JP2006310371A - 半導体装置の製造方法および製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006310371A JP2006310371A JP2005127918A JP2005127918A JP2006310371A JP 2006310371 A JP2006310371 A JP 2006310371A JP 2005127918 A JP2005127918 A JP 2005127918A JP 2005127918 A JP2005127918 A JP 2005127918A JP 2006310371 A JP2006310371 A JP 2006310371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- wafer
- convex lens
- window
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】 エッチング速度およびウエハ面内均一性の異常を検出することができる。
【解決手段】 エッチングチャンバ1の窓6の外に設置されプラズマ5の発光を集光する凸レンズ7、凸レンズ7の中心を塞ぐように設置されたシャッタ8、プラズマ5の発光を検出するためのプラズマ発光検出部9、プラズマ発光検出部9を凸レンズ7の光軸上を移動させるためのリニアモータ11、このリニアモニタ11を凸レンズ光軸に垂直に移動させるリニアモータ12を備えている。プラズマ発光検出部9を移動させることにより、プラズマ発光の各ポジションにおける面内分布を数秒で検出できるため、複数ステップあるエッチングで適用可能で、エッチング速度のウエハ面内均一性の算出が可能となる。よって、複数ステップのエッチングでもエッチング装置の異常検出が可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】 エッチングチャンバ1の窓6の外に設置されプラズマ5の発光を集光する凸レンズ7、凸レンズ7の中心を塞ぐように設置されたシャッタ8、プラズマ5の発光を検出するためのプラズマ発光検出部9、プラズマ発光検出部9を凸レンズ7の光軸上を移動させるためのリニアモータ11、このリニアモニタ11を凸レンズ光軸に垂直に移動させるリニアモータ12を備えている。プラズマ発光検出部9を移動させることにより、プラズマ発光の各ポジションにおける面内分布を数秒で検出できるため、複数ステップあるエッチングで適用可能で、エッチング速度のウエハ面内均一性の算出が可能となる。よって、複数ステップのエッチングでもエッチング装置の異常検出が可能となる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体製造装置に関し、エッチング速度およびウエハ面内均一性の異常を検出し、エッチングプロセスを停止し、製品異常の大量発生を防ぐ手段を有するプラズマ処理装置を用いた半導体装置の製造方法および製造装置に関する。
近年、半導体ウエハの大口径化にともない、製造段階での装置トラブルによる加工不良によるロスが高額になっている。そのため、装置トラブル、装置異常をできる限り早期に発見してウエハの加工不良、製品異常を大量に発生させないことが急務となっている。そのため、エッチング装置において、エッチング速度のウエハ面内均一性の異常を検出する技術が提案されている。
エッチング速度のウエハ面内均一性の異常を検出する方法の従来技術として特許文献1がある。プラズマ発光検出部で検出したプラズマ発光波長の発光強度に基づいてエッチング終了時間を検出する。これを被エッチング膜の膜厚とこのエッチング終了時間とからエッチング速度およびそのウエハ面内均一性を算出する。異常値設定部に入力された異常値または管理値を超えるデータが算出された際は、エッチングプロセスを停止し、製品異常の大量発生を防ぐ。
以上のような構成によって、エッチング速度およびウエハ面内均一性の異常を検出し、エッチングプロセスを停止し、製品異常の大量発生を防ぐことができる。
特開2000−286232号公報
しかしながら、通常は単一条件のステップではなく、複数ステップで処理することが大半であるが、複数ステップあるレシピにおいてはエッチング速度およびエッチング速度のウエハ面内均一性を計算することができないという課題がある。
したがって、本発明の目的は、前記に鑑み、複数ステップのエッチングでもエッチング速度およびウエハ面内均一性の算出が可能となり、装置の異常を検出ことするができる半導体装置の製造方法および製造装置を提供することである。
前記の目的を達成するため、本発明の請求項1記載の半導体装置の製造方法は、チャンバ内にウエハを搬入し、プラズマにてウエハの処理を行う工程と、プラズマの発光が前記チャンバの側面に設けた窓を通過し、凸レンズによって集光され、チャンバ外で焦点を結ぶポジションにおけるプラズマ光のみを抽出して検出し、その検出位置を移動させることにより、ウエハ上の任意のポジションのプラズマ発光を抽出する工程と、前記プラズマ発光強度と前記ウェハの処理速度の相関関係によりウエハ面内均一性を計算して処理状態を評価する工程とを含む。
請求項2記載の半導体装置の製造装置は、第1の窓を側面に有しウエハの処理を行うチャンバと、前記チャンバの前記窓の外に設けられ、前記チャンバ内のプラズマの発光を集光する凸レンズと、前記凸レンズの中心を塞ぐように設置されたシャッタと、前記プラズマの発光を前記凸レンズを介して検出するプラズマ発光検出部と、前記プラズマと前記窓と前記凸レンズを通る光軸上を前記プラズマ発光検出部を移動させるための第1の駆動部と、前記凸レンズと前記プラズマ発光検出部を前記ウエハ面と平行な面上で前記光軸に垂直に移動させる第2の駆動部とを備えた。
