JP2009526099A - 低pHポストCMP残渣除去組成物および使用方法 - Google Patents
低pHポストCMP残渣除去組成物および使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009526099A JP2009526099A JP2008553539A JP2008553539A JP2009526099A JP 2009526099 A JP2009526099 A JP 2009526099A JP 2008553539 A JP2008553539 A JP 2008553539A JP 2008553539 A JP2008553539 A JP 2008553539A JP 2009526099 A JP2009526099 A JP 2009526099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- acidic composition
- residue
- contaminants
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 159
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims abstract description 106
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims abstract description 84
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims abstract description 67
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 65
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims abstract description 42
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 37
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims abstract description 37
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims abstract description 37
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 claims description 28
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 20
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 20
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 17
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 13
- -1 alkene sulfonate Chemical class 0.000 claims description 11
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 claims description 9
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 claims description 9
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 claims description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 8
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O WBIQQQGBSDOWNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims description 7
- 229940060296 dodecylbenzenesulfonic acid Drugs 0.000 claims description 7
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N D-gluconic acid Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N 0.000 claims description 6
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N benzene-1,3,5-tricarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=CC(C(O)=O)=C1 QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HHLFWLYXYJOTON-UHFFFAOYSA-N glyoxylic acid Chemical compound OC(=O)C=O HHLFWLYXYJOTON-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical group CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 4
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 claims description 4
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 claims description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 claims description 4
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 claims description 4
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 4
- QBYIENPQHBMVBV-HFEGYEGKSA-N (2R)-2-hydroxy-2-phenylacetic acid Chemical compound O[C@@H](C(O)=O)c1ccccc1.O[C@@H](C(O)=O)c1ccccc1 QBYIENPQHBMVBV-HFEGYEGKSA-N 0.000 claims description 3
- AAWZDTNXLSGCEK-LNVDRNJUSA-N (3r,5r)-1,3,4,5-tetrahydroxycyclohexane-1-carboxylic acid Chemical compound O[C@@H]1CC(O)(C(O)=O)C[C@@H](O)C1O AAWZDTNXLSGCEK-LNVDRNJUSA-N 0.000 claims description 3
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 claims description 3
- RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N -2,3-Dihydroxypropanoic acid Natural products OCC(O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 1-O-galloyl-3,6-(R)-HHDP-beta-D-glucose Natural products OC1C(O2)COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC1C(O)C2OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WLJVXDMOQOGPHL-PPJXEINESA-N 2-phenylacetic acid Chemical compound O[14C](=O)CC1=CC=CC=C1 WLJVXDMOQOGPHL-PPJXEINESA-N 0.000 claims description 3
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 claims description 3
- AAWZDTNXLSGCEK-UHFFFAOYSA-N Cordycepinsaeure Natural products OC1CC(O)(C(O)=O)CC(O)C1O AAWZDTNXLSGCEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N D-gluconic acid Natural products OCC(O)C(O)C(O)C(O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N D-glyceric acid Chemical compound OC[C@@H](O)C(O)=O RBNPOMFGQQGHHO-UWTATZPHSA-N 0.000 claims description 3
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001263 FEMA 3042 Substances 0.000 claims description 3
- WHUUTDBJXJRKMK-UHFFFAOYSA-N Glutamic acid Natural products OC(=O)C(N)CCC(O)=O WHUUTDBJXJRKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 claims description 3
- WHUUTDBJXJRKMK-VKHMYHEASA-N L-glutamic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CCC(O)=O WHUUTDBJXJRKMK-VKHMYHEASA-N 0.000 claims description 3
- KDXKERNSBIXSRK-YFKPBYRVSA-N L-lysine Chemical compound NCCCC[C@H](N)C(O)=O KDXKERNSBIXSRK-YFKPBYRVSA-N 0.000 claims description 3
- KDXKERNSBIXSRK-UHFFFAOYSA-N Lysine Natural products NCCCCC(N)C(O)=O KDXKERNSBIXSRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004472 Lysine Substances 0.000 claims description 3
- LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N Penta-digallate-beta-D-glucose Natural products OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N 0.000 claims description 3
- AAWZDTNXLSGCEK-ZHQZDSKASA-N Quinic acid Natural products O[C@H]1CC(O)(C(O)=O)C[C@H](O)C1O AAWZDTNXLSGCEK-ZHQZDSKASA-N 0.000 claims description 3
- IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N R-2-phenyl-2-hydroxyacetic acid Natural products OC(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 IWYDHOAUDWTVEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 claims description 3
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 claims description 3
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 claims description 3
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 claims description 3
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 claims description 3
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 claims description 3
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000011087 fumaric acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229940074391 gallic acid Drugs 0.000 claims description 3
- 235000004515 gallic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- LRBQNJMCXXYXIU-QWKBTXIPSA-N gallotannic acid Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@H]2[C@@H]([C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-QWKBTXIPSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000174 gluconic acid Substances 0.000 claims description 3
