JP2009288074A - 収差測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 多様な被検光学系を幅広い波長領域で測定できる収差測定装置を提供する。
【解決手段】 収差測定装置（１００）は、被検光学系（ＳＰ）を照明する点光源（１１，１７）と、被検光学系（ＳＰ）からの光を平行光とするコリメータレンズ（２３）と、前記収差測定装置中の収斂光束中もしくは拡大光束中に設けられ、前記被検光学系からの光の焦光点位置と前記コリメータレンズの焦点位置とを合わせる焦点合わせ光学系（３１，３３）と、前記コリメータレンズからの平行光を、二次元に分布する複数の光束に形成する光束形成部（４１）と、前記光束形成部による結像を検出する検出手段（４３）と、を備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、光学系あるいは光学素子の収差を測定するための装置に関し、特に収差特性を効果的に測定できるハルトマン方式又はシャックハルトマン方式の収差測定装置に関するものである。

光学系あるいは光学素子の結像性能を評価するための装置としては、フィゾー型干渉計やシアリング干渉計などが広く使われている。これら干渉計では基本的にコヒーレント光源を必要とするため、測定できる波長が制約されてしまうという短所があった。またデジタルカメラや放送機器用カメラ等に使用される撮影レンズは、波面収差が比較的大きく、干渉計での収差測定が困難な場合がある。

また、撮影レンズでは色収差や波長による収差特性の違いを評価することが必要であるが、これはコヒーレント単色光源を使う干渉計では測定困難なため、定性的な評価やＭＴＦ測定だけで評価せざるを得ないことが多い。

このため、コヒーレントな光源を必要としない収差測定器としては、特許文献１に示されるシャックハルトマン方式がレンズ又は反射鏡などの波面収差の測定で使用されている。シャックハルトマン方式は被検光学系で集光された光束をコリメータレンズで平行光とし、その平行光がマイクロレンズアレイに入射する。マイクロレンズアレイを通して瞳分割された複数の像は二次元フォトセンサ上で結像する。二次元フォトセンサで検出した各々の像位置のズレから、被検光学系の収差量が算出される。

更に、多くのレンズは、白色光で使用されるので、シャックハルトマン方式で収差を評価する際も、複数の波長で測定を行う。そのため、白色光源を用い、光源とピンホールの間に分光フィルターを入れ、分光フィルターを入れ替えることで、複数の波長について測定を行うことができる。更に、分光フィルターなしに、複数のレーザーを切り替えて、測定することもできる。
特開２００３−１２１３００号公報

しかし、撮影レンズのように、多様な焦点距離やＦナンバーの被検光学系を測定する場合には問題が生じる。また、可視光領域で使用される撮影レンズでは赤色から紫色までの波長において色収差も生じている。このように多様な被検光学系を測定しようとすると、被検光学系の射出瞳位置も被検光学系によって異なるため、マイクロレンズアレイの位置が被検光学系の入射瞳と共役な射出瞳の位置から大きくずれてしまう。

そこで、本発明の目的は、多様な被検光学系を幅広い波長領域で測定できる収差測定装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、被検光学系の収差を測定する収差測定装置は、被検光学系を照明する点光源と、被検光学系からの光を平行光とするコリメータレンズと、前記収差測定装置中の収斂光束中もしくは拡大光束中に設けられ、前記被検光学系からの光の焦光点位置と前記コリメータレンズの焦点位置とを合わせる焦点合わせ光学系と、コリメータレンズからの平行光を、二次元に分布する複数の光束に形成する光束形成部と、光束形成部による結像を検出する検出手段とを備える。
この構成により、焦点合わせ光学系により軸上色収差による位置ずれを防止することができるため、このように多様な被検光学系を測定しても、精度の良い収差測定が可能となる。

多様な被検光学系を幅広い波長領域で測定する際でも、精度良い収差測定ができる収差測定装置を提供することができる。このようにすることにより、コリメータレンズを設計する際に、軸上の色収差を補正する必要がなくなり、設計が容易になる。更に、使用するレンズの枚数も少なくなり、組み立て加工の容易になる。

以下に、本発明の実施の形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
＜実施形態１＞
図１に実施形態１の第一収差測定装置１００を示す。

