JP2009301607A - 不揮発性半導体記憶装置およびその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを可及的に低減する。
【解決手段】複数の不揮発性記憶素子が直列に接続され、隣り合う前記不揮発性記憶素子同士がソース/ドレイン拡散層を共有する、記憶素子ユニットであって、前記記憶素子ユニットの一端はソース線と接続され、他端はビット線と接続された、記憶素子ユニットと、前記不揮発性記憶素子のワード線に電圧を印加する電圧印加回路であって、前記記憶素子ユニットを構成する複数の前記不揮発性記憶素子のデータを消去するデータ消去動作を行う際、前記記憶素子ユニットを、1以上の任意の数の前記不揮発性記憶素子からなる少なくとも2以上のグループに分けて、隣り合う前記グループについて前記ソース線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に、前記ビット線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線よりも高い電圧を印加する、電圧印加回路と、を備える。
【選択図】図5
【解決手段】複数の不揮発性記憶素子が直列に接続され、隣り合う前記不揮発性記憶素子同士がソース/ドレイン拡散層を共有する、記憶素子ユニットであって、前記記憶素子ユニットの一端はソース線と接続され、他端はビット線と接続された、記憶素子ユニットと、前記不揮発性記憶素子のワード線に電圧を印加する電圧印加回路であって、前記記憶素子ユニットを構成する複数の前記不揮発性記憶素子のデータを消去するデータ消去動作を行う際、前記記憶素子ユニットを、1以上の任意の数の前記不揮発性記憶素子からなる少なくとも2以上のグループに分けて、隣り合う前記グループについて前記ソース線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に、前記ビット線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線よりも高い電圧を印加する、電圧印加回路と、を備える。
【選択図】図5
Description
本発明は、不揮発性半導体記憶装置およびその制御方法に関する。
近年、大容量の不揮発性メモリとして、NANDフラッシュメモリが携帯情報端末を中心に広く用いられるようになっている。NANDフラッシュメモリのデータ消去は、セルウェルというセルトランジスタ(記憶素子)の形成された領域に消去電圧を、選択されたブロック内の全てのワード線に一定の電圧をそれぞれ印加することにより、各セルトランジスタのフローティングゲート中の電子をセルウェル側に引き抜く方法が採られている(特許文献1)。消去電圧を印加した後、消去した全てのセルトランジスタの閾値が許容される閾値範囲の上限以下になっていることを確認するために、消去ベリファイ動作が行われる。
しかし、この消去ベリファイ動作では、閾値の下限は制御されないため、閾値電圧分布が負の方向に広がるという問題がある。閾値電圧分布が広がることは、データの書込みミスや閾値の変動に繋がり、好ましくない。
従来、広がった閾値分布を狭める方法の一つとして、データ消去後にソフト書込み(弱書き込み)と呼ばれるデータの書き戻しを行う方法が開示されている(特許文献2)。
特開2005―116102号公報
特開2007−305204号公報
本発明は、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを可及的に低減することのできる不揮発性半導体記憶装置およびその制御方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様によれば、複数の不揮発性記憶素子が直列に接続され、隣り合う前記不揮発性記憶素子同士がソース/ドレイン拡散層を共有する、記憶素子ユニットであって、前記記憶素子ユニットの一端はソース線と接続され、他端はビット線と接続された、記憶素子ユニットと、前記不揮発性記憶素子のワード線に電圧を印加する電圧印加回路であって、前記記憶素子ユニットを構成する複数の前記不揮発性記憶素子のデータを消去するデータ消去動作を行う際、前記記憶素子ユニットを、1以上の任意の数の前記不揮発性記憶素子からなる少なくとも2以上のグループに分けて、隣り合う前記グループについて前記ソース線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に、前記ビット線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線よりも高い電圧を印加する、電圧印加回路と、を備える不揮発性半導体記憶装置が提供される。
本発明の別態様によれば、複数の不揮発性記憶素子が直列に接続され、隣り合う前記不揮発性記憶素子同士がソース/ドレイン拡散層を共有する、記憶素子ユニットであって、前記記憶素子ユニットの一端はソース線と接続され、他端はビット線と接続された、記憶素子ユニットと、前記不揮発性記憶素子のワード線に電圧を印加する電圧印加回路と、を備える半導体記憶装置の制御方法において、前記記憶素子ユニットを構成する複数の前記不揮発性記憶素子のデータを消去するデータ消去動作を行う際、前記記憶素子ユニットを、1以上の任意の数の前記不揮発性記憶素子からなる少なくとも2以上のグループに分けて、隣り合う前記グループについて前記ソース線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に、前記ビット線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線よりも高い電圧を前記電圧印加回路により印加する、不揮発性半導体記憶装置の制御方法が提供される。
本発明によれば、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを可及的に低減することができる。
本発明の実施形態について説明する前に、NANDフラッシュメモリの構成およびデータの消去に係る動作について説明する。なお、同一の機能を有する構成要素には同一の符号を付し、特に断る場合を除き同じ説明を繰り返さない。
図1はNANDフラッシュメモリの概略構成を示している。図1からわかるように、NANDフラッシュメモリは、メモリセルアレイ1と、センスアンプ回路2と、ロウデコーダ/ワード線ドライバ3と、コントローラ4と、データ入出力バッファ5とを備える。
メモリセルアレイ1は、複数のブロックBLK0,BLK1,・・・,BLKnを有する。このメモリセルアレイ1は、シリコン基板のドープされた領域の一つであるセルウェル(CPWELL)内に形成されている。データ消去は通常、このブロック単位で行われる。各ブロックBLK0,BLK1,・・・,BLKnは、それぞれ複数のNANDセルユニット10,10・・・を有する。このNANDセルユニット10は、図1からわかるように、直列に接続された32個のセルトランジスタMC0,MC1,・・・,MC31が直列に接続されたNANDストリングと、その両端に接続された選択ゲートトランジスタS1及びS2により構成されている。隣り合うセルトランジスタはソース/ドレイン拡散層を共有する。選択ゲートトランジスタS1のソースは共通ソース線(CELSRC)に接続され、選択ゲートトランジスタS2のドレインはビット線BLに接続されている。セルトランジスタは、フローティングゲート構造を有する不揮発性の記憶素子である。なお、セルトランジスタはMONOS(Metal−Oxide−Nitride−Oxide−Semiconductor)と呼ばれる、電荷を蓄積するためのシリコン窒化膜を有するものでもよい。
図1からわかるように、NANDセルユニット10内のセルトランジスタMC0,MC1,・・・,MC31の制御ゲートは、それぞれ異なるワード線WL0,WL1,・・・,WL31に接続されている。また、選択ゲートトランジスタS1,S2のゲートは選択ゲート線SGS,SGDにそれぞれ接続されている。
センスアンプ回路2は、図1からわかるように、複数のセンスアンプSAを有する。センスアンプSA,SA,・・・は、ビット線BL0,BL1,・・・,BLjとそれぞれ接続されており、読出しデータをセンスする。また、センスアンプ回路2は、カラム選択ゲート(図示せず)を有する。なお、図1では、ビット線ごとにセンスアンプが設けられているが、複数のビット線に対して一つのセンスアンプが選択的に接続される構成であってもよい。
ロウデコーダ/ワード線ドライバ3は、コントローラ4から転送されてきたアドレスデータをデコードしてワード線、選択ゲート線を選択し、選択された線に動作モードに応じて所定の電圧を印加する。
データ入出力バッファ5は、センスアンプ回路2と外部入出力端子(I/O)との間でデータの授受を行うほか、コマンドデータ及びアドレスデータを受け取る。
コントローラ4は、書込みイネーブル信号WEn、読出しイネーブル信号REn、アドレスラッチイネーブル信号ALE及びコマンドラッチイネーブル信号CLE等の外部制御信号を受けて、メモリ動作の全般の制御を行う。より具体的には、このコントローラ4は、コマンドインタフェース、アドレス保持および転送回路とを有し、供給されたデータが書込みデータであるか、アドレスデータであるかを判定する。この判定結果に応じて、書込みデータはセンスアンプ回路2に転送され、アドレスデータはロウデコーダ/ワード線ドライバ3、センスアンプ回路2に転送される。
次に、データ消去方法について説明する。図2はデータ消去に係るフローチャートを示している。
(1)まず、データ消去動作を行う(ステップS101)。図3は、このデータ消去動作時におけるNANDセルユニット10,10,・・・のバイアス条件を示している。この図からわかるように、選択ブロック内の全てのワード線(WL0〜WL31)に0Vを、セルウェルに消去電圧Vera(10〜20V程度)をそれぞれ印加する。また、選択ゲートトランジスタS1,S2のゲート酸化膜が破壊されないように、選択ゲート線SGS,SGDはフローティング状態とする。ビット線BL及び共通ソース線CELSRCもフローティングとする。このようにして各セルトランジスタのフローティングゲート内の電子をセルウェル側に引き抜くことで、セルトランジスタをデプレッション型にする。
上記のように、全ワード線に一定の電圧を印加するため、データの書込み状況(電荷の蓄積量)やセルトランジスタ(MC0〜MC31)の特性ばらつきにより、どのセルトランジスタからデータが消去されるかについてはランダムとなる。
(2)次に、消去ベリファイ動作を行う(ステップS102)。図4は、消去ベリファイ動作時におけるNANDセルユニット10,10,・・・のバイアス条件を示している。この消去ベリファイ動作は、共通ソース線CELSRCからビット線BLにセル電流Icellを流し、ビット線に出力される電圧をモニタすることにより行われる。具体的には、ビット線BLを0Vにプリチャージしておき、そして、共通ソース線CELSRCに電源電圧Vdd、選択ブロックの全ワード線WLに0V、選択ゲート線SGS,SGDにオンするのに十分な中間電圧Vreadをそれぞれ印加する。
(3)次に、データの消去が完了したかどうかを判定する(ステップS103)。具体的には、ビット線に所定値以上の電圧が出力されている場合、NANDストリング10を構成する全てのセルトランジスタの閾値が、閾値電圧分布の許容範囲の上限である消去ベリファイ電圧Vev以下になっており、消去が完了したと判定される。一方、ビット線に出力された電圧が所定値未満の場合、再度、前述のデータ消去動作及び消去ベリファイ動作(ステップS101,S102)を行う。
(4)次に、ソフト書込み動作を行う(ステップS104)。これは、閾値電圧が負の方向に大きくシフトしたセルトランジスタに、微調整の書込みを行い、閾値電圧を正の方向にシフトさせることで、閾値電圧の分布を狭くする動作である。
(5)ソフト書込みベリファイ動作を行う(ステップS105)。前述の消去ベリファイと同様の負の閾値読出し動作が行われる。
(6)ソフト書込みが完了したかどうかを判定する(ステップS106)。判定方法の一つとして、例えばソフト書込みベリファイ動作の結果、閾値が消去ベリファイ電圧Vevよりも正の方向にシフトしたセルトランジスタが所定数以下であれば、ソフト書込みが完了したと判定する。この条件を満たさない場合は、再度、前述のソフト書き込み動作及びソフト書き込みベリファイ動作(ステップS104,S105)を行う。
以上、ソフト書込み動作を含むデータ消去の方法について説明した。次に、前述の消去動作によって閾値電圧分布が広がるメカニズムについて説明する。
NANDフラッシュメモリでは前述のように、セルトランジスタが直列に接続されている。このため、共通ソース線からビット線に電流を流す消去ベリファイ動作時には、共通ソース線側のセルトランジスタほどビット線側の拡散層の電位が高くなる。一方、セルウェルの電位は各セルトランジスタに共通である。このため、共通ソース線側のセルトランジスタほどバックバイアスが大きくなり、基板バイアス効果によって閾値電圧が大きくなる。即ち、消去ベリファイ動作時の閾値電圧Vt’は共通ソース線側のセルトランジスタほど、バックバイアスの影響が無いときの閾値電圧Vtに比べて大きくなる。消去ベリファイ動作時において、閾値電圧が上昇したセルトランジスタは、閾値電圧の上昇分ΔVt(=Vt’−Vt)だけ過剰に閾値が下がらないと、オンしなくなる。オンしない場合、データ消去が不十分と判断され、データ消去動作が再度行われる。このようにして、閾値電圧が過剰に低下するまでデータ消去動作を行うことになる。その結果、共通ソース側のセルトランジスタほど過消去されてしまい、閾値電圧分布が負の方向に広がってしまう。以上のことは、本発明者独自の技術的認識であって、他の当業者には知り得ないことである。本発明は上記の知見に基づいてなされたものである。本発明は、ビット線側に位置するセルトランジスタのデータを優先的に消去していくことで、消去ベリファイ動作時の基板バイアス効果による閾値電圧の上昇を抑制し、それにより、セルトランジスタの過消去を防止して、データ消去状態における閾値電圧分布の広がりを可及的に低減するものである。