- 235000012208 gluconic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000013922 glutamic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004220 glutamic acid Substances 0.000 claims description 3
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 claims description 3
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 claims description 3
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229960002510 mandelic acid Drugs 0.000 claims description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 claims description 3
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 claims description 3
- 235000015523 tannic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 229940033123 tannic acid Drugs 0.000 claims description 3
- 229920002258 tannic acid Polymers 0.000 claims description 3
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 claims description 3
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N butane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCS(O)(=O)=O QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-M ethanesulfonate Chemical compound CCS([O-])(=O)=O CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- FYAQQULBLMNGAH-UHFFFAOYSA-N hexane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCCCS(O)(=O)=O FYAQQULBLMNGAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RJQRCOMHVBLQIH-UHFFFAOYSA-M pentane-1-sulfonate Chemical compound CCCCCS([O-])(=O)=O RJQRCOMHVBLQIH-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- KCXFHTAICRTXLI-UHFFFAOYSA-N propane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCS(O)(=O)=O KCXFHTAICRTXLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- NLVXSWCKKBEXTG-UHFFFAOYSA-N vinylsulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C=C NLVXSWCKKBEXTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 claims 2
- DCXYFEDJOCDNAF-REOHCLBHSA-N L-asparagine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC(N)=O DCXYFEDJOCDNAF-REOHCLBHSA-N 0.000 claims 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 2
- 235000002639 sodium chloride Nutrition 0.000 claims 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 36
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 22
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 5
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 5
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 4
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- 125000005210 alkyl ammonium group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- APSBXTVYXVQYAB-UHFFFAOYSA-M sodium docusate Chemical compound [Na+].CCCCC(CC)COC(=O)CC(S([O-])(=O)=O)C(=O)OCC(CC)CCCC APSBXTVYXVQYAB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N Propene Chemical compound CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 2
- 150000001734 carboxylic acid salts Chemical class 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- 125000005677 ethinylene group Chemical group [*:2]C#C[*:1] 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000013579 wash concentrate Substances 0.000 description 2
- 239000001124 (E)-prop-1-ene-1,2,3-tricarboxylic acid Substances 0.000 description 1
- JLVSRWOIZZXQAD-UHFFFAOYSA-N 2,3-disulfanylpropane-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(S)CS JLVSRWOIZZXQAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSZAEHPBBUYICS-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenepropanedioic acid Chemical compound OC(=O)C(=C)C(O)=O PSZAEHPBBUYICS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-K 2-sulfonatobutanedioate Chemical compound [O-]C(=O)CC(C([O-])=O)S([O-])(=O)=O ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKLJMWTZIZZHCS-REOHCLBHSA-N L-aspartic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC(O)=O CKLJMWTZIZZHCS-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M acetoacetate Chemical compound CC(=O)CC([O-])=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229940091181 aconitic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000001253 acrylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 150000004996 alkyl benzenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000637 aluminium metallisation Methods 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 235000003704 aspartic acid Nutrition 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000008107 benzenesulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- OQFSQFPPLPISGP-UHFFFAOYSA-N beta-carboxyaspartic acid Natural products OC(=O)C(N)C(C(O)=O)C(O)=O OQFSQFPPLPISGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical group 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- GTZCVFVGUGFEME-IWQZZHSRSA-N cis-aconitic acid Chemical compound OC(=O)C\C(C(O)=O)=C\C(O)=O GTZCVFVGUGFEME-IWQZZHSRSA-N 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N citraconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C\C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 1
- 229940018557 citraconic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006184 cosolvent Substances 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229960000878 docusate sodium Drugs 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229940093915 gynecological organic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-NSCUHMNNSA-N mesaconic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C/C(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNEGQIOMVPPMNR-UHFFFAOYSA-N methylfumaric acid Natural products OC(=O)C(C)=CC(O)=O HNEGQIOMVPPMNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N pentene Chemical compound CCCC=C YWAKXRMUMFPDSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 159000000001 potassium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 239000003352 sequestering agent Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- GTZCVFVGUGFEME-UHFFFAOYSA-N trans-aconitic acid Natural products OC(=O)CC(C(O)=O)=CC(O)=O GTZCVFVGUGFEME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-MNYXATJNSA-N triton Chemical compound [3H+] GPRLSGONYQIRFK-MNYXATJNSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
- H01L21/02068—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of conductive layers, e.g. polysilicon or amorphous silicon layers
- H01L21/02074—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of conductive layers, e.g. polysilicon or amorphous silicon layers the processing being a planarization of conductive layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/34—Organic compounds containing sulfur