図１において、第一収差測定装置１００は、白色光源である測定光源１１、光源用コンデンサーレンズ１３、波長選択フィルター１５及びピンホール板１７を有している。

測定光源１１は光源用コンデンサーレンズ１３に向けて白色光を照射する。光源用コンデンサーレンズ１３を透過した白色光は波長選択フィルター１５に入射し、ピンホール板１７の開口部１７ａで集光する。波長選択フィルター１５は特定の波長の光、例えば赤色の波長、青色の波長を選択することができる波長フィルターである。ピンホール板１７は例えば光学ガラスに開口部１７ａを除いてクロムを蒸着させた板である。つまり、測定光源１１から発した白色光は、波長選択フィルター１５により所望の単色光に変換され、ピンホール板１７を通過して点光源となる。

第一収差測定装置１００は、コリメータレンズ２１、テーパ状に傾斜した二枚のガラス３１ａとガラス３１ｂからなる平行平板３１、コリメータレンズ２３、マイクロレンズアレイ４１及びＣＣＤ等の二次元フォトセンサ４３を有している。さらに、第一収差測定装置１００は、コンピュータＣＰ及び二枚のガラス中の少なくとも一つを移動させて平行平板３１の厚さを変更する移動駆動部３３を有している。そして、コリメータレンズ２１と平行平板３１との間に検査対象である被検レンズＳＰが設置される。

ピンホール板１７を通過した点光源は、コリメータレンズ２１により必要な口径を有する平行光となり、被検レンズＳＰに入射する。被検レンズＳＰからの射出光は焦点面ＦＰで収斂した後拡大して、焦点合わせ光学系である平行平板３１を通過してコリメータレンズ２３に入射する。コリメータレンズ２３を通過した光は小口径の平行光となり、マイクロレンズアレイ４１にて多数の像点に結像される。その結像面にはＣＣＤ等の二次元フォトセンサ４３が置かれ、マイクロレンズアレイ４１によって生成された像点の各々の光量分布を検出する。二次元フォトセンサ４３からの信号はコンピュータＣＰ内の画像信号処理部によって演算され、各像点の位置情報が算出される。この像位置のずれ量が波面の局所的な傾斜に対応し、これから横収差（縦収差）、波面収差が計算される。

図１に示されるように、平行平板３１は焦点面ＦＰの集光点位置ＦＦからコリメータレンズ２３までの拡大光束中に配置されており、移動駆動部３３によって縦方向に従って移動させられる。平行平板３１は二枚の石英ガラス３１ａとガラス３１ｂとからなり、その総厚さは３ｍｍから５０ｍｍ程度である。移動駆動部３３はステッピングモータなどから構成され、コンピュータＣＰからの駆動信号により平行平板３１中の少なくとも一つのガラスを移動させ、あるいはガラス３１ａとガラス３１ｂとをお互いに移動させる。

図１の上段の被検レンズＳＰは、被検レンズＳＰの光軸の波面収差を測定する図であり、被検レンズＳＰの軸外すなわち、ある画角における波面収差の測定であれば、図１の下段に描かれているように、被検レンズＳＰを光軸から傾ける。そして被検レンズＳＰの所定波長における集光点位置が平行平板３１及びコリメータレンズ２３の焦点位置にほぼ合致するように、被検レンズＳＰを光軸方向に平行移動させて測定する。被検レンズＳＰを光軸方向に平行移動させない場合には、平行平板３１、コリメータレンズ２３、マイクロレンズアレイ４１及び二次元フォトセンサ４３を光軸方向に平行移動させてもよい。なお、被検レンズＳＰの焦点面ＦＰと第一収差測定装置１００の光軸との交点を「集光点位置」とする。この「集光点位置」は被検レンズＳＰを光軸から傾けていない場合、被検レンズＳＰの焦点位置と一致する。

図２は、実施形態１の第一収差測定装置１００において、平行平板３１のガラス３１ａをずらした、即ち縦方向に移動させた状態を示した図である。図２（ａ）はその全体図、（ｂ）は平行平板３１周辺の拡大図である。

図２（ａ）は、被検レンズＳＰを光軸方向に平行移動させて、６００ｎｍの波長の被検レンズＳＰの集光点位置ＦＦ_６００がこの第一収差測定装置１００の光軸上に合った状態である。例えば、被検レンズＳＰのある画角における波面収差を４００ｎｍの波長で測定した後、６００ｎｍの波長で波面収差を測定する場合には、被検レンズＳＰの軸上色収差によって被検レンズＳＰの集光点位置ＦＦが変わってしまう。

