JP2009503461A - 粗度走査装置 - Google Patents
粗度走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009503461A JP2009503461A JP2008523185A JP2008523185A JP2009503461A JP 2009503461 A JP2009503461 A JP 2009503461A JP 2008523185 A JP2008523185 A JP 2008523185A JP 2008523185 A JP2008523185 A JP 2008523185A JP 2009503461 A JP2009503461 A JP 2009503461A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roughness
- scanning device
- scanning
- skid
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
本発明にしたがう粗度走査装置(1)は、プレート(20)の上に配置される、大きな面積の少なくとも一つの開口(27及び/又は28)を有するスキッド(19)を有し、当該開口は、実際のスキッドを形成し、且つ、可能な限り直接にプレート(20)に隣接する。走査針(6)は、いかなる毛細管効果をも許さない大きな距離で中間空間(26)の壁を通って延在する。前記走査針は、プレート(20)に設けられた開口の壁だけで狭い環状間隙を規定する。この環状間隙に入った液体は、それら液体が中間領域(26)に達するとすぐに前記環状間隙から外へ自由に流れ出る。液体は、粗度走査装置(1)の内部に流入されない。
Description
本発明は、特に工業的用途のためだけでなく検査室測定のための粗度走査装置乃至粗度スキャナーに属する。
粗度走査装置は、表面の粗さを定量するために用いられる。この目的のために、粗度走査装置は、ワークピースと接触する数ミリメートルの大きさのすべり部乃至スキッド(skid)を含む。非常に細い走査針は、スキッドにおける開口を通り、ワークピース表面に接触するまで延びる。スキッドがワークピース上にある間に、表面粗さで生じた走査針の振動が、まさにレコードプレーヤーのようにピックアップされ、電気信号に変換され、粗さの大きさ乃至特性を定量するために評価される。
走査針及びスキッドは、非常に小さな構成要素であり、また、それらは非常に高感度でもある。走査針が通って延びる開口は、例えば、1ミリメートルあるいはそれ以下の幅だけである。測定規格乃至仕様を遵守してはいないが、粗度走査装置は、時として、オイルが塗られたワークピース表面に接触する。そのような問題は、主に製造装置と接続して使用している間に起こる。その際、ワークピース表面に存在するオイルは、スキッド開口において走査針周りに堆積し、そのために、針の振動によってだんだんと粗度走査装置の内部に運ばれる。しかしながら、オイルは、その粘度のせいで測定に望ましくなく乃至有害に影響するので、そのような粗度走査装置の測定結果は、もはや信頼できない。したがって、オイルを洗浄しなければならないが、粗度走査装置の小さな寸法のために、それには特別な技術を必要とする。さらに、粗度走査装置から溶剤又はフラッシング媒体(flushing medium)を取り除くことは難しい。それらは、毛細管効果のために、例えばスキッドと走査針との間の表面領域に付着する。走査針の周りの間隙が溶剤若しくはフラッシング液、洗浄剤、オイル、又は、それらに似た媒体から自由であろうとなかろうと、目視検査は、拡大レンズ無しでは不可能であり、拡大レンズを有してでさえ、確実には不可能である。
これに基づいて、本発明の目的は、製造手順に組み込まれても確実に使用可能である粗度走査装置を提供することである。
この目的は、請求項1にしたがう粗度走査装置によって達成される。
本発明にしたがう粗度走査装置は、空間を取り囲むスキッドを備えて成り、当該空間は、しかしながら、周囲から隔離されない。それどころか、取り囲まれた空間は、少なくともその一方の側面で開口される。空間を、例えば、スキッドの動作方向において前部の方及び/又は後部の方へ開口しうる。このようにして、洗浄液を容易に針にかけたり、針に届かせることができ、且つ、流れ出させることもできる。スキッドによって取り囲まれた空間を圧縮空気で洗浄することも可能である。
走査針とスキッド開口との間で別に存在する毛細管効果は、ポンプ効果を生じさせ、当該ポンプ効果によって、別のオイルが粗度走査装置に導かれる。このポンプ効果は、スキッドの開口構成によって取り除かれる。スキッドと走査針との間に入ってきたオイルを前部及び後部の方へ再び排出することができる。どのような場合でも、オイルはさらに粗度走査装置に導かれない。
走査針は、好ましくは、ダイヤモンド先端部か又はダイヤモンド先端部を設けられたスチール針である。走査針は、スキッドに設けられた開口を通じ、開口の壁に接触しないで延びる。好ましくは、走査先端部は、この領域で絞られる。すなわち、走査先端部は、例えば、籐のような乃至節のある茎のような形状(cane-like shape)を有する。
スキッドに形成され、且つ、それを通って走査針が延びるプレートは、好ましくは、ワークピースに面するその端部でわずかにアーチ状に曲げられる。当該アーチは、スキャナーの動作方向に又はスキャナーの動作に対して横断する方向に湾曲を有することができる。また、曲率半径は異なりうる。動作方向に対して横断する湾曲は、ワークピース表面に対してわずかに異なる角度で粗度走査装置を保持することを可能にする。湾曲は、ワークピース表面に対して正確に平行に向ける必要はない。動作方向における湾曲は、むき出しの壁のような凹面の表面領域を走査する場合に有利である。
