JP2009515175A - 物体上の幾何学量を求める方法及び装置 - Google Patents

物体上の幾何学量を求める方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009515175A
JP2009515175A JP2008539208A JP2008539208A JP2009515175A JP 2009515175 A JP2009515175 A JP 2009515175A JP 2008539208 A JP2008539208 A JP 2008539208A JP 2008539208 A JP2008539208 A JP 2008539208A JP 2009515175 A JP2009515175 A JP 2009515175A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radiation
optical
optical path
path length
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008539208A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5232005B2 (ja
Inventor
ヴェルティ,ルドルフ
ブリ,ウルス
ブライテンシュタイン,ヨルグ
Original Assignee
ハーグ−シュトライト アーゲー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ハーグ−シュトライト アーゲー filed Critical ハーグ−シュトライト アーゲー
Publication of JP2009515175A publication Critical patent/JP2009515175A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5232005B2 publication Critical patent/JP5232005B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02015Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02027Two or more interferometric channels or interferometers
    • G01B9/02028Two or more reference or object arms in one interferometer
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B3/00Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
    • A61B3/10Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
    • A61B3/102Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for optical coherence tomography [OCT]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02041Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
    • G01B9/02044Imaging in the frequency domain, e.g. by using a spectrometer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/0209Low-coherence interferometers
    • G01B9/02091Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/35Mechanical variable delay line
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/45Multiple detectors for detecting interferometer signals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/70Using polarization in the interferometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

