DE202008011629U1 - Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung mit einem Messtaster zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile - Google Patents

Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung mit einem Messtaster zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile Download PDF

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Abstract

Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung (20) mit einem, vorzugsweise als Freitaster ausgebildeten, Messtaster (36) mit einem Tasthebel (23), der eine Tastnadel (28, 29, 34) mit einer Tastspitze (45) zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile von, insbesondere auch eine unregelmäßige Form aufweisenden, Werkstücken (50), insbesondere unter Produktionsbedingungen, aufweist, mit einer, vorzugsweise als Vorschubeinrichtung (21) gestalteten, Antriebsvorrichtung (21), mittels derer die Tastnadel (28, 29, 34) entlang dem Oberflächenprofil eines Werkstückes (50) bewegbar ist bzw. bewegt wird und mit einer eine Geradheitsreferenz der Antriebs- bzw. Vorschubbewegung bildenden Bezugsebene (22), entlang der der Messtaster (36) bzw. ein diesen tragender Schlitten (35) bei einer Bewegung der Tastnadel (28, 29, 34) entlang dem Oberflächenprofil des Werkstückes (50) bewegt wird,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Bezugsebene (22) mit einer Oberfläche (78) einer verschleißfesten bzw. abriebsfesten und/oder rei bungsarmen Schicht bzw. Beschichtung (62) gebildet ist, die, vorzugsweise unmittelbar, auf einer Oberfläche (63), insbesondere eines stabilen und steifen Trägers (64), aus...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung mit einem Messtaster mit einem Tasthebel, der eine Tastnadel zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile aufweist.
  • Um mikroskopische Oberflächenprofile zu messen, die der Normung entsprechen, werden üblicherweise Rauheitsmesstaster verwendet. Sie besitzen eine Tastnadel, deren Auslenkung über ein geeignetes, üblicherweise induktives Meßsystem erfasst wird. Um nun ein Linienprofil messen zu können, muss dieser Messtaster über die Oberfläche geführt werden. Dies geschieht mit einem Vorschubapparat, dessen Größe hersteller- und typabhängig ist. An diesen wird der Taster angesteckt und über die Oberfläche gezogen. Handelsübliche Systeme sind erprobt und genügen vor allem den Anforderungen beim Einsatz außerhalb der Produktionslinie. Besonders kleine und preisgünstige Systeme besitzen zudem Gleitkufentaster, welche nur für dafür geeignete Anwendungen vorteilhaft sind.
  • Weiterhin ist es bekannt, dass derartige Vorrichtungen zur Messung mikroskopischer Oberflächenprofile oder Rauheitskennwerte von Werkstücken eine Tasterelektronik bzw. einen mechanisch-elektrischen Wandler zur Erfassung bzw. Messung von Rauhigkeitsparametern aufweisen.
  • Aus der DE-OS 44 37 033 ist ein Vorschubgerät für eine Oberflächenmessung nach dem Tastschnittverfahren bekannt, welches einen starren länglichen Grundkörper und einen verschieblich geführten Mikrotaster aufweist. Der Grundkörper weist einen daran befestigten Mikrotaster auf, welcher über Führungselemente an dem Grundkörper verschieblich angebracht ist. Der Mikrotaster gibt bei den Tastbewegungen entsprechende Signale ab. Weiterhin ist an dem Grundkörper ein miniaturisierter Antriebsmechanismus für den Mikrotaster angeordnet, durch den dieser mit konstanter Geschwindigkeit relativ zu dem Grundkörper über eine Taststrecke in einer Profilschnittebene des Werkstückes bewegbar ist. Ferner ist in bzw. an dem Grundkörper eine maßgenaue Bezugsebene bzw. Bezugsfläche untergebracht, über die der Mikrotaster bei seiner Tastbewegung relativ zu dem Grundkörper exakt geführt ist.
  • Aus der DE-OS 103 34 219 eine Rauhigkeitsmesseinrichtung mit Prüfnormal bekannt geworden, welche eine Aufnahmeeinrichtung für ein Vorschubgerät und einen Rauheitstaster mit einer Tastspitze zur Abtastung einer Werkstückoberfläche aufweist. Das Vorschubgerät dient dazu, einen Rauhigkeitstaster über eine Werkstückoberfläche zu schleppen. Weiterhin weist die Rauheitsmesseinrichtung einen Wandler auf, der mit der Tastspitze verbunden ist und deren Bewegung in elektrische Signale umsetzt. Das Prüfnormal ist an der Aufnahmeeinrichtung angeordnet. Das Prüfnormal ist bei spielsweise ein quaderförmiger Körper mit einer Prüffläche mit festgelegter Rauhigkeit, welche beispielsweise aus Kunstharz besteht.
  • Aus der DE-OS 10 2005 035 786 ist ein Rauheitstaster mit einem Tastarm bekannt geworden, an dessen Ende eine Tastnadel befestigt ist. Der Rauheitstaster weist einen Kufenträger auf, an dessen Ende eine Kufe gehalten ist und entlang dessen sich der Tastarm erstreckt. Der Rauheitstaster wird an seinem zylindrischen Gehäuse von einem Vorschubgerät aufgenommen.
  • Weiterhin ist aus der DE-OS 102 30 009 ein Tastgerät bekannt geworden, welches ein Tastarm mit zwei sich in die gleiche Richtung erstreckende Tastspitzen aufweist. Dadurch ist es möglich, eine Messstrecke in zwei voneinander beabstandete Messstreckenabschnitte aufzuteilen, wobei die Messung der beiden Messstreckenabschnitte in einem einzigen Messlauf erfolgt. Der Messtaster weist eine Aufnahmeeinrichtung zur ortsfesten Lagerung eines Messobjektes und einen Tastarm auf, der über eine Vorschubeinrichtung relativ zu dem Messobjekt in einer Messrichtung bewegbar ist. Weiterhin weist der Messtaster wenigstens zwei an dem Tastarm angeordnete Tastspitzen zur Erfassung der unterschiedlichen Messstreckenabschnitte auf.
  • Aus der DE 201 20 127 U1 ist eine Einrichtung zur Abtastung der Gestalt, insbesondere der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstückes bekannt geworden. Diese Einrichtung weist eine Tastspitze auf, die an einem freien Ende eines Tastarmes eines mechanisch-elektrischen Wandlers angeordnet ist, welcher die Auslenkung der Tastspitze in entsprechende Signale umwandelt. Weiterhin weist diese Einrichtung eine Vorschubeinrichtung zur Bewegung des Wandlers im Wesentlichen parallel zu dem Tastarm sowie Führungsmittel zur Führung des Wandlers im Wesentlichen parallel zur Oberfläche des Werkstückes auf. Die Führungsmittel bestehen aus einem Führungsteil mit einer Führungsbahn. Der elektromechanische Wandler oder ein ihn umgebendes Gehäuse liegt auf der Führungsbahn mittels dreier, in Führungsrichtung im Abstand zueinander angeordneten, Kufen auf. Ferner weist der Führungsteil in einem Abstand in Führungsrichtung zueinander angeordnete Vorsprünge zur Auflage auf der Oberfläche des Werkstückes auf.
  • Vorgenannte Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtungen weisen vor allem Nachteile hinsichtlich ihres Einsatzes in Produktionslinien und in der industriellen Fertigung von Werkstücken auf. Bekannte Messvorrichtungen dieser Art sind aufgrund ihrer Abmessungen und ihres Gewichts sehr schlecht handhabbar und daher wenig für den mobilen Einsatz, insbesondere an schwer zugänglichen Stellen geeignet. Auch müssen derartige Vorrichtungen oftmals an Klemm- und Haltevorrichtungen befestigt sein, so dass diese dann nicht für einen flexiblen Messeinsatz in der Produktion, sondern nur für einen stationären Messeinsatz geeignet sind. Erfahrungsgemäß sind derartige Profilmessvorrichtungen sehr empfindlich und können leicht beschädigt werden, was oftmals auch zu unbemerkten Messungenauigkeiten bzw. Fehlfunktionen führt, so dass diese Messvorrichtungen regelmäßig nur für einen Laborbetrieb geeignet sind. Ferner sind die bislang bekannten Messgeräte hinsichtlich ihrer Wartung und Kalibrierung sehr aufwendig und teuer, so dass diese daher häufig nur zu stichprobenartigen Kontrollen eingesetzt werden.
  • Die bekannten Messvorrichtungen weisen weiterhin den Nachteil auf, dass bei einem häufigen oder quasi-ständigen Messeinsatz die Messgenauigkeit aufgrund von Verschleiß, insbesondere an einer Bezugsebene bzw. an einem Prüfnormal, stark nachlässt, was aber erst im Rahmen einer Überprüfung oder Kontrolle der Messvorrichtung, beispielsweise in einem Labor, festgestellt werden kann. Weiterhin ist es nachteilig, dass diese Messvorrichtungen turnusgemäß geeicht und aufwendig kalibriert bzw. nachjustiert werden müssen. Nachteilige Verschleißerscheinungen treten aber nicht nur an bzw. in Verbindung mit einer Bezugebene auf, sondern bekanntermaßen auch an der Antriebsvorrichtung für den Messtaster, insbesondere wenn diese den Messtaster mittels eines Spindelantriebes antreibt bzw. bewegt.
  • Es besteht nun zunehmend Bedarf an Oberflächenmeßsystemen mit besonders langer Lebensdauer bei sehr geringen Verschleißerscheinungen, hoher Robustheit und kleiner Bauform, welche sich einerseits für den Einsatz in der Produktion eignen oder andererseits eine hohe Flexibilität für die verschiedensten Messaufgaben aufweisen.
  • Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, eine für einen flexiblen Einsatz in der Produktion von Werkstücken geeignete Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile von Werkstücken zur Verfügung zu stellen und vorteilhafte Möglichkeiten für einen flexiblen Einsatz auch an schwer zugänglichen Messstellen und für eine einfache Handhabbarkeit zu schaffen, wobei eine über lange Zeit störungsfreie und exakte Erfassung bzw. Messung der Oberflächenprofile möglich ist bzw. erreicht wird.
  • Diese Aufgabe wird insbesondere durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Die erfindungsgemäße Messvorrichtung zeichnet sich durch eine sehr kleine Bauform, Flexibilität beim Einsatz, einfache Handhabung und leichte Anbindung an Rechnersysteme aus.
  • Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen unter anderem darin, dass etwaige Verschleißerscheinungen und/oder Reibungseffekte an der Bezugsebene und/oder an den darauf gleitenden Gleitkufen erheblich vermindert sind. Ein Vorteil der Erfindung ist es daher, dass exakte Messungen von Oberflächenprofilen auch bei einem Langzeiteinsatz der Messvorichtung möglich sind und dass eine Vielzahl von Messungen durchgeführt werden können, bevor etwaige Verschleißerscheinungen die Genauigkeit der Messergebnisse beeinträchtigen. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht hinsichtlich langer Lebensdauer und Robustheit in der Verminderung etwaiger Verschleißerscheinungen in der Antriebsvorrichtung, insbesondere durch die verminderten Reibungseffekte. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist es, dass diese über eine selbsttätige bzw. selbstständige Selbstüberprüfung und eine selbsttätige Kalibriereinrichtung verfügt, so dass sich diese bei etwaigen Verschleißerscheinungen bzw. Beschädigungen des Messtaster bzw. der Messvorrichtung selbsttätig kalibriert bzw. justiert. Weiterhin ist die Messvorrichtung im Vergleich zu bisher bekannten Messvorrichtungen erheblich verkleinert, was die Handhabbarkeit wesentlich vereinfacht und somit den flexiblen Einsatz in Produktionslinien auch an schwer zugänglichen Messorten ermöglicht.
  • Die erfindungsgemäße Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung umfasst insbesondere folgende Teile, Einrichtungen oder Vorrichtungen:
    • – einen, vorzugsweise als Freitaster ausgebildeten, Messtaster mit einem Tasthebel, der eine Tastnadel mit einer Tastspitze zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile von, insbesondere auch eine unregelmäßige Form aufweisenden, Werkstücken, insbesondere unter Produktionsbedingungen,
    • – eine, vorzugsweise als Vorschubeinrichtung gestaltete, Antriebsvorrichtung, mittels derer die Tastnadel entlang dem Oberflächenprofil eines Werkstückes bewegbar ist bzw. bewegt wird und
    • – eine eine Geradheitsreferenz der Antriebs- bzw. Vorschubbewegung bildende Bezugsebene, entlang der der Messtaster bzw. ein diesen tragender Schlitten bei einer Bewegung der Tastnadel entlang dem Oberflächenprofil des Werkstückes bewegt wird.
  • Erfindungsgemäß kann ferner vorgesehen sein, dass die Bezugsebene mit einer Oberfläche einer verschleißfesten bzw. abriebsfesten bzw. verschleißarmen und/oder reibungsarmen Schicht bzw. Beschichtung gebildet sein kann, die, vorzugsweise unmittelbar, auf einer Oberfläche, insbesondere eines stabilen und steifen Trägers, der Schicht bzw. der Beschichtung aus Metall, insbesondere Hartmetall, Glas, Karbid- oder Keramikwerkstoff oder Silizium, aufgetragen bzw. befestigt sein kann und/oder dass wenigstens eine sich auf der Bezugsebene abstützende Gleitkufe des Messtasters bzw. des diesen tragenden Schlittens mit einer verschleißfesten bzw. abriebsfesten bzw. verschleißarmen und/oder reibungsarmen Schicht bzw. Beschichtung gebildet sein kann, die, vorzugsweise unmittelbar, auf einer Oberfläche, insbesondere eines stabilen und steifen Trägers, aus Metall, insbesondere Hartmetall, Glas, Karbid- oder Keramikwerkstoff oder Silizium, aufgetragen bzw. befestigt sein kann. Alternativ oder zusätzlich kann vorgesehen sein, dass wenigstens eine sich auf der Bezugsebene abstützende Gleitkufe des Messtasters bzw. des diesen tragenden Schlittens, vorzugsweise im Wesentlichen oder ganz, mit bzw. aus einem verscheißfesten bzw. abriebsfesten bzw. verschleißarmen und/oder reibungsarmen Material gebildet sein kann.
  • Eine vorteilhafte Ausbildung der Vorrichtung sieht vor, dass die Schicht bzw. Beschichtung oder die Schichten bzw. Beschichtungen aus einer Hart- und/oder Gleitschicht bzw. -beschichtung gebildet sein kann bzw. können.
  • Eine weitere vorteilhafte Ausbildung der Vorrichtung sieht vor, dass die Hart- und/oder Gleitstoffschicht bzw. -beschichtung Titannitrit und/oder Titanaluminiumnitrit und/oder Titankarbonnitrit und/oder Chromnitrit und/oder Kohlenstoff, vorzugsweise Diamant oder diamantähnliche Kohlenstoffverbindungen, aufweist oder diamantähnlich aus Kohlenstoff bzw. auf Kohlenstoffbasis gebildet sein kann. Derartige Materialien zeichnen sich durch eine sehr hohe Oberflächenhärte aus. Deshalb sind an derartigen Schichten bzw. Beschichtungen auch bei längerer Belastung keinerlei Abnutzungserscheinungen bzw. Verschleißerscheinungen feststellbar. Etwaige Verschleißerscheinungen an der Bezugsebene und/oder an den Gleitkufen des Messtasters bzw. des diesen tragenden Schlittens können dadurch erheblich reduziert werden. Weiterhin kann die nutzbare Leistung der Antriebsvorrichtung erhöht werden und etwaige Verschleißerscheinungen der Antriebsvorrichtung können wirkungsvoll verringert werden, indem die Hart- und Gleitstoffschicht bzw. -beschichtung einen geringen Reibungsbeiwert aufweist.
  • Es kann auch vorteilhaft sein, wenn die oder jede Beschichtung bzw. wenn die Hart- und/oder Gleitstoffschicht bzw. -beschichtung eine im PVD-(physical vapour deposition) oder im CVD-(chemical vapour depostion)Verfahren aufgebrachte Beschichtung ist.
  • Eine weitere vorteilhafte Ausbildung der Vorrichtung sieht vor, dass die die Bezugsebene ausbildende Schicht bzw. Beschichtung und die Schicht bzw. Beschichtung der wenigstens einen Gleitkufe aus dem gleichen Werkstoff bestehen.
  • Es ist ferner vorteilhaft, wenn das verschleißfeste bzw. abriebsfeste bzw. verschleißarme und/oder reibungsarme Material mit oder aus dem die wenigstens eine Gleitkufe gebildet ist, aus Diamant, insbesondere Volldiamant, oder aus einer diamantähnlichen Kohlenstoffverbindung bzw. aus einem diamantähnlichen Werkstoff aus Kohlenstoff oder aus einem Hartmetall oder aus einer Titannickel- oder Chromnickelverbindung, gebildet ist oder Anteile davon aufweist.
  • Es ist alternativ oder zusätzlich vorteilhaft, wenn die die Bezugsebene ausbildende Schicht bzw. Beschichtung und die wenigstens eine Gleitkufe aus dem gleichen Werkstoff bzw. Material bestehen.
  • Es ist ferner vorteilhaft, wenn die Antriebsvorrichtung einen Seil- bzw. Bandantrieb mit einem Antriebsseil bzw. Antriebsband umfasst, an dem der Messtaster bzw. der den Messtaster tragende Schlitten befestigt ist. Dadurch können etwaige Verschleißerscheinungen im Bereich der Antriebsvor richtung, insbesondere an einer Antriebsspindel, verringert werden.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn das Antriebsseil oder das Antriebsband mit Hilfe eines Antriebes, vorzugsweise mit Hilfe eines Drehantriebes, in seiner Axialrichtung bewegbar ist bzw. bewegt wird, um eine Bewegung des Messtasters bzw. dessen Tastnadel längs des zu erfassenden bzw. zu messenden Oberflächenprofils des Werkstückes zu bewirken.
  • Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Antriebsseil oder das Antriebsband zum Zwecke seiner Bewegung bzw. bei seiner Bewegung in Axialrichtung wenigstens teilweise um einen Drehkörper geschlungen ist bzw. wird.
  • Es kann außerdem vorgesehen sein, dass es sich bei dem Antriebsseil bzw. Antriebsband um ein umlaufendes Seil bzw. Band handelt, das wenigstens teilweise um wenigstens zwei, vorzugsweise als Umlenkrollen gestaltete, Drehkörper geschlungen ist.
