JP2009286662A - 圧電磁器、圧電素子及び積層型圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下記一般式(1)で表される複合酸化物を主成分として含有する焼結体を備え、焼結体の粒界にCu元素が偏在している圧電磁器1及びそれを備える圧電素子20を提供する。
(Pb1−x−yMex)[(Ni1/3Nb2/3)aTibZrc]O3 …(1)
[式(1)中、MeはCa、Sr及びBaからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を表し、a、b、c、x及びyは下記式(2)〜(9)を満たす。
0<a≦0.1 …(2)
0<b<1 …(3)
0<c<1 …(4)
a+b+c=1 …(5)
0.788≦b(1−a)/c≦0.941 …(6)
0≦x<1 …(7)
0≦y≦0.05 …(8)
0<1−x−y …(9)]
【選択図】図1
Description
(Pb1−x−yMex)[(Ni1/3Nb2/3)aTibZrc]O3 …(1)
0<a≦0.1 …(2)
0<b<1 …(3)
0<c<1 …(4)
a+b+c=1 …(5)
0.788≦b(1−a)/c≦0.941 …(6)
0≦x<1 …(7)
0≦y≦0.05 …(8)
0<1−x−y …(9)
0<y≦0.03 …(10)
0<x≦0.05 …(11)
d+e=1 …(12)
(Pb1−x−yMex)[(Ni1/3Nb2/3)aTibZrc]O3 …(1)
0<a≦0.1 …(2)
0<b<1 …(3)
0<c<1 …(4)
a+b+c=1 …(5)
0.788≦b(1−a)/c≦0.941 …(6)
0≦x<1 …(7)
0≦y≦0.05 …(8)
0<1−x−y …(9)
(Pb1−xMex)[(Ni1/3Nb2/3)aTibZrc]O3 …(13)
0<y≦0.03 …(10)
0<x≦0.05 …(11)
d+e=1 …(12)
まず、主成分の原料として、PbO粉末、SrCO3粉末、NiO粉末、Nb2O5粉末、TiO2粉末、ZrO2粉末を用意し、焼成後の主成分の組成が、後述の表2〜4に示す組成となるように秤量した。さらに、第1副成分及び第2副成分の焼成後の組成が、表2〜4の組成となるようにそれぞれの原料酸化物を秤量した。また、Cu2Oを、表2〜4の主成分に対して0.03質量%秤量した。
焼成後の主成分の組成が表3の組成となるように主成分の原料を配合したこと、及び、Cu2Oを配合しなかったこと以外は、上述の実施例1と同様の方法で試料を作製した。
焼成後の主成分の組成が表4の組成となるように主成分の原料を配合したこと、及び、焼成を低酸素還元性雰囲気に変えて空気雰囲気で行ったこと以外は、上述の実施例1と同様の方法で試料を作製した。
作製した各実施例及び各比較例の試料について、比抵抗と、抗折強度と、圧電特性として圧電d定数(d33)とを測定した。比抵抗はデジタル超高抵抗計(ADVANTEST社製、商品名:R8340A)を用いて測定した。抗折強度は、JIS−R1602に準拠して3点曲げ試験により抗折強度を測定した。圧電d定数(d33)は、2.0kV/mmの電界を印加したときの変位を、フリンジカウンタ式レーザ変位計を使用して測定した。なお、圧電定数d33は電極面に垂直(厚さ)方向の歪みに基づくものである。比抵抗、抗折強度、圧電d定数(d33)の測定結果を表5〜7に示す。
Claims (7)
- 下記一般式(1)で表される複合酸化物を主成分として含有する焼結体を備えており、
前記焼結体の粒界にCu元素が偏在している圧電磁器。
(Pb1−x−yMex)[(Ni1/3Nb2/3)aTibZrc]O3 …(1)
[式(1)中、MeはCa、Sr及びBaからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を表し、a、b、c、x及びyは下記式(2)〜(9)を満たす。
0<a≦0.1 …(2)
0<b<1 …(3)
0<c<1 …(4)
a+b+c=1 …(5)
0.788≦b(1−a)/c≦0.941 …(6)
0≦x<1 …(7)
0≦y≦0.05 …(8)
0<1−x−y …(9)] - 前記一般式(1)におけるyが下記式(10)を満たす請求項1に記載の圧電磁器。
0<y≦0.03 …(10) - 前記一般式(1)におけるxが下記式(11)を満たす請求項1又は2に記載の圧電磁器。
0<x≦0.05 …(11) - 前記焼結体が、構成元素としてTa、Nb及びWからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素R1を有する第1副成分を含有し、
前記主成分100モルに対する前記第1副成分の含有量が、金属元素R1換算で0より大きく0.9モル以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電磁器。 - 前記焼結体が、構成元素として、Dy、Gd及びYからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素R2と、Ta、Nb及びWからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属元素R3と、を有する第2副成分を含有し、
前記主成分100モルに対する前記第2副成分の含有量が、Pb(R2dR3e)O3換算(d及びeは下記式(12)を満たす。)で0より大きく0.6モル以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電磁器。
d+e=1 …(12) - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電磁器を備える圧電素子。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電磁器からなる圧電体層と、Cu元素を含む内部電極層と、が交互に積層された積層型圧電素子。
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