透過性又は拡散性の物体(19)上の幾何学量を測定する方法及び装置のために、2つの基準アームと短いコヒーレンス長とを有するマイケルソン干渉計が用いられる。基準アーム(11、12)の基本光学遅延時間は、結果として、幾何学量としての層厚に対応する光学遅延時間差を生成するように選択される。少なくとも2つの基準アームビーム(33a、35a)が、互いに空間的なオフセット角(dw)を成して、単一の回転式光路長変更素子(23)に送られる。光路長変更素子(23)によって引き起こされる遅延時間変化が、基準アーム(11、12)内の基本光学遅延時間に対して逐次的に適用されるようにするために、回転角に依存する、基準アームビームの遅延時間変化が、回転によって引き起こされる回転角の関数として生成される。測定されることになる表面上に光強度構造を投影し、その像を測定することによって、さらなる幾何学量としてトポグラフィが得られる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、透過性又は拡散性の物体の場合に、互いから離隔している少なくとも2つの領域の幾何学量を求める方法及び装置に関し、詳細には、幾何学量として、層の厚み及び長さ、並びに/又は表面曲率(トポグラフィ)を求める方法及び装置に関する。幾何学量は、たとえば、層の厚み、距離、長さ及びトポグラフィであると理解される。
時間領域光コヒーレンストモグラフィ(「TDOCT」)システムは一般的に、時間窓をシフトすることによって動作する。そのような従来のシステムの場合、測定物体上で測定されることになる長さに応じて、マイケルソン干渉計の基準アームの長さが動かされる。測定アーム内の放射の遅延時間が基準アーム内の放射遅延時間と等しくなるときには必ず、マイケルソン干渉計の検出器アームにおいて干渉現象が生じる。既知の装置の場合、この干渉現象を検出するために必要とされる検出器はただ1つである。
可変の長さのTDOCT基準アームに対する代替案は、分光器を用いることによって、マイケルソン干渉計内のスペクトル密度を測定することであり、その場合には、用語「スペクトル領域光コヒーレンストモグラフィ」(「SDOCT」)が用いられる。この場合には、基準アームの長さを変更する必要はない。位相シフトを引き起こすユニットが用いられるだけである。分光器によって、スペクトル領域において分光器によって分割された放射は、その後、一連の検出器に導かれ、こうして得られた電気信号が、フーリエ変換によって評価される。
光学的な厚みは、TDOCTを用いることによって、マイケルソン干渉計で迅速且つ正確に求めることができる。既知のマイケルソン干渉計は、1つの測定アームと、1つの基準アームとを有する。たとえば、再帰反射器を動かすことによって、測定アーム内の測定長に応じて、基準アームの光学的なアーム長を変更することができる。既知のマイケルソン干渉計はさらに放射源を有し、その放射は、測定アームの中及び基準アームの中に分割される。たとえば、層の厚み、長さ又はトポグラフィのような幾何学量を求めることになる物体(測定物体)が、測定アームの中に配置される。その物体によって反射されるビーム、及び基準アーム内のミラーによって反射されるビームが重ね合わせられる。測定アーム内の放射及び基準アーム内の放射の光学的な遅延時間が等しいときには必ず、層の前面によって反射されるビームと層の背面によって反射されるビームとの間に干渉が生じる。短いコヒーレンス長を有する放射源が用いられることが好ましい。その際、層の屈折率を考慮に入れることによって、基準アーム内のミラーが動かされた経路、又は基準アームにおいて規定される他の光学的な遅延時間変化から、それぞれの層厚が特定される。
その目的が、たとえば、人の目の場合のように、概ねわかっている層厚から厳密な層厚を求めることであるとき、測定時間を短縮し、且つ規定されていない反射点による不正確な測定を除外するために、基準アームが2つの部分的な基準アームに分割される。その際、第1の光学的な基準アーム長は、層表面までの光学的な遅延時間を規定し、第2の光学的な基準アーム長は、「標準化された」層底面までの光学的な遅延時間を規定する。したがって、求められるのは、「標準値」からの偏差だけである。これら2つの部分的な基準アームは、たとえば、米国特許第5,301,010号の図12に示される。しかしながら、ビーム方向において2つのミラーをずらして配置し、2段ミラーとして設計される単一の基準アームを用いることもできる。そのような構成が、米国特許第5,301,010号の、たとえば図9に示される。
しかしながら、PCT国際公開第01/38820号に記載されるように、測定ビームにおいて、ビームを部分的に偏向することによって同じ結果をもたらすこともできる。PCT国際公開第01/38830号では、直接的な第1の測定ビームが、たとえば、層の背面上に合焦される。第1の測定ビームから部分的にマスクされた第2の測定ビームが、迂回路を介して偏向され、その焦点が結果として層の概ね前面上に位置するように、その迂回路内で合焦される。その際、迂回路長は、予測される標準的な層厚に対応する。したがって、1つの光路変更素子を備えるただ1つの基準アームしか存在しない。
米国特許第6,198,540号(Kowa)から、多数の基準アームを有するコヒーレンストモグラフィが知られている。ビームスプリッタが、基準アームのための多数の異なる光路を形成し、その光路長は、適切な手段を用いて変更することができる。実施の形態のうちの1つは、一群の円板を提示しており、それらの円板は、互いに隣接して平行に配置され、それぞれ螺旋状に延在する反射性の側面と、円板間で異なる直径とを有する。円板群を回転させることによって、回転中に連続して光路長が変更される。異なる螺旋形円板上に、互いに対して平行に向けられる基準ビームによって、同時に異なる基本遅延時間を実現できるようになり、その基本遅延時間は、回転中に、回転する螺旋形円板によって連続して変更される。
PCT国際公開第03/086180号(Haag-Streit)は、眼科検査及び/又は治療ステーションの一部として、短コヒーレンス放射源を備えるマイケルソン干渉計を有する測定構成を開示している。光学的に透過性及び/又は拡散性の反射物体を測定アームの中に入れることができ、遅延時間を変更するための光路長変更ユニットとして、回転する立方体を基準アーム(5)の中に入れることができる。さらに、遅延時間差を引き起こす少なくとも2つの反射器が存在する。その測定構成は、透過性及び/又は拡散性の物体の場合に、1秒未満の範囲の測定時間で、離隔している少なくとも2つの領域の光学特性を測定するという目的を果たす。
層厚を求めるための上記の構成では、光学的な構成が複雑である。
本発明の目的は、調整にほとんど費用をかけることなく、コンパクトで、比較的簡単な構成によって、透過性及び/又は拡散性の物体上の幾何学量を求めることができる方法及び装置を提示することである。
その目的は、請求項1及び請求項6の特徴によって達成される。それ自体既知であるマイケルソン干渉計が、層厚を求めるために光路長が異なる少なくとも2つの基準アームを備える時間領域光コヒーレンストモグラフィとして用いられ、少なくとも2つの基準アームの光路長の差は、透過性又は拡散性の物体における、又はその物体内の「標準的な」層厚に対応する。標準的な層厚は、その大体の層厚が確実にわかっている層厚として理解されるが、問題になるのは、この概ねわかっている層厚からの偏差であり、その偏差が求められることになる。マイケルソン干渉計の放射源から生じる放射は、求められることになる層厚と比べて、短いコヒーレンス長を有する。
たとえば、人の目の場合、概ねわかっている層厚は、角膜の厚み、前眼房の深さ、水晶体の厚み及び硝子体の深さ、又はそれらの組み合わせである。当然、眼球の長さのような長さを求めることもできる。有機体内の層厚に加えて、たとえば、薄膜厚、塗膜厚等の無機物の層厚も求めることができる。それ自体既知であるマイケルソン干渉計は、ここでは、たとえば、欧州特許第0 877 913号及び独国特許第34 46 014号に記載されるように、回転式光路変更素子を有する。
少なくとも2つの基準アームを有する既知のマイケルソン干渉計とは対照的に、この1つの回転式光路長変更素子は、ここでは、少なくとも2つの基準アームにおける能動部品であり、その光路長変更素子によって引き起こされる光路長変化は、等しい長さの領域に及ぶことが好ましい。光路長変化が最初に一方の基準アームにおいて作用し、その後、他方の基準アームにおいて作用するように、2つの基準アームのビームは、この1つの光路変更素子上に平行に導かれるのではなく、互いにオフセット角を成して(言い換えると、斜めに)導かれる。このように順次に作用することによって、層の前面及び背面(又は分離の開始及び分離の終了)に対応する干渉が常に、時間的に次々に生じることになるので、それらの干渉を互いから十分に分離することができる。ここで、少なくとも2つの干渉アームからの2つの信号を分離するために、所定の時間期間にわたって基準アームにおいて放射の反射が生じない中断時間が生じるように、少なくとも2つの基準アーム、及び回転式光路長変更素子の位置合わせをすることができる。
光路変更素子の回転軸は、側面の平面に対して平行に配置されることが好ましく、各基準ビームは回転軸に対して垂直に(言い換えると、回転軸に対して垂直な幾何学的平面において)、関連する側面に突き当たる。各基準ビームは、そのように導かれる必要はない。斜めの角度で(言い換えると、90度ではない角度で)突き当たることも可能であり、それによって、光路長が変化する長さが可変になるであろう。しかしながら、達成されるべき光路長変化の確定、及び回転角にわたって可能な限り直線的な光路長の変化は、軸に対して垂直な構成である場合に、最も簡単に設計し、計算することができる。
測定アーム及び基準アーム内の放射は常に、可能な限り放射導体内で導かれる。光路変更素子及び測定物体並びに他の光学素子の上流及び下流においてのみ、放射導体に対して分割及び結合する必要がある。測定アームの光路全体及び基準アームの経路において、可能な限り放射導体を用いることによって、ロバスト且つ干渉のない装置を設計できるようになる。したがって、以下の説明では、関連する放射が放射導体内で導かれるのではなく、それゆえ自由空間内にあり、ビーム構成だけを示すときには必ず、ビームと言われる。放射導体内では、放射と言われる。
測定アーム内の層の表面及び底面においてあまり反射しない場合であっても、識別することができる干渉信号を得るために、測定アーム内の測定放射は、層の表面又は底面上に合焦される。その測定方法は非常に高感度である。その目的は、層の表面又は底面にそれぞれ入射する放射強度の少なくとも10−4%を反射することである。しかしながら、この合焦は、光路長変更素子の回転と同期して、又はその回転と共に周期的に実行されなければならない。言い換えると、たとえば、一方の基準アームが、光路長変更素子と共に、層の表面を測定するときには必ず、測定ビームも層の表面上に合焦させる必要があり、その後、他方の基準アームが層の底面を測定するときには、測定ビームは層の底面上に合焦されなければならない。
この目的を果たすために、欧州特許第0 877 913号には、正方形の断面を有し、たとえば、2.5Hzの回転数において動作する光路変更素子が詳述され、その場合、以下に説明されるように、基準アームが2つしかない事例では、結果として、焦点毎に20Hzの切替頻度が生じることが注目され得る。
その中を基準放射が進行する正方形の断面の代わりに、当然、断面として他の正多角形を用いることもできる。断面として正多角形を用いることに加えて、独国特許第34 46 014号と同じように、外側を銀でめっきしている星形の断面を用いることもできる。
その断面は一般的に正多角形として設計されるが、そうである必要はない。不規則な多角形を用いることもできる。しかしながら、この場合、個々の変更光路長がそれぞれの回転角と組み合わせて供給されるようになるので、基準アームの基本光路上に重ね合わせられる変更光路は、放射の入口に応じて、特定の多角形表面を通じて異なる長さを有し、必ずしも障害にはならないことがある。独国特許第34 46 014号の不規則な星形も、同じようにして用いることができる。
ここで、合焦レンズを適切に動かすことによって、焦点を動かすことができる。ここで、レンズを動かすことは、レンズがビーム軸上で正確に動かされなければならないという不都合がある。正確に動かされないと、層の表面上の測定点と底面上の測定点との間に横方向の位置ずれ(傾き)が生じることになり、「斜めの」層厚が測定されてしまうであろう。
ここで、合焦レンズを動かすのではなく、対応する合焦レンズの上流又は下流の非平行ビーム光路内に、所定の厚みから成り、所定の屈折率を有する透過性の材料を導入することが提案される。その材料がビーム光路内に導入されている場合には、材料がビーム光路内から取り外されている場合と比べて、結果として焦点が動かされる。ここで、平行平面形の櫛歯を有する透過性の「櫛状物」を適切な速度でビーム光路の中に押し出すことができ、その場合に、櫛歯は焦点位置を規定することになり、間隙が、動かされた別の焦点位置を規定するであろう。3つ以上の異なる焦点が必要とされる場合には、それぞれの場合に、異なる厚みを有し、平行平面の表面及び背面を有する、多段の櫛歯を設計することができる。
しかしながら、直線的な変位を用いることは、一度その中を通った後に、反転位置で適切に加速しながら反対方向に櫛状物を動かさなければならないという不都合があり、これは、歯の異なる幅及び間隔の原因となる。このため、焦点を迅速に動かすために、矩形歯システムを有する回転式円板を用いることが好都合であり、歯領域は、透過性であり、適切な屈折率及び適切な厚みを有するように選択される。
上記で略述されたように厚みを求めることは、説明されたように実行することができる。しかしながら、測定されることになる層は平面でないことが多い。この典型的な一例は、人の目の角膜である。眼球の長さ、角膜の厚み又は水晶体の厚みに加えて、ここで、目の治療を提供するために同時に、水晶体の表面曲率を求めることも特に重要である。
上記で略述された簡単な直線的な測定(たとえば、厚みの測定)に加えて、さらなる幾何学量としてトポグラフィをさらに同時に求めることができるようにするために、種々の輝度によって生成される光学構造が、測定されることになる物体、この場合には目の上流において用いられる。この構造の放射は、目の表面によって反射され、結像されて、その像が評価される。物体の上流に配置される概ね平坦な構造がわかっているので、その像から曲率を推測することができる。
層の厚み及び長さを求めること、及びトポグラフィを求めることは、光学的に実行される。ここで、光学的な方法のために用いられる放射が互いに干渉しないことを確実にすべきである。ここで、幾何学量を求める2つの方法の場合に、放射を異なる変調周波数で変調するか、又は異なる偏光で動作することができるであろう。しかしながら、異なる放射波長で動作することが好ましい。異なる波長のビームを重ね合わせることができるようにするために、一方の放射を反射することによって、その放射を偏向すると共に、可能な限り損失を生じることなく、他方の放射を透過する波長選択ミラーが用いられる。マイケルソン干渉計の測定ビームを反射することによって、そのビームを偏向すると共に、トポグラフィを求めるための放射を透過できるようにすることが好ましい。当然、逆に処理することもできるであろう。
測定されることになる表面の上流に配置されることになる光学構造として、長く知られているプラシード円板を用いることができる。しかしながら、所定の構造に配置される放射源を用いることが好ましい。光源の空間的な構造から表面曲率を推測することができる方法は、たとえば、独国特許第43 25 494号、米国特許第5,325,134号、独国特許第251 497号、米国特許第5,684,562号において、及びM. R. Morelande他による論文「Automatic Estimation of the Corneal Limbus in Videokeratooscopy」(IEEE 2002, pages 1617-1625, Trans. on Biomedical Eng., vol. 49, no. 12, Dec.)に記載される。
放射源としてLEDを用いることが好ましい。評価中に放射(光)スポットの質量中心を効率的に求めることができるようにするために、ビーム光路内のLEDの上流に、拡散スクリーンを配置することができる。さらに、角膜が大きく変形しており、その測定時に、多数のLED像が重なり合うことがある場合に、LEDをそれらの像に一意に指定するために、異なる波長のLEDを順番に用いることができる。拡散スクリーンを用いることは、拡散スクリーンを用いない場合よりも、大きなラジアンス(輝度)のLEDを用いることができるというさらなる利点もある。