プレートは、少なくとも一つの、しかし好ましくは二つの支持アームによってクランプに接続され、当該支持アームは、プレートの二つの長い端部から突出する。各アームのアーチ状に曲げられた上側部は、スキッド担体に取り付けるためのクランプにさせられる。二つのアームの間に存在する空間は、動作方向に対して、前部の方だけでなく後部の方にも好ましくは開口される。それぞれの開口は、好ましくは、プレートまで直接に延びる。したがって、プレートに設けられた開口を介してアーム間の空間に入ってきた液体は、自由に流れ出ることができる。これは、粗度走査装置の汚れ感度を減少させ、その洗浄を容易にする。
本発明の更なる特徴と有利な実施形態とが、図面又は明細書に加えて請求項の対象である。図面は、本発明にしたがう粗度走査装置の実施形態を示す。
図1は、管形態のスキッド担体3を設けられた基体2を有する粗度走査装置1を示し、当該スキッド担体は、基体2から突出する。管状のスキッド担体3の代わりに、U断面形状のスキッド担体を用いてもよい。さらに、楕円管、円管、矩形管形状、又は、それらに似た形状でもよい。スキッド担体3を通って、レバーアーム5が延在し、当該レバーアームは、走査アーム4の一部であって、且つ、その自由端で走査針6を担持する。走査針6はソケット7に保持され、当該ソケットは、レバーアーム5の端部で走査針を支持する。
走査アーム4は、スプリングジョイント8、9(図2)を介して基体2によって可動に支持され、且つ、走査アーム4の動作と位置変化をピックアップするためのセンサー11と協働する第二レバーアーム10を含む。センサー11の信号を、差込型接触ピン12、13を介して外部から入手することができる。
粗度走査装置1は、好ましくは、円筒形の外形を有する。粗度走査装置1は、図示されない前進する装置の円筒形ハウジング14に収容され、図1に矢印15で示されるような方向に、ワークピース表面の走査のために移動可能である。この目的のために、走査針6には、走査先端部17が設けられ、当該走査先端部は、例えば、ダイアモンド先端部の形態でありえる。
スキッド担体3には、基体2から離れた端部18でスキッド19が設けられ、当該スキッドを介して、粗度走査装置1がワークピース表面16上に配置される。スキッド19は、ワークピース表面16上で粗度走査装置1を支持し、走査先端部17の偏差乃至撓みのための測定基準を形成する。スキッドの底部側で、スキッドは、プレート20の形態の部分を含み、当該プレートは、底部で研磨され、且つ、特に図4、5及び6に示されるように、わずかに曲げられる。図5は、この場合、前進方向に対して垂直に延びる平面での湾曲を示す。図4に示されるように、この湾曲は、図4における図平面である前進方向に横断する湾曲よりも明らかに大きい。プレート20の下面は研磨されているので、プレートはワークピース表面にわたって容易に且つ滑らかにスライドすることができる。
プレート20は開口21を含み、当該開口の直径は、図4に示されるように、プレート20の厚さDよりも実質的に大きい。開口21は、好ましくは、プレート20の中央部の外側に配置される。開口は、動作方向15に関して、プレート20の前端部23に対してよりも後端部22に対してより近接して配置される。
基本的に平行な二つの脚部24、25(図5又は図6)は、それらの間に比較的広い空間26を形成するようにプレート20から上方へ延びる。動作方向15において、プレート20の前端部23の上方に、及び、後端部22の上方にも、プレート20には、上方へ延在する脚部は設けられない。すなわち、脚部24、25の間の空間26には、前部及び後部の方に開口27、28が設けられる。
脚部24、25は、半円断面のスリーブ部材の形態で、それら上端部にクランプ部材29、20を形成し、当該クランプ部材によって、スキッド19はスキッド担体3に係合させられる。
スキッド担体3に対するスキッド19の追加的な取り付けのために、図2から示されるように、クランプ部片31をクランプ部材29、30の間の端部開口に挿入してもよく、当該クランプ部片は、プラグのようにスキッド担体端部を閉じる。
上記の粗度走査装置1は以下のように動作する。
動作の間、粗度走査装置1は、前進方向15でワークピース表面16上を引かれる。スキッド19は、この場所で、下側にアーチ状にされ且つ研磨されたプレート20の表面でワークピース表面16上をスライドする。同時に、走査先端部17がワークピース表面を走査し、それによって、走査針6がワークピース表面16に対して垂直な極微動作にさらされる。走査アーム4の小さな旋回動作がセンサー11によって検出され、ピックアップすることのできる電気信号に変換される。オイルやオイル残渣のようなワークピース表面上に存在するいかなる液体も針上にまとまり、それによって、針先端部17と開口21の壁との間に形成された環状間隙がそれぞれの液体で満たされる。追加的な蓄積で、そのような液体は、最終的には開口21の頂部を越えてあふれ出し、プレート20の上側面に広がる。しかしながら、更なる蓄積は全くない。その際、液体は、後端部及び前端部22、23を介して自由に流れ出ることができる。どのような場合でも、液体は、走査針6に沿って上方に移動しないし、スキッド担体3には入らない。
粗度走査装置1を清掃する必要がある場合には、容易に粗度走査装置を洗浄液で磨くこともできるし、洗浄液を粗度走査装置の上に吹き付けることもできるし、粗度走査装置を洗浄液に浸すこともできる。走査針6の上の開口27、28を通して洗浄液を吹き付け、洗浄液を再び流しだすか又は洗浄液を圧縮空気によって吹き飛ばすこともできる。また、走査中に走査針6に蓄積されたオイルなどの液体を、直接圧縮空気によって吹き飛ばしえる。
