，１８上では何れの位置が検出されてい
るのか、正確に判断し得ないというものである。そこ
で、可能な限りレジスト１４表面での反射率を高くする
必要があり、そのためには、好ましくは、ウエハ２上へ
の光束の入射角は７０°以上に設定すればよいと云うも
のである。また、入射光束として直線偏光光が用いられ
る場合には、図１１に示すように、Ｓ偏光光がＰ偏光光
に比しレジスト１４表面での反射率を高く、Ｓ偏光光が
入射光束として用いられるのが望ましくなっている。 【００１５】 【発明の効果】以上、述べたように、請求項１によれ
ば、マスク上のパターンを、投影レンズを介し被露光基
板上の露光領域に露光するに際し、マスク上のパターン
の投影レンズによる像面と被露光基板の露光面とが一致
された状態で、マスク上のパターンを投影レンズを介し
被露光基板上の露光領域に露光し得るものとなってい
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る投影露光装置の一例での
要部構成を示す図 【図２】図２は、図１における各部スリット像の形状を
上部方向からみた状態として示す図 【図３】図３は、検出領域が微小な場合に生じる焦点位
置検出ずれを説明するための図 【図４】図４は、本発明に係る複数スリット像による平
均的合焦点位置検出方法を説明するための図 【図５】図５は、スリットが１方向に複数並べられた場
合での、各部スリット像の形状を上部方向からみた状態
として示す図 【図６】図６は、リニアイメージセンサ受光面に投影結
像された多重スリット像に対するセンサ出力分布を示す
図 【図７】図７は、リニアイメージセンサ出力からのスリ
ット像位置検出方法を説明するための図 【図８】図８は、スリットが２方向にそれぞれ複数並べ
られた場合での、各部スリット像の形状を上部方向から
みた状態として示す図 【図９】図９（ａ）〜（ｄ）は、２方向にそれぞれ複数
並べられたスリットによる傾き検出方法を説明するため
の図 【図１０】図１０は、ウエハ上に塗布されたフォトレジ
ストに照射光が照射された際でのその照射光の進行方向
を説明するための図 【図１１】図１１は、入射角に対するＳ偏光、Ｐ偏光各
々のフォトレジスト上での反射率の変化を示す図 【符号の説明】 １…縮小レンズ、２…ウエハ、３…レーザ光源、５…ス
リット、６…第１レンズ、９…第２レンズ、１０…対物
レンズ、１２…リニアイメージセンサ、１３…第２円筒
レンズ、１４…フォトレジスト、１５…多重スリット、
１６…ウエハステージ、１７…多重スリット、１８…エ
リアイメージセンサ
要部構成を示す図 【図２】図２は、図１における各部スリット像の形状を
上部方向からみた状態として示す図 【図３】図３は、検出領域が微小な場合に生じる焦点位
置検出ずれを説明するための図 【図４】図４は、本発明に係る複数スリット像による平
均的合焦点位置検出方法を説明するための図 【図５】図５は、スリットが１方向に複数並べられた場
合での、各部スリット像の形状を上部方向からみた状態
として示す図 【図６】図６は、リニアイメージセンサ受光面に投影結
像された多重スリット像に対するセンサ出力分布を示す
図 【図７】図７は、リニアイメージセンサ出力からのスリ
ット像位置検出方法を説明するための図 【図８】図８は、スリットが２方向にそれぞれ複数並べ
られた場合での、各部スリット像の形状を上部方向から
みた状態として示す図 【図９】図９（ａ）〜（ｄ）は、２方向にそれぞれ複数
並べられたスリットによる傾き検出方法を説明するため
の図 【図１０】図１０は、ウエハ上に塗布されたフォトレジ
ストに照射光が照射された際でのその照射光の進行方向
を説明するための図 【図１１】図１１は、入射角に対するＳ偏光、Ｐ偏光各
々のフォトレジスト上での反射率の変化を示す図 【符号の説明】 １…縮小レンズ、２…ウエハ、３…レーザ光源、５…ス
リット、６…第１レンズ、９…第２レンズ、１０…対物
レンズ、１２…リニアイメージセンサ、１３…第２円筒
レンズ、１４…フォトレジスト、１５…多重スリット、
１６…ウエハステージ、１７…多重スリット、１８…エ
リアイメージセンサ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 秋山 伸幸
神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地
株式会社 日立製作所 生産技術研究所
内
(72)発明者 吉田 実
神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地
株式会社 日立製作所 生産技術研究所
内
(56)参考文献 特開 昭59−47731（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−99216（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−32114（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−101112（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−156937（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．マスク上のパターンを投影レンズを介して被露光基
板上の露光領域に露光する方法であって、外部から投影
レンズと被露光基板の間に導入された照射光によって露
光光軸に対し７０°以上の傾斜角を以て被露光基板上の
露光領域の複数の異なる場所を照射し、該照射による前
記露光領域表面からの反射光から得られる前記複数の異
なる場所毎に対応した、前記露光領域表面の複数の光情
報から、前記マスク上のパターンの前記投影レンズによ
る像面に対する前記露光領域の露光面の傾きと高さを求
め、該求めた傾きと高さとに応じて前記被露光基板を前
記露光光軸方向に微移動させるとともに、前記露光光軸
と直角な２軸回りに微回動させることにより、前記露光
領域の露光面を前記パターンの像面に合わせ、該露光領
域の露光面をパターンの像面に合わせ一致させた状態
で、前記パターンを前記投影レンズを介して前記露光領
域に露光することを特徴とする露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211247A JP2728368B2 (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | 露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211247A JP2728368B2 (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | 露光方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59195728A Division JPS6174338A (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | 縮小投影露光装置およびその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07234527A JPH07234527A (ja) | 1995-09-05 |
| JP2728368B2 true JP2728368B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=16602743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6211247A Expired - Lifetime JP2728368B2 (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | 露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728368B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777722A (en) * | 1994-04-28 | 1998-07-07 | Nikon Corporation | Scanning exposure apparatus and method |
| JPH1038513A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Nikon Corp | 表面高さ計測装置及び、これを用いた露光装置 |
| JP5197198B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 結像光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| CN104635428B (zh) * | 2013-11-14 | 2017-06-27 | 上海微电子装备有限公司 | 一种基于图像处理的调焦调平测量装置和方法 |
| JP6743788B2 (ja) | 2017-09-14 | 2020-08-19 | 横河電機株式会社 | 変位センサ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL186353C (nl) * | 1979-06-12 | 1990-11-01 | Philips Nv | Inrichting voor het afbeelden van een maskerpatroon op een substraat voorzien van een opto-elektronisch detektiestelsel voor het bepalen van een afwijking tussen het beeldvlak van een projektielenzenstelsel en het substraatvlak. |
| JPS56101112A (en) * | 1980-01-16 | 1981-08-13 | Fujitsu Ltd | Exposure method |
| JPS58156937A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-19 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
| JPS5947731A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | Hitachi Ltd | 投影露光装置におけるオ−トフオ−カス機構 |
| JPS5999216A (ja) * | 1982-11-27 | 1984-06-07 | Jeol Ltd | 物体の表面高さ測定装置 |
-
1994
- 1994-09-05 JP JP6211247A patent/JP2728368B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07234527A (ja) | 1995-09-05 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |