JP6926574B2 - 清浄度分析装置および分析方法 - Google Patents
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Description
炭化水素洗浄剤に不純物として市販の不水溶性切削油剤を加え、所定の濃度に調合して試料とした。
不純物 :不水溶性切削油剤 (スギムラ化学(株)製)
<基板の表面粗さ測定>
研磨された市販品のSUS304基板(50×50×1mmt厚)をレーザー顕微鏡にて測定を行い、表面粗さ(Ra)を算出した。結果を表1に示す。
<残渣の作製>
加熱ヒーターを内蔵したアルミニウム製の加熱ブロックで基板を加熱し、シリンジを用いて洗浄剤を滴下後、洗浄剤を蒸発させ、蒸発しなかった不純物により残渣を形成した。
形成された残渣形状:略円形 ○ 、不定形 ×
残渣の大きさ:ノギスで2方向(90度ずらし)から計測し、平均値を取る。
表1に調合した試料を用いて残渣を作製し、評価を行った結果を示す。
表1に調合した試料を用いて残渣を作製し、評価を行った結果を示す。
Claims (3)
- 基板または容器上に、シリンジの針またはノズルから洗浄剤を滴下し、蒸発させ、洗浄剤中の不純物量を測定する装置において、表面粗さ(Ra)が0.9マイクロメートル以下である基板または容器上に、滴下面から15ミリメートル以内の高さに設定したシリンジの針またはノズルから洗浄剤を滴下し、加熱温度で蒸発しない成分により形成される残渣の寸法や面積を計測する工程を有することを特徴とする分析装置。
- 基板または容器上に、シリンジの針またはノズルから洗浄剤を滴下し、蒸発させ、洗浄剤中の不純物量を測定する方法において、表面粗さ(Ra)が0.9マイクロメートル以下である基板または容器上に、滴下面から15ミリメートル以内の高さに設定したシリンジの針またはノズルから洗浄剤を滴下し、加熱温度で蒸発しない成分による残渣を略円形状に形成させ、その寸法や面積を計測することを特徴とする洗浄剤中の不純物量の分析方法。
- 洗浄剤を、あらかじめ加熱した基板または容器に滴下することを特徴とする請求項2に記載の分析方法。
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