JP2009527117A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 37
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 34
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 14
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- -1 fluoroethylene-propylene Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 claims description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 3
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 claims description 3
- 239000004693 Polybenzimidazole Substances 0.000 claims description 3
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 claims description 3
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 claims description 3
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002480 polybenzimidazole Polymers 0.000 claims description 3
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 3
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003225 biodiesel Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002283 diesel fuel Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004446 fluoropolymer coating Substances 0.000 description 1
- 239000003502 gasoline Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】 本圧電アクチュエータ(2)は、外面を形成する一つ又はそれ以上の圧電エレメント(4)のスタックと、スタックの外面に適用されたパシベーション手段(20)とを含む。パシベーション手段(20)は、自立ポリイミド材料(20b)(例えば、層、フィルム、又は膜の形態を備えている)を含む。
【選択図】図2
Description
上述の背景技術に対し、本発明は、一つ又はそれ以上の圧電エレメントのスタックを含む圧電アクチュエータを提供する。スタックは外面を有し、パシベーション手段がスタックの外面に適用される。パシベーション手段は、自立ポリイミド材料(例えば、層、フィルム、又は膜の形態)を含む。
スタックの外面へのパシベーション手段の付着を高めるため、ポリイミド層とスタック表面との間に結合層を配置してもよい。
10 外電極
20 パシベーション手段
20a 接着剤層
20b パシベーション層
Claims (10)
- 圧電アクチュエータ(2)において、
外面を形成する、圧電エレメント(4)のスタックと、
前記スタックの前記外面に適用されたパシベーション手段(20)とを含み、
前記パシベーション手段(20)は、一層の自立ポリイミド材料(20b)を含む、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記パシベーション手段(20)は、前記アクチュエータ(2)を受け入れるためのスリーブである、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記パシベーション手段(20)は、前記アクチュエータ(2)に巻き付けたテープ又はリボンである、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記パシベーション手段(20)は、一枚のシートの形態である、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1乃至4のうちのいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記パシベーション手段(20)は、使用時に、水分を含む環境に露呈される前記アクチュエータ(2)の外面全体を覆うように構成されている、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1乃至5のうちのいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
結合層(20a)が前記ポリイミド層(20b)と前記アクチュエータ(2)の前記外面との間に配置されている、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1乃至6のうちのいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記パシベーション手段(20)は、前記ポリイミド層(20b)に適用した別の保護層(20c)を含む、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項7に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記別の保護層(20c)は、フルオロエチレン−プロピレンコーティング又はフィルムである、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項7に記載の圧電アクチュエータ(2)において、
前記別の保護層(20c)は、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリベンジミダゾール、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミドイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、及び液晶ポリマーからなる群から選択されたコーティング又はフィルムである、圧電アクチュエータ(2)。 - 請求項1乃至9のうちのいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ(2)を含む、燃料噴射装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0602955.7A GB0602955D0 (en) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | Piezoelectric actuator |
PCT/IB2007/001668 WO2007119174A2 (en) | 2006-02-14 | 2007-02-14 | Piezoelectric actuator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009527117A true JP2009527117A (ja) | 2009-07-23 |
Family
ID=36141813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008554883A Pending JP2009527117A (ja) | 2006-02-14 | 2007-02-14 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8022603B2 (ja) |
EP (1) | EP1984960B1 (ja) |
JP (1) | JP2009527117A (ja) |
AT (1) | ATE476755T1 (ja) |
DE (1) | DE602007008205D1 (ja) |
GB (1) | GB0602955D0 (ja) |
WO (1) | WO2007119174A2 (ja) |
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-
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- 2006-02-14 GB GBGB0602955.7A patent/GB0602955D0/en not_active Ceased
-
2007
- 2007-02-14 JP JP2008554883A patent/JP2009527117A/ja active Pending
- 2007-02-14 EP EP07766570A patent/EP1984960B1/en not_active Not-in-force
- 2007-02-14 US US12/223,910 patent/US8022603B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-02-14 WO PCT/IB2007/001668 patent/WO2007119174A2/en active Application Filing
- 2007-02-14 AT AT07766570T patent/ATE476755T1/de not_active IP Right Cessation
- 2007-02-14 DE DE602007008205T patent/DE602007008205D1/de active Active
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WO2007119174A3 (en) | 2008-01-17 |
DE602007008205D1 (de) | 2010-09-16 |
GB0602955D0 (en) | 2006-03-29 |
ATE476755T1 (de) | 2010-08-15 |
US8022603B2 (en) | 2011-09-20 |
EP1984960A2 (en) | 2008-10-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100907 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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A602 | Written permission of extension of time |
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