以下、本発明に係る3つの実施形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の実施形態はいずれも、データ消去動作を行う際、各ワード線(WL0〜31)に、接続されているセルトランジスタの位置に応じて、電圧を印加することを特徴の一つとする。各実施形態の相違点の一つは、ワード線に印加する電圧の種類の数である。即ち、第1の実施形態では、ワード線に印加する電圧は2種類である。第2の実施形態では、ワード線に印加する電圧は3種類である。第3の実施形態では、ワード線に印加する電圧はセルトランジスタの数と同じ32種類である。
(第1の実施形態)
第1の実施形態について説明する。本実施形態では、NANDストリング10を2つの領域に分割し、前述のステップS101の消去動作時に、属する領域ごとに異なる電圧をワード線に印加する。
第1の実施形態について説明する。本実施形態では、NANDストリング10を2つの領域に分割し、前述のステップS101の消去動作時に、属する領域ごとに異なる電圧をワード線に印加する。
図5は、本実施形態に係るデータ消去動作時のNANDセルユニット10,10,・・・のバイアス条件を示している。この図に示すように、直列に接続された32個のセルトランジスタMC0,MC1,・・,MC31からなるNANDストリングを、共通ソース側の領域Aとビット線側の領域Bの2つの領域に分ける。領域AはセルトランジスタMC0〜MC15を含み、領域BはセルトランジスタMC16〜MC31を含む。
データ消去動作の際、領域A、Bに属するセルトランジスタのワード線WLにそれぞれ異なる電圧Va、Vb(Va>Vb)を印加する。図6に示すデータ消去動作のタイミングチャートを用いて、より詳細に説明する。
まず、前述のロウデコーダ/ワード線ドライバ3は、ワード線WL0〜WL31に電圧を印加する(時刻t1)。WL0〜WL15には電圧Vaを、WL16〜WL31には電圧Vbをそれぞれ印加する。Va、Vbの値はセルトランジスタの特性ばらつきに応じて調整されるが、例えば、Va=0.2V〜0.5V、Vb=0Vである。
各ワード線の電圧が所定の値に達した後、セルウェル(p−well)に正の消去電圧Veraが印加される(時刻t2)。これにより、セルトランジスタのフローティングゲートと基板との間に高電界が発生し、フローティングゲート内の電子がセルウェル側に放出される。ここで、Va>Vbであるから、領域Bは、領域Aに比べてフローティングゲートと基板との電位差がより大きく、その分大きな電界がかかるため、データが消去されやすくなる。つまり、領域Bのデータが優先的に消去される。
なお、消去電圧Veraはワード線に印加する電圧Va、Vbよりも十分大きく、例えば、17Vである。
このようにしてビット線側のセルトランジスタのデータを優先的に消去するデータ消去動作を行った後、前述の消去ベリファイ動作(ステップS102)を行う。このとき、領域Bのデータは全て消去済みで、領域Bのセルトランジスタの閾値電圧はオンするのに十分な値にまで小さくなっているとする。共通ソース線からビット線に電流Icellを流す際、領域Bのセルトランジスタは小さい値の抵抗とみなすことができる。このため、領域Bでの電圧降下は小さく、領域Aの各セルトランジスタにかかるバックバイアスは、従来の方法で消去を行った場合と比較して小さくなる。よって、領域Aにあるセルトランジスタの閾値電圧の上昇が抑制される。これにより、共通ソース線側のセルトランジスタの過消去を防止することができる。その結果、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを低減することができる。図7は、データ消去状態における閾値電圧の分布を示している。実線は本実施形態による場合の閾値電圧の分布を示し、破線はソフト書込みを行わない場合の従来方法の閾値電圧分布を示している。この図に示すように、本実施形態による場合はセルトランジスタの過消去が防止されるため、閾値電圧が負の方向に広がらない。