- C11D3/3409—Alkyl -, alkenyl -, cycloalkyl - or terpene sulfates or sulfonates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Emulsifying, Dispersing, Foam-Producing Or Wetting Agents (AREA)
Abstract
ポスト化学的機械的研磨(CMP)残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスから上記残渣および汚染物質を洗浄するための酸性組成物および方法。この酸性組成物は、界面活性剤、分散剤、スルホン酸含有炭化水素、および水を含む。この組成物は、低k誘電材料および銅相互接続材料を損傷することなくマイクロ電子デバイス表面からポストCMP残渣または汚染物質材料を非常に効果的に洗浄する。
Description
発明の分野
本発明は、残渣および/または汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣および/または汚染物質を洗浄するための酸性組成物に関する。
本発明は、残渣および/または汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣および/または汚染物質を洗浄するための酸性組成物に関する。
関連技術の説明
半導体デバイスの形状が0.18μm未満に縮小され続けているので、抵抗−容量(RC)の遅延を最小限にするための相互接続構造の改善がより強調されている。相互接続遅延を最小限にする方法としては、相互接続金属の導電性の改善、および誘電体層の誘電率(k)値の低下が挙げられる。例えば、銅は、先進デバイスの相互接続金属として従来のアルミニウムの代替品として出現している。銅は、アルミニウムよりも導電性が高く(そのため抵抗−容量時間遅延が軽減される)、また、従来のAl金属化よりもエレクトロマイグレーションが起こりにくい。
半導体デバイスの形状が0.18μm未満に縮小され続けているので、抵抗−容量(RC)の遅延を最小限にするための相互接続構造の改善がより強調されている。相互接続遅延を最小限にする方法としては、相互接続金属の導電性の改善、および誘電体層の誘電率(k)値の低下が挙げられる。例えば、銅は、先進デバイスの相互接続金属として従来のアルミニウムの代替品として出現している。銅は、アルミニウムよりも導電性が高く(そのため抵抗−容量時間遅延が軽減される)、また、従来のAl金属化よりもエレクトロマイグレーションが起こりにくい。
ディープサブミクロン半導体の製造においては、銅ダマシンプロセスを使用して、導電性銅線および低k誘電体層中のビアが形成される。このダマシンプロセスの重要なステップの1つは、誘電体層表面上の過剰の銅を除去するための銅化学的機械的研磨(CMP)である。
このCMP法は、制御された圧力および温度下、CMPスラリーの存在下で、濡らした研磨パッドに対して、半導体デバイスの薄く平坦な基板を保持し回転させることを含む。このスラリーは、個別のCMP法および必要条件に対して適切な研磨材料および化学添加剤を含有する。CMP法の後、研磨スラリーからの粒子、スラリーに加えられた化学物質、研磨スラリーの反応副生成物からなる汚染物質が、ウエハ表面上に残留する。さらに、シリコンウエハ上の銅/低誘電率材料の研磨によって、炭素リッチ粒子が発生することが多く、これらは研磨後にウエハ表面上に沈降する。デバイス信頼性の低下、およびデバイス中への欠陥の導入を回避するために、マイクロ電子デバイス製造プロセスのさらなるステップの前にすべての汚染物質を除去する必要がある。多くの場合、これらの汚染物質の粒子は0.3μm未満である。
従来の洗浄技術では、洗浄溶液、例えば、水酸化アンモニウムをベースとするアルカリ性溶液の流体流を、ウエハ表面に使用し、これをメガソニック、ジェット噴射、またはブラッシングと併用することで汚染物質を除去する。前記洗浄溶液は、ウエハから離れた汚染物質が除去される前に、ウエハ表面の攻撃または汚染物質との反応によって汚染物質を引き離す。不都合なことには、一部の汚染物質は、洗浄溶液中の化学成分に対して化学的に不活性である場合がある。さらに、当技術分野において公知のアミン含有洗浄溶液は、においがあり、アミン蒸気を製造工場内に放出してフォトレジストを汚染する場合がある。さらに、一般に、洗浄溶液は、使用されるCMPスラリーのpHと類似のpHを有することが好ましい。したがって、アルカリ性洗浄溶液の使用は限定される。
デバイス表面からCMP残渣および汚染物質を欠陥なしおよび擦傷なしに除去するためのマイクロ電子デバイスのポストCMP洗浄のための改善された酸性組成物が提供されることで、当技術分野は大きく前進するであろう。前記水性組成物は、露出した低k誘電材料ならびに相互接続およびビアの材料、例えば、銅および/またはアルミニウムを含有する材料を損傷することなく残渣および汚染物質をデバイス表面から実質的に除去する。
発明の概要
本発明は、一般に、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣と汚染物質とを洗浄するための酸性組成物および方法に関する。本発明の酸性洗浄組成物は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、残分の水とを含む。場合により、本発明の酸性洗浄組成物は少なくとも1種類の錯化剤をさらに含むことができる。残渣としてはポストCMP残渣を挙げることができる。
本発明は、一般に、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣と汚染物質とを洗浄するための酸性組成物および方法に関する。本発明の酸性洗浄組成物は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、残分の水とを含む。場合により、本発明の酸性洗浄組成物は少なくとも1種類の錯化剤をさらに含むことができる。残渣としてはポストCMP残渣を挙げることができる。
本発明の一態様は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、水とを含む酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適である酸性組成物に関する。
本発明の別の態様は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、水とから実質的になる酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適である酸性組成物に関する。
本発明のさらに別の態様は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、水とからなる酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適である酸性組成物に関する。
本発明のさらに別の態様は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、少なくとも1種類の錯化剤と、水とを含む酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適である酸性組成物に関する。
さらに別の態様において、本発明は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、少なくとも1種類の錯化剤と、水とから実質的になる酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適である酸性組成物に関する。
本発明のさらに別の態様は、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、少なくとも1種類の錯化剤と、水とからなる酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適である酸性組成物に関する。
別の態様において、本発明は、1つ以上の容器中に、酸性組成物を形成するための以下の2つ以上の試薬を含み、前記2つ以上の試薬が、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、任意に少なくとも1種類の錯化剤、および水からなる群から選択されるキットであって、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適な酸性組成物を形成するのに適合したキットに関する。
さらに別の態様において、本発明は、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄する方法であって、マイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを少なくとも部分的に洗浄するのに十分な時間、マイクロ電子デバイスを酸性組成物と接触させるステップを含み、酸性組成物が、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、水とを含む、方法に関する。
別の態様において、本発明は、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣と汚染物質とを除去する方法であって、
マイクロ電子デバイスをCMPスラリーで研磨するステップと、
少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、任意に少なくとも1種類の錯化剤と、水とを含む酸性組成物とマイクロ電子デバイスとの接触を、ポストCMP残渣と汚染物質とがマイクロ電子デバイスを離れて酸性組成物に移動してポストCMP残渣含有酸性組成物を形成するのに十分な時間行うステップと、
マイクロ電子デバイスの実質的な洗浄が起こるのに十分な時間、マイクロ電子デバイスをポストCMP残渣含有酸性組成物と連続的に接触させるステップとを含む方法に関する。
マイクロ電子デバイスをCMPスラリーで研磨するステップと、
少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、任意に少なくとも1種類の錯化剤と、水とを含む酸性組成物とマイクロ電子デバイスとの接触を、ポストCMP残渣と汚染物質とがマイクロ電子デバイスを離れて酸性組成物に移動してポストCMP残渣含有酸性組成物を形成するのに十分な時間行うステップと、
マイクロ電子デバイスの実質的な洗浄が起こるのに十分な時間、マイクロ電子デバイスをポストCMP残渣含有酸性組成物と連続的に接触させるステップとを含む方法に関する。
さらに別の態様においては、本発明は、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスの洗浄方法であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから残渣と汚染物質とを除去するのに十分な時間、マイクロ電子デバイスを酸性組成物と接触させるステップを含み、前記酸性組成物が、少なくとも1種類の洗浄濃縮物と水とを含み、前記洗浄濃縮物が、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、任意に少なくとも1種類の錯化剤とを含む、方法に関する。
さらに別の態様においては、本発明は、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスの洗浄方法であって、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣と汚染物質とを除去するのに十分な時間、マイクロ電子デバイスを酸性組成物と接触させるステップを含み、前記酸性組成物が、少なくとも1種類の洗浄濃縮物と水とを含み、前記洗浄濃縮物が、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、任意に少なくとも1種類の錯化剤とを含む、方法に関する。
さらに別の態様においては、本発明は、マイクロ電子デバイスの製造方法であって、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣と汚染物質とを少なくとも部分的に洗浄するのに十分な時間、マイクロ電子デバイスを本明細書に記載の酸性洗浄組成物と接触させるステップを含む方法に関する。
本発明の別の態様は、本明細書に記載の方法および/または組成物を使用して、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣と汚染物質とを洗浄するステップと、任意に、そのマイクロ電子デバイスを製品中に組み込むステップとを含む本発明の方法により製造された、改善されたマイクロ電子デバイス、およびそれを含む製品に関する。
本発明の別の態様は、酸性洗浄組成物と、マイクロ電子デバイスウエハと、ポストCMP残渣および汚染物質とを含む製品であって、前記酸性洗浄組成物が、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、任意に少なくとも1種類の錯化剤とを含む製品に関する。
本発明のその他の態様、特徴、および利点は、以下の開示および添付の特許請求の範囲からより十分に明らかとなるであろう。
発明および好ましい実施形態の詳細な説明
本発明は、一般に、ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスからそのような物質を洗浄する酸性組成物に関する。
本発明は、一般に、ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスからそのような物質を洗浄する酸性組成物に関する。
参照を容易にするため、「マイクロ電子デバイス」は、マイクロ電子、集積回路、またはコンピューターチップの用途に使用するため製造された半導体基板、フラットパネルディスプレイ、相変化メモリ素子、および微小電気機械システム(MEMS)のことである。用語「マイクロ電子デバイス」は、限定を意味するものでは決してなく、実質的にマイクロ電子デバイスまたはマイクロ電子組立体となるあらゆる基板を含んでいることを理解されたい。
本明細書において使用される場合、「残渣」は、限定するものではないが、プラズマエッチング、アッシング、化学的機械的研磨、ウェットエッチング、およびそれらの組み合わせなどのマイクロ電子デバイスの製造中に発生する粒子のことである。
本明細書において使用される場合、「汚染物質」は、CMPスラリー中に存在する化学物質、研磨スラリーの反応副生成物、およびCMP法の副生成物であるあらゆる他の物質のことである。