マイケルソン干渉計を時間領域光コヒーレンストモグラフィ(TDOCT)として動作させる代わりに、スペクトル領域光コヒーレンストモグラフィ(SDOCT)に変換して動作させることもできる。SDOCTは、非常に迅速に測定する手段であり、それゆえ、たとえば、トポグラフィ又は3次元トモグラフィの測定中に生じる数多くの測定点を処理するのに特に適している。それゆえ、上記で略述したように多数のLED放射源を用いる代わりに、後に述べられるように、SDOCTを用いてトポグラフィを求めることもできる。
本発明の設計のさらなる変形及びそれらの利点は、以下の本文から明らかになる。
本発明の装置及び本発明の方法の例が、図面を用いて、以下にさらに詳細に説明される。
「マイケルソン干渉計」タイプの光学的な構成による本発明の装置の1つの例示的な実施形態が図1に示される。「マイケルソン干渉計」タイプの光学的な構成において、その装置は放射源1を有し、その放射源の放射は短いコヒーレンス長を有する。そのコヒーレンス長は、測定されることになる厚み及び光路長よりも著しく短く、2μm〜100μmの範囲内にある。10μm〜20μmの範囲内で動作するのが普通である。コヒーレンス長が短くなるほど、正確に測定できるようになる。それゆえ、可能な限り広帯域の出力放射を有する放射源1が選択されるであろう。スーパールミネッセントダイオード(SLD)、発光ダイオード(LED)、白色光源、又は自然放射増幅光(ASE)、たとえばレーザでポンプされる固体の放射)による光源を、放射源1として用いることができる。この放射は、単一モードファイバ3aに結合される。
単一モードファイバ3aは、放射減衰器5に導かれる。放射減衰器5として、たとえば、2つの単一モードファイバ間の接続損(図示せず)を用いることができる。放射減衰器5は、以下に説明される、基準アーム及び測定アームによって逆反射される放射を、放射源1の方向において減衰させる役割を担うことができる。一例として、SLDの場合、放射源1の中に逆反射されるASE又はダイオードでポンプされる固体放射は、放射の働きに悪影響を及ぼすことがある。それゆえ、放射減衰器5は、この悪影響を最小限に抑える役割を果たす。この時点でおそらく減衰している放射源1からの放射は、放射減衰器5から単一モードファイバ3bの中に導かれ、偏光コントローラ7まで進む。偏光コントローラ7を用いて、コントローラを横切る放射の偏光状態が設定される。放射減衰器5及び偏光コントローラ7はオプションであり、本発明の装置にとって不可欠ではない。
放射源1の放射はさらに、単一モードファイバ3cによって、3×3単一モードファイバカプラ9上に導かれる。単一モードファイバカプラ9は、放射源1の放射を、2つの基準アーム11及び12、並びに測定アーム13に分割するために用いられる。3×3単一モードファイバカプラ9の残りの2つの出力は、それぞれの放射導体10a及び10bによって検出器15又は16にそれぞれ接続され、それらの検出器は、その一方において検出電子装置17に接続される。検出器15は、測定物体19によって反射される放射と、基準アーム12内の反射された放射との間の干渉を検出する。検出器16は、測定物体19によって反射された放射と、基準アーム11内の反射された放射との間の干渉を測定する。
測定アーム13は単一モードファイバ14aを有し、その単一モードファイバ14aの一端が単一モードファイバカプラ9に接続される。単一モードファイバ14aの他端は偏光コントローラ18に接続され、偏光コントローラ18からのさらなる単一モードファイバ14bが、後にさらに詳細に説明される測定ヘッド20に導かれる。その後、放射は、測定ヘッド20から、自由空間ビーム22として、測定物体19(ここでは、目)まで進む。
基準アーム11及び12は、測定物体19の中、又はその上で測定されることになる層厚又は長さに応じて、異なる基本光路長を有する。素子軸21を中心にして回転することができる同一の光路長変更素子23が、基準アーム11及び12の両方において動作する。
基準アーム11及び12は、それぞれの単一モードファイバ25a又は26aによって、3×3単一モードファイバカプラ9と接続される。単一モードファイバカプラ9とそれぞれ反対側にある、単一モードファイバ25a又は26aの端部は偏光コントローラ27又は29に接続される。単一モードファイバ25b又は26bはそれぞれ、それぞれの偏光コントローラ27又は29から、光学ユニット31又は32に導かれ、光学ユニット31及び32はそれぞれ、特に単一モードファイバ25b又は26bにおいて導かれる放射を、自由空間ビーム33a又は35aに変換する。2つの自由空間ビーム33a及び35aは互いにオフセット角δを成して(それゆえ、平行ではなく)光路長変更素子23上に導かれ、後に説明されるように、光路長変更素子23が特定の回転位置を有する場合には、光路長変更素子23によって、それらの自由空間ビームは、それぞれの場合に光学ユニット31又は32内のミラー37又は39上に導かれ、ミラーによって反射され、光路長変更素子23を介して、単一モードファイバ25b又は26bの中に戻される。角度の許容値によるが、オフセット角δは、光路長変更素子23のコーナ角γの半分の大きさである。選択される角度許容値は、利用可能な光路長変更長に影響を及ぼす。選択される角度許容値が大きくなるほど、光路長変更長が小さくなる。ここで選択された例では、光路長変更素子23の正方形の断面が選択されているので、オフセット角δは45度である。ここで選択される光路長変更素子23は、1.5の屈折率と、たとえば、40mmのエッジ幅lとを有する。それゆえ、±5度の角度許容値が用いられるであろう。
各光学ユニット31又は32は、偏光コントローラ27又は29と反対側にある、単一モードファイバ25b又は26bの端部を握持するフェルール41a又は41bを有する。フェルール41a及び41bの下流では、単一モードファイバ25b又は26bにおいて導かれる放射が、自由空間ビーム42a又は42bとして伝搬し、レンズユニット43a又は43bによってコリメートされ、自由空間ビーム33a又は35aが形成される。ここで、レンズユニット43a又は43bとして、色消しの単一のレンズ又はレンズ系を用いることができる。それぞれのミラー37又は39によって逆反射されるビームは、レンズユニット43a又は43bによって、フェルール41a又は41bを介して単一モードファイバ25b又は26bに結合される。
特に欧州特許第0 877 913号に記載されるような光路長変更素子23が、種々の回転角度位置において、図2a〜図2cに拡大して示される。以下で検討することは、図1に示される基準アーム12に関連し、且つその基準アームの自由空間ビーム35a、及び光学ユニット32内に示されるミラー39に関連する。素子23は、図示されない駆動部によって矢印45に従って回転するように設定することができる。素子23の断面46が図2a〜図2cに示されており、その断面は、素子軸21に対して直角を成し、その中には第2の基準ビーム35b、35c及び35dが存在するようになり、その断面46は、ここで選択される説明の例では、90度のコーナ角γを成す4つの角47a〜47dを有し、正方形に設計される。言い換えると、その素子23は、正方形の底面又は断面を有する真直ぐな柱状体である。回転軸21は、柱状体の軸と同一である。素子23の柱状体側面49a〜49dはそれぞれ、素子23内に位置する成分ビーム35c、又は第2の基準アーム12の基準ビームの逆反射した成分ビーム35dを最適に反射するように選択される部分コーティング50a〜50dを設けられる。ここで一例として示される壁部49bにおけるビーム35b又は逆反射したビーム35cの反射点51では、全反射が生じるので、反射コーティングは不要である。コーティング50a〜50dはそれぞれ角(エッジ)47a〜47dから始まって、距離a(図2a)にわたって、関連する側面49a〜49dの中に延在する。各角47a〜47dから始まって、それぞれ、2つの隣接する側面のうちの一方だけ、具体的には、それぞれの場合に、反射したビームが入力ビームと鋭角βを形成する側面だけがコーティングされる。このために、特に図2cを参照されたい。
図2aに示される回転する素子23の瞬間位置では、その側面49aが、ミラー(反射器)39の表面に対して平行であるように示される。素子23に入射する基準ビーム35aは、ミラー39の図2a、図2b及び図2cに示される右側エッジ53の先に正確に導くことができるように導かれる。ミラー39(又は37)のエッジ53からの距離eは、正確に、立方体の辺の幅lの半分よりもわずかだけ小さくなるような大きさに選択される。30mmの面の幅l(上記の40mmと比較されたい)を有する、ここで選択される参照例の場合、基準ビーム35aは、中央回転軸21からの13mmの距離eにおいて、且つミラー39(又は37)の右側エッジ53から約1mmの距離において照射される。
図2aの図と比較すると、図2bは、例示的な20度の角度αだけ回転している素子23を示す。屈折すると、ビーム35aは、ビーム35bとして、素子23の透過性の媒質に入り、表面49bにおいて、全反射される。突き当たるビーム35bと、反射したビーム35cは、互いに鈍角を形成する。反射したビーム35cは、表面50cの内側に突き当たり、そこで、コーティングされた領域50cによって、ビーム35bに対して平行な、表面49aに向かうビーム35dとして反射される。2つのビーム35c及び35dは、互いに鋭角βを形成する。表面49aに突き当たるビーム35dは屈折し、ビーム35eとしてミラー39に垂直に突き当たり、そこで、約100%の反射で、表面49aに戻るように反射され、ミラー39において反射されたビームは、光路長変更素子23を横断した後に、最終的には、入射するビーム35aと同じ方向において、その素子から出射するようになる。図2b及び図2cを比較することから明らかであるように、ビーム35eの反射点54は、ミラー39(又は37)上であちこちへ動く。
ここで、素子23が回転することによる光路長変化Δsは、ビーム35a〜35eの変化する光路長の光路の2倍から成る。ビーム35b〜35dの場合に、その光路長が、それらのビームが進行する媒質の屈折率nによって確実に延長されることになる。図2cによれば、光路長変化Δsは、回転角α、ビーム入射の距離e、屈折率n及び表面49a〜49dの面の幅lの関数である。回転角αによる光路長変化Δsの計算は、欧州特許第0 877 913号において導出されており、45度の回転角にわたって、概ね線形な光路長変化をもたらす。
図2a〜図2cに詰め込み過ぎないようにするために、第2の基準アーム11の自由空間ビーム33aだけが示される。言い換えると、詳細には示されないビーム33a〜33dのビーム光路は、ビーム33aの場合に、対応する柱状体側面49a〜49d上に同一の角度で突き当たるビーム35a〜35dのビーム光路に対応する。図2aに示される素子23の位置にあるビーム33a〜33dのビーム光路は、図2cのビーム35a〜35dのビーム光路と同じであると見なされるべきである。それは、コーナ角の半分γ/2だけ回転した後に結果として生じる。それゆえ、対応する成分ビームは、丸括弧内に入れられる。その際、図2cのビーム35a〜35dのビーム光路は、図2aのビーム33a〜33dのビーム光路に対応するであろう。図2bに示される素子位置において突き当たるビーム33aはもはや、対応するミラー37に向かって反射されない。
上記で明記されたデータは、その放射源の放射の場合に、約1.5の屈折率を有する光路長変更素子の材料に関連する。さらに屈折率が高い材料が用いられる場合には、反射コーティング50a〜50dのコーティング幅aを短くして、基準アームの時間的な測定範囲を離しておくことができる。
基準アーム11及び12の光路長は、基準アーム11及び12によって利用できるようになる2つの測定範囲が、1つの空間内で互いに切れ目なく結合されることがないように設計することができる。目の後部の役割を担う基準アームが十分に長く設計される場合には、目の後部の役割を担う基準アームの測定範囲は、目19の最も深い場所にある、目の前部の役割を担う基準アームの位置よりも、所定の光路長だけ網膜の近くにある位置から始まる。この測定の結果として、前部の深さの走査と後部の深さの走査との間に走査ギャップが生じる。言い換えると、目の前部と目の後部との間には所定の距離(設計によって設定することができる)があり、その距離においては、反射性構造を測定することができない。
人の目の場合、この走査ギャップは、約4mm〜10mm程度の大きさになるように選択されるであろう。水晶体にわたって網膜まで角膜の深さの走査を記録するとき、そのような走査ギャップがあっても、情報の損失は最小限であり、無視できるほどである。なぜなら、この走査ギャップは、圧倒的な数の患者又は正常な被検者にとって、測定されるべき目の構造が存在しない目の領域内に置かれているためである。走査ギャップは、硝子体の最前部にある水晶体表面の背後に置かれる。走査ギャップの利点は、1つの軸を中心にして回転する光路長変更素子23が、必然的に、走査ギャップに対応する光路長だけ短い走査深さを利用することになることにある。それゆえ、側面49a〜49dの長さをさらに短くして光路長変更素子23を用いることができ、これによって、同じ走査速度でも、必然的に感度が高くなる。
2つの基準アーム11及び12内に、並びに測定アーム13内に配置される偏光コントローラ18、27及び29は、アーム11、12及び13内の放射偏光を適合させるという目的を果たす。2つの基準アーム11及び12の光路長差は常に、2つの基準アーム11及び12の基本時間遅延の差が、測定されることになる最大長、たとえば、眼球の長さの半分に対応するように設定される。
2つの基準アーム間の差がさらに大きい場合には、より長い距離を測定することもできるが、その間に存在する領域内の反射を検出することができないという制約がある。
時間に関して考えると、2つの干渉は、光路長変更素子23の回転の速度及び柱状体側面の数に応じて、次々に非常に迅速に生じる。距離、厚みを測定する場合に、従来技術では常に、時間をずらして2つの測定を行う必要があったが、本発明の場合には、測定されることになる物体が空間的に動いても、測定精度に及ぼす影響はごくわずかであるように、迅速に測定結果が出される。略述されたばかりの利点は、一般的にじっとしていることが難しいことがある子供の目に関する長さを測定する場合に、非常に役に立つ。
図1には詳細には示されない測定ヘッド20が、図3にさらに詳細に示される。測定アーム13の単一モードファイバ14bが測定ヘッド20に入る。ファイバ14bの端部には、保持する目的で、いわゆるフェルール57が配置される。ファイバ14bの中に導かれる放射は、所定の開口角において、ファイバコアに従ってフェルール57から出射し、レンズユニット59を有する合焦ユニット58を用いて、その厚みが求められることになる層の前面上に合焦する。ここで選択された例では、層を、目の角膜として与えることができる(測定物体19)。既に上述したように、それは、層厚を求める場合に、測定放射を前面上と、その後、背面上との両方において合焦することができるときに好都合である。ここで、層の背面上で合焦することが目的である場合には、所定の屈折率n及び所定の厚みdを有する平行平面板61が、フェルール57とレンズユニット59との間に、合焦ユニット58の一部として押し込まれる。この平行平面板61は、フェルール57内のファイバ端の像オフセットvを生成し、それゆえまた、物体の深さ方向に焦点を動かす。レンズユニット59の光学的な結像データと共に、ここでは、フェルール57内のファイバ端が層の背面上、すなわち、ここでは網膜上(目の背面)に結像されるように、平行平面板61の厚みd及び屈折率nを適切に選択することによって、その像オフセットが選択される。測定ビーム22内への平行平面板61の導入は、層の前面(平行板なし、すなわち平行板が引っ込められる)、又は層の背面(平行板が押し込まれる)を求める役割を担う基準アームによって光路長変更が正確に実行されるように、上記の光路長変更素子23と同期して行われる。
ここで、平行平面板61を出し入れする際にいくつか問題があるので、この代わりに、図4に示される回転式円板63を用いることが提案される。その円板では、円形リングからエッジセグメント64(「歯部」)が突出しており、その円板側面は、平行平面形で、且つ透過性であるように設計される。層の前面の測定中には、フェルール57から生じる測定放射は、円形リングのエッジセグメント64間の間隙65のうちの1つを横切り、層の背面の測定中には、円形リングのセグメント64のうちの1つを横切る。円板63の回転動作は、駆動部(図示せず)を介して、光路長変更素子23の回転に結合される。
