JP2009540621A - ウェハ収納容器用の再利用可能な弾性クッション - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態の別の特徴および利点は、満載の収納容器部分からドアが取り外されるときに、可撓性ガイド部材およびバネの復元力によって、ウェハを収納容器内の所定の位置に保持することができることである。これにより、ウェハがクッションに密着してしまう現象を防止し、そしてドアまたは蓋を取り外すときに、ウェハがドアまたは蓋の動きに追随して移動することによりウェハが割れてしまう可能性を無くすことができる。
本明細書に開示されるウェハ保管システムの実施形態の特徴および利点は、ウェハクッションをウェハキャリアに取り付け、次に取り外し、さらに再利用することができることである。
Claims (20)
- 複数の半導体ウェハを保持する収納容器であって、
複数のスロットを画定するカセットと、各スロットは、これらの半導体ウェハを個別に収容し、
前記カセットおよびウェハを収容する筐体と、該筐体は台座部分と、該台座部分に対して気密的に固定される蓋部分とを含み、
取り付け構造を含むクッションとを備え、該取り付け構造は、1対の離間端部材と、これら離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを含み、各ウェハ収納構造は1対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する1対の離間縁部とを有し、これらの縁部は、前記複数のウェハのうちの1つのウェハのエッジを収容する通路を画定し、前記クッションは、筐体の蓋部分に収まり、そしてウェハがカセットに収容されると、該カセットが筐体の台座部分に収容され、かつ蓋が台座に収まるように配置され、前記クッションの通路はカセットのスロットと整列するように配されることと、カセット内の各ウェハのエッジは、前記凸形状のウェハ収納構造の1つに対して当接し、かつ該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって内側に変形させることと、前記ウェハ収納構造の各々はさらにバネを含み、該バネは、ウェハ収納構造の1対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、バネが圧縮されてウェハ収納構造が横方向に延伸可能となることとを特徴とする、収納容器。 - 前記蓋部分によって、前記台座部分に向かって内側に開放する凹部が画定され、前記クッションは該凹部に収容される、請求項1記載のウェハ収納容器。
- 前記凹部は、前記蓋部分の1対の離間壁の間に画定され、前記取り付け構造の各端部材は、これらの離間壁と個別に当接する、請求項2記載のウェハ収納容器。
- 前記クッションはさらに、凸形状を備えた長尺状の第2の複数のウェハ収納構造を含み、前記取り付け構造はさらに、その端部材の中間に配置される中心部材を含み、前記第1の複数のウェハ収納構造は、前記端部材の一方と中心部材との間に延び、前記第2の複数のウェハ収納構造は、該端部材の他方と中心部材との間に延びて、前記第1の複数のウェハ収納構造の各々が、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配されることと、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々はさらにバネを含み、該バネは、ウェハ収納構造の1対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、バネが圧縮されてウェハ収納構造が横方向に延伸可能となることとを特徴とする、請求項1記載のウェハ収納容器。
- 前記第1の複数のウェハ収納構造のバネ、および前記第2の複数のウェハ収納構造のバネは、前記中心部材に対して接続される、請求項4記載のウェハ収納容器。
- 前記クッションを蓋部分に固定する少なくとも1つのスナップ式嵌合ツメ部は、前記中心部材から延びる、請求項4記載のウェハ収納容器。
- 複数の半導体ウェハを保持する収納容器であって、
複数のスロットを画定するカセットと、各スロットは、これらの半導体ウェハを個別に収容し、
前記カセットおよびウェハを収容する筐体と、該筐体は台座部分と、該台座部分に密閉可能に固定することができる蓋部分とを含み、
クッションとを備え、該クッションは、1対の離間端部材を含む取り付け構造と、これらの離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを有し、各ウェハ収納構造は1対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する1対の離間縁部とを有し、これらの縁部は、前記複数のウェハのうちの1つのウェハのエッジを収容する通路を画定し、前記クッションは、前記筐体の蓋部分に収まり、そして前記ウェハがカセットに収容されると、該カセットが筐体の台座部分に収容され、かつ蓋が台座に収まるように配置されることと、前記クッションの通路はカセットのスロットと整列するよう配されることと、カセット内の各ウェハのエッジは、前記凸形状のウェハ収納構造の1つに対して当接し、かつ該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって内側に変形させることと、これらのウェハ収納構造の各々はさらに、該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに、該ウェハ収納構造の横方向の延伸を可能にする手段を含む、収納容器。 - 前記ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに各ウェハ収納構造の横方向の延伸を可能にする手段は、複数のバネを含み、各バネは、これらのウェハ収納構造を個別に取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用する、請求項7記載のウェハ収納容器。
- 前記蓋部分によって、台座部分に向かって内側に開放する凹部が画定され、前記クッションは該凹部に収容される、請求項7記載のウェハ収納容器。