図7は、改良された実施形態のスキッド19’を示す。同一の参照番号に基づいて、先の記述はこの実施形態にも当てはまる。しかしながら、先の記述の他、スキッド19’は、対向する前端部及び後端部の方へ開口するだけでなく三側面の方にも開口する空間26を含む。プレート20は、脚部25によってだけ支持され、脚部24は省略される。クランプ部材30は、それ単独でスキッド19’を支持するのに十分なように拡張される。例えば、クランプ部材は、スキッド担体3周りを180°以上にわたり延在しうる。この実施形態では、針6周りの空間26に、特に申し分なく接近可能である。開口21は、示されているような孔でもよいし、代わりに、別の形態、例えばスリットの形態での通路でもよい。このようなスリットは、前進方向15に対して長手方向又は横断方向に延在しうる。同じことがスキッド19にも当てはまる。
本発明にしたがう粗度走査装置1は、実際のスキッド構造物を形成するプレート20上方に配置され、プレート20から直接に延びる比較的大きな開口27及び/又は28を少なくとも含むスキッド19を含む。走査針6は、脚部間の空間26を規定する壁24、25から比較的大きく離れて延びるので、毛細管効果は全く存在しない。プレート20における開口21の壁の間だけに、狭い環状間隙が針6周りに形成される。しかしながら、この環状間隙に達する液体もまた、それらが脚部24、25間の空間26に達すると直ちに外へ導かれる。液体は粗度走査装置1の内側に入らない。
1 粗度走査装置
3 スキッド担体
4 走査アーム
6 走査針
17 ダイアモンド先端部
18 端部
19 スキッド
20 案内プレート
21 開口
24 脚部
25 脚部
26 空間
28 開口
29 クランプ構造部
30 クランプ構造部
3 スキッド担体
4 走査アーム
6 走査針
17 ダイアモンド先端部
18 端部
19 スキッド
20 案内プレート
21 開口
24 脚部
25 脚部
26 空間
28 開口
29 クランプ構造部
30 クランプ構造部
Claims (14)
- 走査アームの一端に取り付けられる走査針(6)を備えた走査アーム(4)と、
スキッド担体(3)に沿って延びる走査アーム(4)を備えたスキッド(19)を支持する端部(18)を有するスキッド担体(3)と、を備えて成る粗度走査装置(1)であって、
空間(26)が、スキッド担体(3)とスキッド(19)との間に形成され、且つ、走査針(6)が通って延びる開口(21)を含む案内プレート(20)によって少なくとも一方の側面で範囲を定めされ、当該空間(26)は、案内プレート(20)の上方で少なくとも一方の側面の方に完全に開口している粗度走査装置。 - 走査針(6)が、ダイアモンド先端部(17)によって形成されるか又はダイヤモンド先端部(17)を設けられることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 案内プレート(20)が、空間(26)から離れた側面で湾曲させられることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 案内プレート(20)が、空間(26)から離れた側面で研磨されていることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 開口(21)が円形であり、且つ、走査針の直径よりも大きな直径を有するので、走査針(6)は、接触せずに開口(21)を通って延びていることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 案内プレート(20)は、案内プレート(20)での開口(21)の直径よりも小さな厚みを有することを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 開口(21)を通って延びる走査針(6)の部分が、とがらせられることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 案内プレート(20)が、少なくとも一つの支持脚部(24)によってクランプ構造部(29)に接続させられることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 案内プレート(20)には、クランプ構造部(29、30)に接続される実質的に平行に間隔を開けられた二つの脚部(24、25)が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の粗度走査装置。
- 脚部(24、25)の間に開口(28)が設けられ、当該開口を介して空間(26)が外側に開口していることを特徴とする請求項9に記載の粗度走査装置。
- 開口(28)が案内プレート(20)まで下方に延びるので、脚部(24、25)の間の空間(26)は、案内プレート(20)まで下がって開口していることを特徴とする請求項10に記載の粗度走査装置。
- 脚部(24、25)の間の空間(26)が、少なくとも二つの側面で開口していることを特徴とする請求項10に記載の粗度走査装置。
- 脚部(24、25)の間の空間(26)が、少なくとも対向する側面で開口していることを特徴とする請求項10に記載の粗度走査装置。
- 脚部(24、25)の間の空間(26)が、少なくとも3つの側面の方に開口していることを特徴とする請求項10に記載の粗度走査装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005035786A DE102005035786B3 (de) | 2005-07-27 | 2005-07-27 | Rauheitstaster |
