JP2009545158A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 太陽電池の背面に形成されている、前記太陽電池内の少数電荷キャリアを収集するための連続するエミッタ拡散領域、
   前記太陽電池の背面に形成された前記連続する拡散領域によって取り囲まれている、前記太陽電池内の多数電荷キャリアを収集するための複数のドット状ベース拡散領域、
   前記複数のドット状ベース拡散領域の少なくとも２つのドット状ベース拡散領域に電気的に結合された第１の金属グリッド、
   前記第１の金属グリッドと前記少なくとも２つのドット状ベース拡散領域との間の第１の絶縁体層であって、前記第１の絶縁体層を貫通する少なくとも２つのコンタクトホールを通って前記少なくとも２つのドット状ベース拡散領域に電気的に結合されている絶縁体層、並びに
   前記連続するエミッタ拡散領域に電気的に結合する第２の金属グリッドを備えており、
   前記第１の金属グリッド及び前記第２の金属グリッドが、前記太陽電池の背面に形成されている、太陽電池。
2. 前記連続するエミッタ拡散領域及び前記複数のドット状ベース拡散領域が、Ｎ型シリコンウェハ内に形成されており、前記連続するエミッタ拡散領域が、Ｐ型ドープ領域を含み、前記複数のドット状ベース拡散領域のそれぞれが、Ｎ型ドープ領域を含む、請求項１に記載の太陽電池。
3. 前記連続するエミッタ拡散領域がホウ素でドープされており、前記複数のドット状ベース拡散領域がリンでドープされている、請求項２に記載の太陽電池。
4. 太陽電池の製造方法であって、
   第１のドープ層を基板の第１の表面上に形成し、前記第１のドープ層が、前記基板を露出させる複数の開口部を備えており、
   前記第１のドープ層内の前記複数の開口部内に、第２のドープ層を形成し、
   前記第１のドープ層から第１のドーパントを拡散させ、前記太陽電池の背面の連続するエミッタ拡散領域を形成し、該エミッタ拡散領域が、前記太陽電池内の少数電荷キャリアを収集するように構成されており、
   前記複数の開口部内に形成された前記ドープ層から第２のドーパントを拡散させ、前記太陽電池の背面の複数のベース拡散領域を形成し、該複数のベース拡散領域が、前記太陽電池内の多数電荷キャリアを収集するように構成されており、
   前記太陽電池の背面に第１の金属グリッドを形成し、該第１の金属グリッドが、前記エミッタ拡散領域に電気的に結合されており、
   前記太陽電池の背面に第２の金属グリッドを形成し、該第２の金属グリッドが、前記複数のベース拡散領域のベース拡散領域に電気的に結合されている
   ことを含む、方法。
5. 前記第２のドープ層が、前記第１のドープ層上にも形成される、請求項４に記載の方法。
6. 前記基板がＮ型シリコンウェハを含む、請求項４に記載の方法。
7. 前記第１のドーパントがＰ型ドーパントを含み、前記第２のドーパントがＮ型ドーパントを含む、請求項４に記載の方法。
8. 太陽電池の背面において多数電荷キャリアを収集するように構成された複数のベース拡散領域、
   前記太陽電池の背面において少数電荷キャリアを収集するように構成された、前記複数のベース拡散領域の各ベース拡散領域の周りを取り囲んでいる連続するエミッタ拡散領域、
   前記複数のベース拡散領域の少なくとも１つのベース拡散領域に電気的に結合されている第１の金属グリッド、並びに
   前記連続するエミッタ拡散領域に電気的に結合されている第２の金属グリッド
   を備えている、太陽電池。
9. 前記複数のベース拡散領域がそれぞれ、非長方形の形状を有する、請求項８に記載の太陽電池。
10. 前記第１の金属グリッドと前記少なくとも１つのベース拡散領域との間の第１の絶縁体層をさらに備えており、前記第１の金属グリッドが、前記第１の絶縁体層内のコンタクトホールを通って、前記少なくとも１つのベース拡散領域に電気的に結合されている、請求項８に記載の太陽電池。