請求項3記載の半導体装置の製造装置は、請求項2記載の半導体装置の製造装置において、前記第1の駆動部および前記第2の駆動部により、前記凸レンズは、焦点を前記プラズマが生じる領域に像を結ぶものである。
請求項4記載の半導体装置の製造装置は、請求項2記載の半導体装置の製造装置において、前記第1の窓に対向するように前記チャンバに設けた第2の窓と、前記第2の窓の外にブロードな波長を有する光を発するランプ光導入口とを有する。
本発明の請求項1記載の半導体装置の製造方法によれば、プラズマの発光がチャンバの窓を通過し、凸レンズによって集光され、チャンバ外で焦点を結ぶポジションにおけるプラズマ光のみを抽出して検出し、その検出位置を移動させることにより、ウエハ上の任意のポジションのプラズマ発光を抽出する工程と、プラズマ発光強度とウェハの処理速度の相関関係によりウエハ面内均一性を計算して処理状態を評価する工程とを含むことで、プラズマ発光の各ポジションにおける面内分布を数秒で知ることができるため、複数ステップのエッチングでもエッチング速度およびウエハ面内均一性の算出が可能となり、エッチング装置の異常を検出することできる。
本発明の請求項2記載の半導体装置の製造装置によれば、チャンバの窓の外に設けられ、チャンバ内のプラズマの発光を集光する凸レンズと、凸レンズの中心を塞ぐように設置されたシャッタと、プラズマの発光を凸レンズを介して検出するプラズマ発光検出部と、プラズマと窓と凸レンズを通る光軸上をプラズマ発光検出部を移動させるための第1の駆動部と、凸レンズとプラズマ発光検出部をウエハ面と平行な面上で光軸に垂直に移動させる第2の駆動部とを備えたので、プラズマ発光検出部を移動させることにより、ウエハ上の任意のポジションのプラズマ発光を抽出することができる。そのため、プラズマ発光の各ポジションにおける面内分布を数秒で知ることができるため、複数のステップでもエッチング速度およびそのウエハ面内均一性も計算できるため、エッチング装置の異常検出が可能となる。
請求項3では、第1の駆動部および第2の駆動部により、凸レンズは、焦点をプラズマが生じる領域に像を結ぶので、プラズマが生じる領域のポジションにおけるプラズマ光のみを抽出して検出することができる。
請求項4では、第1の窓に対向するようにチャンバに設けた第2の窓と、第2の窓の外にブロードな波長を有する光を発するランプ光導入口とを有するので、第1の窓の減衰率を補正できる。このため、エッチング窓への反応生成物等による堆積物が多いエッチングプロセスであっても精度良くプラズマ発光強度を測定できる。
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態に係るプラズマ処理装置および処理方法について、図1および図2に基づいて説明する。
以下、本発明の第1の実施形態に係るプラズマ処理装置および処理方法について、図1および図2に基づいて説明する。
図1は第1の実施形態におけるエッチング装置の側面図、図2は平面図を示す。下部電極2はエッチングチャンバ1の下部に設置され、上部電極3は下部電極2に対向して設置されている。ウエハ4は下部電極2上に搬送された被エッチング物であり、下部電極2と上部電極3間に高周波を印加してプラズマ5を発生させる。チャンバ窓(第1の窓)6はエッチングチャンバ1側面に設置され、凸レンズ7はプラズマ5の発光を集光するためエッチングチャンバ窓6の外に設置されている。シャッタ8は凸レンズ7の中心を塞ぐように設置され、プラズマ発光検出部9はプラズマ5の発光を検出するため凸レンズ7の光軸上に設置され、分光器10はプラズマ発光検出部9で検出された光を導入できるよう光ファイバで接続されている。リニアモータ(第1の駆動部)11はプラズマ発光検出部9を凸レンズ7の光軸上を移動させるように設置され、リニアモータ11上に凸レンズ7およびシャッタ8が取り付けられている。リニアモータ(第2の駆動部)12はリニアモニタ11をウエハ面と平行な面上で凸レンズ7の光軸に垂直に移動させるよう設置されている。13はシャッタ8を開閉するモータである。なお、14〜17は第2の実施形態の構成であり、本実施形態ではなくてもよい。
次に第1の実施形態における動作を示す。まず、エッチンチャンバ1内にウエハ4を搬入し、プラズマ5にてウエハ4のエッチングを行う。プラズマ5の発光はチャンバ窓6を通過し、凸レンズ7によって集光され、エッチングチャンバ1外で焦点を結ぶ。凸レンズ7の中心を通る光(0次光)はシャッタ8によって遮断されるため、凸レンズ7によって屈折され、焦点を結ぶ光のみが通過する。例えば図1のポジションAにおけるプラズマ光は凸レンズ7により集光しポジションA′に焦点を結ぶ。ポジションA′にプラズマ発光検出部9を移動すればポジションAにおけるプラズマ光のみを抽出して検出可能である。またより凸レンズ7に近いポジションBのプラズマ光は凸レンズ7により集光され、凸レンズ7から離れた別のポジションB′に焦点を結ぶ。よって、プラズマ発光検出部9を移動させて、光を抽出することで、ウエハ4上の任意のポジションのプラズマ発光を抽出することができる。