PCT/EP2006/007053 WO2007012416A1 (de) | 2005-07-27 | 2006-07-18 | Rauheitstaster |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009503461A true JP2009503461A (ja) | 2009-01-29 |
Family
ID=37179061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008523185A Pending JP2009503461A (ja) | 2005-07-27 | 2006-07-18 | 粗度走査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7827856B2 (ja) |
JP (1) | JP2009503461A (ja) |
DE (1) | DE102005035786B3 (ja) |
WO (1) | WO2007012416A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012026736A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ試験機のスキッド洗浄方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202008011629U1 (de) | 2008-09-02 | 2008-12-11 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung mit einem Messtaster zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile |
DE102009035746A1 (de) | 2008-09-02 | 2010-03-25 | Breitmeier Messtechnik Gmbh | Oberflächenmesstaster |
JP6104557B2 (ja) * | 2012-10-18 | 2017-03-29 | 株式会社ミツトヨ | 表面粗さ測定ユニット、三次元測定装置 |
DE102015203369B4 (de) | 2015-02-25 | 2020-02-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Bestimmen der Messbedingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zum Vermessen der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren |
DE102015209193A1 (de) | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Erfassung dynamischer Schwingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zur Vermessung der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren. |
CN112923876B (zh) * | 2021-01-25 | 2022-03-25 | 新十建设集团有限公司 | 一种建筑装饰检测装置 |
DE102022129843A1 (de) | 2022-11-11 | 2024-05-16 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messeinrichtung zur Aufnahme eines Messwertes an einer Objektoberfläche sowie Messsystem mit einer solchen Messeinrichtung |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2733598A (en) * | 1956-02-07 | miner | ||
US1918972A (en) * | 1930-12-12 | 1933-07-18 | Bell Telephone Labor Inc | Phonograph reproducer |
US2330801A (en) * | 1939-12-26 | 1943-10-05 | Physicists Res Company | Tracer mechanism for investigating surface irregularities |
GB539273A (en) * | 1940-02-01 | 1941-09-03 | Kapella Ltd | Improvements in or relating to apparatus for measuring and/or indicating surface roughness |
US2345022A (en) * | 1940-02-29 | 1944-03-28 | Donald E Williamson | Tracer mechanism |
GB552675A (en) * | 1941-09-16 | 1943-04-20 | Kapella Ltd | Improvements in or relating to apparatus for measuring or indicating the shape of a surface or the degree of roughness thereof |
