JP2009538526A - 有機薄膜トランジスタ用の溶液プロセスにより作製される無機膜 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
本明細書において優先権が主張され、本明細書において全体として開示されたものとして内容が参照により本明細書に組み込まれる、「Solution Processed Inorganic films As Gate Dielectric for Organic Thin Film Transistors」と題された発明について2006年5月22日に出願された、我々の先の出願である米国仮特許出願第60/802,122号を参照とする。
(a)は、上部コンタクトを有する共通下部ゲートであり、
(b)は、下部コンタクトを有する共通下部ゲートであり、
(c)は、上部コンタクトを有するパターニングされた下部ゲートであり、
(d)は、下部コンタクトを有するパターニングされた下部ゲートであり、
(e)は、上部コンタクトを有する上部ゲートであり、
(f)は、下部コンタクトを有する上部ゲートであり、
(g)は、表面改質膜により強化された上部コンタクトを有する上部ゲートであり、
(h)は、表面改質膜により強化された下部コンタクトを有する上部ゲート
である。
a)約2V/decade又は2V/decade未満を下回るサブスレッショルドスロープ、及び/又は
b)少なくとも約103のオン/オフ比、及び/又は
c)ゾル−ゲル層を欠く比較OTFTよりも少なくとも約100%上回る電荷キャリア移動度
を有してよい。
ID=Ci×μ(W/2L)(VG−VT)2
より得られた。ここで、IDはドレイン電流、Ciはゲート誘電体層の単位面積当たりの静電容量、VDはドレイン電圧、VGはゲート電圧、VTはしきい値電圧、μは電界効果移動度、Wはチャネル幅寸法、Lはチャネル長寸法である。デバイスのVTは、測定されたデータからID=0の場合を補外することにより、飽和領域でのソース−ドレイン電流IDの平方根とデバイスのVGとの関係より決定した。
(a)熱成長したSiO2(黒い線)及び
(b)ゾル−ゲル膜(グレーの線)
の上に堆積した50nm厚のペンタセン膜のX線回折スキャンのグラフである。ピークは全て、(00l)面に対応しており、全ての結晶が、基板に対して平行なそれらの(00l)面へ配向され、基板により誘起される薄膜相より生じることを示している。これは、ペンタセン膜における15.5Åの格子面間隔により特徴付けられる。三斜晶バルク相のわずかな寄与が、14.5Åの垂直周期として現れる。
Claims (42)
- 60℃から225℃の範囲内における温度での溶液プロセスによってゾル−ゲル誘電体組成物を製造するステップを含む、薄膜トランジスタにおいて使用するためのゾル−ゲル膜組成物を製造する方法。
- 前記ゾル−ゲル膜組成物が、有機シリケート、有機シラン、シランカップリング剤、シリケート誘導体、テトラアルキルオルトシリケート及びシラン誘導体からなる群より選択される少なくとも1つの要素を含む前駆物質より作製される、請求項1に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲル膜組成物は、有機シリケート、有機シラン、シランカップリング剤、シリケート誘導体、テトラアルキルオルトシリケート、シラン誘導体、金属アルコキシド及び金属アルコキシアルコキシドからなる群より選択される少なくとも1つの要素と、ポリ(メチルメタクリレート)、ポリ(ビニルアルコール)、ポリエチレンオキシドベースブロックコポリマー及びポリスチレン−ポリ(4−ビニルピリジン)ジブロックコポリマーからなる群の中の少なくとも1つの要素からなる少なくとも1つのポリマーとを含む前駆物質より作製される、請求項1に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲル膜は、非ドープスピンオンガラス及びドープスピンオンガラスの少なくとも一方より製造される、請求項1に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲル膜は、有機ポリマー、有機モノマー及び有機改質ゾル−ゲルの中の1つ又は複数の混合物である、請求項1に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲル膜は、金属酸化物と、無機材料、金属又は金属酸化物を含むコアを有するブロックコポリマー組成物との少なくとも一方によってドープされる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ブロックコポリマーはポリスチレン−ポリ(4−ビニルピリジン)を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記ブロックコポリマーは有機金属前駆物質を含む、請求項6又は7に記載の方法。
- 前記金属前駆物質はチタンイソプロポキシドを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記金属酸化物は、金属アルコキシアルコキシド及び金属アルコキシドの少なくとも一方である、請求項6〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲルは疎水性分子の混合物をさらに含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記疎水性分子は、オクタデシルトリクロロシラン、ヘキサメチルジシラザン及びそれらの誘導体の中の少なくとも1つを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲル膜組成物は、2から50の範囲内における比誘電率を有する、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ゾル−ゲル膜組成物は基板上に形成される、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板は、ガラス、プラスチック、石英、金属箔、非ドープシリコン及び高濃度ドープシリコンからなる群より選択される、請求項14に記載の方法。
- 請求項1〜15のいずれか一項に記載の方法により作製される場合のゾル−ゲル膜組成物。
- ポリマー及びコポリマーの少なくとも一方を含み、前記ポリマー及び前記コポリマーの少なくとも一方は、無機材料、金属及び金属酸化物からなる群より選択される少なくとも1つのナノ粒子のクラスターを含む、有機薄膜トランジスタにおいて誘電体膜として使用するためのゾル−ゲル膜。