  • Eine weitere vorteilhafte Ausbildung des Erfindungsgegenstandes sieht vor, dass die Vorrichtung
    • – einen, vorzugsweise softwaregesteuerten, Aktuator zum Abheben der Tastspitzen bzw. der Tastnadel, gegebenenfalls auch des gesamten Messtasters, von der Werkstückoberfläche und/oder
    • – ein Messsystem zur Erfassung der Auslenkung der Tastnadel und/oder der Tastspitze und/oder
    • – eine Tasterelektronik zur Steuerung bzw. Regelung der Antriebsvorrichtung und/oder des Aktuators und/oder
    • – eine Kalibriervorrichtung zur Überprüfung eines Kalibrierzustandes des Messtasters und/oder
    • – eine Tastnadelprüfvorrichtung zur Prüfung der Tastnadel bzw. der Tastspitze auf etwaige Beschädigungen
    aufweist.
  • Es kann ferner vorgesehen sein, dass mehrere auswechselbare Wechselrahmen an der Vorrichtung anbringbar sind bzw. ein Wechselrahmen angebracht ist, welche bzw. welcher eine verschiedenartige Anordnung von Abstützkörpern zum Abstützen der Vorrichtung auf dem Werkstück aufweisen bzw. ermöglicht.
  • Weiterhin kann vorgesehen sein, dass an dem Tasthebel wenigstens zwei Tastnadeln zur, vorzugsweise alternativen, Erfassung bzw. Messung des Oberflächenprofils des Werkstückes angebracht sind.
  • Ferner kann vorgesehen sein, dass die wenigstens zwei Tastnadeln an ein und demselben Ende des Tasthebels angeordnet sind.
  • Ferner kann vorgesehen sein, dass die Tastspitzen von wenigstens zwei der Tastnadeln in eine unterschiedliche, vorzugsweise in eine entgegen gesetzte, Richtung weisen.
  • Es ist außerdem vorteilhaft, wenn wenigstens zwei der Tastnadeln gegenüber liegend angeordnet sind.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn wenigstens eine erste Tastnadel an einem ersten Ende des Tasthebels und wenigstens eine zweite Tastnadel an einem zweiten Ende dieses Tasthebels angebracht sind.
  • Es ist auch vorteilhaft, wenn die Tastnadeln an, vorzugsweise auswechselbaren, Rüsseln verschiedener Längen angebracht sind.
  • Ferner ist es vorteilhaft, wenn der Tasthebel, vorzugsweise teleskopisch, verlängerbar bzw. ausziehbar ist.
  • Es kann vorgesehen sein, dass der Tasthebel auswechselbar ist. Es versteht sich, dass dafür beispielsweise ein Schnellverschluss vorgesehen sein kann.
  • Weiterhin kann vorgesehen sein, dass der Tasthebel an dem Schlitten um eine Drehachse verschwenkbar angelenkt ist. Es kann auch vorgesehen sein, dass der Tasthebel als eine, vorzugsweise gerade, Tasterwippe ausgebildet ist, welche um eine Drehachse verschwenkbar, vorzugsweise an einem Schlitten angelenkt, ist.
  • Ferner kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung einen, vorzugsweise optischen und/oder akustischen, Signalgeber aufweist, welcher bei einer etwaigen Fehlfunktion und/oder bei einer etwaigen Beschädigung der Tastspitze und/oder der Tastnadel und/oder des Messtasters ein, vorzugsweise akustisches und/oder optisches, Warnsignal ausgeben kann bzw. ausgibt.
  • Eine weitere vorteilhafte Ausbildung der Vorrichtung sieht vor, dass ein Teil der oder im Wesentlichen alle, vorzugsweise funktionsrelevanten mechanischen, Bauteile der Vorrichtung aus einem Material gebildet sind, welches einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten aufweist, der kleiner als 5,0·10–6 1/K, vorzugsweise kleiner als 2,0·10–6 1/K, insbesondere kleiner als 1,0·10–6 1/K ist. Bei diesen Materialien handelt es sich beispielsweise um Invar, Zerodur® oder Kohlenstoff.
  • Es ist vorteilhaft, wenn eine Tastkraft bzw. ein Auflagedruck an der Tastspitze, vorzugsweise softwaregesteuert, einstellbar bzw. regelbar ist oder eingestellt bzw. geregelt wird.
  • Auch ist es vorteilhaft, wenn die Messvorrichtung wenigstens einen Aktuator aufweist, mittels dessen eine, vorzugsweise variable, vorherbestimmte bzw. bestimmte Tastkraft auf den Tasthebel und/oder auf wenigstens eine der Tastnadeln, insbesondere softwaregesteuert, aufbringbar bzw. aufgebracht wird.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Auslenkung der Tastspitze und/oder der Tastnadeln und/oder des Tasthebels induktiv oder nicht induktiv gemessen wird.
  • Es ist auch vorteilhaft, wenn die Vorrichtung eine, vorzugsweise USB-taugliche, Schnittstelle, insbesondere für einen Datenaustausch und/oder zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung und/oder der Tasterelektronik, aufweist. Bei einer USB(Universal Serial Bus)-tauglichen Schnittstelle handelt es sich um ein serielles Bussystem zur Verbindung eines Computers bzw. Rechners mit externen Geräten, wie beispielsweise der Messvorrichtung. Bei mit USB-Schnittstellen ausgestattete Geräte können im laufenden Betrieb miteinander verbundene und angeschlossene Geräte und deren Eigenschaften automatisch erkannt werden. Es versteht sich, dass sich die Vorrichtung auch als Master/Slave Objekt betreiben lässt.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Vorrichtung eine Einrichtung zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung und/oder der Tasterelektronik, vorzugsweise eine Batterie, aufweist, welche ebenfalls in das Gehäuse integriert ist.
  • Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Vorrichtung eine Einrichtung zur Datenübertragung und/oder Steuerung über Funk und/oder mittels Bluetooth-Technologie und/oder mittels Infrarot-Technologie aufweist.
  • Es kann außerdem vorgesehen sein, dass Betriebszyklen und/oder Informationen über die Betriebsdauer der Vorrichtung in einem Datenspeicher speicherbar bzw. gespeichert und auslesbar sind bzw. werden.
  • Es kann auch vorgesehen sein, dass die Vorrichtung einen Vibrationssensor zur Erfassung bzw. Messung von äußeren und/oder inneren Schwingungen aufweist.
  • Ferner kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung mit einem Sperrgas, insbesondere mit Sperrluft, vorzugsweise über einen Stutzen, beaufschlagbar ist bzw. beaufschlagt wird, damit das Messsystem nicht verschmutzt wird und/oder sich kein Schmutz in dem Gehäuse ansammelt.
  • Es ist vorteilhaft, wenn die Vorrichtung wenigstens einen Sensor zur Lageerkennung des Werkstückes und/oder zur Messung der Entfernung eines vorrichtungsfesten Bezugspunktes zu dem Werkstück und/oder zur Werkstückoberfläche aufweist.
  • Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn die Vorrichtung wenigstens einen Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Messtasters und/oder des Messsystems und/oder des Werkstücks und/oder der Werkstückoberfläche aufweist. Dadurch können etwaige Temperaturschwankungen, welche die Messgenauigkeit der Vorrichtung beeinflussen können, erfasst und bei der Bereitstellung bzw. Auswertung der Messergebnisse berücksichtigt werden.
  • Es ist ferner vorteilhaft, wenn die Vorrichtung Mittel zur flächenhaften Abtastung der Werkstückoberfläche aufweist.
  • Es ist auch vorteilhaft, wenn die Vorrichtung Mittel zum, vorzugsweise motorischen, Bewegen der Vorrichtung senkrecht zur Werkstückoberfläche aufweist.
  • Es ist auch vorteilhaft, wenn die Vorrichtung ein Dämpfungselement zur Dämpfung einer Bewegung des Tasthebels aufweist.
  • Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Vorrichtung einen Datenspeicher zur Speicherung von Informationen über eine Restwelligkeit der Bezugsebene und/oder Mess- bzw. Betriebsdaten aufweist.
  • Die Vorrichtung kann auch einen Prozessor aufweisen, welcher dazu bestimmt ist, die Informationen über die Restwelligkeit aus dem Datenspeicher zu verarbeiten und/oder Messergebnisse mittels einer Look-up Tabelle und/oder mittels einer Polynom- bzw. Spline-Interpolation hinsichtlich der Restwelligkeit zu korrigieren. Die Look-Up Tabelle ist ein auf einer Tabelle beruhendes Berechnungsverfahren, das als Alternative zu einem langsameren Berech nungsverfahren bzw. zu einem rechenintensiven Algorithmus benutzt werden kann. Dabei werden die Ergebniswerte einer Funktion vorab ermittelt und in einer Tabelle, beispielsweise in einem Datenspeicher, abgelegt, so dass der Ergebniswert der Funktion aus der Tabelle ausgelesen bzw. entnommen werden kann, ohne diesen erneut berechnen zu müssen.
  • Ferner kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung ein Antriebselement umfasst, das dazu bestimmt ist, die Vorrichtung oder den Messtaster, vorzugsweise zusammen mit der Antriebsvorrichtung, vorzugsweise motorisiert, um eine Drehachse zu drehen. Vorzugsweise ist diese Drehachse senkrecht zu einer Grundfläche des Gehäuses bzw. zu einem Gehäuseboden ausgebildet.
  • Es kann auch vorgesehen sein, dass die Bezugsebene, insbesondere entlang eines einseitig angeordneten, vorzugsweise als Blattfeder ausgebildeten, Scharniers, kippbar ausgebildet ist, insbesondere wobei die Bezugsebene mittels eines weiteren Aktuators kippbar ist, so dass eine Referenzebenenlinearität aktiv, insbesondere mittels eines Regelkreises und/oder basierend auf einer internen Messeinrichtung, vorzugsweise softwaregesteuert, nachregelbar bzw. nachstellbar ist oder nachgeregelt wird bzw. nachgestellt wird.