エッチング条件毎にエッチング速度を変動させてウエハ4上の各ポジションにおけるプラズマ発光強度を測定し、プラズマ発光強度とエッチング速度の関係を予め求めておく。製品のエッチング中にウエハ4上の各ポジションのプラズマ発光強度をプラズマ発光検出部9を移動させて検出し、反応生成物等の発光強度を測定することで、ウエハ4上のエッチング速度およびその分布を計算することができる。
例えば、ウエハ4上Si系の薄膜をエッチングする場合、Cl2ガスを導入し、高周波電力を下部電極2に印加する。反応生成物であるSiClyの発光強度とSiとエッチング速度の相関関係を求めておく。抽出した光を分光器10にて必要な波長のみ抽出する。
エッチング装置のトラブル等でエッチング速度が変動したり、エッチング速度のウエハ面内均一性が変動した場合、異常アラームを発報して設備を停止させることができる。ウエハ4上のプラズマ発光強度を焦点を結ぶポジションにプラズマ発光検出部9をスキャンすることで、ウエハ4上のプラズマ発光強度が求められるため、スキャンに要する数秒で計算できるため、複数のステップのエッチングの場合でも、発光強度とエッチングの相関関係より、エッチング速度のウエハ面内均一性を計算できる。
第1の実施形態によると、エッチング速度およびウエハ面内均一性を、数秒で求められるため、複数のステップのエッチングの場合でも、エッチング速度のおよびウエハ面内均一性を計算でき、異常が発生した場合、エッチング装置を停止して、加工不良を防ぐことができる。
(第2の実施形態)
以下、本発明の第2の実施形態に係るプラズマ処理装置および処理方法について説明する。なお、図面は図1および図2を参照する。
(第2の実施形態)
以下、本発明の第2の実施形態に係るプラズマ処理装置および処理方法について説明する。なお、図面は図1および図2を参照する。
まず、図1に示すように、第1の実施形態の構成に加え、エッチング窓6に対向するようにエッチングチャンバ1に設けたエッチング窓(第2の窓)14と、エッチング窓14の外にブロードな波長を有する光を発するランプ光導入口16とを有する。ランプ光導入口16はランプ15の光を直接導入するため設置され、またランプ光導入口16から導入された光も、光ファイバ等を用いて分光器10に接続している。リニアモータ17でランプ15を凸レンズ7の光軸と垂直に移動させるリニアモータ11と同様に移動させる。またシャッタ8を開閉するためのモータ13を有している。
次に第2の実施形態における動作を示す。エッチング処理を重ねれば、エッチング窓6およびエッチング窓14はエッチング反応生成物等の付着によって、プラズマ発光が減衰する。この減衰率をαとし、エッチング反応生成物が付着していない状態において、エッチング中のプラズマ発光のプラズマ発光検出部9における測定値をF、エッチング処理を繰り返し、反応生成物が付着して、減衰している状態のプラズマ発光の測定値をF′とすると、
F′=α×F
となる。
F′=α×F
となる。
エッチング処理をしていない時に、ランプ15を点灯させ、シャッタ8をモータ13により開いて、プラズマ発光検出部9で検知する(その検出強度をIとする)。また、同時にランプ光導入口16より直接ランプ15の光を検知する(その検出強度をJとする)。エッチング反応生成物によりエッチング窓6およびエッチング窓14による減衰がαとなっている時のプラズマ発光検出部9でのランプ光測定値をI′、ランプ光導入口16における測定値をJ′とすれば、
J′/J=α2×I′/I
となる。よって、
α=√((J′/J)×(I′/I))
となり、J、J′、I、I′を測定すれば、減衰率αを求められる。この減衰率αはランプ15の光がブロードな波長を有するため、ランプ15が光を発するすべての波長において求めることができる。
J′/J=α2×I′/I
となる。よって、
α=√((J′/J)×(I′/I))
となり、J、J′、I、I′を測定すれば、減衰率αを求められる。この減衰率αはランプ15の光がブロードな波長を有するため、ランプ15が光を発するすべての波長において求めることができる。
したがって、第1の実施形態のようなプラズマ発光測定を実施する前後に、上記測定を実施することで、減衰率αを計算できる。実際の生産でエッチングして、エッチング窓6に反応生成物等の堆積膜による透過光の減衰があっても
F=F′/α
により、減衰に依らないプラズマ発光強度を求めることができる。
F=F′/α
により、減衰に依らないプラズマ発光強度を求めることができる。
第2の実施形態によると、エッチング窓6の減衰率を補正できるため、エッチング窓6への反応生成物等による堆積物が多いエッチングプロセスであっても精度良くプラズマ発光強度を測定できるため、第1の実施形態と同様にエッチング速度のおよびウエハ面内均一性を計算でき、異常が発生した場合、エッチング装置を停止して、加工不良を防ぐことができる。
エッチング装置の場合に関して記述したが、すべてのプラズマ処理装置および処理方法に適応可能である。
本発明に係る半導体装置の製造方法および製造装置は、プラズマ処理装置および処理方法の異常検出等に有用である。
1 エッチングチャンバ
2 下部電極
3 上部電極
4 ウエハ
5 プラズマ
6 チャンバー窓
7 凸レンズ
8 シャッタ
9 プラズマ発光検出部
10 分光器
11 リニアモータ
12 リニアモータ
13 モータ
14 エッチング窓
15 ランプ
16 ランプ光導入口
17 リニアモータ
2 下部電極
3 上部電極
4 ウエハ
5 プラズマ
6 チャンバー窓
7 凸レンズ
8 シャッタ
9 プラズマ発光検出部
10 分光器
11 リニアモータ
12 リニアモータ
13 モータ
14 エッチング窓
15 ランプ
16 ランプ光導入口