冒頭で既に述べられているように、それは、特に人の目の場合に、層厚を求めることに加えて、関連する層のさらなる幾何学量としてトポグラフィも求めることができるときに好都合である。同様に図3に示されるように、測定ヘッド20は、表面のトポグラフィを求めるための付加的な構成要素を備えることができる。
異なる輝度から成る複数の領域を有する光学構造ユニット70が、そのトポグラフィが求められることになる表面、ここでは角膜69の上流に配置される。この構造が角膜上で反射して結像し、この像が評価される。その構造の形状はわかっているので、初めに述べられたように、その像内の形状から表面トポグラフィを推測することができる。
層厚を求めるための測定ビーム22は、構造ユニット70を通って中央に導かれることが好ましい。この目的を果たすために、ビーム22は、波長を選択するように動作するミラー71を用いて、レンズユニット59の下流に偏向される。このミラー71が動作できるようにするために、層厚の測定に関連する測定放射の場合と、構造の放射の場合とで異なる波長が用いられる。それゆえ、ミラー71は、測定放射を反射するが、「構造放射」を(概ね)損失することなく透過するコーティングを有する。後方に延長する部分では、ビーム22は、反射する構造を角膜表面69上に結像するための光軸68を規定する。
角膜表面69によって反射される構造を結像するために、下流にある絞りと共に、さらなるレンズユニット72が用いられ、角膜表面69をカメラチップ73の像平面上に結像する。レンズシステム72は、ミラー71とカメラチップ73との間に配置される。測定放射のための遮断フィルタ75が、ミラー71とカメラチップ73との間に配置され、ビーム22の測定放射が、トポグラフィ評価を妨害しないようにする。測定放射は、目を安定させるための視線固定放射として、患者に対して同時に用いることができる。カメラチップ73は評価ユニット74に接続され、評価ユニット74はさらに、検出ユニット17にも接続される。評価ユニット74は、既に上記で説明されており、後にさらに説明される装置の一部であり、測定される全てのデータを処理し送信及び表示する役割を果たす。
光学構造ユニット70の1つの例示的な設計79が図6に示される。構造ユニット79は、16個のLED80a及び80bを有し、それらのLEDは、8個ずつ2つの同心のリング82a及び82b内に配列される。2つの連続したLED間の角度の差は45度である。これらのLEDは、不可視領域、又はほとんど見ることができない赤外線領域において発光することが好ましい。この場合、患者の目は、不要な光刺激によってそらされない。3つ以上のリングを用いることもでき、リング当たり9個以上のLEDを用いることもできる。
その幾何学的な接続線が構造ユニットの中心81を通過する2つのLEDによって、2つのLED像の接続線間の平均曲率半径を測定できるようになる(すなわち、角膜の経線を測定できるようになる)。眼内レンズの屈折力を適合させるときに、それは主に、角膜経線の複数の曲率半径からの、対象となる、最も急峻な経線及び最も平坦な経線、又はその2つの経線の平均値である。最も急峻な経線及び最も平坦な経線の方向は必ずしも、測定される曲率半径のうちの1つの方向に対応する必要はない。最も平坦な曲率半径は、測定された曲率半径のうちの最長の曲率半径よりもわずかに平坦にすることができ、最も急峻な部分の曲率半径はさらに、測定された曲率半径のうちの最短の曲率半径よりもわずかに短くすることができる。
最も急峻な経線及び最も平坦な経線、並びに平坦な経線の軸角を計算することができるように、少なくとも5個のLEDを備えなければならない。曲率半径を測定するとき、全てのLEDが同時にオン及びオフに切り替えられる。
その接続線が必ずしも中心81を通過する必要がない2つの任意のLED間で平均曲率半径を計算することができる。この平均曲率半径は、2つの対応するLED間の接続線に突き当たる。単位表面当たりの測定可能な曲率半径の数は、備えられるLEDの数と共に増加する。十分に多くのLEDが与えられるとき、角膜のトポグラフィを計算することができる。測定する点(すなわち、LED)の数が多くなるほど、トポグラフィを正確に求めることができる。角膜の半径を測定するために、任意の数の同心リング、及びリング当たり任意の数のLEDを用いることができる。再び、任意の数の同心リング、及びリング当たり任意の数のLEDを視線固定放射体として用いることができる。用いられるLEDの数は、リングの直径及びLEDの寸法によってのみ上限を設けられる。
干渉計装置の測定ビーム22は、装置と、測定物体19としての角膜の前面との間の距離を測定するためにも用いることができる。この距離は、カメラチップ73上に結像される種々のLEDスポット間の距離が、LEDと、測定されることになる角膜の前面との間の距離の関数であるときに必要とされる。たとえば、コストの理由から、主にレンズユニット72のためにテレセントリックレンズが用いられないときに、この距離への依存性が実質的に持ち出される。その際、その距離を測定することによって、距離に関する情報がない場合に可能である計算よりも、角膜の曲率半径を厳密に計算できるようになる。角膜の前面まで測定されることになる距離は、基準アーム11又は基準アーム12のいずれかを用いることによって求められる。
LEDの実装密度(packing density)は限られる(個々のLEDは所定の幾何学的大きさを有する)ので、多数のLEDによって後方から照射されるピンホール絞りを用いることができる。ピンホール絞りの穴の直径は、各LEDの大きさよりも著しく小さいように選択することができる。それによって、さらに多くの数の発光点を得ることができる。ピンホール絞りは必ずしも円形の穴を有する必要はなく、線が存在することもできる。これらの線を同心円として、及び同心円と、それを横切るビームの組み合わせとして設計することができる。
図3に示されるように、LEDの上流に拡散スクリーン83を配置することもできる。拡散スクリーン83は、測定されることになる表面上に輝度スポットを生成し、その輝度スポットの横方向への広がりは、LED放射角、拡散スクリーンの厚み及び拡散スクリーン83と関連するLEDとの間の距離から生じる。拡散スクリーン83は不可欠ではない。拡散スクリーン83が存在しない場合には、カメラチップ上に結像されるLEDは、より小さな直径を有する。結像される直径が過度に小さくなると、とりわけ、結像されるスポットの質量中心を求める際の精度が低下することがあるという不都合がある。一般的に、わずか数ピクセルしかないスポットでは、それよりも多くの数のピクセルを有するスポットよりも、測定精度が低下することがある。拡散スクリーン83が用いられる場合には、目に照射される強度が低くなるので、さらに高輝度のLEDを用いることができる。
図6に示される構造ユニット79の場合、不可視領域、又はほとんど見ることができない領域において発光するLED80a及び80bが用いられた。ここで、図7は、径方向に配列され、好ましくは赤外線領域において発光するLED89aと89bとの間に、可視領域において発光する、さらなるLED90が配置される光学構造ユニット87を示す。ここで、これらのLED90のうちの1つがオンに切り替えられる場合には、患者は周縁の視線固定点を提供される。ここで、患者がこの光刺激に視線を固定する場合には、その患者はこの点に目の軸を動かすので、周縁の眼内距離、長さ又は厚みを干渉によって測定するために、測定ビーム22を用いることができる。既知の装置とは対照的に、装置を回転させる必要はない。
測定ビーム22による4つの周縁測定が、経時的に連続してオンに切り替えられる4つの異なる可視LED90(視線固定LED)を用いて連続して実行される場合には、そこから、埋め込まれた眼内レンズ(IOL)の傾斜を測定することができる。図12は、経時的に連続してオンに切り替えられる2つの水平方向のLED90を用いて、水平方向の傾斜を測定することだけを示す。2つの測定結果として、距離DL(「左への距離」)が距離DR(「右への距離」)に等しくないことが明らかになる場合には、IOLは水平方向において傾いている。垂直方向の傾斜を測定するためには、2つの垂直方向のLED90が、経時的に連続してオンに切り替えられなければならない。傾斜を知ることによって、医師は、傾いた眼内レンズを矯正するための判断の根拠を与えられる。
図8は、光学構造ユニット70及び87に関連する、さらなる変形形態91を示す。この構造ユニット91は、角膜の前面を測定することができるだけでなく、角膜の背面、並びに水晶体の前面及び水晶体の背面も測定することができる。ここに示される例では、同心円95a〜95d上に配列される4つのLED97がそれぞれ、中心93に対して放射状の星形を成している8つのブランチ94a〜94hの配列内に存在する。ブランチ94a〜94hのLEDはそれぞれ、内側から外側に向かってブランチの文字によってさらに符合を付される。それゆえ、ブランチ94aの最も内側にあるLEDは、表示94aを有し、ブランチ94aの最も外側にあるLEDは、表示94aを有する。円柱レンズ99がそれぞれ、各ブランチ94a〜94h上に配置される。8個の円柱レンズ99が、LED97を、角膜と水晶体との間の領域上に合焦する。ここで、LEDの列、たとえば、中心93を横切る接続線上に位置するLED97a〜97a及び97e〜97eがオンに切り替えられる場合には、目において光ギャップが生成される。その後、LED97a〜97a及び97e〜97eが、短い遅延時間でオフに切り替えられ、その後、LED97b〜97b及び97f〜97fがオンに切り替えられる。その後、LED97b〜97b及び97f〜97fがオフに切り替えられ、LED97c〜97c及び97g〜97gがオンに切り替えられる。それ以降も同様である。これは、中心93を中心にして回転する光ギャップを生成する。図3のカメラと同じように中心に配置されるカメラが、円柱レンズ99によって目の中に投影される一連の光ギャップを視認する。2つの周縁に配置されるカメラ(図示せず)(たとえば、1つは垂直方向に、もう1つは水平方向に配置される)によって、光ギャップをさらに測定できるようにする。カメラチップ上に現れる光ギャップの位置から、角膜の背面のトポグラフィ、前眼房の深さ(3次元)、水晶体前面及び水晶体背面のトポグラフィ、水晶体の厚み(3次元)並びに水晶体混濁を計算することができる。上記の干渉計装置(図3を参照)は、カメラ像の生成中に存在する距離を求めるために用いられる。その際、カメラによって測定された表面は、測定された距離を用いてさらに補正される。
図8の例示とは対照的に、別の数のLEDを用いることもできる。点状のLEDの光スポットが互いの中に流れ込むようにするために、LEDと円柱レンズとの間に、好ましくは直線的に動作する拡散板(図示せず)をさらに配置することができる。それによって、均一に照明される光ギャップを生成することができる。
LEDを連続してオン及びオフする代わりに、全てのLEDをオン状態にして、その上で回転式の機械的なギャップを動かすこともできる。
図8に示される8個の円柱レンズ99の代わりに、互いに位置合わせされた2つの円柱レンズを有し、中心93を中心にして回転する一対の円柱レンズ(図示せず)だけを用いることもできる。
図4に示されており、円形リングの断片を有する回転式円板63は、2つの異なる焦点への測定放射の合焦を切り替えるという目的を果たす。ここで、その目的が、3つ以上の焦点へ切り替えることである場合には、そのセグメントは、切り替えられることになる焦点の数に応じて、対応する数の平行平面形の段を有する必要がある。そのような段を作り出すことはできるが、困難を伴い、高いコストがかかるのは避けられない。それゆえ、そのような段を得るために、円形リングのセグメントに類似の対応する切欠きを設けられた多数の平行平面円板131及び132が互いに重ね合わせられて、図5(a)〜(d)に示されるような焦点移動デバイス130が形成される。ここで、図5(a)に示される円板131は、たとえばその輪郭が、図4に示される回転式の平行平面円板63に対応するが、その場合厚みが異なる場合がある。たとえば、目の検査の場合、たとえば、基準アーム11の動作中の円板131の目的は、焦点を角膜表面から網膜に動かすことであり、その円板は厚みbを有する。角膜は常に、測定ビームが円形リングの空きセグメント133を通過する度に合焦されることになり、網膜は、ビームが円形リングのエッジセグメント135の透過性材料を通過するときに合焦されることになる。上記で述べられたことは、図3のフェルール57とレンズ59との間の距離が、レンズの焦点距離よりも長い場合に有効である。逆の場合には、すなわち、フェルール57の距離が、レンズの焦点距離よりも短いものとすると、測定ビームが円形リングの空きエッジセグメントを通過するときに、網膜が測定される。ビームが円形リングの透過性のエッジセグメントを通過するときに、角膜が測定される。白内障患者の場合には特に、正常な網膜の場合よりも網膜信号が弱いので、白内障患者の場合、後者の設計が用いられることが好ましい。
それぞれの場合に、円形リングの4つのセグメント133及び135が存在し、これらのセグメントは交互に配置される。円形リングの各セグメント133及び135の中心角φは45度である。円形リングのセグメント133の外側円弧は半径rを有し、円形リングのセグメント135は、Δrだけ大きな半径rを有する外側円弧を有する。Δrは、測定ビーム22が十分な空間を有するだけの大きさになるように選択される。したがって、常に、円形リングの2つの同一のセグメント133及び135が互いに向かい合って対角線上に存在する。
その際、図5に示される第2の円板132は、基準アーム12が水晶体内に焦点を合わせるように動作している間に、その役割を有し、厚みbを有する。回転式の平行平面円板132の厚みbは、円板131の厚みbとは異なる。円板132は、透過性材料から成る、円形リングの2つのエッジセグメント137を有し、それらのエッジセグメントは、互いに向かい合って対角線上に位置し、それぞれ45度の中心角p及び半径rを有する。それゆえ、円形リングのセグメント137の間に存在する円形リングの空き部分139は、135度の中心角p及び半径rを有する。
図5(c)に示されるように、2つの円板131及び132は、一方では、その回転軸141及び142が位置合わせされ、他方では、透過性材料から成る、円形リングのセグメント137がそれぞれ、円形リングの4つの空きセグメント133のうちの2つの背後に存在することになるように、互いに重ね合わせられる。
図5(c)では、測定ビーム22は、円形リングの空きセグメント133及び137(領域A)内に厳密に配置され、結果として、眼の検査の上記の例では、角膜上に合焦される。合焦ユニット58の焦点移動デバイス130が、図5(c)の回転矢印143の方向にさらに回転すると、測定ビーム22は、透過性材料から成り、大きな厚みbを有する、円形リングのエッジセグメント135(領域B)を通過し、結果として、網膜上に合焦することになる。さらに回転した後に、測定ビーム22は、透過性材料から成り、薄い厚みbを有する、円形リングのエッジセグメント137(領域C)を通過し、その結果として、水晶体内に焦点が合わせられ、その厚みが求められる。さらに領域Dまで回転する場合には、測定ビーム22は再び、厚みbを有する材料を通過し、それゆえ、領域Bと同じように、網膜上に合焦する。領域Eでは、測定ビーム22は空気だけを通過するので、角膜上に合焦する。領域Fでは、再度、網膜上に合焦し、領域Gでは、水晶体の厚みが測定され、領域Hでは、再度、網膜上に合焦する。それゆえ、ここで説明された構成を用いて、1つの測定方法において、眼球の長さ及び水晶体の厚みを求めることができる。
上記で略述された焦点移動デバイス130は、空き円弧部分を有する2つの回転式円板で動作する。焦点のそれぞれの位置は、その時点で通過される材料のそれぞれの厚みによって、及びその屈折率によって決定される。ここで、個々の円板の厚みを合計して、全厚を形成するように、焦点移動デバイスを設計することもできる。しかしながら、その際、望ましくない反射を引き起こすことになる空隙がプレート間に生じないようにしなければならない。しかしながら、2つの円板の代わりに、さらに多くの円板を用いることもできる。再び、上記で略述された3つの焦点の代わりに、さらなる焦点が生成されるように、さらに細分することもできる。