本明細書において使用される場合、「ポストCMP残渣」は、研磨スラリーからの粒子、例えば、シリカ含有粒子、スラリー中に存在する化学物質、研磨スラリーの反応副生成物、炭素リッチ粒子、研磨パッド粒子、銅、酸化銅、およびCMP法の副生成物であるあらゆる他の材料のことである。
本明細書における定義では、「低k誘電材料」は、層状マイクロ電子デバイス中の誘電材料として使用され、誘電率が約3.5未満であるあらゆる材料のことである。好ましくは、低k誘電材料としては、低極性材料、例えばケイ素含有有機ポリマー、ケイ素含有複合有機/無機材料、有機ケイ酸塩ガラス(OSG)、TEOS、フッ素化ケイ酸塩ガラス(FSG)、二酸化ケイ素、および炭素ドープ酸化物(CDO)ガラスが挙げられる。低k誘電材料は種々の密度および種々の多孔度を有することができることは理解されるであろう。
本明細書における定義では、「洗浄酸性組成物」は、ポストCMPおよび/または汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスと接触する直前の酸性組成物のことである。
本明細書における定義では、「錯化剤」としては、当業者によって錯化剤、キレート剤、および/または金属イオン封鎖剤であると理解されている化合物が挙げられる。錯化剤は、本発明の組成物を使用して除去される金属原子および/または金属イオンと化学的に結合、または物理的に保持する。
本明細書において使用される場合、「約」は、記載の値の±5%に相当することを意図している。
本明細書において使用される場合、ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣および汚染物質を洗浄するための「適合性」は、マイクロ電子デバイスから前記残渣/汚染物質を少なくとも部分的に除去することに対応している。好ましくは、本発明の組成物を使用して50〜85%の間の残渣/汚染物質がマイクロ電子デバイスから除去され、より好ましくは少なくとも90%、さらにより好ましくは少なくとも95%、最も好ましくは少なくとも99%の残渣/汚染物質が除去される。
本発明の組成物は、より十分に以下に説明するように多種多様の個別の配合物において具体化することができる。
このようなすべての組成物において、組成物の個別の成分を、0の下限を含む重量パーセント値の範囲に関して記載する場合、このような成分は、組成物の種々の個別の実施形態で存在する場合も存在しない場合もあり、このような成分が存在する場合、それらは、そのような成分が使用される組成物の全重量を基準にして0.001重量パーセントの低濃度でも存在することができることを理解されたい。
一態様において、本発明は、ポストCMP残渣および汚染物質を洗浄するための酸性組成物であって、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、および残分の水を含む酸性組成物に関する。場合により、この酸性組成物は、少なくとも1種類の錯化剤をさらに含むことができる。この酸性組成物中の成分は、スルホン酸含有炭化水素に対する以下の範囲の重量パーセント比で存在し、組成物の残分は水である。
言い換えると、濃縮酸性組成物中の界面活性剤、分散剤、スルホン酸含有炭化水素、および任意の錯化剤の量は、組成物の全重量を基準とすると以下のようになる。
当業者であれば容易に理解できるように、希釈すると、濃縮酸性組成物中の成分の重量パーセント値は、希釈係数に応じて変化する。
本発明の広範な実施において、この酸性組成物は、(i)界面活性剤、分散剤、スルホン酸含有炭化水素、および水;又は(ii)界面活性剤、分散剤、スルホン酸含有炭化水素、錯化剤、および水を含んでもよく、それらからなるものであってもよく、あるいは、実質的にそれらからなるものであってもよい。水は好ましくは脱イオンされる。
成分の重量パーセント比の範囲は、酸性組成物のすべての可能な濃縮または希釈した実施形態を含んでいる。
本発明の広範な実施において、酸性組成物のpH範囲は、約7.0未満、より好ましくは4.5未満、さらにより好ましくは約0〜約3の範囲内、最も好ましくは約0.5〜約2の範囲内である。
本発明の組成物は、限定するものではないが、ポストエッチング残渣除去、ポストアッシング残渣除去表面処理、めっき後洗浄、およびポストCMP残渣除去などの用途において有用となりうる。本明細書における定義では、「ポストエッチング残渣」は、気相プラズマエッチング法、例えば、BEOLデュアルダマシンプロセスの後に残留する材料のことである。ポストエッチング残渣は、有機、有機金属、有機ケイ素、またはケイ素含有材料などの無機、炭素系有機材料、ならびに限定するものではないが酸素およびフッ素などのエッチングガス残渣であってよい。本明細書において使用される場合、「ポストアッシング残渣」は、硬化したフォトレジストおよび/または底部反射防止コーティング(BARC)材料を除去するための酸化的または還元的プラズマアッシングの後に残留する材料のことである。ポストアッシング残渣は、有機、有機金属、有機ケイ素、または無機であってよい。
好ましくは、本発明の洗浄酸性組成物は、ポリジオキシチオフェン、脂肪族アルキル−1,3−ジアミノプロパン、およびそれらの塩、ならびに樹脂粒子、例えばポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリエチレングリコール、ポリ酢酸ビニル、ポリブタジエン、ポリイソブチレン、ポリプロピレン、およびポリオキシメチレンを含有しない。
本発明において使用される界面活性剤の実例としては、限定するものではないが、両性塩、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、フルオロアルキル界面活性剤、非イオン界面活性剤、およびそれらの組み合わせが挙げられ、例えば、限定するものではないが、SURFONYL(登録商標)104、TRITON(登録商標)CF-21、ZONYL(登録商標)UR、ZONYL(登録商標)FSO-100、ZONYL(登録商標)FSN-100、3M Fluoradフルオロ界面活性剤(すなわち、FC-4430およびFC-4432)、ジオクチルスルホコハク酸塩、2,3−ジメルカプト−1−プロパンスルホン酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレンまたはポリプロピレングリコールエーテル、カルボン酸塩、R1ベンゼンスルホン酸またはそれらの塩(ここでR1は直鎖または分岐のC8〜C18アルキル基である)、両親媒性フルオロポリマー、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレンまたはポリプロピレングリコールエーテル、カルボン酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸、ポリアクリレートポリマー、ジノニルフェニルポリオキシエチレン、シリコーンまたは変性シリコーンポリマー、アセチレン系ジオールまたは変性アセチレン系ジオール、アルキルアンモニウムまたは変性アルキルアンモニウム塩、ならびに以上の界面活性剤を少なくとも1種類含む組み合わせ、ドデシル硫酸ナトリウム、両性界面活性剤、aerosol-OT(AOT)、およびそれらのフッ素化類似体、アルキルアンモニウム、パーフルオロポリエーテル界面活性剤、2−スルホコハク酸塩、ホスフェート系界面活性剤、硫黄系界面活性剤、ならびにアセトアセテート系ポリマーが挙げられる。好ましい一実施形態においては、界面活性剤としては、アルキルベンゼンスルホン酸、より好ましくはドデシルベンゼンスルホン酸が挙げられる。
本発明の酸性組成物中に使用される分散剤は、分散性を向上させ、除去された残渣および汚染物質がマイクロ電子デバイスウエハ表面に再堆積するのを最小限にするために含まれる。本明細書において考慮される分散剤としては、アクリル酸またはその塩を含有し平均分子量が15,000未満である有機ポリマーが挙げられ、以降これを低分子量アクリル酸含有ポリマーと呼ぶ。低分子量アクリル酸含有ポリマーは、15,000未満、好ましくは約3,000〜約10,000の平均分子量を有する。低分子量アクリル酸含有ポリマーは、アクリル酸またはアクリル酸塩モノマー単位を必ず含むホモポリマーまたはコポリマーのいずれであってもよい。コポリマーは、変性されたアクリル酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、アコニット酸、メサコン酸、シトラコン酸、およびメチレンマロン酸またはそれらの塩、無水マレイン酸、アルキレン、ビニルメチルエーテル、スチレン、およびそれらのあらゆる混合物などの実質的にあらゆる好適な他のモノマー単位を含むことができる。好ましい市販の低分子量アクリル酸含有ホモポリマーとしては、商標Acusol 445(Rohm and Haas, Philadelphia, PA, USA)で販売されているものが挙げられる。
本明細書において考慮されるスルホン酸含有炭化水素としては、直鎖および分岐のC1〜C6アルカン、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、スルホン酸、直鎖および分岐のC2〜C6アルケン、例えば、エタン、プロペン、ブタン、ペンテン、ヘキサン、スルホン酸、ならびに置換または非置換のC6〜C14アリールスルホン酸、ならびにそれらの塩、例えば、ナトリウム塩、カリウム塩などが挙げられる。スルホン酸含有炭化水素としては、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパンスルホン酸、ブタンスルホン酸、ペンタンスルホン酸、ヘキサンスルホン酸、エテンスルホン酸、トルエンスルホン酸、およびそれらの組み合わせが挙げられる。
本明細書において考慮される場合による錯化剤としては、少なくとも1つのCOOH基またはその塩の形体のカルボキシレート基を含む有機酸が挙げられる。限定するものではないが、例えば、乳酸、マレイン酸、アスコルビン酸、リンゴ酸、クエン酸、安息香酸、フマル酸、コハク酸、シュウ酸、マロン酸、マンデル酸、無水マレイン酸、フタル酸、アスパラギン酸、グルタミン酸、グルタル酸、グリコール酸、グリオキシル酸、イタコン酸、フェニル酢酸、キナ酸、ピロメリット酸、酒石酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、グルコン酸、グリセリン酸、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、アクリル酸、アジピン酸、イタコン酸、グリシン、リジン、ピロカテコール、ピロガロール、没食子酸、タンニン酸、他の脂肪族および芳香族カルボン酸、それらの塩、ならびに以上の酸の組み合わせが挙げられる。好ましくは、有機酸としてクエン酸が挙げられる。
さらに、この酸性組成物は、共溶媒、強酸などをさらに含むことができる。
好ましい一実施形態においては、本発明の酸性組成物は、メタンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、およびポリアクリル酸を含む。
本発明の酸性組成物は、以下の処方で配合することができ、処方中の有効成分は、メタンスルホン酸に対して以下の重量パーセント値を有し、水溶液中で使用される。
本発明の一実施形態においては、希釈して洗浄溶液として使用できる濃縮酸性組成物が提供される。濃縮組成物、または「濃縮物」は、使用者、例えばCMP法技術者が、使用時に濃縮物を所望の濃度および酸性度まで希釈することができ好都合である。濃縮洗浄組成物の希釈は、約1:1〜約2500:1の範囲内とすることができ、洗浄組成物は、ツール位置またはその直前で脱イオン水などの溶媒で希釈される。当業者であれば理解されるであろうが、本明細書において開示される成分の重量パーセント比の範囲は希釈後も変化しないままである。
例えば、さらに好ましい一実施形態においては、配合物AおよびBは、以下のように全有効成分の重量パーセント値が得られるように使用前または使用時に水で希釈することができる。
好ましくは、濃縮物のpHは、約0.5〜約2の範囲内、好ましくは約0.5〜約1.5の範囲内であり、希釈した配合物のpHは、約0.5〜約3の範囲内、より好ましくは約1〜約3の範囲内、最も好ましくは約1.5〜約2.5の範囲内である。
本発明の酸性組成物の重要な特徴の1つは、非水性成分(水以外の成分)は組成物中に少量、多くの場合約10重量%未満で存在することである。このため、効果的な酸性組成物をより経済的に配合することができるので経済的に好都合であり、このことはポストCMP酸性組成物が大量に使用されるので重要である。さらに、この酸性組成物は水性であるため、本発明の酸性組成物はより容易に廃棄される。特に、この酸性組成物の寿命は粒子処理量にのみ依存するので、本発明の酸性組成物は再利用可能である。
さらに好ましい別の実施形態においては、本発明の酸性組成物は、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、残渣および/または汚染物質、場合による少なくとも1種類の錯化剤、ならびに残分の水を含むか、それらからなるか、または実質的にそれらからなる。重要なことに、残渣および汚染物質は、本発明の酸性組成物中に溶解および/または懸濁することができる。好ましくは、残渣はポストCMP残渣を含む。
Merck Indexによると、メタンスルホン酸は銅に対して腐食性である(Merck Index, 11th ed., 1989, pg 938)。意外なことに、メタンスルホン酸を含む本発明の酸性組成物は、露出した銅、アルミニウム、および/またはタングステンの相互接続材料を容易には腐食しない。さらに、マイクロ電子デバイス上のTEOS、BLACK DIAMOND(商標)などの低k誘電材料、およびその他の超低k誘電材料などの誘電材料は、本発明の酸性組成物によって損傷しない。
本発明の酸性組成物は、各成分を単純に加え均一条件で混合することによって容易に配合される。さらに、この酸性組成物は、単一包装の配合物または複数部分の配合物として容易に配合することもでき、複数部分の配合物は、使用時または使用前に混合され、例えば、複数部分の配合物の個別の部分をツール位置またはツール上流の貯蔵タンクで混合することができる。各成分の濃度は、本発明の広範な実施における酸性組成物の具体的な倍数、すなわちより希薄かより濃縮されているかによって大きく変動することがあり、本発明の酸性組成物は、多様におよび別の選択肢として、本明細書における開示に一致する成分のあらゆる組み合わせを含んでもよく、それらからなるものであってもよく、または実質的にそれらからなるものであってもよいことが理解されるであろう。
