JP2009534524A5 - - Google Patents

Description

この課題は、請求項１に記載の物および請求項１６に記載の方法により解決される。従属請求項は、本発明の好ましい実施形態に関する。

Claims (16)

1. 基材と、
   該基材に施与されている硬質材料層とを備え、
   マグネトロンスパッタリングにより堆積された該硬材料層で少なくとも部分的に被覆された物であって、
   前記硬質材料層が、金属元素Ａｌ、ＣｒおよびＳｉと、Ｂ、Ｃ、Ｎ、Ｏの群から選択される非金属元素とを含有し、
   前記非金属元素中の酸素の原子割合が、３０％よりも高いことを特徴とする物。
2. 前記非金属元素中の酸素の前記原子割合が、７０％よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の物。
3. 前記非金属元素中の酸素の前記原子割合が、ほぼ１００％であることを特徴とする請求項２に記載の物。
4. 前記硬質材料層中の前記金属元素Ａｌ、ＣｒおよびＳｉが、式ＡｌｘＣｒｙＳｉｚの組成を有し、ここで、ｘ、ｙおよびｚは、前記３種の元素の割合を相互に原子パーセントで示しており、ｘ、ｙ、ｚは、条件
   ｘ＝１００％−ｙ−ｚ、
   １％≦ｙ≦７０％および
   ０．１％≦ｚ≦２０％
   を満たしていることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
5. 前記硬質材料層において、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｉの群からなる前記金属元素の原子割合が、全部で５０原子％よりも高く、さらに好ましくは８０原子％よりも高く、特に好ましくはほぼ１００原子％であることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
6. 前記基材および前記硬質材料層の間に、Ａｌ、ＳｉおよびＩＵＰＡＣ（１９８８年）による周期律表の第４から６族の元素から選択された元素と、Ｂ、Ｃ、Ｎ、Ｏの群からなる非金属元素から選択された元素とから組成されている接着層が存在することを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
7. 前記接着層の前記金属元素が、前記硬質材料層の前記金属元素の群から選択されていて、前記接着層中の前記非金属元素中のＮの原子割合が、前記硬質材料層においてよりも高いことを特徴とする請求項６に記載の物。
8. 前記硬質材料層および前記接着層の間に、前記硬質材料層および接着層を形成する元素から選択された元素で組成されている移行層が存在することを特徴とする請求項６又は７のいずれか一項に記載の物。
9. 前記移行層は、層を横断する方向に沿って少なくとも１種の元素の濃度が連続的に変化しており、その元素の前記濃度が、前記硬質材料層との境界のところでは、前記硬質材料層での濃度と本質的に等しくなっていて、前記接着層との境界のところでは、前記接着層での濃度と本質的に等しくなっていることを特徴とする請求項８に記載の物。
10. 前記硬質材料層が、本質的にＡｌ、Ｃｒ、ＳｉおよびＯからなり、前記接着層がＡｌ、Ｃｒ、ＳｉおよびＮからなることを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の物。
11. 前記接着層が、（Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｉ）Ｎからなることを特徴とする請求項６から１０のいずれか一項に記載の物。
12. 前記硬質材料層が、いちばん外側の層であるか、又は着色層、滑り層またはドライ潤滑剤層が施与されている場合、これらの層の下の最終層であることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
13. 前記接着層、移行層および硬質材料層の連続からなる多層被覆を有することを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
14. 切削のための切断工具であることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
15. 前記硬質材料層は、前記非金属中の窒素割合が、１０原子％〜７０原子％の範囲であることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の物。
16. 硬質材料層を基材上に作成する方法であって、
    マグネトロンスパッタリングにより、硬質材料層を前記基材上に堆積させ、
    前記硬質材料層が、金属元素Ａｌ、ＣｒおよびＳｉと、Ｂ、Ｃ、Ｎ、Ｏの群から選択される非金属元素とを含有し、
    前記非金属元素中の酸素の原子割合が、３０％よりも高い方法。