当然、2つの基準アーム11及び12のみを用いる代わりに、互いに適切な角度を成す3つ、4つ及び5つ以上の基準アームを用いることもできる。個々の基準アームは、単一の光路変更素子の上流において、光路変更素子の回転と同期して、適切なビーム遮断装置を用いて接続及び分離することができる。
欧州特許第0 877 913号に記載され、図1、図2a、図2b及び図2cに示される光路長変更素子23の代わりに、独国特許第34 46 014号の図1〜図3に示される光路長変更素子に多少変更を加えて利用することもできる。光路長変更素子23は、使用中に、基準ビームによって透射される。対照的に、図9に示される光路長変更素子103の場合、基準ビームは、その表面において反射される。基準ビームは、光路長変更素子103には入射しない。光路長変更素子103は、同じように、軸105を中心にして回転する回転体として設計される。銀めっきされた外面109a〜109lを有する6つの二等辺ルーフプリズム107a〜107fが、真直ぐな円柱体106上に配置される。円柱体106上にあるルーフプリズム107a〜107fの底面において接する外面109a/109l、109c/109b、109e/109d、109g/109f、109i/109h及び109k/109jはそれぞれ、互いに直角εを成す。基準アーム12と同じように設計される基準アーム112の自由ビーム111aは、開口部113を通じて導かれ、図9において開口部113の上には、ビーム111aに対して垂直に延在し、ビーム111aの放射を概ね100%反射するように設計されるミラー115が配置される。ビーム111aの放射に対する吸収体116が、開口部113の下に配置される。図9に示される、光路長変更素子103の位置では、ビーム111aは側面109aに突き当たり、ここからビーム111bとして側面109lに反射され、それによって、ビーム111aと平行に、ビーム111cとしてミラー115上に導かれ、側面109lに向かって逆反射され、反射ビームとして、再び開口部113を通過する。直角εのために、図9に破線によって示されるように、光路長変更素子103が矢印118の方向に、或る角度だけさらに回転している場合であっても、ミラー115に突き当たるビームは、常に元の側面に向かって逆反射される。ビーム111cが突き当たる点117は、ビーム111aがルーフプリズム107aの先端119a上に入射するまで、図9に示される開口部113から上方に離れる。光路長変更素子103がさらに回転すると、ビーム111cは、開口部113から離れるよう進み、その後、開口部113の方向に進み、吸収体116に突き当たる。言い換えると、ここでは、ビームは反射しない。
基準アーム11と同じように設計される第2の基準アーム120のビーム121は、開口部122を通過し、ビーム111aが先端119aに突き当たる瞬間に、ルーフプリズム107fの先端119fに突き当たり、面109lがさらにわずかに回転した後に、面109a上に反射され、それによって、ミラー123上に反射され、そこから、再び反射して面109aに戻され、反射したビームが再び開口部122を通過するようになる。ビーム121が面109aに突き当たるまで、光路長変更素子103がさらに回転した場合には、面109lにおいて反射されたビームは、図9に示されるように、開口部122の斜め上の吸収体125上に再び入射する。2つの入射ビーム111a及び121は互いにオフセット角δを成す。或る許容範囲を除いて、オフセット角δは、ルーフプリズムのぞれぞれの隣接する先端の中心角に対応する。ここで、選択される許容範囲が大きくなると、それと共に光路長変化は小さくなる。
ビーム111cが反射体115に突き当たるとき、反射によって偏向されるビーム121は吸収体125に突き当たる。反射したビーム119がミラー123に突き当たるとき、ビーム111cは吸収体116に突き当たる。
6個のルーフプリズム107a〜107fで光路長変更素子103を設計する代わりに、別の数のルーフプリズムを用いることもできる。しかしながら、隣接する面は、円柱体上で常に90度の角度を成して接しなければならない。
欧州特許第0 877 913号に記載される光路長変更素子23が図2a〜図2cに示されており、この場合には、角47a〜47dから始まる柱状体側面49a〜49dは、部分的に約100%であるコーティング50a〜50dだけを有する。図10に示される光路長変更素子の変形形態147の場合、同じように正方形の断面を有するが、2つの隣接する柱状体側面149a及び149bは、その全体にわたって概ね100%反射コーティングを設けられ、他の2つの柱状体側面151a及び151bは、反射コーティングは設けられず、反射防止コーティングを設けられることが好ましい。その光路長変更素子147は、同じように、回転軸152を中心にして回転する。光路長変更素子147の材料用の屈折率がn=1.5であるとすると、光路長変更を中止することなく、0度〜58度の回転が可能である。これによって、それぞれの場合に1つの基準アームにおいて、図2a〜図2cに示される光路長変更素子23と比べると、柱状体側面のための最大限可能な走査の深さが大きくなる(光路長変更素子23の場合には、回転によって動くことが可能なのは、最大で44度までに過ぎない)。一部だけが反射コーティングを設けられる場合(光路長変更素子23)と比較すると、側面の長さ全体を覆う反射コーティング(光路長変更素子23)の場合、基準アーム当たり実行することができる測定が、1回転当たり4回ではなく、2回だけであるという不都合がある。側面全体をコーティングする場合に、2つの基準アームの走査時間中に、干渉する時間が重ならないようにするために、光路長変更素子147に突き当たる、2つの基準アームの2つのビーム154aと154bとの間の角度δは、45度ではなく、少なくとも58度でなければならない。
図11は、時間領域光コヒーレンストモグラフィ(TDOCT)155及びスペクトル領域光コヒーレンストモグラフィ(SDOCT)156を用いて、透過性又は拡散性の物体上で少なくとも1つの幾何学量を求める装置を示す。TDOCT155の構成要素は破線によって囲まれ、SDOCT156の構成要素は一点鎖線によって囲まれる。TDOCT155は基本的には、図1に示される構成要素を含む。TDOCT155をSDOCT156に接続することによって、ここで、これら2つのトモグラフィの利点を互いに組み合わせることができる。厚み、距離及び/又は長さを求めることに加えて、ここでは、トポグラフィを迅速且つ正確に求めることができる。この組み合わせた測定は、確かに、上記のような測定ヘッド20を適切に設計すれば、図1に示される上記の装置を用いて実行することもできるが、上記のLED構成の代わりに、SDOCT156を用いることによって、トモグラフィデータを、さらに厳密に、且つさらに迅速に求めることができるようになり、さらに、物体の内部のトポグラフィを求めることもできる。
SDOCT156単体については、たとえば、R. A. Leitgeb、W. Drexler、A. Untergrube、B. Hermann、T. Brajraszewski、T. Ie、A. Stingl、A. F. Fercherによる論文「Ultrahigh Resolution Fourier Domain Optical Coherence Tomography」(Optics Express, vol.12, No. 10, 17 May 2004, pages 2156-2165)に記載されているが、そこでは、トポグラフィを求めるために用いられるのではなく、層厚を求めるために用いられる。
一例として目に対して使用する場合、TDOCT155とは対照的に、SDOCT156の場合、最大限可能な走査の深さは典型的には、数ミリメートルに制限されるので、SDOCT156は、目の前部又は目の後部のいずれかを測定する。このような制限がある1つの理由は、カメラ線159内に存在する利用可能なカメラピクセル157の数に制限があることである。各線159のピクセルは典型的には1000ピクセルである。SDOCT156とは対照的に、TDOCT155は、典型的には30mm〜40mmの長さを測定することができる。しかしながら、SDOCT156の測定感度及び走査速度は、TDOCT155よりも数倍大きい。高感度且つ高速であるため、SDOCT156は、以下に記載されるミラー189が、測定ビーム186aを1つ又は2つの方向にどのように反射するかに応じて、測定物体において、表面(2次元)又は典型的には3mmの深さを有する体積(3次元)を走査するために用いられる。SDOCT156とは対照的に、TDOCT155は、測定物体において1次元だけの測定を行う。
図11に示されるTDOCT155は基本的には、図1において既に示されている構成要素を有し、図1の構成要素と同一の構成要素は同じ参照符号を有する。したがって、図1と同じように、放射源1と、放射減衰器5と、偏光コントローラ7と、同じように設計され、光路長変更素子23を有する基準アーム11及び12とが存在し、光路長変更素子23は、光路長変更素子103又は147として設計することもできる。さらに、図1に示されるように、TDOCT155は、2つの検出器15及び16と、検出電子装置17とを有する。しかしながら、図1に存在する測定ヘッド20、及び単一モードファイバカプラ9の設計は異なり、以下に説明される。
上記で既に仕様が定められている構成要素に加えて、図11に示される構成は、4×4単一モードファイバカプラ160を有し、それは、図11では、その右側において、放射導体3c、10b、10aに、さらには放射導体161に接続されており、放射導体161は分光器163に導かれる。
分光器163は、放射導体161から出射する放射165をコリメートするレンズ164を有する。コリメートされた放射167は回折格子169に導かれる。回折格子169は、回折格子169に突き当たる放射167に含まれる各波長を別の方向に反射する。波長成分に分解された、この放射170は、合焦線171によって、カメラピクセル157を有するカメラ線159上に合焦される。それゆえ、各ピクセル157は常に、非常に具体的に決められた波長領域だけを受光する。物体19において生じる様々な反射の位置、それゆえ、トポグラフィ及び/又は経線は、カメラピクセルによって検出される波長領域の強度を求めることによって、且つ評価ユニット173内の数学的変換(フーリエ変換)を用いて、求めることができる。
図11の左側では、4×4単一モードファイバカプラ160が、2つの基準アーム11及び12と、測定アーム13とは異なる測定アーム175と、さらなる基準アーム176に接続される。基準アーム176は、単一モードファイバ177aを介して、結合器160に接続される。単一モードファイバ177aの他端は、たとえば、圧電作用によって動作するオプションの位相変調器179に接続され、さらに、単一モードファイバ177bを介して、オプションの偏光コントローラ180に接続される。偏光コントローラ180から生じる放射はミラー181に達し、そのミラーによって、放射は反射され、上記の構成要素を介して、結合器160に戻される。
結合器160に接続される測定アーム175は、図1に示される偏光コントローラ18を有し、さらに、自由空間放射を生成するためにフェルール57を有する。上記のように、焦点調整は、レンズと、光学素子61、63又は130と同じようにして設計される光学素子184とを用いて、基準アーム11及び12内の光路長測定と同期するように行うことができる。スプリッタミラー185が、レンズ183と、光学素子184との間に配置される。スプリッタミラー185を用いて分離される放射186aは、偏向ミラー187を介して、スイングミラー189上に、そして、その後、さらなるスプリッタミラー190に導かれる。スプリッタミラー185によって分離されない放射186bは、スプリッタミラー190上で、ミラー187及び189を介して偏向された放射186aと合成される。成分ビーム186aは、光スペクトル領域トモグラフィ156の一部であり、たとえば、スイングミラー189を動かすことによって、測定されることになる目の部分、たとえば、前面又は背面の部分にわたって横方向に偏向される。
ファイバカプラ160において、基準アーム176によって反射される放射が、物体19によって逆反射される放射と重ね合わせられる。その際、放射のうちの25%が、ファイバカプラ160から、放射導体161の中に進む。
したがって、TDOCT155は、主要構成要素として、光路長変更素子23と、2つの基準アーム11及び12と、4×4単一モードファイバカプラ160と、放射源1と、放射減衰器5と、偏光コントローラ7と、2つの検出器15及び16と、検出電子装置17と、評価ユニット173と、偏光コントローラ18と、フェルール57と、レンズ183と、光学ユニット184と、物体(目)19とを含む。
SDOCT156は、放射源1と、放射減衰器5と、偏光コントローラ7と、4×4単一モードファイバカプラ160と、分光器163と、基準アーム176と、偏光コントローラ18と、フェルール57と、レンズ183と、スプリッタミラー185と、偏向ミラー187と、スイングミラー189と、スプリッタミラー190と、物体19とを含む。好都合な改良形態では、スイングミラー189と、偏向ミラー187又はスプリッタミラー185との間にレンズ(図11には示されない)が配置されることになり、それを用いて、その「内部」トポグラフィが求められることになる物体19内のゾーン上に放射を合焦することができ、当然、「外部」トポグラフィも求めることができる。しかしながら、スイングミラーによる偏向の結果として、ビームがレンズ表面上で動くことになるので、このレンズは、スイングミラー189とスプリッタミラー190との間には配置されないであろう。
図11に示される構成はさらに、トポグラフィを求めるための図3に示される構成要素も含むことができる。図11に詰め込み過ぎないようにするために、波長選択ミラー71、レンズユニット72、遮蔽フィルタ75及びカメラチップ73だけが図示される。当然、LED配列も存在するが、図示されない。図3に類似の構成を用いて、自由表面のトポグラフィを求めることができ、一方、SDOCT156を用いて、自由表面に加えて、物体の深さ方向に存在するトポグラフィも求めることができる。
上記の装置を用いて、ただ一度の位置決め動作において、目の多数の構造を測定することができる。したがって、外側又は内側にある表面のそれぞれのトポグラフィに加えて、目の場合には、たとえば、角膜、前眼房、水晶体及び硝子体の厚み及び内部構造を測定することができる。さらに、患者の目において行われる装置の一度の位置決め動作によって、水晶体皮質及び水晶体混濁、眼球の長さ、網膜の内部構造、有水晶体眼内レンズ及び偽水晶体眼内レンズの位置及び厚み、コンタクトレンズの位置及び厚み、角膜の曲率半径をさらに測定することができ、虹彩角膜角を測定することもできる。
光学的に透過性及び/又は拡散性の材料の厚み及び/又は光路長を求めるための本発明の装置の概略図である。 回転軸を中心にして回転することができる、図1に示される装置の光路長変更素子を示す図である。 回転軸を中心にして回転することができる、図1に示される装置の光路長変更素子を示す図である。 回転軸を中心にして回転することができる、図1に示される装置の光路長変更素子を示す図である。 図1に示される装置の測定ヘッドの概略図である。 図1に示される装置の測定ビームの焦点を調整するための回転式円板としての焦点変位ユニットを示す図である。 2つの回転式円板から組み立てられる、図4に示される焦点移動ユニットの設計を変更したものであり、(a)はそのうちの一方の円板の平面図、(b)はそのうちの他方の円板の平面図、(c)はその2つの円板から成る焦点移動ユニットの平面図、(d)は(c)に示されるユニットの側面図である。 図3に示される測定ヘッドの光学構造ユニットの平面図である。 周縁距離、眼内距離、長さ又は厚みを求めるために用いることができる光学構造ユニットの変形形態の平面図である。 光学構造ユニットのさらなる変形形態の平面図である。 図1、図2a、図2b及び図2cに示される光路長変更素子の変形形態の概略図である。 図1、図2a、図2b及び図2cに示される光路長変更素子のさらなる変形形態を示す図である。 時間領域光コヒーレンストモグラフィを用いて厚み及び/又は光路長を求めることに加えて、スペクトル領域光トモグラフィを用いて、トポグラフィ、2次元又は1次元トモグラフィを求めることができる、図1に示される装置の1つの変形形態を示す図である。 IOLの位置を測定する概略図である。 IOLの位置を測定する概略図である。