  • Ferner kann vorgesehen sein, dass eine, vorzugsweise laufende, Selbstüberprüfung der ordnungsgemäßen Funktion der Vorrichtung oder von Teilen davon automatisch, vorzugsweise softwaregesteuert, erfolgt.
  • Es ist vorteilhaft, wenn eine zyklische Kalibrierüberprüfung der Messvorrichtung mittels Software durchgeführt bzw. gesteuert wird.
  • Es ist auch vorteilhaft, wenn Mittel vorgesehen sind, um eine Abtastgeschwindigkeit der Tastnadel bis zu einer berechneten Grenze über eine Normgeschwindigkeit hinaus zu erhöhen, so dass sich ein berechneter bzw. gemessener Rauhigkeitsparameter bzw. das mikroskopische Oberflächenprofil höchstens um einen bestimmbaren oder bestimmten bzw. einstellbaren oder eingestellten Betrag von demjenigen bei der Normgeschwindigkeit abweicht.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der Messtaster und die Antriebsvorrichtung, vorzugsweise auch die Bezugsebene,
    • – ggf. auch ein bzw. der Aktuator zum Abheben der Tastspitze bzw. der Tastnadel von der Werkstückoberfläche und/oder
    • – ein bzw. das Messsystem zur Erfassung der Auslenkung der Tastnadel bzw. der Tastspitze und/oder
    • – eine bzw. die Tasterelektronik zur Steuerung bzw. Regelung der Antriebsvorrichtung und/oder des Aktuators und/oder
    • – eine bzw. die Kalibriervorrichtung zur Überprüfung eines Kalibrierzustandes des Messtasters und/oder
    • – eine bzw. die Tastnadelprüfvorrichtung zur Prüfung der Tastnadel und/oder der Tastspitze auf etwaige Beschädigungen und/oder
    • – ein bzw der Signalgeber, welcher bei einer etwaigen Fehlfunktion und/oder bei einer etwaigen Beschädigung der Tastspitze und/oder der Tastnadel ein Warnsignal ausgeben kann bzw. ausgibt, und/oder
    • – eine bzw. die, vorzugsweise USB-taugliche, Schnittstelle, insbesondere für einen Datenaustausch und/oder zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung und/oder der Tasterelektronik, und/oder
    • – eine bzw. die Einrichtung zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung und/oder der Tasterelektronik und/oder
    • – ein bzw. der Sensor zur Lageerkennung des Werkstückes und/oder zur Messung der Entfernung zu dem Werkstück und/oder
    • – ein bzw. der Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Messtasters und/oder des Messsystems und/oder des Werkstücks und/oder der Werkstückoberfläche und/oder
    • – ein bzw. das Dämpfungselement zur Dämpfung einer Bewegung des Tasthebels und/oder
    • – ein bzw. der Vibrationssensor zur Erfassung bzw. Messung von äußeren und/oder inneren Schwingungen und/oder
    • – ein bzw. der Datenspeicher zur Speicherung von Informationen über eine Restwelligkeit der Bezugsebene und/oder Mess- und/oder Betriebsdaten und/oder
    • – ein bzw. der Prozessor, welcher dazu bestimmt ist, die Informationen über die Restwelligkeit aus einem bzw. dem Datenspeicher zu verarbeiten und/oder Messergebnisse mittels einer Look-up Tabelle und/oder mittels einer Polynom- bzw. Spline-Interpolation hinsichtlich der Restwelligkeit zu korrigieren und/oder
    • – ein bzw. der Aktuator zum Kippen der Bezugsebene und/oder
    • – Mittel bzw. die Mittel zur flächenhaften Abtastung der Werkstückoberfläche und/oder
    • – Mittel bzw. die Mittel zur Bewegung der Vorrichtung senkrecht zu der Werkstückoberfläche und/oder
    • – weitere Teile, Vorrichtungen oder Einrichtungen der Vorrichtung
    allesamt in einem gemeinsamen Gehäuse integriert sind.
  • Es kann alternativ oder zusätzlich vorgesehen sein, dass die Außenabmaße des Messtasters von einem gedachten Begrenzungskörper begrenzt sind, der eine Länge, eine Breite und eine Höhe aufweist, und welcher die Begrenzungsabmaße 30 × 15 × 15 mm (Länge × Breite × Höhe) nicht überschreitet.
  • Es kann auch vorgesehen sein, dass es sich bei der Vorrichtung um eine Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung in Miniaturgröße handelt, wobei deren Außenabmaße und/oder wobei die Außenabmaße des, vorzugsweise quaderförmigen, Gehäuses, die Maße 70 × 45 × 45 mm (Länge × Breite × Höhe), vorzugsweise die Maße 50 × 35 × 35 mm (Länge × Breite × Höhe), nicht überschreitet.
  • Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass die Außenabmaße etwa 47 × 27 × 30 mm (Länge × Breite × Höhe) betragen.
  • Es kann auch vorgesehen sein, dass die Vorrichtung derart miniaturisiert ist, dass diese in ein Gehäuse integrierbar bzw. integriert ist, welches ein Volumen umschließt, das kleiner als 80 cm3, vorzugsweise kleiner als 60 cm3, insbesondere kleiner als 40 cm3, ist.
  • Wesentliche Merkmale und Vorteile der Erfindung können auch wie folgt beschrieben werden:
    Das hier beschriebene Messgerät hat die Größe von zwei aufeinander gelegten Streichholzschachteln. Es beinhaltet in einem Gehäuse den Messtaster und den Vorschub. Letzterer besitzt eine Referenzebene, so dass man einen Freitaster einsetzen kann. Ein besonderer Vorteil ist der sehr kleine Messkreis, d. h. der Weg von der Tastnadelspitze bis zu den Auflagepunkten auf dem Werkstück. Dadurch wird das Gerät weitgehend unempfindlich gegen Vibrationen. Bei kontinuierlichem Einsatz in der Fertigung verschleißt die Tastnadel. Die Konstruktion ist deshalb so ausgeführt, dass man diese leicht ersetzen kann. Damit man beim Einführen des Meßsystems in einen Zylinder die Tastnadel nicht beschädigt, kann diese mit einem Aktuator ins Gehäuse zurückgezogen werden. Ebenso lässt sich die Nadel an einem in der Länge variierbaren Rüssel anbringen, um eine leichte Erreichbarkeit des Messortes bei unterschiedlichen Werkstücken zu ermöglichen. Um z. B. in einem Rohr beidseitig die Rauheit zu messen, ist es vorteilhaft, am Tasthebel zwei sich gegenüberliegende Tastnadeln anzubringen, wobei jeweils eine Tastnadel über einen Aktuator oder eine Feder gegen die Oberfläche gedrückt wird. Schließlich kann der Taster samt Vorschub mit einem leichten Luft-Überdruck beaufschlagt werden, um eine Verschmutzung der Führungen und des Meßsystems zu verhindern.
  • Bei allen im Einsatz befindlichen Messtastern samt Vorschubsystemen muss regelmäßig die ordnungsgemäße Kalibrierung überprüft werden. Dies geschieht üblicherweise mittels Kalibriernormalen. Bei dem erfindungsgemäßen System ist die Kalibriermöglichkeit im Gerät eingebaut, so dass eine externe Kalibrierung entfällt und das Instrument einfach per Software in vorgegebenen Zeitabständen neu kalibriert werden kann.
  • Das induktive Meßsystem zur Messung der Tastnadelauslenkung ist altbewährt. Seine hohe Genauigkeit bezieht es letztendlich aus einer starken inhärenten Mittelwertbildung. Will man die Oberfläche schnell abtasten, so eignet sich ein optisches Meßsystem besser zur Messung der Auslenkung des Tasthebels.
  • Die Tastnadel ist an einem Tasthebel befestigt. Seine Auslenkung wird mittels des Meßsystems erfasst. Bei einer geeigneten geometrischen Anordnung kann man weitere Tastnadeln am Hebel anbringen, um z. B. damit an sonst schlecht zugänglichen Werkstückstellen zu messen oder um eine Neupositionierung der Vorrichtung einzusparen. Um die Verschmutzung des Meßsystems zu mindern, lässt sich über den Stutzen Sperrluft zuführen. Die Tastnadel kann mittels des Aktuators von der Werkstückoberfläche abgehoben werden oder auch mit einem definierten Anpressdruck beaufschlagt werden. Das eingebaute Kalibrierstück bzw. die Tastnadelprüfvorrichtung dient zur Überprüfung des Kalibrierzustandes des Messtasters bzw. zur Prüfung, ob die Tastnadel unbeschädigt ist. Dazu wird die Nadel mit dem Aktuator angehoben und zum Kalibrierstück gefahren. Dort überfährt sie z. B. eine Rille oder Kante und aus dem gemessenen Profil wird der Kalibrierfaktor berechnet. Ein wesentliches Merkmal der Vorrichtung ist die Bezugsebene. Sie stellt die Geradheitsreferenz der Vorschubbewegung dar. Auf ihr gleitet der Schlitten, angetrieben vom Motor über die Spindel. Derartige präzise Spindeln sind verschleißanfällig, weshalb vorteilhafterweise die Spindel durch einen Bandantrieb ersetzt wird, wobei z. B. ein Motor über eine Umlenkrolle ein Band bewegt, an welchem der Taster über das Verbindungsstück angekuppelt ist.
