JP4979462B2 - 画像露光装置 - Google Patents
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Description
12 基板(露光対象)
14 露光部
18 露光ヘッド
19 光源ユニット
43 マイクロレンズアレイ
43a マイクロレンズ
44 アパーチャアレイ
44a アパーチャ
45 第2結像光学系(投影光学系)
56 DMD(空間光変調素子)
85 本体部
86 反射防止膜
87 遮光膜
Claims (4)
- 光源から照射された光を変調する複数の画素部が二次元的に配列されてなる空間光変調素子と、前記空間光変調素子の前記各画素部からの光をそれぞれ個別に結像する複数のマイクロレンズが二次元的に配列されてなるマイクロレンズアレイと、前記各マイクロレンズが結像した光をそれぞれ個別に通過させる複数のアパーチャが二次元的に配列されてなるアパーチャアレイと、前記アパーチャアレイを通過した光を露光対象に投影する投影光学系とを有する露光ヘッドを備え、画像情報を基に変調された光を前記露光対象に投影することによって前記露光対象に画像を記録する画像露光装置において、
前記アパーチャアレイは、前記各マイクロレンズの焦点位置に前記各アパーチャが来るように配置され、前記投影光学系側から来る光の反射を防止する低反射化膜を有し、
前記低反射化膜は、光を吸収する遮光膜と、この遮光膜の前記投影光学系側に形成され、光の透過率を向上させる反射防止膜とからなることを特徴とする画像露光装置。 - 前記アパーチャアレイは、透光性を有する略平板状の本体部と、前記本体部の前記投影光学系側とは反対側の面に形成された前記低反射化膜とからなり、
前記低反射化膜を貫通するように形成された貫通孔によって、前記各アパーチャが構成されることを特徴とする請求項1記載の画像露光装置。 - 前記低反射化膜は、少なくとも前記光源が照射する光と同じ波長の光の反射を防止することを特徴とする請求項1または2記載の画像露光装置。
- 前記遮光膜の材質がクロムであり、前記反射防止膜の材質が、酸化クロムであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の画像露光装置。
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