図２（ｂ）において、集光点位置ＦＦ_４００は４００ｎｍの波長における被検レンズＳＰの焦点位置を示している。集光点位置ＦＦ_６００は６００ｎｍの波長における被検レンズＳＰの焦点位置を示したものである。このように、集光点位置ＦＦは４００ｎｍから６００ｎｍの波長に変わると、被検レンズＳＰの集光点位置が光軸において集光点位置ＦＦ_４００から集光点位置ＦＦ_６００にシフトする。このため、波長選択フィルター１５のより選択された所定の波長で波面収差を測定する際に、被検レンズＳＰの集光点位置ＦＦに応じて、コリメータレンズ２３の焦点位置と被検レンズＳＰの集光点位置ＦＦとを合わせる必要が生じる。

このため、移動駆動部３３が平行平板３１のガラス３１ａを移動させる。もちろん、平行平板３１のガラス３１ｂを移動させても良い。集光点位置ＦＦ_６００から拡大する光線（一点鎖線）は、平行平板３１によって屈折しコリメータレンズ２３に入射する。波長により平行平板３１のガラス３１ａあるいはガラス３１ｂの移動量を調整することにより、図２（ｂ）に示すように、集光点位置ＦＦ_４００からの光線（点線）と同じように、集光点位置ＦＦ_６００からの光線をコリメータレンズ２３の焦点位置に合わせることができる。

このような第一収差測定装置１００において、被検レンズＳＰのＦナンバーがコリメータレンズ２３のＦナンバーより小さい場合には、被検レンズＳＰのアパチャーを通過した光束の一部しかコリメータレンズを通過できないので、アパチャー全域の収差測定ができなくなる。このような状態を防ぐため、焦点距離が異なる複数のコリメータレンズ２３をターレットなどに保持して、コリメータレンズ２３を交換できるようにしてもよい。

以上説明したように、本実施形態によれば、撮影レンズなど幅広い波長の光を透過する被検レンズＳＰの波面収差を任意の波長で高精度に測定することが可能となる。もちろん、本発明に係る平行平板３３は、ピンホール板１７とコリメータレンズ２１の間に配置されても良い。

＜実施形態２＞
図３は実施形態２の第２収差測定装置１１０の図である。図３において、実施形態１の第一収差測定装置１００と同じ部材には同じ符号を付している。図４は、平行平板３１周辺の拡大図である。

図３の第２収差測定装置１１０は、被検レンズＳＰの収斂光路に平行平板３１が配置されている。平行平板３１は実施形態１と同様に移動駆動部３３により移動させられる。

図４（ａ）において、集光点位置ＦＦ_４００は４００ｎｍの波長における被検レンズＳＰの焦点位置を示し、集光点位置ＦＦ_６００は６００ｎｍの波長における被検レンズＳＰの集光点位置を示したものである。このように、集光点位置ＦＦは６００ｎｍから４００ｎｍの波長に変わると、被検レンズＳＰの焦光点位置が光軸において集光点位置ＦＦ_６００から集光点位置ＦＦ_４００にシフトする。集光点位置ＦＦ_６００から拡大する光線（一点鎖線）と集光点位置ＦＦ_４００から拡大する光線（点線）は、コリメータレンズ２３に入射する。つまり、波面収差を測定する際に光の波長に応じて被検レンズＳＰの集光点位置ＦＦとコリメータレンズ２３の焦点位置とを合わせる必要が生じる。

このため、図４（ｂ）に示すように、波長６００ｎｍで測定した後、波長４００ｎｍで測定する時、この波長の変化に応じて、移動駆動部３３により、平行平板３１の二枚のガラス３１ａとガラス３１ｂを縦方向にお互いに移動させ、あるいはその中の一つを移動させると、平行平板３１の厚さが（ａ）の状態の厚さより△Ｄぐらい薄くなり、波長４００ｎｍの集光点位置ＦＦ_４００も、（ａ）の状態の集光点位置ＦＦ_４００から光軸方向に従って△Ｄ１ぐらいシフトされて、コリメータレンズ２３の焦点位置と一致するようになる。

これにより、焦点ずれによる波面のパワー成分の発生を避けることができ、収差のみを直接測定することができる。

＜実施形態３＞
図５は実施形態３の第３収差測定装置１２０の図である。図５において、実施形態１の第一収差測定装置１００と同じ部材には同じ符号を付している。

図５の第３収差測定装置１２０は、測定光源１１、光源用コンデンサーレンズ１３、波長選択フィルター１５及びピンホール板１７を有している。また、第３収差測定装置１２０は、コリメータレンズ２１、その隣に配置されたビームスプリッタ５１、コンデンサーレンズ５２及び反射鏡５３を有している。また、第３収差測定装置１２０は、コンデンサーレンズ５５、平行平板３１、コリメータレンズ２３を備えている。さらに第３収差測定装置１２０は、マイクロレンズアレイ４１、二次元フォトセンサ４３、コンピュータＣＰ及び移動駆動部３３を備えている。

ピンホール板１７を通過した点光源は、コリメータレンズ２１により必要な口径を有する平行光となりビームスプリッタ５１に入射する。ビームスプリッタ５１を通過した平行光はコンデンサーレンズ５２で収斂されて被検レンズＳＰの焦点面ＦＰで集光し、その後拡大して被検レンズＳＰに入射し、被検レンズＳＰから出射される。無限遠の被検レンズＳＰの波面収差測定であれば反射鏡５３は平面鏡とし、有限の被検レンズＳＰであれば、反射鏡Ｍ１は凸面鏡とする。反射鏡５２で反射された光は、被検レンズＳＰを再び透過し、焦点面ＦＰで一旦集光してから拡大し、コンデンサーレンズ５２で平行光になる。

コンデンサーレンズ５２からの平行光は、ビームスプリッタ５１で反射され、コンデンサーレンズ５５で集光される。そして再び集光光は拡大し、平行平板３１に入り、コリメータレンズ２３で平行光となる。つまり平行平板３１は、コンデンサーレンズ５５で集光点からコリメータレンズ２３までの拡大光束中に配置されている。そしてコリメータレンズ２３を通過した光は小口径の平行光となり、マイクロレンズアレイ４１にて多数の像点に結像される。その結像は二次元フォトセンサ４３で電気信号に変換され、像点の光量分布を検出する。

波長選択フィルター１５が例えば波長６００ｎｍから波長４００ｎｍの光に選択すると、被検レンズＳＰの結像位置が、軸上色収差分シフトする。この際に、移動駆動部３３が平行平板３１をお互いに移動させると、コンデンサーレンズ５５からの光線をコリメータレンズ２３の焦点に合わせることができる。この焦点合わせの詳細は、図２で説明したとおりである。

なお、図５において、実線で示される平行平板３１は拡大光束中に配置されているが、点線で示す平行平板３１はコンデンサーレンズ５５の収斂光束中に配置されている。このように、コンデンサーレンズ５５の収斂光束中に平行平板３１を配置させ、移動駆動部３３が収斂光束中の平行平板３１中の少なくとも一つのガラス３１ａあるいは二つのガラス３１ａ、３１ｂを移動させて軸上色収差の距離を調整させることもできる。

もちろん、図５において点線で示した平行平板３１のように、コンデンサーレンズ５２の収斂光束中に配置されても良い。その時の焦点合わせは、コンデンサーレンズ５５の収斂光束中に配置した時と同じである。更に、平行平板３１は、被検レンズＳＰの拡大光束中に配置されてもよい。この場合、図３に示した収差測定装置１１０と同じように、焦点を合わせることができる。即ち、本発明に係る平行平板３１は、一方の光束が平行光であるレンズの収斂光束あるいは拡大光束中に配置されることができる。

＜実施形態４＞
図６は実施形態４の第４収差測定装置１３０の図である。図６において、実施形態３の第３収差測定装置１２０と同じ部材には同じ符号を付している。

図６の第４収差測定装置１３０は、コリメータレンズ２１の拡大光束中に平行平板３１が配置されている。

なお、実施形態３の第３収差測定装置１２０においても、実施形態４の第４収差測定装置１３０においても、被検レンズＳＰは屈折レンズであった。しかし、被検レンズＳＰの代わりに被検ミラーＳＰ’であってもよい。すなわち、図６において、被検レンズＳＰ及び反射鏡５３を取り外し、その代わりに被検ミラーＳＰ’を配置させればよい。そして被検ミラーＳＰ’の焦点が焦点面ＦＰに一致する位置にこの被検ミラーＳＰ’は配置される。