  • Es ist bisher üblich, linienhafte Oberflächenprofile zu erfassen und daraus die Rauheitsparameter zu berechnen. Dieses Vorgehen wird aber in der Zukunft vermehrt ergänzt durch die flächenhafte Erfassung der Oberflächenprofildaten, da man daraus auch winkelabhängige Strukturen ersehen kann. Es ist dazu notwendig die Vorrichtung zu erweitern um die Möglichkeit, den Taster auch in einer zur Vorschubrichtung senkrechten Richtung zu bewegen, wobei üblicherweise die Tastnadel mit dem zuvor erwähnten Bandantrieb eine Linie abtastet und danach der Taster bzw. die Vorrichtung motorisch seitlich um eine kleine Strecke versetzt wird und danach die nächste Profillinie aufgenommen wird. Wiederholt man diesen Vorgang so kann man eine beliebig große Oberfläche linienweise abtasten.
  • Der gesamte Vorschub ist zusammen mit dem Messtaster in einem kleinen Gehäuse montiert. Dieses besitzt geeignete Stützpunkte, mit welchem die Vorrichtung auf dem Werkstück aufgesetzt wird. Durch den kleinen Abstand dieser Abstützung zur Messnadel ist das Gesamtsystem unempfindlich gegenüber Vibrationen von außen. Um das Aufstellen der Vorrichtung auf Werkstücken unterschiedlicher Geometrie zu ermöglichen, ist an der Unterseite der Vorrichtung ein Rahmen angebracht, welcher die Stützpunkte trägt und sich leicht gegen einen anderen Rahmen mit geänderter Stützpunktanordnung auswechseln lässt.
  • Wahlweise kann die Vorrichtung mittels einer Batterie mit Energie versorgt werden und die Datenkommunikation kann über eine geeignete Schnittstelle, z. B. USB oder eine drahtlose Funkverbindung erfolgen. Mittels der Daten eines Vibrationsdetektors kann man eine Messung für ungültig erklären, falls äußere Schwingungen ein bestimmtes Maß überschreiten.
  • Der Tasthebel wird der Messaufgabe angepasst und kann verschiedene Längen aufweisen und/oder abgewinkelt ausgeführt sein. Über eine lösbare Verbindung kann er leicht gewechselt werden. Ebenso lässt sich die Tastnadel allein leicht auswechseln. Um eine möglichst originalgetreue Wiedergabe des Oberflächenprofils zu erzielen, sollte die Tasthebelbewegung gedämpft sein. Dazu dient das Dämpfungsglied.
  • Für den Einsatz in der Produktion muss die Vorrichtung verschleißarm ausgelegt sein. Die kleinstmögliche Reibung und höchste Verschleißfestigkeit wird erreicht, wenn die Reibpartner aus Diamant bestehen. Durch Beschichten von Karbidmaterial, Keramik oder Silizium lässt sich dies erreichen. Man wird deshalb die Referenzfläche bzw. Teile derselben und/oder die Auflagenoppen, falls vorhanden, vorteilhaft dergestalt anfertigen. Die Herstellung fast planer Oberflächen (im Nanometerbereich) ist teuer. Alternativ dazu kann man die Referenzfläche kippbar ausführen, z. B. durch ein einseitiges Scharnier in Form einer Blattfeder und die Kippung der Referenzebene mittels eines Piezoaktuators. Letzterer wird innerhalb eines Regelkreises stets so gesteuert, dass der Schlitten der Vorschubbewegung linear läuft. Dazu ist ein internes Meßsystem notwendig, welches die Abweichung von der Linearität in Echtzeit misst.
  • Montiert man die Vorrichtung an eine motorisierte Drehvorrichtung, so kann man auch programmgesteuert Profile von Werkstücken messen, die unter einem Winkel zur Standardmessrichtung angeordnet sind.
  • Besonders beim Einsatz von Messgeräten in automatisierten Abläufen ist es wünschenswert, die Tastnadel und womöglich die gesamte Messvorrichtung beim Werkstückwechsel vom Werkstück abzuheben und zu entfernen und danach wieder zuzustellen. Dies lässt sich erreichen, indem eine, vorzugsweise motorische, Verschiebung der Vorrichtung vorgesehen ist, welche dieselbe senkrecht zur Profillinie bzw. der Werkstückoberfläche um einige Millimeter bewegen kann.
  • Weitere Vorteile, Merkmale und Gesichtspunkte der Erfindung ergeben sich aus dem nachfolgenden Beschreibungsteil, in dem bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen beschrieben sind.
  • Es zeigen:
  • 1: einen schematischen Querschnitt einer Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung,
  • 2: eine schematische Draufsicht einer alternativen Antriebsvorrichtung mit Antriebsband,
  • 3: eine perspektivische Ansicht eines Gehäuses, das eine schematisch dargestellte Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung umschließt,
  • 4: eine Detailansicht einer mittels einer Blattfeder einseitig gelagerten Bezugsebene,
  • 5: eine Detailansicht eines Messtasters, welcher durch einen gedachten Begrenzungskörper umschlossen ist.
  • In der 1 ist schematisch ein Querschnitt einer erfindungsgemäßen Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung 20 dargestellt. Die Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung 20 ist in einem Gehäuse 41 integriert, welches mit Stützpunkten bzw. Abstützkörpern 33 auf der zu vermessenden Werkstückoberfläche 69 eines Werkstückes 50 aufsteht bzw. aufliegt. Die Stützpunkte bzw. Abstützkörper 33 sind an einem Wechselrahmen 71 befestigt, der eine verschiedenartige Anordnung von Abstützkörpern 33 zum Abstützen der Vorrichtung 20 auf dem Werkstück 50 ermöglicht. Die Rauheits- und Profilmessvorrichtung 20 umfasst einen Messtaster 36 mit einem als Freitaster ausgebildeten Tasthebel 23 und eine als Vorschubeinrichtung ausgebildete Antriebsvorrichtung 21 sowie eine eine Geradheitsreferenz der Antriebs- bzw. Vorschubbewegung bildende Bezugsebene 22.
  • Der Tasthebel 23 ist als gerade Tastwippe 81 mit einem ersten Ende 46 und einem zweiten Ende 47 ausgebildet. Die Tastwippe 81 ist an dem Schlitten 35 angelenkt und um die senkrecht zu der Zeichnungsebene gemäß 1 ausgebildeten Drehachse 74 verschwenkbar. An dem Tasthebel 23 sind hier drei Tastnadeln 28, 29, 34 angebracht, welche jeweils eine Tastspitze 45 aufweisen. Die Tastnadel 28 ist an dem zweiten Ende 47 des Tasthebels 23 und die beiden Tastnadeln 29, 34 sind an dem ersten Ende 46 des Tasthebels 23 angeordnet. Die Tastspitzen 45 der Tastnadeln 34 und 28 weisen in Richtung der Werkstückoberfläche 69 und die Tastspitze 45 der Tastnadel 29 weist von der Werkstückoberfläche 69 weg. An dem Tasthebel 23 ist ein Dämpfungselement 37 angelenkt, welches die Tastbewegung und die Auslenkung 70 des Tasthebels 23 dämpft und daher eine möglichst genaue Wiedergabe des Oberflächenprofils ermöglicht. Der Tasthebel 23 ist lösbar an dem Schlitten 35 befestigt und austauschbar. Ferner ist der Tasthebel 23 mittels eines Rüssels 72 über das Gehäuse 41 hinaus verlängerbar, wobei die Rüssel mit einer unterschiedlichen Länge verfügbar sein können.
  • Weiterhin umfasst die Vorrichtung 20 ein Messsystem 27 zur Erfassung und/oder Messung der Auslenkung 70 des Tasthebels 23. Bei der in 1 dargestellten Ausführungsform ist das Messsystem 27 bzw. ein Teil des Messsystem 27 an dem Tasthebel 23 angebracht. Ferner ist an dem Tasthebel 23 ein Aktuator 24 angelenkt, der ein Abheben der Tastspitzen 45 bzw. der Tastnadeln 28, 29, 34 bzw. des gesamten Messtasters 36 einschließlich des Tasthebels 23 von der Werkstückoberfläche 69 ermöglicht. Der Aktuator 24 ermöglicht es ferner, eine vorbestimmte Tastkraft bzw. einen vorbestimmten Anpressdruck zwischen der Tastspitze 45 und der Werkstückoberfläche 69 einzustellen. Der Schlitten 35 trägt den Tasthebel 23 und ermöglicht die Verschiebebewegung des Tasthebels 23 in Fahrrichtung 39 bzw. entlang des zu vermessenden Oberflächenprofils. Ferner ist der Schlitten 35 von einem Träger 68 getragen und weist Gleitkufen 65 auf, welche auf der Bezugsebene 22 aufliegen und auf dieser bei einer Bewegung des Messtasters 23 in Vorschubrichtung gleiten. Die Gleitkufen 65 sind mit einer verschleißarmen Diamant-Beschichtung 66 versehen bzw. bestehen aus einer verschleißarmen Schicht, welche auf einer Oberfläche 67 aus Metall, Glas, Karbid- oder Keramikwerkstoff oder Silizium aufgetragen bzw. befestigt ist.
  • Die Bezugsebene 22 ist mit der Oberfläche 78 einer verschleißarmen Schicht bzw. Diamant-Beschichtung 62 gebildet, welche auf einer Oberfläche 63 eines stabilen und steifen Trägers 64 aus Metall, Glas, Karbid- oder Keramikwerkstoff oder Silizium aufgetragen bzw. befestigt ist.