したがって、本発明の別の態様は、1つ以上の容器中に、本発明の組成物を形成するように適合させた1つ以上の成分を含むキットに関する。好ましくは、このキットは、1つ以上の容器中に、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、任意に少なくとも1種類の錯化剤、および水を含み、製造工場または使用時に追加の水と混合される。このキットの容器は、前記除去組成物の成分の保管および輸送に好適である必要があり、例えば、NOWPak(登録商標)容器(Advanced Technology Materials, Inc., Danbury, Conn., USA)が挙げられる。
マイクロ電子製造処理に使用する場合、本発明の酸性組成物は、ポストCMP残渣および汚染物質をマイクロ電子デバイス表面から洗浄するために有益に使用される。重要なことには、本発明の酸性組成物は、低k誘電材料を損傷せず、またはデバイス表面上の金属相互接続を腐食しない。好ましくはこの酸性組成物は、残渣を除去する前にデバイス上に存在する残渣の少なくとも85%を除去し、より好ましくは少なくとも90%、さらにより好ましくは少なくとも95%、最も好ましくは少なくとも99%を除去する。
ポストCMP残渣および汚染物質の洗浄用途において、この酸性組成物は、メガソニックおよびブラシスクラブ(brush-scrub)洗浄などの多種多様の従来の洗浄用具とともに使用することができ、例えば、限定するものではないが、Verteq single wafer megasonic Goldfinger、OnTrak systems DDS(両面スクラバー)、SEZ single wafer spray rinse、Applied Materials Mirra-Mesa(商標)/Reflexion(商標)/Reflexion LK(商標)、およびMegasonic batch wet bench systemを使用することができる。
ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスからそれらを洗浄するために本発明の組成物を使用する場合、この酸性組成物は、通常、約20℃〜約50℃の範囲内の温度で約5秒〜約10分、好ましくは約15秒〜5分の時間、デバイスと接触させる。このような接触時間および温度は例示的なものであり、本発明の広範な実施の範囲内で、ポストCMP残渣/汚染物質をデバイスから少なくとも部分的に洗浄するのに有効な他のあらゆる好適な時間および温度条件を使用することができる。「少なくとも部分的な洗浄」および「実質的な除去」の両方は、残渣を除去する前にデバイス上に存在する残渣の少なくとも85%の除去、より好ましくは少なくとも90%の除去、さらにより好ましくは少なくとも95%の除去、最も好ましくは少なくとも99%の除去に対応している。
所望の洗浄効果が得られた後、この酸性組成物は、組成物が適用してあったデバイスから容易に除去することができ、これは、本発明の組成物の所与の最終用途において望ましくかつ効果的である。好ましくは、リンス溶液は脱イオン水を含む。その後、デバイスは、窒素またはスピン乾燥サイクルを使用して乾燥することができる。
本発明のさらに別の態様は、本発明の方法により製造された改善されたマイクロ電子デバイス、およびそのようなマイクロ電子デバイスを含む製品に関する。
本発明の別の態様は、再利用された酸性組成物であって、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、任意に少なくとも1種類の錯化剤、水、ならびに残渣および/または汚染物質を含む酸性組成物に関する。本発明の酸性組成物は、酸性組成物が対応できる最大量に残渣および/または汚染物質処理量が到達するまで再利用することができ、この量は当業者によって容易に決定される。
本発明のさらに別の態様は、マイクロ電子デバイスを含む物品の製造方法であって、ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスから、前記残渣および汚染物質を洗浄するのに十分な時間、マイクロ電子デバイスを酸性組成物と接触させるステップと、前記マイクロ電子デバイスを上記物品中に組み込むステップとを含み、酸性組成物が、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、任意に少なくとも1種類の錯化剤、および残分の水を含む方法に関する。
以下限定されない実施例によって本発明の特徴および利点をより十分に説明するが、特に明記しない限り、実施例中のすべての部およびパーセント値は重量を基準としている。
実施例1
ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣および汚染物質を洗浄するための配合物AおよびBの有効性を評価した。0.07重量%の配合物Aを水で希釈して、ポストCMP除去溶液を形成した。0.44重量%および0.59重量%の配合物Bを水で希釈して、2種類のさらに別のポストCMP除去溶液を形成した。デバイスは、シリカ研磨剤を含むHitachi CMPスラリーで研磨したパターンを有するSematech 854ウエハであった。各例でウエハを回転/スプレーツール(Laurell Technologies Corporation, North Wales, PA, USA)上で、個々の配合物を使用して22℃および150rpmで60秒間洗浄した後、150rpmで30秒間脱イオン水ですすぎ、2500rpmで30秒間回転乾燥した。
ポストCMP残渣および汚染物質をその上に有するマイクロ電子デバイスからポストCMP残渣および汚染物質を洗浄するための配合物AおよびBの有効性を評価した。0.07重量%の配合物Aを水で希釈して、ポストCMP除去溶液を形成した。0.44重量%および0.59重量%の配合物Bを水で希釈して、2種類のさらに別のポストCMP除去溶液を形成した。デバイスは、シリカ研磨剤を含むHitachi CMPスラリーで研磨したパターンを有するSematech 854ウエハであった。各例でウエハを回転/スプレーツール(Laurell Technologies Corporation, North Wales, PA, USA)上で、個々の配合物を使用して22℃および150rpmで60秒間洗浄した後、150rpmで30秒間脱イオン水ですすぎ、2500rpmで30秒間回転乾燥した。
以上の処理の後、ウエハ試料の原子間力顕微鏡検査(AFM)を行って、上記処理の洗浄有効性を評価した。AFM画像は、Digital Instruments Dimension 5000(Veeco Instruments, Woodbury, NY, USA)走査プローブ顕微鏡を使用して撮影した。各ウエハ試料について、ウエハの中心に向かって位置する無作為の3つの銅パッドをAFM分析用に選択した。各銅パッドの位置において、20μm×20μmの領域を、512×512のピクセル密度および1.0Hzの走査速度においてタッピングモードで走査した。
Sigma Scan Pro画像解析ヒストグラムを使用して、各AFM画像上のスラリー粒子数を求めた。このソフトウェアは、ピクセル色強度閾値を各AFM画像に対して設定して、粒子を表すピクセルをその下にある銅表面を表すピクセルと分離し、次に物体計数機能を果たすことによって動作する。
対照ウエハ、ならびにクエン酸、希釈配合物A、および希釈配合物Bを回転スプレーしたウエハの粒子計数の結果を表1に示す。
ポストCMP残渣をその上に有する対照ウエハ上に希釈配合物AおよびBを回転スプレーすると、粒子数が少なくとも90%減少したことが分かる。重要なことに、本発明の酸性組成物で洗浄した後のRMS粗さ(nm)は5nm未満、好ましくは4nm未満、最も好ましくは3nm未満である。
図1は、本発明の酸性洗浄組成物でウエハを洗浄する前の、ポストCMP残渣で汚染されたSematech 854対照ウエハのAFM画像である。
図2は、比較の目的で0.75%クエン酸溶液を使用してウエハを洗浄した後の、図1のSematech 854ウエハのAFM画像である。
図3は、0.44重量%の配合物Bを含む組成物でウエハを洗浄した後の、図1のSematech 854ウエハのAFM画像である。
図4は、0.07重量%の配合物Aを含む組成物でウエハを洗浄した後の、図1のSematech 854ウエハのAFM画像である。
希釈した配合物AおよびBは、回転スプレー法を使用して、対照ウエハの表面からポストCMP残渣を効果的に除去することが分かる。したがって、本発明の配合物の存在下でメガソニック洗浄およびブラシスクラブ洗浄を行うことによって、短縮された処理時間でより実質的な洗浄が行われ、それによってデバイスウエハ所有者の費用が削減されると期待される。
例示的な実施形態および特徴を参照しながら本明細書において本発明を種々開示してきたが、上記の実施形態および特徴は本発明の限定を意図したものではなく、本明細書の開示に基づいた他の変形、変更、およびその他の実施形態が当業者に示唆されるであろうことを理解されたい。したがって、本発明は、このようなすべての変形、変更、およびその他の実施形態を特許請求の範囲および精神の範囲内に含むと、広く解釈されるべきである。
図面の簡単な説明
本発明の酸性洗浄組成物でウエハを洗浄する前の、ポストCMP残渣で汚染されたSematech 854ウエハの原子間力顕微鏡AFM画像である。
0.75%クエン酸溶液を使用してウエハを洗浄した後の、図1のSematech 854ウエハのAFM画像である。
0.44重量%の配合物Bを含む洗浄組成物でウエハを洗浄した後の、図1のSematech 854ウエハのAFM画像である。
0.07重量%の配合物Aを含む洗浄組成物でウエハを洗浄した後の、図1のSematech 854ウエハのAFM画像である。
Claims (37)
- 少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、水と、を含む酸性組成物であって、残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適な、酸性組成物。
- 前記残渣と汚染物質とが、ポスト化学的機械的研磨(CMP)残渣と汚染物質とを含む、請求項1に記載の酸性組成物。
- 少なくとも1種類の錯化剤をさらに含む、請求項1に記載の酸性組成物。
- 界面活性剤のスルホン酸含有炭化水素に対する重量パーセント比が約0.01〜約1の範囲内である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 分散剤のスルホン酸含有炭化水素に対する重量パーセント比が約0.01〜約1.6の範囲内である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 錯化剤のスルホン酸含有炭化水素に対する重量パーセント比が約10〜約30の範囲内である、請求項3に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の界面活性剤が、両性塩、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、フルオロアルキル界面活性剤、非イオン界面活性剤、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される種を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の界面活性剤が非イオン界面活性剤を含む、請求項7に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の界面活性剤がアルキルベンゼンスルホン酸を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の界面活性剤がドデシルベンゼンスルホン酸を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の分散剤が低分子量アクリル酸含有ポリマーを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の分散剤が、アクリル酸ホモポリマー、アクリル酸コポリマー、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される低分子量アクリル酸含有ポリマーを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素が、直鎖C1〜C6アルカンスルホン酸、分岐C1〜C6アルカンスルホン酸、直鎖C1〜C6アルケンスルホン酸、分岐C1〜C6アルケンスルホン酸、置換C6〜C14アリールスルホン酸、非置換C6〜C14アリールスルホン酸、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される種を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素が、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパンスルホン酸、ブタンスルホン酸、ペンタンスルホン酸、ヘキサンスルホン酸、エテンスルホン酸、トルエンスルホン酸、それらの塩、およびそれらの組み合わせなる群から選択される種を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の錯化剤が、乳酸、マレイン酸、アスコルビン酸、リンゴ酸、クエン酸、安息香酸、フマル酸、コハク酸、シュウ酸、マロン酸、マンデル酸、無水マレイン酸、フタル酸、アスパラギン酸、グルタミン酸、グルタル酸、グリコール酸、グリオキシル酸、イタコン酸、フェニル酢酸、キナ酸、ピロメリット酸、酒石酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、グルコン酸、グリセリン酸、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、アクリル酸、アジピン酸、イタコン酸、グリシン、リジン、ピロカテコール、ピロガロール、没食子酸、タンニン酸、それらの塩、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される有機酸を含む、請求項3に記載の酸性組成物。
- 前記少なくとも1種類の錯化剤がクエン酸を含む、請求項3に記載の酸性組成物。
- 前記マイクロ電子デバイスが、半導体基板、フラットパネルディスプレイ、および微小電気機械システム(MEMS)からなる群から選択される物品を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 約0.05〜約2の範囲内のpHを有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- 前記ポストCMP残渣と汚染物質とが、CMP研磨スラリーからの粒子、前記CMP研磨スラリー中に存在する化学物質、前記CMP研磨スラリーの反応副生成物、炭素リッチ粒子、研磨パッド粒子、銅、および酸化銅からなる群から選択される材料を含む、請求項2に記載の酸性組成物。