- 前記ゾル−ゲル膜は、有機シリケート、有機シラン、シランカップリング剤、シリケート誘導体、シラン誘導体、金属アルコキシド、金属アルコキシアルコキシド及びテトラアルキルオルトシリケートからなる群より選択される少なくとも1つの要素と、ポリ(メチルメタクリレート)、ポリ(ビニルアルコール)、ポリエチレンオキシドベースブロックコポリマー、及びポリスチレン−ポリ(4−ビニルピリジン)ジブロックコポリマーからなる群の少なくとも1つの要素からなるポリマーとを含む、請求項17に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ゾル−ゲル膜は、非ドープスピンオンガラス及びドープスピンオンガラスの少なくとも一方を含む、請求項17に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ゾル−ゲル膜は、有機ポリマー、有機モノマー及び有機改質ゾル−ゲルの中の1つ又は複数の混合物である、請求項17に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ゾル−ゲル膜は、金属酸化物と、無機材料、金属又は金属酸化物を含むコアを有するブロックコポリマー組成物との少なくとも一方によってドープされる、請求項17〜20のいずれか一項に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ブロックコポリマーはポリスチレン−ポリ(4−ビニルピリジン)を含む、請求項21に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ブロックコポリマーは有機金属前駆物質を含む、請求項21又は22に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記金属前駆物質はチタンイソプロポキシドを含む、請求項23に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記金属酸化物は、金属アルコキシアルコキシド及び金属アルコキシドの少なくとも一方である、請求項21〜24のいずれか一項に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ゾル−ゲルは疎水性分子の混合物をさらに含む、請求項17〜26のいずれか一項に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記疎水性分子は、オクタデシルトリクロロシラン、ヘキサメチルジシラザン及びそれらの誘導体の中の少なくとも1つを含む、請求項26に記載のゾル−ゲル膜。
- 前記ゾル−ゲル膜組成物は、2から50の範囲内における比誘電率を有する、請求項17〜27のいずれか一項に記載のゾル−ゲル膜。
- 請求項16〜28のいずれか一項に記載のゾル−ゲル膜を含み、前記ゾル−ゲル膜は、半導体層の前及び/又は基板の上の層として形成される、有機薄膜トランジスタ。
- 前記基板は、ガラス、プラスチック、石英、金属箔、非ドープシリコン及び高濃度ドープシリコンからなる群より選択される、請求項29に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 2V/decade未満のサブスレッショルドスロープ及び、少なくとも103のオン/オフ比からなる群より選択される少なくとも1つの特性を有する、請求項29又は30に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ゾル−ゲル膜は、半導体における伝達特性を強化するための表面改質膜である、請求項29〜31のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記半導体は、有機、無機、ハイブリッド又はそれらの混合の中の少なくとも1つである、請求項32に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記半導体はペンタセンである、請求項32又は33に記載の有機薄膜トランジスタ。
- ポリ[5,5’−ビス(3−ドデシル−2−チエニル)−2,2’−ビチオフェン]の層をさらに含む、請求項29〜34のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ゾル−ゲル層と前記半導体層との間に、有機、無機、ハイブリッド又はそれらの混合のキャッピング層をさらに含む、請求項29〜35のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記キャッピング層は、ポリ−α−メチルスチレン及びオクチルトリクロロシランの少なくとも一方である、請求項36に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記有機薄膜トランジスタは、上部コンタクトを有する下部ゲート、下部コンタクトを有する下部ゲート、上部コンタクトを有する上部ゲート、下部コンタクトを有する上部ゲート、表面改質膜により強化された上部コンタクトを有する上部ゲート、及び表面改質膜により強化された下部コンタクトを有する上部ゲートの中の1つを含む、請求項29〜36のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 請求項16〜28のいずれか一項に記載のゾル−ゲル膜を含み、前記ゾル−ゲル膜は、半導体材料、複数の半導体材料、及び半導体材料の混合物からなる群より選択される少なくとも1つを含む半導体をさらに含む、有機薄膜トランジスタ。
- 前記半導体は前記ゾル−ゲル膜の上に堆積される、請求項39に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記半導体は前記ゾル−ゲル膜の上に堆積されない、請求項39に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記半導体は、有機、無機、ハイブリッド又はそれらの混合の中の少なくとも1つである、請求項39〜41のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
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