Claims (15)

  1. 時間領域光コヒーレンストモグラフィ(TDOCT)(155)によって、透過性又は拡散性の物体(19)上の、たとえば、厚み、距離又は長さのような少なくとも1つの幾何学量を測定する方法であって、その場合に、
    d)短いコヒーレンス長の放射が放射源(1)によって生成され、
    e)前記放射が、マイケルソン干渉計の1つの測定アーム(13)及び少なくとも2つの基準アーム(11、12)に分割され、
    f)前記少なくとも2つの基準アーム(11、12)において、基準アームビーム(33a、35a)がそれぞれ形成され、回転式光路長変更素子(23;103;147)に導かれ、
    g)前記光路長変更素子(23;103;147)の回転(45、118)の関数である、前記基準アームビームの遅延時間の変化が引き起こされ、
    h)測定されることになる前記物体(19)が前記測定アーム(13)内に入れられ、
    i)前記少なくとも2つの基準アーム(11、12)内の前記ビームの光学的な遅延時間差が、測定されることになる前記幾何学量の光学的な遅延時間差に概ね対応するように、前記基準アーム(11、12)の基本光学遅延時間が選択され、
    j)前記物体(19)において反射される放射と、前記基準アーム(11、12)内の放射が干渉と共に重ね合わせられ、結果として引き起こされた放射干渉がそれぞれ検出され、
    なお該方法は、
    k)前記基準アーム(11、12)の前記少なくとも2つの基準アームビーム(33a、35a)は、相互の空間的なオフセット角(δ、δ)を成して、1つの同じ前記回転式光路長変更素子(23;103;147)に導かれ、
    l)前記光路長変更素子(23;103)によって引き起こされる遅延時間の変化が前記基準アーム(11、12)内の前記基本光学遅延時間に逐次的に付与されるという事実によって、光路長変化が最初に第1の前記基準アームにおいて、その後、第2の前記基準アームにおいて作用するようにし、結果として、前記幾何学量を規定する前記放射干渉が、互いに時間的に分離されて生じることを特徴とする、方法。
  2. 前記測定アーム(13)内の前記放射(22)は、それぞれの場合に第1の層境界及び第2の層境界上に合焦され、前記回転に同期にして、又は該回転と共に周期的に、前記物体上の測定されることになる前記幾何学量を規定することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 前記光路長変更素子(23)は、正多角形の断面を形成し、前記基準アーム(33b、33c、33d;35b、35c、35d)は、前記多角形の側面(49a〜49d)のうちの少なくとも2つにおいて、前記素子(23)の内部に反射されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。
  4. 測定されることになる前記物体(19)の上流に、所定の光学構造(70;79;87;91)が配置され、該構造(70;79;87;91)の反射が前記物体(19)上に結像され、前記物体層の厚み値に加えて、表面プロファイル又は層プロファイルを求めるために、さらなる幾何学量として前記物体(19)の表面トポグラフィを求めるという目的で、前記像が前記所定の構造(70;79;87;91)と比較され、前記測定アーム(13)の前記ビーム(22)は、波長選択ミラー(71)を用いて前記物体(19)に反射するように偏向されることが好ましく、前記所定の光学構造(70;79;87;91)から生じる前記さらなる放射は、前記測定アームビームとは異なる波長を有し、前記ミラー(71)は該さらなる放射を透過し、該さらなる放射によって前記物体表面上に生成されるパターンは、前記物体に突き当たる前記測定アームビーム(22)の軸の後方に延長されて前記ミラー(71)の他方の面において結像及び検出され、詳細には、前記光学構造(70;79;87;91)は、多数のLED(89a、89b;90;97n、97m)で形成され、該LED(97n、97m)の前記放射は、好ましくは、前記物体(19)の表面上に合焦されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記幾何学量を求めることに加えて、さらにトポグラフィを求めるために、前記時間領域光コヒーレンストモグラフィ(155)に加えて、同一の放射源によるスペクトル領域光コヒーレンストモグラフィ(156)が用いられることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 時間領域光コヒーレンストモグラフィ(TDOCT)(155)を用いて、透過性又は拡散性の物体(19)上の、たとえば、厚み、距離又は長さのような少なくとも1つの幾何学量を測定する装置であって、
    a)短いコヒーレンス長の放射源(1)を有し、測定されることになる前記物体(19)を入れることができる測定アーム(13)を有するマイケルソン干渉計を備え、
    b)さらに、測定されることになる前記少なくとも1つの幾何学量に対応する、互いに異なる基本光路長を有する少なくとも2つの基準アーム(11、12)を備え、
    c)前記少なくとも2つの基準アーム(11、12)内にそれぞれ、基準アームビーム(33a、35a)を生成する手段が設けられ、
    なお、該装置は、
    d)両方の前記基準アーム(11、12)において動作し、素子軸(21、105)を中心にして回転する単一の光路長変更素子(23;103;147)を備え、
    e)前記少なくとも2つの基準アーム(11、12)の前記少なくとも2つの基準アームビームは、前記基本光路長に光路長変化を逐次的に付与することができるという事実によって、光路長変化が第1の前記基準アームにおいて最初に作用し、その後、第2の前記基準アームにおいて作用するように、相互のオフセット角(δ;δ;δ)を成して前記光路長変更素子(23;103;147)上に導かれることを特徴とする、装置。
  7. 前記光路長変更素子(23;103;147)は、多数の側面(49a〜49d;109a〜109l)を有し、一方、前記光路長変更素子(23;103;147)の前記素子軸(21;105)は、前記側面(49a〜49d;109a〜109l)に対して平行に、且つ前記自由基準アームビーム(33a、35a;111a、121)の軸に対して垂直に配置されることを特徴とする、請求項6に記載の装置。
  8. 前記光路長変更素子(23)は断面が正多角形になるように設計され、前記基準ビーム(33b、33c、33d;35b、35c、35d)は、該多角形の側面(49a〜49d)のうちの少なくとも2つにおいて前記素子(23)の内部で反射され、前記側面(49a〜49d)は、前記基準アームビーム(33b、33c、33d;35b、35c、35d)の概ね100%を反射するように作用する少なくとも1つの部分表面(50a〜50d)を有することが好ましく、該部分表面(50a〜50d)はそれぞれ、各側面角(47a〜47d)から始まり、前記素子(23)の内部で反射することができる前記ビームの部分(33b、33c;35b、35c)だけを概ね100%反射するようにコーティングされ、可能な限り損失を低減してビームを導くために、該部分表面に関連する入射する前記ビーム部分(33c、33d;35c、35d)と鋭角(β)を形成することを特徴とする、請求項6又は7に記載の装置。
  9. 前記マイケルソン干渉計の前記測定アーム(13)内に配置され、前記自由測定アームビーム(22)に作用し、その焦点を少なくとも2つの異なる測定点上に交互に合焦することができる合焦ユニット(58)を備え、該合焦ユニット(58)は、前記光路長変更素子(23)の前記回転に同期して個々の前記測定点上への合焦を行うことができ、該合焦ユニット(58)は、レンズユニット(59)を有することが好ましく、平行なビーム構成から大きく逸脱するビーム長手方向領域において、前記レンズユニット(59)の上流又は下流の測定ビーム光路内に光学ユニット(61、63;130)が配置され、該光学ユニット(61、63;130)は前記測定ビーム断面にわたって動かすことができ、該光学ユニット(61、63;130)を用いて、前記光路長変更素子(23)の前記回転に同期して焦点を動かすために、前記測定ビーム(22)の異なるビーム構成を設定することができ、詳細には、前記光学ユニット(61、63;130)は、前記測定ビーム(22)の中に入れることができ、且つ前記測定ビーム(22)のための所定の光路長を有する、平行平面設計の少なくとも1つの透過性領域を有し、前記測定ビーム(22)は、前記合焦ユニット(59)を用いて、厚みを限定する一方の表面から他方の表面まで焦点を動かし、前記少なくとも1つの領域は、前記基準アーム(11、12)がそれぞれ交互に動作している測定時間のうちの一方の間に、前記測定ビーム(22)内に位置することができるように配置され、前記光学ユニットは、好ましくは、少なくとも1つの透過性の中実のセグメント(64;135;137)を有する回転式の円板(63;130)として設計されることを特徴とする、請求項6〜8のいずれか一項に記載の装置。
  10. 詳細には前記物体(19)としての人の目の上流に配置される多数の照明放射源(70)であって、光学記録ユニット(73)を用いて該照明放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)の反射点で物体表面(69)上に結像することができる、照明放射源と、評価ユニット(74)であって、評価ユニットを用いて、さらなる幾何学量として前記物体表面(69)の表面曲率を求めるために、前記放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)の間隔と関連付けて、前記結像される反射点の相互の間隔を設定することができる、評価ユニットと、好ましくは、前記放射源(97n、97m)の上流に配置される合焦素子(99)であって、該合焦素子を用いて、前記照明放射源(97n、97m)の放射を、前記透過性の物体(19)内の種々の領域上に合焦することができ、物体(19)としての前記人の目の場合には、該合焦素子を用いて、角膜前面上に、且つ/又は角膜背面上に、且つ/又は水晶体前面上に、且つ/又は水晶体背面上に合焦することができる、合焦素子(99)とを備え、前記照明放射源は、詳細には、LED(80a、80b;89a、89b;97n、97m)であり、該LEDは、前記マイケルソン干渉計の前記放射源(1)とは異なる波長で放射することが好ましく、該合焦素子は、円柱レンズ(99a〜99h)であることが好ましく、円柱レンズが多数になることを避けるために、前記放射源にわたって、1つ又は複数の回転式円柱レンズを取り付けることができる、合焦素子とを特徴とする、請求項6〜9のいずれか一項に記載の装置。
  11. 放射導体(25a、25b、26a、26b、14a、14b)であって、該放射導体を用いて、前記基準アーム(11、12)の放射及び前記測定アーム(13)の放射を導くことができる、該放射導体と、前記放射導体の端部に配置される、分割・結合素子であって、該分割・結合素子を用いて、関連する前記放射導体内に導かれた、又は導かれることになる放射を、光学部品(23;58、70、71)の直ぐ上流若しくは下流に、又は前記測定物体(19)の上流に、自由空間ビーム(22、33a、33d、35a、35d)として分割又は結合することができる、分割・結合素子とを備えることを特徴とする、請求項6〜10のいずれか一項に記載の装置。
  12. 互いに異なる波長の前記短いコヒーレンスの放射源(1)及び少なくとも第1の数の照明放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)と、前記測定アーム(13)内の波長選択ミラー(71)であって、該波長選択ミラーを用いて、前記短いコヒーレンスの放射源(1)の前記ビーム(22)を前記物体(19)上に反射することができ、且つ前記照明放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)の放射を透過することができる、波長選択ミラーと、前記物体(19、69)によって反射されることがある、前記照明放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)の放射のための結像ユニット(72)とを備え、前記測定アーム(13)の光軸は、前記物体(19)の上流にある前記結像ユニットの光軸と一致する、結像ユニットを特徴とする、請求項10に記載の装置。
  13. 3×3単一モードファイバカプラ(9)を備え、該3×3単一モードファイバカプラ(9)から生じる測定放射は第1の放射導体(14a)内に導かれ、該単一モードファイバカプラ(9)は、第2の放射導体(3c)を介して前記マイケルソン放射源(1)に接続され、第3の放射導体(25a)及び第4の放射導体(25b)を介して2つの基準アーム(11、12)に接続され、第5の放射導体(10a)及び第6の放射導体(10b)を介して第1の干渉検出器(15)及び第2の干渉検出器(16)に接続され、前記第1の放射導体(14a)の他端(14b)は前記合焦ユニット(58)の直ぐ上流に導かれ、該合焦ユニット(58)の下流には波長選択ミラー(71)が配置され、該波長選択ミラー(71)を用いて、前記測定放射(22)を、測定されることになる前記物体(19)上に向け、該物体(19)によって反射される前記測定放射(22)は、前記合焦ユニット(58)の中に、且つ前記第1の放射導体(14a、14b)の中に戻され、前記照明放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)は、好ましくは、前記ミラー(71)の直ぐ近くにある、前記測定ビーム(22)の軸に対して垂直な平面において、前記ミラー(71)と前記物体(19)との間に配置され、結像システム(72)が、前記ミラー(71)から見て前記物体(19)の反対側にある前記測定ビーム(22)の後方への延長部において、前記物体(19)上又は該物体内で反射される前記照明放射源(80a、80b;89a、89b;97n、97m)のための光学評価ユニット(73)の上流に配置されることを特徴とする、請求項9又は10に記載の装置。
  14. 前記時間領域光コヒーレンストモグラフィ(155)に加えて、スペクトル領域光コヒーレンストモグラフィ(156)が存在し、該2つのトモグラフィ(155、156)は、同一の放射源(1)を用いて動作することを特徴とする、請求項6〜9のいずれか一項に記載の装置。
  15. 分光器(163)と4×4単一モードファイバカプラ(160)とを備え、前記時間領域光コヒーレンストモグラフィ(155)及び前記スペクトル領域光コヒーレンストモグラフィ(156)のための前記測定放射は、第1の放射導体(14a、14b)の中に導かれ、前記単一モードファイバカプラ(160)は、第2の放射導体(3a〜3c)を介して前記放射源(1)に接続され、第3の放射導体(25a)及び第4の放射導体(26a)を介して共通の光路長変更素子(23)を有する前記2つの基準アーム(11、12)に接続され、第5の放射導体(10a)及び第6の放射導体(10b)を介して第1の干渉検出器(15)及び第2の干渉検出器(16)に接続され、第7の放射導体(177a)を介して第3の基準アーム(176)に接続され、第8の放射導体(161)を介して、前記分光器(163)に接続されることを特徴とする、請求項14に記載の装置。
JP2008539208A 2005-11-10 2006-11-08 物体上の幾何学量を求める方法及び装置 Active JP5232005B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05405625.4 2005-11-10
EP05405625A EP1785690A1 (de) 2005-11-10 2005-11-10 Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung geometrischer Werte an einem Gegenstand
PCT/CH2006/000625 WO2007053971A1 (de) 2005-11-10 2006-11-08 Verfahren und vorrichtung zur ermittlung geometrischer werte an einem gegenstand