- ポストCMP残渣と汚染物質とをさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸性組成物。
- アルキルベンゼンスルホン酸と、ポリアクリル酸と、メタンスルホン酸とを含む、請求項1に記載の酸性組成物。
- ドデシルベンゼンスルホン酸と、ポリアクリル酸と、メタンスルホン酸とを含む、請求項1に記載の酸性組成物。
- ドデシルベンゼンスルホン酸と、ポリアクリル酸と、メタンスルホン酸と、クエン酸とを含む、請求項3に記載の酸性組成物。
- 1つ以上の容器中に、酸性組成物を形成するための以下の1つ以上の試薬を含むキットであって、前記1つ以上の試薬が、少なくとも1種類の界面活性剤、少なくとも1種類の分散剤、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素、任意に少なくとも1種類の錯化剤、および水からなる群から選択され、ポストCMP残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄するのに好適な酸性組成物を形成するのに適合している、キット。
- 残渣と汚染物質とをその上に有するマイクロ電子デバイスから前記残渣と汚染物質とを洗浄する方法であって、前記残渣と汚染物質とを前記マイクロ電子デバイスから少なくとも部分的に洗浄するのに十分な時間、前記マイクロ電子デバイスを酸性組成物と接触させるステップを含み、前記酸性組成物が、少なくとも1種類の界面活性剤と、少なくとも1種類の分散剤と、少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素と、水と、を含む、方法。
- 前記残渣と汚染物質とがポストCMP残渣と汚染物質とを含む、請求項25に記載の方法。
- 前記酸性組成物が少なくとも1種類の錯化剤をさらに含む、請求項25に記載の方法。
- 前記接触させるステップが、約15秒〜約5分の時間、約20℃〜約50℃の範囲内の温度、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される条件を含む、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。
- 界面活性剤のスルホン酸含有炭化水素に対する重量パーセント比が約0.01〜約1の範囲内であり、分散剤のスルホン酸含有炭化水素に対する重量パーセント比が約0.01〜約1.6の範囲内である、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。
- 錯化剤のスルホン酸含有炭化水素に対する重量パーセント比が約10〜約30の範囲内である、請求項27に記載の方法。
- 前記少なくとも1種類の界面活性剤が、両性塩、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、フルオロアルキル界面活性剤、非イオン界面活性剤、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される種を含み、
前記少なくとも1種類の分散剤が、アクリル酸ホモポリマー、アクリル酸コポリマー、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される低分子量アクリル酸含有ポリマーを含み、
前記少なくとも1種類のスルホン酸含有炭化水素が、直鎖C1〜C6アルカンスルホン酸、分岐C1〜C6アルカンスルホン酸、直鎖C1〜C6アルケンスルホン酸、分岐C1〜C6アルケンスルホン酸、置換C6〜C14アリールスルホン酸、非置換C6〜C14アリールスルホン酸、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される種を含む、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。 - 前記少なくとも1種類の錯化剤が、乳酸、マレイン酸、アスコルビン酸、リンゴ酸、クエン酸、安息香酸、フマル酸、コハク酸、シュウ酸、マロン酸、マンデル酸、無水マレイン酸、フタル酸、アスパラギン酸、グルタミン酸、グルタル酸、グリコール酸、グリオキシル酸、イタコン酸、フェニル酢酸、キナ酸、ピロメリット酸、酒石酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、グルコン酸、グリセリン酸、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、アクリル酸、アジピン酸、イタコン酸、グリシン、リジン、ピロカテコール、ピロガロール、没食子酸、タンニン酸、それらの塩、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される有機酸を含む、請求項27に記載の方法。
- 前記組成物が約0.5〜約2の範囲内のpHを有する、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ポストCMP残渣と汚染物質とが、CMP研磨スラリーからの粒子、前記CMP研磨スラリー中に存在する化学物質、前記CMP研磨スラリーの反応副生成物、炭素リッチ粒子、研磨パッド粒子、銅、および酸化銅からなる群から選択される材料を含む、請求項26に記載の方法。
- 前記マイクロ電子デバイスが、半導体基板、フラットパネルディスプレイ、および微小電気機械システム(MEMS)からなる群から選択される物品である、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マイクロ電子デバイスが、銅含有材料、アルミニウム含有材料、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される金属材料を含む、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接触させるステップが、回転スプレー装置、メガソニック装置、ブラシスクラブ洗浄装置、およびそれらの組み合わせからなる群から選択される装置を使用して行われる、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US76497206P | 2006-02-03 | 2006-02-03 | |
PCT/US2007/061588 WO2007092800A2 (en) | 2006-02-03 | 2007-02-05 | Low ph post-cmp residue removal composition and method of use |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009526099A true JP2009526099A (ja) | 2009-07-16 |
Family
ID=38345901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008553539A Withdrawn JP2009526099A (ja) | 2006-02-03 | 2007-02-05 | 低pHポストCMP残渣除去組成物および使用方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100286014A1 (ja) |
EP (1) | EP1997129A4 (ja) |
JP (1) | JP2009526099A (ja) |
SG (1) | SG169363A1 (ja) |
TW (1) | TW200734448A (ja) |
WO (1) | WO2007092800A2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011148926A (ja) * | 2010-01-22 | 2011-08-04 | Jsr Corp | 加工対象物の加工方法 |
JP2016148084A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 第一工業製薬株式会社 | アルミニウム系金属用洗浄剤組成物 |
CN106062621A (zh) * | 2014-03-06 | 2016-10-26 | 赛智电致变色公司 | 使用非水性流体从电致变色膜的颗粒去除 |
JP2018049992A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 表面処理組成物、ならびにこれを用いた表面処理方法および半導体基板の製造方法 |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8685909B2 (en) | 2006-09-21 | 2014-04-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Antioxidants for post-CMP cleaning formulations |
TWI449784B (zh) * | 2006-12-21 | 2014-08-21 | Advanced Tech Materials | 用以移除蝕刻後殘餘物之液體清洗劑 |
US20100261632A1 (en) * | 2007-08-02 | 2010-10-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Non-fluoride containing composition for the removal of residue from a microelectronic device |
JP5561914B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2014-07-30 | 関東化学株式会社 | 半導体基板洗浄液組成物 |
JP5466836B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2014-04-09 | 花王株式会社 | フラックス用洗浄剤組成物 |
US9074170B2 (en) | 2008-10-21 | 2015-07-07 | Advanced Technology Materials, Inc. | Copper cleaning and protection formulations |
JP4903242B2 (ja) | 2008-10-28 | 2012-03-28 | アバントール パフォーマンス マテリアルズ, インコーポレイテッド | 多金属デバイス処理のためのグルコン酸含有フォトレジスト洗浄組成物 |
US8765653B2 (en) | 2009-07-07 | 2014-07-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Formulations and method for post-CMP cleaning |
US9045717B2 (en) | 2010-01-29 | 2015-06-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Cleaning agent for semiconductor provided with metal wiring |
JP2013533631A (ja) | 2010-07-16 | 2013-08-22 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | エッチング後残渣を除去するための水性洗浄剤 |
JP6101421B2 (ja) | 2010-08-16 | 2017-03-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 銅または銅合金用エッチング液 |
US9238850B2 (en) | 2010-08-20 | 2016-01-19 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sustainable process for reclaiming precious metals and base metals from e-waste |
SG189292A1 (en) | 2010-10-06 | 2013-05-31 | Advanced Tech Materials | Composition and process for selectively etching metal nitrides |
TWI502065B (zh) | 2010-10-13 | 2015-10-01 | Entegris Inc | 抑制氮化鈦腐蝕之組成物及方法 |
EP2688688A4 (en) | 2011-03-21 | 2014-12-31 | Basf Se | AQUEOUS CLEANING COMPOSITION WITHOUT NITROGEN, PREPARATION AND USE THEREOF |
JP5933950B2 (ja) | 2011-09-30 | 2016-06-15 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | 銅または銅合金用エッチング液 |
JP6329909B2 (ja) | 2011-12-28 | 2018-05-23 | インテグリス・インコーポレーテッド | 窒化チタンを選択的にエッチングするための組成物および方法 |
EP3385363B1 (en) | 2012-02-06 | 2022-03-16 | Basf Se | A post chemical-mechanical-polishing (post-cmp) cleaning composition comprising a specific sulfur-containing compound |
CN104508072A (zh) | 2012-02-15 | 2015-04-08 | 安格斯公司 | 用于cmp后去除的组合物及使用方法 |
US8652943B2 (en) * | 2012-05-17 | 2014-02-18 | United Microelectronics Corp. | Method of processing substrate |