- 前記凹部は、前記蓋部分の1対の離間壁の間に画定され、前記取り付け構造の各端部材は、これらの離間壁の1つに対して当接する、請求項9記載のウェハ収納容器。
- 前記クッションはさらに、凸形状を備えた長尺状の第2の複数のウェハ収納構造を含み、前記取り付け構造はさらに、その端部材の中間に配置される中心部材を含み、前記第1の複数のウェハ収納構造は、前記端部材の一方と中心部材との間に延び、前記第2の複数のウェハ収納構造は、該端部材の他方と中心部材との間に延びて、前記第1の複数のウェハ収納構造の各々が、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配されることと、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々はさらに、該ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々の横方向の延伸を可能にする手段を含む、請求項7記載のウェハ収納容器。
- 前記ウェハ収納構造を蓋部分に向かって圧縮したときに前記第2の複数のウェハ収納構造の各々の横方向の延伸を可能にする手段は、第2の複数のバネを含み、これら第2の複数のバネの各々は、前記第2の複数のウェハ収納構造を個別に取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用する、請求項11記載のウェハ収納容器。
- 前記第1の複数のウェハ収納構造のバネ、および前記第2の複数のウェハ収納構造のバネは、前記中心部材に対して接続される、請求項12記載のウェハ収納容器。
- 前記クッションを蓋部分に固定する少なくとも1つのスナップ式嵌合ツメ部は、前記中心部材から延びる、請求項11記載のウェハ収納容器。
- 複数の半導体ウェハを保持する収納容器であって、
ウェハを内部に収容する筐体と、該筐体は、1対の対向側壁と、上面部と、底面部と、背面部と、開放前面と、開放前面を気密的に閉鎖するドアとを含み、該筐体はさらに、複数のスロットを画定する複数のウェハ棚を含み、各スロットは、これらのウェハを個別に収容することと、
クッションとを備え、該クッションは、前記1対の離間端部材を含む取り付け構造と、これらの離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性ウェハ収納構造とを含み、各ウェハ収納構造は1対の対向端部と、これらの端部の中間に位置する1対の離間縁部とを有し、これらの縁部は、前記複数のウェハのうちの1つのウェハのエッジを収容する通路を画定し、前記クッションはドアに収まり、そしてウェハがスロットに収容されてドアで開放前面を閉じると、前記クッションの通路はスロットと整列するように配されることと、前記スロット内の各ウェハのエッジは、前記凸形状のウェハ収納構造の1つに対して当接し、かつ該ウェハ収納構造をドアに向かって内側に変形させ、これらのウェハ収納構造の各々はさらにバネを含み、該バネは、前記ウェハ収納構造の1対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、該ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、前記バネが圧縮されて該ウェハ収納構造が横方向に延伸可能となる、収納容器。 - 前記ドアによって、前記筐体に向かって内側に開放する凹部が画定され、そして前記クッションは該凹部に収容される、請求項15記載のウェハ収納容器。
- 前記凹部は、前記ドアの1対の離間壁の間に画定され、そして取り付け構造の端部材群の各々は、これらの離間壁と個別に当接する、請求項16記載のウェハ収納容器。
- 前記クッションはさらに、凸形状を備えた長尺状の第2の複数の弾性ウェハ収納構造を含み、前記取り付け構造はさらに、その端部材の中間に配置される中心部材含み、前記第1の複数のウェハ収納構造は、前記端部材の一方と中心部材との間に延び、前記第2の複数のウェハ収納構造は、該端部材の他方と中心部材との間に延びて、前記第1の複数のウェハ収納構造の各々が、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々と横方向に整列するように配されることと、前記第2の複数のウェハ収納構造の各々はさらにバネを含み、該バネは、前記ウェハ収納構造の1対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、前記ウェハ収納構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、バネが圧縮されて該ウェハ収納構造が横方向に延伸可能となる、請求項15記載のウェハ収納容器。
- 前記第1の複数のウェハ収納構造のバネ、および前記第2の複数のウェハ収納構造のバネは、前記中心部材に接続される、請求項18記載のウェハ収納容器。
- 複数の基板を保持する収納容器であって、
基板を内部に収容する筐体部分と、該筐体部分は内部空間を画定し、かつ開放面を有し、該筐体はさらに、複数の棚を内部空間に含むことにより複数のスロットを画定し、各スロットは、これらの基板を個別に収容し、
前記筐体部分の開放面を気密的に閉鎖するドアと
クッションとを備え、該クッションは、1対の離間端部材を含む取り付け構造と、これら離間端部材の間に延びる、凸形状を備えた長尺状の複数の弾性板バネ構造とを含み、各板バネ構造は1対の対向端部を有し、前記クッションはドアに収まり、前記基板がスロットに収容されてドアで開放面を閉じると、前記スロット内の各基板のエッジは、前記板バネ構造の1つに対して当接し、かつ該板バネ構造をドアに向かって内側に変形させるように配置され、これらの板バネ構造の各々はさらに付勢要素を含み、該付勢要素は、前記板バネ構造の1対の対向端部の一方を取り付け構造に対して作動可能に接続するように作用して、前記板バネ構造が蓋部分に向かって内側に変形すると、前記付勢要素が圧縮されて該板バネ構造が横方向に延伸可能となる、収納容器。
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