  • Die als Vorschubeinrichtung ausgebildete Antriebsvorrichtung 21 weist einen Motor 30 auf, welcher mittels einer Spindel 32 den Schlitten 35 antreibt.
  • Ferner umfasst die Rauheits- und Profilmessvorrichtung 20 die nachfolgend aufgezählten Teile, Vorrichtungen und Einrichtungen, welche allesamt zusammen mit dem Messtaster 36, der Antriebsvorrichtung 21 und der Bezugsebene 22 in einem gemeinsamen Gehäuse 41 integriert sind (1 und 3). Im einzelnen sind dies:
    • – ein Vibrationssensor 48 zur Erfassung bzw. Messung von äußeren und/oder inneren Schwingungen,
    • – ein Sensor 49 zur Lageerkennung des Werkstückes 50 und/oder zur Messung der Entfernung zu dem Werkstück 50 und/oder zur Werkstückoberfläche 69, eine serielle oder parallele Schnittstelle 51 zur Datenübermittlung und/oder Energieversorgung der Antriebsvorrichtung und/oder Tasterelektronik,
    • – eine Einrichtung 59 zur weiteren, unabhängigen Energieversorgung, beispielsweise in Form einer Batterie,
    • – einen Datenspeicher 53 zur Speicherung von Mess- und/oder Betriebsdaten und/oder Informationen zur Restwelligkeit der Bezugsebene 22,
    • – einen Prozessor 54, welcher dazu bestimmt ist, die Informationen über Restwelligkeit aus dem Datenspeicher 53 zu verarbeiten und/oder Messergebnisse mittels einer Look-up Tabelle und/oder mittels einer Polynom- bzw. Spline-Interpolation hinsichtlich der Restwelligkeit zu korrigieren,
    • – eine Einrichtung 52 zur Datenübertragung und/oder Steuerung über Funk und/oder mittels Bluetooth-Technologie und/oder mittels Infrarot-Technologie und
    • – einen Datenspeicher 61 zur Speicherung von Betriebszyklen und/oder Informationen über die Betriebsdauer der Vorrichtung (20).
  • Weiterhin weist die Vorrichtung 20 in dem Gehäuse 41 einen Signalgeber 57 auf, welcher bei einer etwaigen Fehlfunktion der Vorrichtung 20 oder bei einer etwaigen Beschädigung der Tastnadeln 28, 29, 34 und/oder der Tastspitze 45 und/oder des Messsystems 27 ein, vorzugsweise akustisches und/oder optisches, Warnsignal ausgibt bzw. ausgeben kann. Die Vorrichtung 20 weist in dem Gehäuse 41 ferner eine Überprüfungseinrichtung 58 zur automatischen und/oder softwaregesteuerten, insbesondere laufenden, Selbstüberprüfung einer ordnungsgemäßen Funktion der Vorrichtung 20 oder von Teilen davon auf. Die Vorrichtung 20 umfasst eine ebenfalls in dem Gehäuse 41 untergebrachte Einrichtung 52 zur Datenübertragung und/oder Steuerung der Vorrichtung per Funk und/oder per Bluetooth-Technologie und/oder per Infrarot-Technologie. Die Vorrichtung 20 weist in dem Gehäuse 41 einen weiteren Datenspeicher 61 auf, welcher die Speicherung von Betriebszyklen und/oder Informationen über die Betriebsdauer der Vorrichtung 20 ermöglicht. Die Vorrichtung 20 ist ferner mittels eines weiteren, ebenfalls in dem Gehäuse 41 angeordneten, Antriebselementes 76 um die Drehachse 75 verschwenkbar, so dass auch Oberflächenprofile von Werkstücken 50 softwaregesteuert gemessen werden können, die unter einem Winkel zur Standardmessrichtung angeordnet sind. Die Drehachse 75 ist senkrecht zu dem Boden 77 des Gehäuses 41 bzw. einer Grundfläche 77 des Gehäuses 41 angeordnet. Das Antriebselement 76 ist ebenso in dem Gehäuse 46 integriert.
  • Das Gehäuse 41 der Vorrichtung 20 weist einen Stutzen 31 auf, mittels dessen ein Sperrgas 38, insbesondere Sperrluft 38, in das Gehäuse 41 zugeführt werden kann, um die Verschmutzung des Messsystems 27 zu mindern bzw. zu verhindern.
  • Wie aus den 1 und 3 ersichtlich, weist das kubische bzw. quaderförmige Gehäuse 41 eine Länge 51, eine Höhe 56 und eine Breite 79 auf. Die Außenabmaße des Gehäuses 41 überschreiten die Maße 70 × 45 × 45 mm (Länge 55 × Breite 79 × Höhe 56), vorzugsweise die Maße 50 × 35 × 35 mm (Länge 55 × Breite 79 × Höhe 56), nicht. Bei dem in der 1 dargestellten Gehäuse 41 betragen die Außenabmaße etwa 47 × 27 × 30 mm (Länge 55 × Breite 79 × Höhe 56).
  • In der 2 ist eine Draufsicht einer alternativen Antriebseinrichtung 21.1 mit Bandantrieb schematisch dargestellt. Die Antriebseinrichtung 21.1 weist einen Drehantrieb bzw. Motor 91 auf, welcher ein Antriebsband 90 antreibt. Das Antriebsband 90 ist um Drehkörper bzw. Umlenkrollen 93, 95 geführt bzw. umschlingt diese. Das Antriebsband 90 weist ein Verbindungsstück 92 auf, mittels dessen der Messtaster 36 bzw. der den Messtaster 36 tragende Schlitten 35 an dem Antriebsband 90 befestigt ist und mittels der Antriebseinrichtung 21.1 in Axialrichtung 94 bzw. in Fahrrichtung 39 (siehe 1), d. h. entlang des Oberflächenprofils eines Werkstückes, bewegbar ist.
  • In der 4 ist eine Detailansicht einer Referenzebene 22 dargestellt. Auf einem steifen und stabilen Träger 64 ist eine verschleißarme Schicht bzw. Diamant-Beschichtung 62 aufgetragen bzw. befestigt, deren Oberfläche 78 die Referenzebene 22 bildet. Die verschleißarme Schicht bzw. Beschichtung 62 ist auf der Oberfläche 63 des stabilen und verformungsarmen Trägers 64 aufgebracht bzw. befestigt. Die Referenzebene 22 ist an einer ein einseitiges Scharnier ausbildenden Blattfeder 99 befestigt bzw. in dem Gehäuse 41 angeordnet und mittels eines weiteren Aktuators 96, insbesondere eines Piezoaktuators, verschwenkbar bzw. kippbar. Der Aktuator 96 wird mittels des Regelkreises 98 und/oder basierend auf den Messergebnissen der Messeinrichtung 97 derart gesteuert, dass der Schlitten 65 eine lineare Vorschubgeschwindigkeit aufweist bzw. sich mit dieser bewegen kann. Dabei sind etwaige Abweichungen von einer Linearität der Vorschubgeschwindigkeit bzw. von einer konstanten Vorschubgeschwindigkeit in Echtzeit durch den Regelkreis 98 korrigierbar.
  • In der 5 ist ein Messtaster 36 dargestellt, welcher durch einen gedachten Begrenzungskörper 104 umschlossen wird. Dieser gedachte Begrenzungskörper 104 weist eine Länge 101, eine Höhe 103 und eine Breite 102 von maximal 30 × 15 × 15 mm auf.