以上説明したように、本実施形態によれば、セルトランジスタの閾値電圧の上昇を抑制することで過消去を防止し、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを可及的に低減することができる。また、これにより、本実施形態によれば、前述のソフト書込みの回数を減らす、又は不要とすることができる。
(第2の実施形態)
次に第2の実施形態について説明する。本実施形態では、NANDストリング10を3つの領域に分割し、前述のステップS101の消去動作時に、属する領域ごとに異なる電圧をワード線に印加する。
次に第2の実施形態について説明する。本実施形態では、NANDストリング10を3つの領域に分割し、前述のステップS101の消去動作時に、属する領域ごとに異なる電圧をワード線に印加する。
図8は、本実施形態に係るデータ消去動作時のNANDセルユニット10,10,・・・のバイアス条件を示している。この図に示すように、直列に接続された32個のセルトランジスタMC0,MC1,・・,MC31からなるNANDストリングを、共通ソース側の領域A、中央の領域Bおよびビット線側の領域Cの3つの領域に分ける。領域AはセルトランジスタMC0〜MC10を含み、領域BはセルトランジスタMC11〜MC20を含み、領域CはセルトランジスタMC21〜MC31を含む。
データ消去動作の際、領域A、B、Cに属するセルトランジスタのワード線WLにそれぞれ異なる電圧Va、Vb、Vc(Va>Vb>Vc)を印加する。図9に示すデータ消去動作のタイミングチャートを用いて、より詳細に説明する。
まず、前述のロウデコーダ/ワード線ドライバ3は、ワード線WL0〜WL31に電圧を印加する(時刻t1)。WL0〜WL10には電圧Vaを、WL11〜WL20には電圧Vbを、WL21〜WL31には電圧Vcをそれぞれ印加する。Va、Vb、Vcの値はセルトランジスタの特性ばらつきに応じて調整されるが、例えば、Va=2V、Vb=1V、Vc=0Vである。
各ワード線の電圧が所定の値に達した後、セルウェル(p−well)に正の消去電圧Veraが印加される(時刻t2)。これにより、セルトランジスタのフローティングゲートと基板との間に高電界が発生し、フローティングゲート内の電子がセルウェル側に放出される。Va>Vb>Vcであるから、領域Cは領域Bに比べて、また、領域Bは領域Aに比べて、フローティングゲートと基板との電位差がより大きく、その分大きな電界がかかるため、データが消去されやすくなる。つまり、領域C>領域B>領域Aの優先度でセルトランジスタのデータは消去される。
なお、消去電圧Veraはワード線に印加する電圧Va、Vb、Vcよりも十分大きく、例えば、17Vである。
このようにしてビット線側のセルトランジスタのデータを優先的に消去するデータ消去動作を行った後、前述の消去ベリファイ動作(ステップS102)を行う。このとき、領域Cのデータは全て消去済みで、領域Cのセルトランジスタの閾値電圧はオンするのに十分な値にまで小さくなっているとする。共通ソース線からビット線に電流Icellを流す際、領域Cのセルトランジスタは小さい値の抵抗とみなすことができる。このため、領域Cでの電圧降下は小さく、領域Aおよび領域Bの各セルトランジスタにかかるバックバイアスは、従来の方法で消去を行った場合と比較して小さくなる。よって、領域Aおよび領域Bにあるセルトランジスタの閾値電圧の上昇が抑制され、それにより、過消去が防止される。この後、データ消去動作を継続して、領域Bのデータも全て消去された場合を考える。このとき、領域B及び領域Cのセルトランジスタの閾値電圧はオンするのに十分な値にまで小さくなっている。共通ソース線からビット線に電流Icellを流す際、領域B及び領域Cのセルトランジスタは小さい値の抵抗とみなすことができる。このため、領域B及び領域Cでの電圧降下は小さく、領域Aの各セルトランジスタにかかるバックバイアスは、従来の方法で消去を行った場合と比較して小さくなる。よって、領域Aにあるセルトランジスタの閾値電圧の上昇が抑制され、それにより、過消去が防止される。このようにすることで、共通ソース線側のセルトランジスタの過消去を防止することができ、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを低減することができる。
本実施形態は、第1の実施形態に比べて、領域の数を2から3に増やし、ワード線に印加する電圧をよりきめ細かく変化させることにより、同一領域内の共通ソース線側に位置するセルトランジスタが過消去になるリスクを減らすことができる。このため、閾値電圧の分布の広がりを抑制する効果がより大きくなる。