＜平行平板３１の移動量について＞
図７は、平行平板３１の移動による焦点位置の移動量を示した図である。図７（ａ）は近軸焦点の変化量を示す図であり、（ｂ）は平行平板３１の移動量と厚さの変化量との関係を示す図である。

まず、近軸焦点の変化量をΔｂｆで、発生する横収差をΔＺで、縦収差をΔＹで表した。また、このときのそれぞれの量は、平行平板３１の厚さｄと平行平板３１の屈折率ｎから以下の式から計算できる。
Δｂｆ=ｄ(１−１/ｎ) ………数式（１）
ΔＺ＝Ｋ・ｄ・ＮＡ^２ ………数式（２）
ΔＹ＝ＮＡ・ΔＺ＝Ｋｄ・ＮＡ^３………数式（３）
（ここでＫ＝１/２/ｎ(１−１/ｎ^２)である。）
数式（１）〜数式（３）を使って収差について考える。ところで、まず、数式（２）より、球面収差は図のように正の値になる。そのため、これは凸レンズの収差で互いに相殺させることができる。つまり、平行平板３１の初期値の厚みにおいて、光学系を最適化しておけば、平行平板３１の初期値の厚みで発生する収差を完全に補正することができる。よって、ここでは、平行平板３１の厚みを変えた時に発生する収差量のみを議論すればいい。

屈折率ｎ＝１．５と設定すると、１−１/ｎ＝１／３になる。数式（１）式から厚みの変化の１／３だけ焦点が移動する。そこで、仮に、１００μｍ程度の焦点位置の変化が欲しいと考えると、平行平板３１の厚みの変化量はおよそ３００μｍになる。

次に、平行平板３１の縦方向の移動量と厚みの変化量との関係を説明する。ここで、一方のガラス３１ａのテーパー面の角度θと、平行平板３１の縦方向の移動量をｈと、平行平板３１の厚さの変化量をｂと設定する。すると、下記の式により、平行平板３１が縦方向に従って移動量ｈぐらい移動する時、平行平板３１の厚さの変化量ｂを計算することができる。
ｂ＝ｈ／ｔａｎ（θ）
従って、一方のガラス３１ａのテーパー面の角度θが５°程度である場合、上記式により一方のガラスを３４ｍｍ程度シフトすれば実現できる。

次に、このときに発生する収差の量を計算すると、数式（２）と数式（３）より、仮にＮＡ=０．２５の場合を考えると、ΔＺ=３４μｍ、ΔＹ=０．９μｍとなる。これは波長５５０ｎｍのエアリーディスク半径１．３４μと比べると小さく、カメラレンズの収差からすると十分小さいと考えられる。

さらに、いま、ＮＡ=０．２５としたが、よりＮＡが大きい場合については、一度、ＮＡを小さくした（倍率を大きくした）中間焦点を作り、そこに本発明の平行平板３１を配置すればいい。収差は横収差でＮＡの三乗に比例するので、中間焦点のＮＡを小さくすることで、収差の発生量が急激に減る。よって、ほとんど収差を発生することなく焦点位置を変化させることが可能となる。以上のように定量的に考えても、本発明が有効であることが分かる。

＜波長選択について＞
実施形態１から実施形態４では、白色光源である測定光源１１及び波長選択フィルター１５を使って波長選択を行った。この構成以外にもＬＥＤ（Laser Emitting Diode）を使って波長選択を行ってもよい。

図８は、ターレット板１９に異なる波長のＬＥＤを複数配置した図であり、（ａ）が側面図、（ｂ）がピンホール板１７を取り除いた正面図である。

ターレット板１９には、ほぼ均等に、３５０ｎｍの光を照射するＬＥＤ_３５０、４００ｎｍの光を照射するＬＥＤ_３５０、３５０ｎｍの光を照射するＬＥＤ_３５０、３５０ｎｍの光を照射するＬＥＤ_４００、４５０ｎｍの光を照射するＬＥＤ_４５０、５００ｎｍの光を照射するＬＥＤ_５００、５５０ｎｍの光を照射するＬＥＤ_５５０、６００ｎｍの光を照射するＬＥＤ_６００、６５０ｎｍの光を照射するＬＥＤ_６５０、及び７００ｎｍの光を照射するＬＥＤ_７００を配置している。この８つのＬＥＤを備えることで可視光領域をほぼ網羅することができる。また、各ＬＥＤとピンホール板１７とは近接して配置されている。