  • 20
    Rauheits-/Profilmess-vorrichtung
    21
    Vorschubeinrichtung bzw. Antriebsvorrichtung
    21.1
    Vorschubeinrichtung bzw. Antriebsvorrichtung
    22
    Bezugsebene
    23
    Tasthebel
    24
    Aktuator
    25
    Kalibriervorrichtung
    26
    Tastnadelprüfvorrichtung
    27
    Messsystem
    28
    Tastnadel
    29
    Tastnadel
    30
    Motor
    31
    Stutzen
    32
    Spindel
    33
    Abstützkörper
    34
    Tastnadel
    35
    Schlitten
    36
    Messtaster
    37
    Dämpfungsglied
    38
    Sperrluft
    39
    Fahrrichtung
    41
    Gehäuse
    43
    Volumen
    45
    Tastspitze
    46
    Ende
    47
    Ende
    48
    Vibrationssensor
    49
    Sensor
    50
    Werkstück
    51
    Schnittstelle
    52
    Einrichtung zur Datenübertragung und/oder Steuerung
    53
    Datenspeicher
    54
    Prozessor
    55
    Länge
    56
    Höhe
    57
    Signalgeber
    58
    Überprüfungseinrichtung
    59
    Einrichtung zur Energieversorgung
    60
    Tasterelektronik
    61
    Datenspeicher
    62
    Beschichtung bzw. Schicht
    63
    Oberfläche
    64
    Träger
    65
    Gleitkufe
    66
    Beschichtung bzw. Schicht
    67
    Oberfläche
    68
    Träger
    69
    Werkstückoberfläche
    70
    Auslenkung
    71
    Wechselrahmen
    72
    Rüssel
    73
    Tastwippe
    74
    Drehachse
    75
    Drehachse
    76
    Antriebselement
    77
    Grundfläche bzw. Gehäuseboden
    78
    Oberfläche
    79
    Breite
    80
    Temperatursensor
    81
    Tasterwippe
    90
    Antriebsband
    91
    Antrieb
    92
    Verbindungsstück
    93
    Drehkörper
    94
    Axialrichtung
    95
    Drehkörper
    96
    Aktuator
    97
    Messeinrichtung
    98
    Regelkreis
    99
    Scharnier bzw. Blattfeder
    101
    Länge
    102
    Breite
    103
    Höhe
    103
    Begrenzungskörper
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 4437033 A [0004]
    • - DE 10334219 A [0005]
    • - DE 102005035786 A [0006]
    • - DE 10230009 A [0007]
    • - DE 20120127 U1 [0008]

Claims (51)

  1. Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung (20) mit einem, vorzugsweise als Freitaster ausgebildeten, Messtaster (36) mit einem Tasthebel (23), der eine Tastnadel (28, 29, 34) mit einer Tastspitze (45) zur Erfassung bzw. Messung mikroskopischer Oberflächenprofile von, insbesondere auch eine unregelmäßige Form aufweisenden, Werkstücken (50), insbesondere unter Produktionsbedingungen, aufweist, mit einer, vorzugsweise als Vorschubeinrichtung (21) gestalteten, Antriebsvorrichtung (21), mittels derer die Tastnadel (28, 29, 34) entlang dem Oberflächenprofil eines Werkstückes (50) bewegbar ist bzw. bewegt wird und mit einer eine Geradheitsreferenz der Antriebs- bzw. Vorschubbewegung bildenden Bezugsebene (22), entlang der der Messtaster (36) bzw. ein diesen tragender Schlitten (35) bei einer Bewegung der Tastnadel (28, 29, 34) entlang dem Oberflächenprofil des Werkstückes (50) bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Bezugsebene (22) mit einer Oberfläche (78) einer verschleißfesten bzw. abriebsfesten und/oder rei bungsarmen Schicht bzw. Beschichtung (62) gebildet ist, die, vorzugsweise unmittelbar, auf einer Oberfläche (63), insbesondere eines stabilen und steifen Trägers (64), aus Metall, insbesondere Hartmetall, Glas, Karbid- oder Keramikwerkstoff oder Silizium, aufgetragen bzw. befestigt ist und/oder dass wenigstens eine die Bezugsebene (22) berührende Gleitkufe (65) des Messtasters (36) bzw. des diesen tragenden Schlittens (35) mit einer verschleißfesten bzw. abriebsfesten und/oder reibungsarmen Schicht bzw. Beschichtung (66) gebildet ist, die, vorzugsweise unmittelbar, auf einer Oberfläche (67), insbesondere eines stabilen und steifen Trägers (68), aus Metall, insbesondere Hartmetall, Glas, Karbid- oder Keramikwerkstoff oder Silizium, aufgetragen bzw. befestigt ist und/oder dass wenigstens eine die Bezugsebene (22) berührende Gleitkufe (65) des Messtasters (36) bzw. des diesen tragenden Schlittens (35), vorzugsweise im Wesentlichen oder ganz, mit bzw. aus einem verschleißfesten bzw. abriebsfesten und/oder reibungsarmen Material gebildet ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht bzw. Beschichtung (62, 66) oder die Schichten bzw. Beschichtungen (62, 66) aus einer Hart- und/oder Gleitstoffschicht bzw. -beschichtung gebildet ist bzw. sind.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Hart- und/oder Gleitstoffschicht bzw. -beschichtung Titannitrit und/oder Titanaluminiumnitrit und/oder Titankarbonnitrit und/oder Chromnitrit und/oder Kohlenstoff, vorzugsweise Diamant oder diamantähnliche Kohlenstoffverbindungen, aufweist oder diamantähnlich aus Kohlenstoff bzw. auf Kohlenstoffbasis gebildet ist.
  4. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die oder jede Beschichtung eine im PVD- oder CVD-Verfahren aufgebrachte Beschichtung ist.
  5. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die die Bezugsebene (22) ausbildende Schicht bzw. Beschichtung (62) und die Schicht bzw. Beschichtung (66) der wenigstens einen Gleitkufe (65) aus dem gleichen Werkstoff bestehen.
  6. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das verschleißfeste bzw. abriebsfeste und/oder reibungsarme Material mit oder aus dem die wenigstens eine Gleitkufe (65) gebildet ist, aus Diamant, insbesondere Volldiamant, oder aus einer diamantähnlichen Kohlenstoffverbindung bzw. aus einem diamantähnlichen Werkstoff aus Kohlenstoff oder aus einem Hartmetall oder aus einer Titannickel- oder Chromnickelverbindung, gebildet ist oder Anteile davon aufweist.
  7. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die die Bezugsebene (22) ausbildende Schicht bzw. Beschichtung (62) und die wenigstens eine Gleitkufe (65) aus dem gleichen Werkstoff bestehen.
  8. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsvorrichtung (21) ein Antriebsseil oder ein Antriebsband (90) umfasst, an dem der Messtaster (36) bzw. der den Messtaster (36) tragende Schlitten (35) befestigt ist.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsseil oder das Antriebsband (90) mit Hilfe eines Antriebes (91), vorzugsweise mit Hilfe eines Drehantriebes (91), in seiner Axialrichtung (94) bewegbar ist bzw. bewegt wird, um eine Bewegung des Messtasters (36) bzw. dessen Tastnadel (28, 29, 34) längs des zu erfassenden bzw. zu messenden Oberflächenprofils des Werkstückes (50) zu bewirken.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsseil oder das Antriebsband (90) zum Zwecke seiner bzw. bei Bewegung in Axialrichtung (94) wenigstens teilweise um einen Drehkörper (93, 94) geschlungen ist bzw. wird.
  11. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Antriebsseil bzw. dem Antriebsband (90) um ein umlaufendes Seil bzw. Band (90) handelt, das wenigstens teilweise um wenigstens zwei, vorzugsweise als Umlenkrollen (93, 94) gestaltete, Drehkörper (93, 94) geschlungen ist.
  12. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (20) – einen, vorzugsweise softwaregesteuerten, Aktuator (24) zum Abheben der Tastspitzen (45) bzw. der Tastnadel (28, 29, 34), gegebenenfalls auch des gesamten Messtasters (36), von der Werkstückoberfläche (69) und/oder – ein Messsystem (27) zur Erfassung der Auslenkung (70) der Tastnadel (28, 29, 34) und/oder der Tastspitze (45) und/oder – eine Tasterelektronik (60) zur Steuerung bzw. Regelung der Antriebsvorrichtung (21) und/oder des Aktuators (24) und/oder – eine Kalibriervorrichtung (25) zur Überprüfung eines Kalibrierzustandes des Messtasters (36) und/oder – eine Tastnadelprüfvorrichtung (26) zur Prüfung der Tastnadel (28, 29, 34) bzw. der Tastspitze (45) auf etwaige Beschädigungen aufweist.
  13. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere auswechselbare Wechselrahmen (71) an der Vorrichtung (20) anbringbar bzw. angebracht sind, welche eine verschiedenartige Anordnung von Abstützkörpern (33) zum Abstützen der Vorrichtung (20) auf dem Werkstück (50) aufweisen.
  14. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Tasthebel (23) wenigstens zwei Tastnadeln (28, 29, 34) zur alternativen Erfassung bzw. Messung des Oberflächenprofils des Werkstückes (50) angebracht sind.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens zwei Tastnadeln (29, 34) an ein und demselben Ende (46) des Tasthebels (33) angeordnet sind.
  16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Tastspitzen (45) von wenigstens zwei der Tastnadeln (28, 39, 34) in eine unterschiedliche, vorzugsweise in eine entgegen gesetzte, Richtung weisen.
  17. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei der Tastnadeln (28, 29, 34) gegenüber liegend angeordnet sind.
  18. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine erste Tastnadel (34) an einem ersten Ende (46) des Tasthebels (23) und wenigstens eine zweite Tastnadel (28) an einem zweiten Ende (47) dieses Tasthebels (23) angebracht sind.
  19. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Tastnadeln (28, 29, 34) an, vorzugsweise auswechselbaren, Rüsseln (72) verschiedener Längen angebracht sind.
  20. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Tasthebel (23), vorzugsweise teleskopisch, verlängerbar bzw. ausziehbar ist.
  21. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Tasthebel (23) auswechselbar ist.
  22. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Tasthebel (28, 29, 34) an dem Schlitten (35) um eine Drehachse (74) verschwenkbar angelenkt ist.
  23. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Tasthebel (23) als eine, vorzugsweise gerade, Tasterwippe (73) ausgebildet ist, welche um eine Drehachse (74) verschwenkbar ist, vorzugsweise an einem Schlitten (35) angelenkt ist.
  24. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen, vorzugsweise optischen und/oder akustischen, Signalgeber (57) aufweist, welcher bei einer etwaigen Fehlfunktion und/oder bei einer etwaigen Beschädigung der Tastspitze (45) und/oder der Tastnadel (28, 29, 45) ein, vorzugsweise akustisches und/oder optisches, Warnsignal ausgeben kann bzw. ausgibt.
  25. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teil der oder im wesentlichen alle, vorzugsweise funktionsrelevanten mechanischen, Bauteile der Vorrichtung (20) aus einem Material gebildet sind, welches einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten aufweist, der kleiner als 5,0·10–6 1/K, vorzugsweise kleiner als 2,0·10–6 1/K, insbesondere kleiner als 1,0·10–6 1/K ist.
  26. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Tastkraft bzw. ein Auflagedruck an der Tastspitze (45), vorzugsweise softwaregesteuert, einstellbar bzw. regelbar ist oder eingestellt bzw. geregelt wird.