以上説明したように、本実施形態によれば、セルトランジスタの閾値電圧の上昇を抑制することで過消去を防止し、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを可及的に低減することができる。また、これにより、本実施形態によれば、前述のソフト書込みの回数を減らす、又は不要とすることができる。
(第3の実施形態)
次に第3の実施形態について説明する。本実施形態では、NANDストリング10をNANDストリングに含まれるセルトランジスタの数に等しい32の領域に分割し、前述のステップS101の消去動作時に、属する領域ごとに異なる電圧をワード線に印加する。
次に第3の実施形態について説明する。本実施形態では、NANDストリング10をNANDストリングに含まれるセルトランジスタの数に等しい32の領域に分割し、前述のステップS101の消去動作時に、属する領域ごとに異なる電圧をワード線に印加する。
図10は、本実施形態に係るデータ消去動作時のNANDセルユニット10,10,・・・のバイアス条件を示している。この図に示すように、直列に接続された32個のセルトランジスタMC0,MC1,・・,MC31からなるNANDストリングを、共通ソース側から領域A0,領域A1,・・・,領域A31からなる32の領域に分ける。領域Ai(i=0,1,・・,31)はセルトランジスタMCiを含む。
データ消去動作の際、領域A0,A1,,・・・,A31に属するセルトランジスタのワード線WLにそれぞれ異なる電圧V0,V1,・・・,V31を印加する(V0>V1>・・・>V31)。図11に示すデータ消去動作のタイミングチャートを用いて、より詳細に説明する。
まず、前述のロウデコーダ/ワード線ドライバ3は、ワード線WL0〜WL31に電圧を印加する(時刻t1)。ワード線WL0,WL1,・・・,WL31にそれぞれ異なる電圧V0,V1,・・・,V31が印加される。Vi(i=0,1,・・,31)の値はセルトランジスタの特性ばらつきに応じて調整されるが、例えば、V0=2V、V1=2−0.0645V、・・、Vi=2−0.0645*i、・・、V31=0Vである。
各ワード線の電圧が所定の値に達した後、セルウェル(p−well)に正の消去電圧Veraが印加される(時刻t2)。これにより、セルトランジスタのフローティングゲートと基板との間に高電界が発生し、フローティングゲート内の電子がセルウェル側に放出される。V0>V1>・・・>V31であるから、ビット線BL側にあるセルトランジスタほどフローティングゲートと基板との電位差がより大きく、その分大きな電界がかかるため、データが消去されやすくなる。つまり、ビット線側に位置するセルトランジスタのデータほど高い優先度で消去される。
なお、消去電圧Veraはワード線に印加する電圧Viよりも十分大きく、例えば、17Vである。
このようにしてビット線側のセルトランジスタのデータを優先的に消去するデータ消去動作を行った後、前述の消去ベリファイ動作(ステップS102)を行う。ここで、あるセルトランジスタMCiに着目する。このセルトランジスタMCiよりビット線側のMCi+1,・・・,MC31のデータは全て消去済みで、これらのセルトランジスタの閾値電圧はオンするのに十分な値にまで小さくなっているとする。このとき、セルトランジスタMCi+1,・・・,MC31は小さい値の抵抗とみなすことができる。そのため、共通ソース線側のセルトランジスタMC0,MC1,・・・,MCiにかかるバックバイアスは、従来の方法で消去を行った場合と比較して小さくなる。よって、これらのセルトランジスタMC0,MC1,・・・,MCiの閾値電圧の上昇が抑制される。これにより、共通ソース線側のセルトランジスタの過消去を防止することができ、閾値電圧分布の広がりを低減することができる。
本実施形態では、セルトランジスタ毎にその位置に応じて異なる電圧を印加することにより、第1及び第2の実施形態に比べて、セルトランジスタが過消去になるリスクをより減らすことができる。このため、閾値電圧の分布の広がりを低減する効果がより大きくなる。
以上説明したように、本実施形態によれば、セルトランジスタの閾値電圧の上昇を抑制することで過消去を防止し、データ消去に伴う閾値電圧分布の広がりを可及的に低減することができる。また、これにより、本実施形態によれば、前述のソフト書込みの回数を減らす、又は不要とすることができる。
以上、領域の分け方の異なる3つの実施形態について説明した。領域の分け方はこれらの実施形態に限定されるものではなく、任意の方法を採ることができる。セルトランジスタの数も上述の値(32個)に限定されるものではなく、例えば、8個、16個、64個、128個でもよい。