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009515175A true JP2009515175A (ja) 2009-04-09
JP5232005B2 JP5232005B2 (ja) 2013-07-10

Family

ID=36190666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008539208A Active JP5232005B2 (ja) 2005-11-10 2006-11-08 物体上の幾何学量を求める方法及び装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8049899B2 (ja)
EP (2) EP1785690A1 (ja)
JP (1) JP5232005B2 (ja)
DE (1) DE502006003636D1 (ja)
WO (1) WO2007053971A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010169502A (ja) * 2009-01-22 2010-08-05 Canon Inc 光断層画像撮像装置
JP2011188983A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Nidek Co Ltd 眼科装置
JP2011191297A (ja) * 2010-03-12 2011-09-29 Precitec Optronik Gmbh シリコンウエハの厚さ測定装置及び厚さ測定方法並びにシリコンウエハ薄化装置
JP2014508584A (ja) * 2011-02-04 2014-04-10 ハイデルベルク・エンジニアリング・ゲー・エム・ベー・ハー 異なる深度で干渉計法の深い断面像を連続して記録するための、特に眼を分析するための方法およびデバイス
JP2014509910A (ja) * 2011-03-25 2014-04-24 クリアサイト イノベーションズ リミテッド 眼球構造をモデル化するための装置
JP2020011088A (ja) * 2012-09-28 2020-01-23 カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト 全眼の生体測定変数を確実に判定するための装置