  27. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese wenigstens einen Aktuator (24) aufweist, mittels dessen eine, vorzugsweise variable, vorherbestimmte bzw. bestimmte Tastkraft auf den Tasthebel (23) und/oder auf wenigstens eine der Tastnadeln (28, 29, 34), insbesondere softwaregesteuert, aufbringbar bzw. aufgebracht wird.
  28. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auslenkung (70) der Tastspitze (45) und/oder der Tastnadeln (28, 29, 34) und/oder des Tasthebels (23) induktiv oder nicht induktiv gemessen wird.
  29. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese eine, vorzugsweise USB-taugliche, Schnittstelle (51), insbesondere für einen Datenaustausch und/oder zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung (21) und/oder der Tasterelektronik (60), aufweist.
  30. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese eine Ein richtung (59) zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung (21) und/oder der Tasterelektronik (60), vorzugsweise eine Batterie, aufweist, welche ebenso in das Gehäuse (41) integriert ist.
  31. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese eine Einrichtung (52) zur Datenübertragung und/oder Steuerung über Funk und/oder mittels Bluetooth-Technologie und/oder mittels Infrarot-Technologie aufweist.
  32. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Betriebszyklen und/oder Informationen über die Betriebsdauer der Vorrichtung (20) in einem Datenspeicher (61) speicherbar bzw. gespeichert und auslesbar sind bzw. werden.
  33. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Vibrationssensor (48) zur Erfassung bzw. Messung von äußeren und/oder inneren Schwingungen aufweist.
  34. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (20) mit einem Sperrgas (38), insbesondere mit Sperrluft (38), vorzugsweise über einen Stutzen (31), beaufschlagbar ist bzw. beaufschlagt wird.
  35. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese wenigstens einen Sensor (49) zur Lageerkennung des Werkstückes (50) und/oder zur Messung der Entfernung zu dem Werkstück (50) und/der zur Werkstückoberfläche (69) aufweist.
  36. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese wenigstens einen Temperatursensor (80) zur Messung der Temperatur des Messtasters (36) und/oder des Messsystems (27) und/oder des Werkstücks (50) und/oder der Werkstückoberfläche (69) aufweist.
  37. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese Mittel zur flächenhaften Abtastung der Werkstückoberfläche (69) aufweist.
  38. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese Mittel zum, vorzugsweise motorischen, Bewegen der Vorrichtung (20) senkrecht zur Werkstückoberfläche (69) aufweist.
  39. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese ein Dämpfungselement (37) zur Dämpfung einer Bewegung des Tasthebels (23) aufweist.
  40. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Datenspeicher (53) zur Speicherung von Informationen über eine Restwelligkeit der Bezugsebene (22) aufweist.
  41. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Prozessor (54) aufweist, welcher dazu bestimmt ist, die Informationen über die Restwelligkeit aus dem Datenspeicher (53) zu verarbeiten und/oder Messergebnisse mittels einer Look-up Tabelle und/oder mittels einer Polynom- bzw. Spline-Interpolation hinsichtlich der Restwelligkeit zu korrigieren.
  42. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antriebselement (76) vorgesehen ist, das dazu bestimmt ist, die Vorrichtung (20) oder den Messtaster (36), vorzugsweise zusammen mit der Antriebsvorrichtung (21), vorzugsweise motorisiert, um eine Drehachse (75) zu drehen.
  43. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bezugsebene (22), insbesondere entlang eines einseitig angeordneten, vorzugsweise als Blattfeder (99) ausgebildeten, Scharniers, kippbar ausgebildet ist, insbesondere wobei die Bezugsebene (22) mittels eines weiteren Aktuators (96) kippbar ist, so dass eine Referenzebenenlinearität aktiv, insbesondere mittels eines Regelkreises (98) und/oder basierend auf einer internen Messeinrichtung (97), vorzugsweise softwaregesteuert, nachregelbar bzw. nachstellbar ist oder nachgeregelt wird bzw. nachgestellt wird.
  44. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine, vorzugsweise laufende, Selbstüberprüfung der ordnungsgemäßen Funktion der Vorrichtung (20) oder von Teilen davon automatisch, vorzugsweise softwaregesteuert, erfolgt.
  45. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine zyklische Kalibrierüberprüfung mittels Software durchgeführt bzw. gesteuert wird.
  46. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel vorgesehen sind, um eine Abtastgeschwindigkeit der Tastnadel (28, 29, 34) bis zu einer berechneten Grenze über eine Normgeschwindigkeit hinaus zu erhöhen, so dass ein berechneter bzw. gemessener Rauhigkeitsparameter bzw. das mikroskopische Oberflächenprofil sich höchstens um einen bestimmbaren oder bestimmten bzw. einstellbaren oder eingestellten Betrag von demjenigen bei der Normgeschwindigkeit abweicht.
  47. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Messtaster (36) und die Antriebsvorrichtung (21), vorzugsweise auch die Bezugsebene (22), – ggf. auch ein bzw. der Aktuator (24) zum Abheben der Tastspitzen (45) bzw. der Tastnadel (28, 29, 34) von der Werkstückoberfläche (69) und/oder – ein bzw. das Messsystem (27) zur Erfassung der Auslenkung (70) der Tastnadel (28, 29, 34) bzw. der Tastspitzen (45) und/oder – eine bzw. die Tasterelektronik (60) zur Steuerung bzw. Regelung der Antriebsvorrichtung (21) und/oder des Aktuators (24) und/oder – eine bzw. die Kalibriervorrichtung (25) zur Überprüfung eines Kalibrierzustandes des Messtasters (36) und/oder – eine bzw. die Tastnadelprüfvorrichtung (26) zur Prüfung der Tastnadeln (28, 29, 34) und/oder der Tastspitzen (45) auf etwaige Beschädigungen und/oder – ein bzw der Signalgeber (57), welcher bei einer etwaigen Fehlfunktion und/oder bei einer etwaigen Beschädigung der Tastspitze (45) und/oder der Tastnadel (28, 29, 45) ein Warnsignal ausgeben kann bzw. ausgibt, und/oder – eine bzw. die, vorzugsweise USB-taugliche, Schnittstelle (51), insbesondere für einen Datenaustausch und/oder zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung (21) und/oder der Tasterelektronik (60), und/oder – eine bzw. die Einrichtung (59) zur Energieversorgung der Antriebsvorrichtung (21) und/oder der Tasterelektronik (60) und/oder – ein bzw. der Sensor (49) zur Lageerkennung des Werkstückes (50) und/oder zur Messung der Entfernung zu dem Werkstück (50) und/oder – ein bzw. der Temperatursensor (80) zur Messung der Temperatur des Messtasters (36) und/oder des Messsystems (27) und/oder des Werkstücks (50) und/oder der Werkstückoberfläche (69) und/oder – ein bzw. das Dämpfungselement (37) zur Dämpfung einer Bewegung des Tasthebels (23) und/oder – ein bzw. der Vibrationssensor (48) zur Erfassung bzw. Messung von äußeren und/oder inneren Schwingungen und/oder – ein bzw. der Datenspeicher (53) zur Speicherung von Informationen über eine Restwelligkeit der Bezugsebene (22) und/oder Mess- und/oder Betriebsdaten und/oder – ein bzw. der Prozessor (54), welcher dazu bestimmt ist, die Informationen über die Restwelligkeit aus einem bzw. dem Datenspeicher (53) zu verarbeiten und/oder Messergebnisse mittels einer Look-up Tabelle und/oder mittels einer Polynom- bzw. Spline-Interpolation hinsichtlich der Restwelligkeit zu korrigieren und/oder – ein bzw. der Aktuator (96) zum Kippen der Bezugsebene (22) und/oder – Mittel bzw. die Mittel zur flächenhaften Abtastung der Werkstückoberfläche und/oder – Mittel bzw. die Mittel zur Bewegung der Vorrichtung (20) senkrecht zu der Werkstückoberfläche (69) und/oder – weitere Teile, Vorrichtungen oder Einrichtungen der Vorrichtung (20) allesamt in einem gemeinsamen Gehäuse (41) integriert sind.
  48. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenabmaße des Messtasters (36) von einem gedachten Begrenzungskörper begrenzt sind, der eine Länge (101), eine Breite (102) und eine Höhe (103) aufweist, und welcher die Begrenzungsabmaße 30 × 15 × 15 mm (Länge × Breite × Höhe) nicht überschreitet.
  49. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es sich dabei um eine Rauheits- und/oder Profilmessvorrichtung (20) in Miniaturgröße handelt, wobei deren Außenabmaße und/oder wobei die Außenabmaße des, vorzugsweise quaderförmigen, Gehäuses (41), die Maße 70 × 45 × 45 mm (Länge (55) × Breite (79) × Höhe (56)), vorzugsweise die Maße 50 × 35 × 35 mm (Länge (55) × Breite (79) × Höhe (56)), nicht überschreitet.
  50. Vorrichtung nach Anspruch 49, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenabmaße etwa 47 × 27 × 30 mm (Länge (55) × Breite (79) × Höhe (56)) betragen.
  51. Vorrichtung nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (20) derart miniaturisiert ist, dass diese in ein Gehäuse (41) integrierbar bzw. integriert ist, welches ein Volumen (43) umschließt, das kleiner als 80 cm3, vorzugsweise kleiner als 60 cm3, insbesondere kleiner als 40 cm3, ist.
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