JP6600312B2 - ビーム伝播カメラ及び光ビーム解析の方法 - Google Patents
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Description
動作時に入射したビームを複数のサブビームにビーム分割するビーム分割光学装置と、
上記サブビームを検出するセンサ装置と
を有し、ビーム分割光学装置は回折構造を有し、
上記回折構造は、サブビームの少なくとも2つがセンサ装置において相互に空間的に分離され、且つ光軸に関して長手方向の焦点オフセットを有するように構成される。
光軸に沿って伝播するビームを複数のサブビームにビーム分割するステップと、
上記サブビームによってセンサ装置にそれぞれ発生したスポットサイズを測定するステップと、
発散(θ)、焦点位置(z0)、及びウェストサイズ(w0)のビームパラメータの少なくとも1つを測定スポットサイズから計算するステップと
を含み、サブビームの少なくとも2つがセンサ装置において相互に空間的に分離され、且つ光軸に関して長手方向の焦点オフセットを有するように、回折構造を用いてビーム分割を実行する。
に従って正又は負の焦点距離を有する。ここで、flは正の1次回折の焦点距離を示し、kはビーム指数又は回折次数を示す。ここで、各焦点の強度は、基礎となる(ほぼ放物線状の)位相プロファイルの実施形態及び近似形態に直接依存する。焦点距離f0を有する屈折レンズ素子と組み合わせて、複数の有効焦点距離fk,k=0,±1,…,kmaxを有する多焦点光学系が得られ、回折構造と屈折レンズ素子との間の距離を無視すれば、以下がほぼ当てはまる。
w2(z)=A+Bz+Cz2 (12)
(すなわち、放物線を記述する2次多項式)に基づいてフィットを用いて、パラメータ又は「フィッティング係数」A、B、及びCを式(12)に従って求めることにより、焦点におけるビームデータを確定することができる。式(5)によれば、フィッティング係数とビームパラメータとの間には以下の関係がある。
w0θ=c (15)
式中、cは、ビーム特性とビーム寸法及び発散の尺度に関して選択された規約とに応じて変わる定数を示す。理想的なガウシアン基本モード及びモーメントベースのビーム尺度には次式が当てはまる。
c=λ/π (16)
式中、λは光波長を示す。これに対して、収差ガウシアンビームには変更形態
によって与えられる。偏心dxの結果として、以下の所望の横方向ビーム分割を行列要素から単純に読み取ることができる。
から、像側長手方向焦点位置が
は像側主光線の焦点位置を示し、
はそのファーフィールド結像スケールを示す。式(24)を式(23a)〜(23f)に挿入することによって、システムのビーム固有結像特性が各焦点において
Claims (21)
- ビーム伝播カメラであって、
動作時に該ビーム伝播カメラの光軸(OA)に沿って入射したビームを複数のサブビームにビーム分割するビーム分割光学装置(240)と、
前記サブビームを検出するセンサ装置(250)と
を備え、前記ビーム分割光学装置(240)は回折構造(241)を有し、
前記回折構造(241)は、前記サブビームの少なくとも2つが前記センサ装置(250)において相互に空間的に分離され、且つ前記光軸(OA)に関して長手方向の焦点オフセットを有し、且つ、
前記回折構造(241)は、回折次数の増加に伴い回折効率が向上するように構成されるビーム伝播カメラ。 - 請求項1に記載のビーム伝播カメラにおいて、回折次数の増加に伴い向上する前記回折効率の結果として、前記センサ装置(250)におけるビーム分割によって発生した前記サブビームのデフォーカスの増大に伴う強度低下が少なくとも部分的に補償されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- ビーム伝播カメラであって、
動作時に該ビーム伝播カメラの光軸(OA)に沿って入射したビームを複数のサブビームにビーム分割するビーム分割光学装置(240)と、
前記サブビームを検出するセンサ装置(250)と
を備え、前記ビーム分割光学装置(240)は回折構造(241)を有し、
前記回折構造(241)は、前記サブビームの少なくとも2つが前記センサ装置(250)において相互に空間的に分離され、且つ前記光軸(OA)に関して長手方向の焦点オフセットを有し、且つ、
物体での反射前のビーム解析用の第1解析ユニット(110)と、物体での反射後のビーム解析用の第2解析ユニット(120)とを有すことを特徴とするビーム伝播カメラ。 - 請求項3に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記物体は飛翔体であることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項3に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記物体はレーザプラズマ源の金属ターゲットドロップレット(130)であることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は、前記光軸(A)に関して偏心した配置を有することを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記ビーム分割光学装置(240)は、屈折光学素子(242)をさらに有することを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項7に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は焦点距離f1を有し、前記屈折光学素子(242)は焦点距離f0を有し、比f1/f0は少なくとも2であることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項7又は8に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記屈折光学素子(242)及び前記回折構造(241)はモノリシック構成を有することを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項7〜9のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記屈折光学素子は平凸レンズ素子であることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項7〜10のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記屈折光学素子(242)は、該屈折光学素子(242)の焦点面が光ビーム経路内の瞳平面に対応するように配置されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は位相DOEとして構成されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は透過型DOEとして構成されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は、フレネルレンズ素子又はフレネルゾーンプレートとして構成されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は透過型で動作することを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記回折構造(241)は反射型で動作することを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラにおいて、該ビーム伝播カメラはアポダイゼーションフィルタをさらに備えることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項17に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記アポダイゼーションフィルタは前記センサ装置(250)で実現されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 請求項17に記載のビーム伝播カメラにおいて、前記アポダイゼーションフィルタは、光ビーム経路内の瞳平面に配置されたグレーフィルタとして実現されることを特徴とするビーム伝播カメラ。
- 光ビーム解析の方法であって
光軸(OA)に沿って伝播するビームを複数のサブビームにビーム分割するステップと、
前記サブビームによってセンサ装置(250)にそれぞれ発生したスポットサイズを測定するステップと、
発散(θ)、焦点位置(z0)、及びウェストサイズ(w0)のビームパラメータの少なくとも1つを測定スポットサイズから計算するステップと
を含み、前記ビーム分割するステップは、前記サブビームの少なくとも2つが前記センサ装置(250)において相互に空間的に分離され、且つ前記光軸(OA)に関して長手方向の焦点オフセットを有するように、回折次数の増加に伴い回折効率が向上する回折構造(241)を用いて実行される方法。 - 請求項20に記載の方法において、該方法を請求項1〜19のいずれか1項に記載のビーム伝播カメラを用いて実行することを特徴とする方法。
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