また、本発明は、一つのセルトランジスタに多ビットを記憶する多値記憶方式の場合に好適である。図12は、16値メモリの閾値電圧分布とデータビットの割り付けの一例を示している。この図からわかるように、多値化が進むにつれてデータ書込み状態の閾値電圧分布をより狭くする必要がある。そのためには、データ消去状態の閾値電圧分布が狭いことが要求される。本発明によれば、データ消去状態の閾値電圧分布の広がりが低減されるため、より精細な書込み制御を行うことができ、これにより、データ書込み状態の閾値電圧分布を狭くすることが可能である。
1・・・メモリセルアレイ、2・・・センスアンプ回路、3・・・ロウデコーダ/ワード線ドライバ、4・・・コントローラ、5・・・データ入出力バッファ、10・・・NANDセルユニット、BL・・・ビット線、CELSRC・・・共通ソース線、MC0〜MC31・・・セルトランジスタ、S1,S2・・・選択ゲートトランジスタ、SA・・・センスアンプ、SGS,SGD・・・選択ゲート線、WL0〜WL31・・・ワード線
Claims (5)
- 複数の不揮発性記憶素子が直列に接続され、隣り合う前記不揮発性記憶素子同士がソース/ドレイン拡散層を共有する、記憶素子ユニットであって、前記記憶素子ユニットの一端はソース線と接続され、他端はビット線と接続された、記憶素子ユニットと、
前記不揮発性記憶素子のワード線に電圧を印加する電圧印加回路であって、前記記憶素子ユニットを構成する複数の前記不揮発性記憶素子のデータを消去するデータ消去動作を行う際、前記記憶素子ユニットを、1以上の任意の数の前記不揮発性記憶素子からなる少なくとも2以上のグループに分けて、隣り合う前記グループについて前記ソース線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に、前記ビット線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線よりも高い電圧を印加する、電圧印加回路と、
を備えることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置であって、
前記データ消去動作の際、前記グループのうち最も前記ビット線に近いグループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に0Vを印加し、それ以外の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線には、隣り合う前記ビット線側の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に印加する電圧よりも一定の値だけ大きい電圧を印加することを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の半導体記憶装置であって、
前記各グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の数は、1であることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載の半導体記憶装置であって、
前記各記憶素子は、複数のビットを記憶する多値型のものとして構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 複数の不揮発性記憶素子が直列に接続され、隣り合う前記不揮発性記憶素子同士がソース/ドレイン拡散層を共有する、記憶素子ユニットであって、前記記憶素子ユニットの一端はソース線と接続され、他端はビット線と接続された、記憶素子ユニットと、
前記不揮発性記憶素子のワード線に電圧を印加する電圧印加回路と、を備える半導体記憶装置の制御方法において、
前記記憶素子ユニットを構成する複数の前記不揮発性記憶素子のデータを消去するデータ消去動作を行う際、前記記憶素子ユニットを、1以上の任意の数の前記不揮発性記憶素子からなる少なくとも2以上のグループに分けて、隣り合う前記グループについて前記ソース線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線に、前記ビット線に近い方の前記グループに含まれる前記不揮発性記憶素子の前記ワード線よりも高い電圧を前記電圧印加回路により印加することを特徴とする半導体記憶装置の制御方法。
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