GB568800A (en) * | 1943-05-13 | 1945-04-20 | Kapella Ltd | Improvements in or relating to apparatus for measuring or indicating the roughnessesor undulations of a surface |
US2841008A (en) * | 1951-09-15 | 1958-07-01 | Gen Motors Corp | Surface smoothness measuring means |
GB699728A (en) * | 1951-09-15 | 1953-11-11 | Gen Motors Corp | Apparatus for electrically detecting and indicating the degree of smoothness of a surface |
US2703007A (en) * | 1952-03-15 | 1955-03-01 | Gen Motors Corp | Surface smoothness gauge |
US2772565A (en) * | 1954-05-13 | 1956-12-04 | Clevite Corp | Small bore adapter for curface roughness indicator |
US3087329A (en) * | 1958-12-13 | 1963-04-30 | Grodek Herbert Weingraber Von | Tracer system for determining geometrical surface dimensions |
US3049002A (en) * | 1959-02-24 | 1962-08-14 | Hediger Hermann | Device for measuring the roughness of surfaces |
GB987691A (en) * | 1960-04-20 | 1965-03-31 | Rank Precision Ind Ltd | Improvements in or relating to apparatus for measuring or indicating surface roughness |
US3254530A (en) * | 1962-11-20 | 1966-06-07 | American Gage & Mach | Surface roughness tracer head |
DE1250135B (ja) * | 1963-04-01 | 1967-09-14 | ||
DE2535912A1 (de) * | 1975-08-12 | 1977-02-17 | Salje Ernst | Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen |
DE2640894C2 (de) * | 1976-09-10 | 1985-08-01 | Feinprüf Feinmeß- und Prüfgeräte GmbH, 3400 Göttingen | Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren |
US4574625A (en) * | 1983-04-12 | 1986-03-11 | Federal Products Corporation | Surface finish, displacement and contour scanner |
CH661980A5 (de) * | 1983-12-21 | 1987-08-31 | Maag Zahnraeder & Maschinen Ag | Taster fuer ein zahnflankenprofilmessgeraet zur ermittlung der zahnflankenoberflaechenrauheit. |
US4765181A (en) * | 1985-08-08 | 1988-08-23 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface texture measuring instrument |
US4776212A (en) * | 1987-06-19 | 1988-10-11 | Federal Products Corporation | Pocket surface roughness gage |
US4888983A (en) * | 1988-04-20 | 1989-12-26 | Basf Aktiengesellschaft | Profilometry |
JPH0820247B2 (ja) * | 1988-11-09 | 1996-03-04 | 株式会社ミツトヨ | 表面粗さ計のノーズピース |
JPH07113523B2 (ja) * | 1990-06-19 | 1995-12-06 | 日本碍子株式会社 | ハニカムの表面粗度測定法及びそれに用いる表面粗度測定用測定子 |
DE4437033C2 (de) * | 1994-10-17 | 1996-08-22 | Mahr Gmbh Goettingen | Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren |
JP3640201B2 (ja) * | 1997-12-26 | 2005-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
