JP2009526229A - チャンバ粒子検出システム - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1B
Description
Claims (24)
- 半導体処理チャンバのためのin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
少なくとも1つのレーザ光源であって、前記処理チャンバ内の前記チャンバプロセス体積の中をレーザ光で走査することができる少なくとも1つのレーザ光源と、
少なくとも1つのレーザ光収集器であって、前記少なくとも1つのレーザ光源から放射されたレーザ光を収集することができる少なくとも1つのレーザ光収集器と、
チャンバ粒子情報を提供するために、前記少なくとも1つのレーザ光収集器によって収集されたレーザ光を表す信号を解析する、前記処理チャンバに外付けの解析器と、
を備えるin−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記チャンバ粒子情報は、粒子の数、粒子のサイズ、および粒子の位置を含む、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
複数のレーザ光収集器があり、前記複数のレーザ光収集器は、いずれも共通軸を共有することのないように配置される、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項3に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記チャンバ粒子情報は、前記チャンバプロセス体積内の粒子の分布を表す3次元画像を含む、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記少なくとも1つのレーザ光源および前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、ともに、少なくとも一部をチャンバ壁内に埋め込まれる、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記少なくとも1つのレーザ光源および前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、ともに、少なくとも一部をチャンバライナ内に埋め込まれる、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記チャンバプロセス体積は、前記プロセスチャンバ内で基板サポートの上方に画定された平面を包含している、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - チャンバ粒子源を特定するためにin−situチャンバ粒子モニタアセンブリを備えたプロセスチャンバであって、
前記プロセスチャンバ内の基板サポートと、
前記基板サポートの上方に設けられたチャンバ頂板と、
少なくとも1つのレーザ光源であって、前記プロセスチャンバ内のチャンバプロセス体積の中をレーザ光で走査することができ、前記チャンバプロセス体積は、前記基板サポートと前記チャンバ頂板との間に画定される、少なくとも1つのレーザ光源と、
少なくとも1つのレーザ光収集器であって、前記少なくとも1つのレーザ光源から放射されたレーザ光を収集することができる少なくとも1つのレーザ光収集器と、
チャンバ粒子情報を提供するために、前記少なくとも1つのレーザ光収集器によって収集されたレーザ光を表す信号を解析する、前記処理チャンバに外付けの解析器と、
を備えるプロセスチャンバ。 - 請求項8に記載のプロセスチャンバであって、
複数のレーザ光収集器があり、前記複数のレーザ光収集器は、いずれも共通軸を共有することのないように配置される、プロセスチャンバ。 - 請求項8に記載のプロセスチャンバであって、
少なくとも2つのレーザ光源があり、前記少なくとも2つのレーザ光源は、前記プロセスチャンバに光源を提供するために、互いから隔てて配置される、プロセスチャンバ。 - 請求項8に記載のプロセスチャンバであって、
前記少なくとも1つのレーザ光源および前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、ともに、少なくとも一部をチャンバ壁内に埋め込まれる、プロセスチャンバ。 - 請求項8に記載のプロセスチャンバであって、
チャンバ壁は、前記基板サポートの周囲に画定され、ライナは、前記チャンバ壁内に設けられる、プロセスチャンバ。 - 請求項12に記載のプロセスチャンバであって、
前記少なくとも1つのレーザ光源および前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、ともに、少なくとも一部を前記チャンバライナ内に埋め込まれる、プロセスチャンバ。 - 請求項12に記載のプロセスチャンバであって、
複数のチャンバライナがあり、前記少なくとも1つのレーザ光源および前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、ともに、少なくとも一部を前記複数のチャンバライナ内に埋め込まれる、プロセスチャンバ。 - 請求項13に記載のプロセスチャンバであって、
3つのレーザ光源および3つの光源収集器がある、プロセスチャンバ。 - in−situでチャンバ粒子情報を収集する方法であって、
レーザ光源から放射されたレーザ光で、プロセスチャンバ内部のプロセス体積の中を走査する工程と、
複数のレーザ光収集器によって、前記プロセスチャンバの中のレーザ光を収集する工程と、
チャンバ粒子情報を決定するために、前記収集されたレーザ光を解析する工程と、
を備える方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記プロセス体積は、チャンバ頂板と基板サポートとの間に画定される、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、さらに、
前記複数のレーザ光収集器を、いずれも共通軸を共有することのないように方向付ける工程を備える方法。 - 請求項16に記載の方法であって、さらに、
前記レーザ光源および前記複数のレーザ光収集器をチャンバ壁内に埋め込む工程を備える方法。 - 請求項16に記載の方法であって、さらに、
前記レーザ光源および前記複数のレーザ光収集器をチャンバライナ内に埋め込む工程を備える方法。 - 請求項20に記載の方法であって、
前記レーザ光源および前記複数のレーザ光収集器を備えた前記チャンバライナは、取り外し可能である、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記チャンバ粒子情報は、前記プロセスチャンバ内の粒子のサイズ情報、分布情報、および位置情報を含む、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記収集されたレーザ光を解析することは、前記プロセスチャンバ内部の粒子の分布を表す3−D画像を生成する工程を含む、方法。 - 請求項23に記載の方法であって、
前記3−D画像は、粒子のサイズ情報を含む、方法。
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