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006021557B3 (de) * 2006-05-08 2007-07-12 Carl Mahr Holding Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur kombinierten interferometrischen und abbildungsbasierten Geometrieerfassung, insbesondere in der Mikrosystemtechnik
US9086264B2 (en) * 2007-06-06 2015-07-21 Oregon Health & Science University Polarization sensitive spectral domain OCT using an interference signal modulated at a constant frequency and a two-path reference arm with a single reference mirror
DE102007046507A1 (de) * 2007-09-28 2009-04-02 Carl Zeiss Meditec Ag Kurzkoheränz-Interferometer
WO2009131679A1 (en) 2008-04-23 2009-10-29 Bioptigen, Inc. Optical coherence tomography (oct) imaging systems for use in pediatric ophthalmic applications and related methods and computer program products
JP5740701B2 (ja) * 2009-03-30 2015-06-24 国立大学法人埼玉大学 干渉計
DE102009022958A1 (de) * 2009-05-28 2010-12-02 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung und Verfahren zur optischen Messung von Relativabständen
TWI408338B (zh) * 2009-08-11 2013-09-11 Univ Nat Taiwan 干涉量測裝置及其量測方法
DE102010010569A1 (de) 2010-03-05 2011-09-08 Andreas Schnalke Diagnosevorrichtung zur Detektion einer Schichtgrenze in einem Auge sowie Ringelement für die Diagnosevorrichtung
DE102010047053A1 (de) 2010-09-29 2012-03-29 Carl Zeiss Meditec Ag Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung verschiedener biometrischer Parameter eines Auges
NL2005710C2 (en) * 2010-11-18 2012-05-22 Optics B V I Color coded topographer.
DE102010055350A1 (de) 2010-12-20 2012-06-21 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung der Augenlänge und des vorderen Augenabschnitts
US20120249955A1 (en) * 2011-03-24 2012-10-04 Sarver Edwin J Retro-illumination and eye front surface feature registration for corneal topography and ocular wavefront system
CN102551654B (zh) * 2012-01-20 2013-09-18 王毅 光学相干生物测量仪及进行眼睛生物测量的方法
US9655517B2 (en) 2012-02-02 2017-05-23 Visunex Medical Systems Co. Ltd. Portable eye imaging apparatus
US20150021228A1 (en) 2012-02-02 2015-01-22 Visunex Medical Systems Co., Ltd. Eye imaging apparatus and systems
CN104540442B (zh) 2012-03-07 2017-09-26 光视有限公司 使用光学相干性断层摄影法的增强的生物测量学
US9351639B2 (en) 2012-03-17 2016-05-31 Visunex Medical Systems Co. Ltd. Eye imaging apparatus with a wide field of view and related methods
CN102641116A (zh) * 2012-05-03 2012-08-22 上海应用技术学院 双通道全范围复频域光学相干层析成像系统
EP2583620B1 (de) 2013-01-24 2017-08-23 Haag-Streit Ag Topograph
TWI494536B (zh) * 2014-04-01 2015-08-01 Crystalvue Medical Corp 光學量測裝置及方法
US9986908B2 (en) 2014-06-23 2018-06-05 Visunex Medical Systems Co. Ltd. Mechanical features of an eye imaging apparatus
CN104068825B (zh) * 2014-06-24 2015-11-11 东北大学 一种短相干光干涉测量方法及装置
US9848773B2 (en) 2015-01-26 2017-12-26 Visunex Medical Systems Co. Ltd. Disposable cap for an eye imaging apparatus and related methods
US10219693B2 (en) * 2015-03-12 2019-03-05 Nidek Co., Ltd. Systems and methods for combined structure and function evaluation of retina
CN105147238B (zh) * 2015-06-19 2017-03-08 东北大学 一种眼睛多界面间距测量方法及装置
AT518602B1 (de) 2016-05-03 2019-02-15 Zeiss Carl Meditec Ag Ophthalmologische Längenmessung mittels Doppelstrahl Raum-Zeit-Domäne Wavelength Tuning Kurzkohärenz-Interferometrie
CN105910541A (zh) * 2016-06-13 2016-08-31 东莞市普密斯精密仪器有限公司 一种用于测量物件尺寸的测量装置和测量方法
US10234265B2 (en) * 2016-12-12 2019-03-19 Precitec Optronik Gmbh Distance measuring device and method for measuring distances
CN106725285B (zh) * 2017-01-06 2019-01-11 东北大学秦皇岛分校 光学相干人眼测量装置及人眼测量方法
US10156677B1 (en) * 2017-05-09 2018-12-18 General Photonics Corporation Compact optic delay lines using dual fiber collimators and roof prisms
DE102017126310A1 (de) 2017-11-09 2019-05-09 Precitec Optronik Gmbh Abstandsmessvorrichtung
DE102018130901A1 (de) 2018-12-04 2020-06-04 Precitec Optronik Gmbh Optische Messeinrichtung
CN109691975B (zh) * 2018-12-29 2023-07-07 佛山科学技术学院 一种基于sd-oct的眼睛角膜曲率测量的装置和方法
CN109965838A (zh) * 2019-04-08 2019-07-05 广东唯仁医疗科技有限公司 一种基于光学相干法追踪眼球运动的装置及方法
US11583179B2 (en) * 2020-02-20 2023-02-21 Meta Platforms Technologies, Llc Lens fitting metrology with optical coherence tomography
GB2607042B (en) 2021-05-26 2024-08-14 Occuity Ltd Optical measurement apparatus and method of measuring an axial length
WO2024041775A1 (de) * 2022-08-25 2024-02-29 Heidelberg Engineering Gmbh Vorrichtung zur messung der länge eines objekts

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0898813A (ja) * 1993-12-17 1996-04-16 Humphrey Instr Inc 走査サンプル放射ビームを用いて眼底を照明する装置および方法
JPH10267830A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Kowa Co 光学測定装置
JP2001174404A (ja) * 1999-12-15 2001-06-29 Takahisa Mitsui 光断層像計測装置および計測方法
JP2002051982A (ja) * 2000-08-09 2002-02-19 Topcon Corp 眼科装置
JP2003329577A (ja) * 2002-05-13 2003-11-19 Naohiro Tanno 光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による多重連光遅延発生方法及び光コヒーレンストモグラフィー装置
WO2005047813A1 (en) * 2003-10-27 2005-05-26 The General Hospital Corporation Method and apparatus for performing optical imaging using frequency-domain interferometry
JP2005527280A (ja) * 2002-04-18 2005-09-15 ハーグ−シュトライト アーゲー 光学的特性の測定

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3446014C2 (de) 1984-12-17 1987-02-26 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Interferometer nach dem Michelson-Prinzip
DD251497A1 (de) 1986-07-31 1987-11-18 Zeiss Jena Veb Carl Geraet zur messung der kruemmung torischer reflektierender flaechen, insbesondere der augenhornhaut
GB8903725D0 (en) 1989-02-18 1989-04-05 Cambridge Consultants Coherent tracking sensor
JPH0779797B2 (ja) 1989-07-28 1995-08-30 キヤノン株式会社 ケラトメータ
DE4325494A1 (de) 1993-01-21 1994-07-28 Technomed Ges Fuer Med Und Med Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Topographie einer reflektierenden Oberfläche
JP3490520B2 (ja) 1994-12-12 2004-01-26 株式会社ニデック 眼科装置
EP0877913B1 (de) 1995-05-04 2002-10-09 Haag-Streit AG Vorrichtung zur messung der dicke transparenter gegenstände
WO1998043068A1 (fr) * 1997-03-26 1998-10-01 Kowa Company, Ltd. Instrument de mesure optique
DE50015215D1 (de) * 1999-09-10 2008-07-31 Haag Ag Streit Vorrichtung zur fotoablation der kornea mit einem laserstrahl
EP1232377B1 (de) * 1999-11-24 2004-03-31 Haag-Streit Ag Verfahren und vorrichtung zur messung optischer eigenschaften wenigstens zweier voneinander distanzierter bereiche in einem transparenten und/oder diffusiven gegenstand
NO995836D0 (no) 1999-11-29 1999-11-29 Mathisen Jan Gunnar Anordning for fjernavlesing av målertavler
CA2474331A1 (en) 2002-01-24 2003-07-31 The General Hospital Corporation Apparatus and method for rangings and noise reduction of low coherence interferometry lci and optical coherence tomography (oct) signals by parallel detection of spectral bands
US20050140981A1 (en) * 2002-04-18 2005-06-30 Rudolf Waelti Measurement of optical properties
WO2004043245A1 (en) 2002-11-07 2004-05-27 Pawel Woszczyk A method of fast imaging of objects by means of spectral optical coherence tomography

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0898813A (ja) * 1993-12-17 1996-04-16 Humphrey Instr Inc 走査サンプル放射ビームを用いて眼底を照明する装置および方法
JPH10267830A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Kowa Co 光学測定装置
JP2001174404A (ja) * 1999-12-15 2001-06-29 Takahisa Mitsui 光断層像計測装置および計測方法
JP2002051982A (ja) * 2000-08-09 2002-02-19 Topcon Corp 眼科装置
JP2005527280A (ja) * 2002-04-18 2005-09-15 ハーグ−シュトライト アーゲー 光学的特性の測定
JP2003329577A (ja) * 2002-05-13 2003-11-19 Naohiro Tanno 光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による多重連光遅延発生方法及び光コヒーレンストモグラフィー装置
WO2005047813A1 (en) * 2003-10-27 2005-05-26 The General Hospital Corporation Method and apparatus for performing optical imaging using frequency-domain interferometry
JP2007510143A (ja) * 2003-10-27 2007-04-19 ザ・ジェネラル・ホスピタル・コーポレイション 周波数ドメイン干渉測定を利用して光学撮像を実行する方法および装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010169502A (ja) * 2009-01-22 2010-08-05 Canon Inc 光断層画像撮像装置
JP2011191297A (ja) * 2010-03-12 2011-09-29 Precitec Optronik Gmbh シリコンウエハの厚さ測定装置及び厚さ測定方法並びにシリコンウエハ薄化装置
US9230817B2 (en) 2010-03-12 2016-01-05 Precitec Optronik Gmbh Apparatus and method for monitoring a thickness of a silicon wafer with a highly doped layer
JP2011188983A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Nidek Co Ltd 眼科装置
JP2014508584A (ja) * 2011-02-04 2014-04-10 ハイデルベルク・エンジニアリング・ゲー・エム・ベー・ハー 異なる深度で干渉計法の深い断面像を連続して記録するための、特に眼を分析するための方法およびデバイス
JP2014509910A (ja) * 2011-03-25 2014-04-24 クリアサイト イノベーションズ リミテッド 眼球構造をモデル化するための装置
JP2020011088A (ja) * 2012-09-28 2020-01-23 カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト 全眼の生体測定変数を確実に判定するための装置
JP2021118962A (ja) * 2012-09-28 2021-08-12 カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト 全眼の生体測定変数を確実に判定するための装置
JP7147004B2 (ja) 2012-09-28 2022-10-04 カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト 全眼の生体測定変数を確実に判定するための装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007053971A1 (de) 2007-05-18
DE502006003636D1 (de) 2009-06-10
EP1946039A1 (de) 2008-07-23
EP1946039B1 (de) 2009-04-29
US20090268209A1 (en) 2009-10-29
EP1785690A1 (de) 2007-05-16
JP5232005B2 (ja) 2013-07-10
US8049899B2 (en) 2011-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5232005B2 (ja) 物体上の幾何学量を求める方法及び装置
JP7147004B2 (ja) 全眼の生体測定変数を確実に判定するための装置
JP4059317B2 (ja) 眼に対する光多重ショートコヒーレンス干渉測定方法および配置
JP4907227B2 (ja) 眼内寸法測定装置
JP4734326B2 (ja) 眼のフーリエ領域octレイ・トレーシング法
US8534838B2 (en) Optical coherence reflectometry with depth resolution
US6836337B2 (en) Non-invasive blood glucose monitoring by interferometry
EP2419001B1 (en) Scanning optical image acquisition apparatus having adaptive optics and control method for the same
EP1738680B1 (en) Ophthalmic apparatus
JP3488002B2 (ja) 眼球内距離の測定装置
JP2018175896A (ja) Oct光源および走査光学系を使用する2次元の共焦点撮像
WO2012004970A1 (en) Optical tomographic imaging apparatus
US8480231B2 (en) Ophthalmological measuring device and measurement method
TWI568407B (zh) 用於特徵化眼睛相關系統的系統及方法
WO2009075993A2 (en) Eye length measurement apparatus
US9161687B2 (en) Device for interferometrically measuring the eye length and the anterior eye segment
CN114646613B (zh) 一种全息点阵相干成像方法与系统
US6886939B2 (en) Topographer and method for mapping corneal surface
US20220330815A1 (en) Measurement device
CN117617891A (zh) 一种扫描激光眼屈光间质地形图测量装置
JP2016140390A (ja) 眼科測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091029

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120120

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120227

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120525

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120601

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120822

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130221

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130322

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5232005

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250