EP2850495A4 (en) | 2012-05-18 | 2016-01-20 | Entegris Inc | COMPOSITION AND METHOD FOR REMOVING PHOTOLACK FROM A SURFACE WITH TITANNITRIDE |
US9765288B2 (en) | 2012-12-05 | 2017-09-19 | Entegris, Inc. | Compositions for cleaning III-V semiconductor materials and methods of using same |
KR102294726B1 (ko) | 2013-03-04 | 2021-08-30 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 티타늄 나이트라이드를 선택적으로 에칭하기 위한 조성물 및 방법 |
EP3004287B1 (en) | 2013-06-06 | 2021-08-18 | Entegris, Inc. | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
TWI683889B (zh) | 2013-07-31 | 2020-02-01 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | 用於移除金屬硬遮罩及蝕刻後殘餘物之具有Cu/W相容性的水性配方 |
SG11201601158VA (en) | 2013-08-30 | 2016-03-30 | Advanced Tech Materials | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
DE102013217325A1 (de) * | 2013-08-30 | 2015-03-05 | Werner & Mertz Gmbh | Reinigungsmittel mit Entkalkungswirkung |
TWI654340B (zh) | 2013-12-16 | 2019-03-21 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | Ni:NiGe:Ge選擇性蝕刻配方及其使用方法 |
WO2015095726A1 (en) | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Entegris, Inc. | Use of non-oxidizing strong acids for the removal of ion-implanted resist |
KR102290209B1 (ko) | 2013-12-31 | 2021-08-20 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 규소 및 게르마늄을 선택적으로 에칭하기 위한 배합물 |
WO2015116818A1 (en) | 2014-01-29 | 2015-08-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Post chemical mechanical polishing formulations and method of use |
WO2015119925A1 (en) | 2014-02-05 | 2015-08-13 | Advanced Technology Materials, Inc. | Non-amine post-cmp compositions and method of use |
WO2018168207A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 表面処理組成物、その製造方法、およびこれを用いた表面処理方法 |
MX2020007163A (es) | 2017-09-26 | 2020-08-17 | Ecolab Usa Inc | Composiciones de acidos/anionicos antimicrobianos y viricidas y usos de estas. |
US11560533B2 (en) | 2018-06-26 | 2023-01-24 | Versum Materials Us, Llc | Post chemical mechanical planarization (CMP) cleaning |
KR20220054355A (ko) | 2019-08-30 | 2022-05-02 | 세인트-고바인 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인크. | 재료 제거 작업을 수행하기 위한 유체 조성물 및 방법 |
WO2021041694A1 (en) | 2019-08-30 | 2021-03-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composition and method for conducting a material removing operation |
CN114959664A (zh) * | 2021-02-24 | 2022-08-30 | 超特国际股份有限公司 | 用于化学电镀处理非导电区域的活化溶液及方法 |
Family Cites Families (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2906590B2 (ja) * | 1990-06-14 | 1999-06-21 | 三菱瓦斯化学株式会社 | アルミニウム配線半導体基板の表面処理剤 |
US5981454A (en) * | 1993-06-21 | 1999-11-09 | Ekc Technology, Inc. | Post clean treatment composition comprising an organic acid and hydroxylamine |
US5988186A (en) * | 1991-01-25 | 1999-11-23 | Ashland, Inc. | Aqueous stripping and cleaning compositions |
US5308745A (en) * | 1992-11-06 | 1994-05-03 | J. T. Baker Inc. | Alkaline-containing photoresist stripping compositions producing reduced metal corrosion with cross-linked or hardened resist resins |
WO1995004372A1 (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-09 | Semitool, Inc. | Methods for processing semiconductors to reduce surface particles |
US5466389A (en) * | 1994-04-20 | 1995-11-14 | J. T. Baker Inc. | PH adjusted nonionic surfactant-containing alkaline cleaner composition for cleaning microelectronics substrates |
US5498293A (en) * | 1994-06-23 | 1996-03-12 | Mallinckrodt Baker, Inc. | Cleaning wafer substrates of metal contamination while maintaining wafer smoothness |
US5567574A (en) * | 1995-01-10 | 1996-10-22 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Removing agent composition for photoresist and method of removing |
US5597420A (en) * | 1995-01-17 | 1997-01-28 | Ashland Inc. | Stripping composition having monoethanolamine |
US5563119A (en) * | 1995-01-26 | 1996-10-08 | Ashland Inc. | Stripping compositions containing alkanolamine compounds |
US5571447A (en) * | 1995-03-20 | 1996-11-05 | Ashland Inc. | Stripping and cleaning composition |
KR100429440B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-07-15 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 기체의표면처리방법및그에사용되는표면처리조성물 |
TW416987B (en) * | 1996-06-05 | 2001-01-01 | Wako Pure Chem Ind Ltd | A composition for cleaning the semiconductor substrate surface |
US6410494B2 (en) * | 1996-06-05 | 2002-06-25 | Wako Pure Chemical Industries, Ltd. | Cleaning agent |
US6030932A (en) * | 1996-09-06 | 2000-02-29 | Olin Microelectronic Chemicals | Cleaning composition and method for removing residues |
US5855811A (en) * | 1996-10-03 | 1999-01-05 | Micron Technology, Inc. | Cleaning composition containing tetraalkylammonium salt and use thereof in semiconductor fabrication |
US5989353A (en) * | 1996-10-11 | 1999-11-23 | Mallinckrodt Baker, Inc. | Cleaning wafer substrates of metal contamination while maintaining wafer smoothness |
US5962384A (en) * | 1997-10-28 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method for cleaning semiconductor devices |
US5997658A (en) * | 1998-01-09 | 1999-12-07 | Ashland Inc. | Aqueous stripping and cleaning compositions |
ATE436043T1 (de) * | 1998-05-18 | 2009-07-15 | Mallinckrodt Baker Inc | Alkalische, silikat enthaltende reinigungslösungen für mikroelektronische substrate |
WO2000031781A1 (fr) * | 1998-11-20 | 2000-06-02 | Clariant International Ltd. | Procede relatif a la formation d'un motif de resist |
US6395693B1 (en) * | 1999-09-27 | 2002-05-28 | Cabot Microelectronics Corporation | Cleaning solution for semiconductor surfaces following chemical-mechanical polishing |
US6413923B2 (en) * | 1999-11-15 | 2002-07-02 | Arch Specialty Chemicals, Inc. | Non-corrosive cleaning composition for removing plasma etching residues |
US6194366B1 (en) * | 1999-11-16 | 2001-02-27 | Esc, Inc. | Post chemical-mechanical planarization (CMP) cleaning composition |
US6723691B2 (en) * | 1999-11-16 | 2004-04-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Post chemical-mechanical planarization (CMP) cleaning composition |
US6492308B1 (en) * | 1999-11-16 | 2002-12-10 | Esc, Inc. | Post chemical-mechanical planarization (CMP) cleaning composition |
US7375066B2 (en) * | 2000-03-21 | 2008-05-20 | Wako Pure Chemical Industries, Ltd. | Semiconductor wafer cleaning agent and cleaning method |
US6514434B1 (en) * | 2000-06-16 | 2003-02-04 | Corning Incorporated | Electro-optic chromophore bridge compounds and donor-bridge compounds for polymeric thin film waveguides |
US6992050B2 (en) * | 2000-06-28 | 2006-01-31 | Nec Corporation | Stripping agent composition and method of stripping |