コンピュータＣＰからの信号によりステッピングモータＭが回転すると、適切な波長のＬＥＤがピンホール板１７を通過して点光源となる。ＬＥＤは指向性にすぐれているためＬＥＤとピンホール１７との間にレンズなどを挿入していないが、必要であれば、凸レンズを配置してもよい。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
例えば、実施形態１から実施形態４の収差測定装置はマイクロレンズアレイ４１を使用したシャックハルトマン方式を説明した。しかし、マイクロレンズアレイ４１の代わりに二次元に配列した複数の開口を有するマスクを使用したハルトマン方式の収差測定装置にも適用できる。さらに二次元に配列した複数の開口を有するマスクに位相シフターを取り付けた位相シフトマスクを使用したハルトマン方式の収差測定装置にも適用できる。

実施形態１の第一収差測定装置１００を示した概念図である。 第一収差測定装置１００において、平行平板３１を移動させた状態を示した図である。 実施形態２の第２収差測定装置１１０を示した概念図である。 第２収差測定装置１１０において、平行平板３１を移動させた状態を示した図である。 実施形態３の第３収差測定装置１２０を示した概念図である。 実施形態４の第４収差測定装置１３０を示した概念図である。 平行平板３１の移動による焦点位置の移動量を示した図である。 ターレット板１９に異なる波長のＬＥＤを複数配置した図である。

符号の説明

１１ … 測定光源
１３ … 光源用コンデンサーレンズ
１５ … 波長選択フィルター
１７ … ピンホール板
１９ … ターレット板
２１ … コリメータレンズ
２３ … コリメータレンズ
３１ … 平行平板、３１ａと３１ｂ … テーパ状ガラス
３３ … 移動駆動部
４１ … マイクロレンズアレイ
４３ … 二次元フォトセンサ
５１ … ビームスプリッタ、
５２ … コンデンサーレンズ
５３ … 反射鏡
５５ … コンデンサーレンズ、
１００ … 第一収差測定装置
１１０ … 第２収差測定装置
１２０ … 第３収差測定装置
１３０ … 第４収差測定装置
ＣＰ … コンピュータ
ＦＦ … 焦光点位置
ＦＰ … 焦点面
ＳＰ … 被検光学系（被検レンズ）、ＳＰ’… 被検光学系（被検ミラー）

Claims (7)

1. 被検光学系の収差を測定する収差測定装置において、
   前記被検光学系を照明する点光源と、
   前記被検光学系からの光を平行光とするコリメータレンズと、
   前記収差測定装置中の収斂光束中もしくは拡大光束中に設けられ、前記被検光学系からの光の焦光点位置と前記コリメータレンズの焦点位置とを合わせる焦点合わせ光学系と、
   前記コリメータレンズからの平行光を、二次元に分布する複数の光束に形成する光束形成部と、
   前記光束形成部による結像を検出する検出手段と、
   を備えることを特徴とする収差測定装置。
2. 前記焦点合わせ光学系は、テーパー状に傾斜した二枚のガラスからなる平行平板を含んでおり、前記平行平板が光軸と交差し少なくとも一枚のガラスを交差方向にずらすことにより、前記平行平板の厚みを変化することを特徴とする請求項１記載の収差測定装置。
3. 前記平行平板は、前記交差方向に沿って二枚のガラスをお互いにずらすことにより、前記平行平板の厚みを変化することを特徴とする請求項２記載の収差測定装置。
4. 前記平行平板は、前記被検光学系と前記コリメータレンズとの間に配置されていることを特徴とする請求項２記載の収差測定装置。
5. 前記点光源は、主光源とピンホール板とによって形成され、
   前記主光源と前記ピンホールとの間に波長選択フィルターが配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の収差測定装置。
6. 前記点光源は、主光源とピンホール板とによって形成され、
   前記主光源は異なる波長の複数のＬＥＤからなり、この複数のＬＥＤが選択に配置されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の収差測定装置。
7. 前記光束形成部はマイクロレンズアレイ、開口部を有するマスク又は開口部を有する位相シフトマスクを含むことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の収差測定装置。