17 リニアモータ
Claims (4)
- チャンバ内にウエハを搬入し、プラズマにてウエハの処理を行う工程と、
プラズマの発光が前記チャンバの側面に設けた窓を通過し、凸レンズによって集光され、チャンバ外で焦点を結ぶポジションにおけるプラズマ光のみを抽出して検出し、その検出位置を移動させることにより、ウエハ上の任意のポジションのプラズマ発光を抽出する工程と、
前記プラズマ発光強度と前記ウェハの処理速度の相関関係によりウエハ面内均一性を計算して処理状態を評価する工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 第1の窓を側面に有しウエハの処理を行うチャンバと、
前記チャンバの前記窓の外に設けられ、前記チャンバ内のプラズマの発光を集光する凸レンズと、
前記凸レンズの中心を塞ぐように設置されたシャッタと、
前記プラズマの発光を前記凸レンズを介して検出するプラズマ発光検出部と、
前記プラズマと前記窓と前記凸レンズを通る光軸上を前記プラズマ発光検出部を移動させるための第1の駆動部と、
前記凸レンズと前記プラズマ発光検出部を前記ウエハ面と平行な面上で前記光軸に垂直に移動させる第2の駆動部とを備えた半導体装置の製造装置。 - 前記第1の駆動部および前記第2の駆動部により、前記凸レンズは、焦点を前記プラズマが生じる領域に像を結ぶことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造装置。
- 前記第1の窓に対向するように前記チャンバに設けた第2の窓と、前記第2の窓の外にブロードな波長を有する光を発するランプ光導入口とを有することを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005127918A JP2006310371A (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005127918A JP2006310371A (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006310371A true JP2006310371A (ja) | 2006-11-09 |
Family
ID=37476956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005127918A Pending JP2006310371A (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006310371A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100979912B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2010-09-06 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
US8416509B2 (en) | 2009-02-10 | 2013-04-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical apparatus |
US9721768B2 (en) | 2015-04-07 | 2017-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for optical emission spectroscopy and plasma treatment apparatus |
US10770273B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-09-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | OES device, plasma processing apparatus including the same and method of fabricating semiconductor device |
-
2005
- 2005-04-26 JP JP2005127918A patent/JP2006310371A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100979912B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2010-09-06 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
US8416509B2 (en) | 2009-02-10 | 2013-04-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical apparatus |
KR101520453B1 (ko) * | 2009-02-10 | 2015-05-20 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마용 광학 장치 |
US9721768B2 (en) | 2015-04-07 | 2017-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for optical emission spectroscopy and plasma treatment apparatus |