US6599370B2 (en) * | 2000-10-16 | 2003-07-29 | Mallinckrodt Inc. | Stabilized alkaline compositions for cleaning microelectronic substrates |
US6623355B2 (en) * | 2000-11-07 | 2003-09-23 | Micell Technologies, Inc. | Methods, apparatus and slurries for chemical mechanical planarization |
US6627587B2 (en) * | 2001-04-19 | 2003-09-30 | Esc Inc. | Cleaning compositions |
MY131912A (en) * | 2001-07-09 | 2007-09-28 | Avantor Performance Mat Inc | Ammonia-free alkaline microelectronic cleaning compositions with improved substrate compatibility |
US6943142B2 (en) * | 2002-01-09 | 2005-09-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Aqueous stripping and cleaning composition |
DK1516376T3 (da) * | 2002-06-25 | 2009-11-16 | Applied Intellectual Capital L | Zink-luft-batteri med syreelektrolyt |
JP4443864B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2010-03-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | レジストまたはエッチング残さ物除去用洗浄液および半導体装置の製造方法 |
EP1576072B1 (en) * | 2002-10-22 | 2008-08-20 | Ekc Technology, Inc. | Aqueous phosphoric acid compositions for cleaning semiconductor devices |
JP3692109B2 (ja) * | 2002-10-24 | 2005-09-07 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
US8236485B2 (en) * | 2002-12-20 | 2012-08-07 | Advanced Technology Materials, Inc. | Photoresist removal |
TWI292931B (en) * | 2003-05-12 | 2008-01-21 | Jsr Corp | Chemical mechanical polishing agent kit and chemical mechanical polishing method using the same |
US6894544B2 (en) * | 2003-06-02 | 2005-05-17 | Analog Devices, Inc. | Brown-out detector |
US7247566B2 (en) * | 2003-10-23 | 2007-07-24 | Dupont Air Products Nanomaterials Llc | CMP method for copper, tungsten, titanium, polysilicon, and other substrates using organosulfonic acids as oxidizers |
CN1654617A (zh) * | 2004-02-10 | 2005-08-17 | 捷时雅株式会社 | 清洗用组合物和半导体基板的清洗方法及半导体装置的制造方法 |
US8338087B2 (en) * | 2004-03-03 | 2012-12-25 | Advanced Technology Materials, Inc | Composition and process for post-etch removal of photoresist and/or sacrificial anti-reflective material deposited on a substrate |
US7338620B2 (en) * | 2004-03-17 | 2008-03-04 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Water dispersible polydioxythiophenes with polymeric acid colloids and a water-miscible organic liquid |
DE602005000732T2 (de) * | 2004-06-25 | 2007-12-06 | Jsr Corp. | Reinigungszusammensetzung für Halbleiterkomponente und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergeräts |
US9217929B2 (en) * | 2004-07-22 | 2015-12-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Composition for removing photoresist and/or etching residue from a substrate and use thereof |
US7494963B2 (en) * | 2004-08-11 | 2009-02-24 | Delaval Holding Ab | Non-chlorinated concentrated all-in-one acid detergent and method for using the same |
US20060148666A1 (en) * | 2004-12-30 | 2006-07-06 | Advanced Technology Materials Inc. | Aqueous cleaner with low metal etch rate |
SG158920A1 (en) * | 2005-01-27 | 2010-02-26 | Advanced Tech Materials | Compositions for processing of semiconductor substrates |
US7923423B2 (en) * | 2005-01-27 | 2011-04-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions for processing of semiconductor substrates |
US7365045B2 (en) * | 2005-03-30 | 2008-04-29 | Advanced Tehnology Materials, Inc. | Aqueous cleaner with low metal etch rate comprising alkanolamine and tetraalkylammonium hydroxide |
TWI339780B (en) * | 2005-07-28 | 2011-04-01 | Rohm & Haas Elect Mat | Stripper |
JP4772590B2 (ja) * | 2006-05-30 | 2011-09-14 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
US20080076688A1 (en) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Barnes Jeffrey A | Copper passivating post-chemical mechanical polishing cleaning composition and method of use |
-
2007
- 2007-02-02 TW TW096103825A patent/TW200734448A/zh unknown
- 2007-02-05 WO PCT/US2007/061588 patent/WO2007092800A2/en active Application Filing
- 2007-02-05 JP JP2008553539A patent/JP2009526099A/ja not_active Withdrawn
- 2007-02-05 US US12/278,164 patent/US20100286014A1/en not_active Abandoned
- 2007-02-05 SG SG201100694-7A patent/SG169363A1/en unknown
- 2007-02-05 EP EP07710450A patent/EP1997129A4/en not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011148926A (ja) * | 2010-01-22 | 2011-08-04 | Jsr Corp | 加工対象物の加工方法 |
CN106062621A (zh) * | 2014-03-06 | 2016-10-26 | 赛智电致变色公司 | 使用非水性流体从电致变色膜的颗粒去除 |
JP2017515648A (ja) * | 2014-03-06 | 2017-06-15 | セイジ・エレクトロクロミクス,インコーポレイテッド | 非水性流体を用いたエレクトロクロミックフィルムからの粒子除去 |
US10767143B2 (en) | 2014-03-06 | 2020-09-08 | Sage Electrochromics, Inc. | Particle removal from electrochromic films using non-aqueous fluids |
JP2016148084A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 第一工業製薬株式会社 | アルミニウム系金属用洗浄剤組成物 |
JP2018049992A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 表面処理組成物、ならびにこれを用いた表面処理方法および半導体基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200734448A (en) | 2007-09-16 |
WO2007092800A3 (en) | 2007-11-22 |
EP1997129A2 (en) | 2008-12-03 |
EP1997129A4 (en) | 2010-03-17 |
WO2007092800A2 (en) | 2007-08-16 |
SG169363A1 (en) | 2011-03-30 |
US20100286014A1 (en) | 2010-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009526099A (ja) | 低pHポストCMP残渣除去組成物および使用方法 | |
TWI576428B (zh) | 銅鈍化之後段化學機械拋光清洗組成物及利用該組成物之方法 | |
TWI498422B (zh) | 用於化學機械研磨後(post-CMP)清洗配方之新穎抗氧化劑 | |
KR100561178B1 (ko) | 반도체 장치용의 유기 및 플라즈마 에칭된 잔사의 세척조성물 | |
KR102105381B1 (ko) | 조성물을 이용한 cmp-후 제거 방법 및 그의 이용 방법 | |
US9340760B2 (en) | Non-amine post-CMP composition and method of use | |
US7922823B2 (en) | Compositions for processing of semiconductor substrates | |
TWI460268B (zh) | Semiconductor substrate cleaning solution composition | |
KR102041624B1 (ko) | 전자 디바이스용 세정액 조성물 | |
TWI718593B (zh) | 含腐蝕抑制劑之清洗組合物 | |
US20080076688A1 (en) | Copper passivating post-chemical mechanical polishing cleaning composition and method of use | |
US20090239777A1 (en) | Antioxidants for post-cmp cleaning formulations | |
TW200821381A (en) | Cleaning liquid and cleaning method using the same | |
TW200811282A (en) | Cleaning composition, cleaning method, and manufacturing method of semiconductor device | |
CN116438284A (zh) | 微电子装置清洁组合物 | |
TW202346558A (zh) | 化學機械研磨後(post cmp)清潔組合物 | |
WO2023177541A1 (en) | Microelectronic device cleaning composition | |
WO2023096862A1 (en) | Microelectronic device cleaning composition |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100129 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20110324 |