US6397667B1 (en) * | 1997-12-26 | 2002-06-04 | Mitutoyo Corporation | Surface property measuring device |
US6026678A (en) * | 1999-07-27 | 2000-02-22 | Mahr Federal, Inc. | Surface finish, displacement and contour scanner |
JP3474504B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2003-12-08 | 株式会社ミツトヨ | 駆動装置 |
JP3443054B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2003-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機用検出器 |
JP3373465B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2003-02-04 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
-
2005
- 2005-07-27 DE DE102005035786A patent/DE102005035786B3/de active Active
-
2006
- 2006-07-18 JP JP2008523185A patent/JP2009503461A/ja active Pending
- 2006-07-18 WO PCT/EP2006/007053 patent/WO2007012416A1/de active Application Filing
-
2008
- 2008-01-22 US US12/009,790 patent/US7827856B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012026736A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ試験機のスキッド洗浄方法 |
US9103656B2 (en) | 2010-07-20 | 2015-08-11 | Mitutoyo Corporation | Method for cleaning skid of surface roughness tester |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7827856B2 (en) | 2010-11-09 |
DE102005035786B3 (de) | 2007-01-04 |
US20080121030A1 (en) | 2008-05-29 |
WO2007012416A1 (de) | 2007-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009503461A (ja) | 粗度走査装置 | |
WO2003028037A3 (de) | Vorrichtung und verfahren für ein rastersondenmikroskop | |
JP2006281018A (ja) | 試験管ホルダー | |
JP2018103354A5 (ja) | ||
TWI682171B (zh) | 用於轉爐之浸入探針與浸入副測管及浸入探針的總成 | |
KR950031273A (ko) | 철성분 칩 제거장치 | |
TWI736192B (zh) | 探針清潔物 | |
KR101011128B1 (ko) | 내경구 측정 장치 | |
KR102264628B1 (ko) | 세정 장치 | |
JP2016116063A (ja) | 画面清掃装置 | |
US20170131323A1 (en) | System and method of performing scanning probe microscopy on a substrate surface | |
JP6409041B2 (ja) | 水準器 | |
CN101083934A (zh) | 眼压计的配置 | |
JP2018111196A5 (ja) | ||
JP4033468B2 (ja) | ノズル先端位置計測装置とそれを用いたスポッティング装置 | |
JP6926574B2 (ja) | 清浄度分析装置および分析方法 | |
JP6735349B2 (ja) | 微粒子の回収方法及び回収システム | |
JP2009192357A (ja) | 内径測定装置 | |
CN110763881B (zh) | 测试装置 | |
TW200706838A (en) | Level sensor, level detection processing circuit of level sensor, manufacturing method of level sensor and ink marking device | |
JP3862963B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP2005294181A (ja) | バルク試料ホルダ | |
JP4282442B2 (ja) | 液中測定可能な走査型プローブ顕微鏡 | |
JP7384138B2 (ja) | 電気泳動装置 | |
KR200307514Y1 (ko) | 프로브구조체 |