US10770273B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-09-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | OES device, plasma processing apparatus including the same and method of fabricating semiconductor device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4070609B2 (ja) | 非対称な縦断面形状を持つ凸部の測定方法 | |
US6630995B1 (en) | Method and apparatus for embedded substrate and system status monitoring | |
US6721045B1 (en) | Method and apparatus to provide embedded substrate process monitoring through consolidation of multiple process inspection techniques | |
US7012684B1 (en) | Method and apparatus to provide for automated process verification and hierarchical substrate examination | |
US6707545B1 (en) | Optical signal routing method and apparatus providing multiple inspection collection points on semiconductor manufacturing systems | |
KR100816453B1 (ko) | 공정챔버의 실시간 리크 검출 시스템 | |
JP5037532B2 (ja) | in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ、プロセスチャンバ、及び、in−situでチャンバ粒子情報を収集する方法 | |
US6693708B1 (en) | Method and apparatus for substrate surface inspection using spectral profiling techniques | |
JPH0786254A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
US20030054655A1 (en) | Semiconductor device processing method and plasma processing method and its apparatus | |
WO2002035217A2 (en) | Methods for continuous embedded process monitoring and optical inspection of substrates using specular signature analysis | |
US7969572B2 (en) | Particle monitor system and substrate processing apparatus | |
US7738976B2 (en) | Monitoring method of processing state and processing unit | |
JP2006310371A (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 | |
US9059038B2 (en) | System for in-situ film stack measurement during etching and etch control method | |
KR102373933B1 (ko) | 반도체 가공 장치를 진단하는 진단 시스템 및 그것의 제어 방법 | |
JPH085542A (ja) | 半導体装置の製造方法および装置 | |
JP3927780B2 (ja) | 回路基板の製造方法 | |
JP2007129020A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
WO2000065306A1 (fr) | Technique de mesure de l'epaisseur d'un film | |
JP2003007681A (ja) | プラズマ処理装置内の浮遊異物検出方法及びその装置並びに半導体デバイスの処理装置 | |
KR100511816B1 (ko) | 반도체 제조 방법 및 플라즈마 처리 방법 및 그 장치 | |
JP3885007B2 (ja) | 半導体の製造方法並びにプラズマ処理方法及びその装置 | |
KR20190050254A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 모니터링 방법 | |
JP2003021597A (ja) | 浮遊異物検出方法およびその装置並びに半導体デバイスの製造装置 |