JP2009283754A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n+型基板1の表面側に素子構造や表面電極を形成した後、n+型基板1の裏面1bに研磨処理を行って裏面1bに微細な凹凸を形成する。そして、凹凸が形成された裏面1b上に金属薄膜110を形成した後、n+型基板1の裏面1b側に光子エネルギーとレーザ出力の積が1000eV・mJ/cm2以上かつ8000eV・mJ/cm2以下となるような条件でレーザ光を照射することでシリサイド層111を含むドレイン電極11を形成する。これにより、n+型基板1に高温処理を行うことなく、n+型基板1にドレイン電極11にシリサイド層111を生成できる。したがって、イオン注入工程を用いることなく、かつ低温プロセスによってドレイン電極11をオーミック電極にできる。
【選択図】図2
Description
今井聖支、他1名,「29p−ZM−14、Niサリサイドプロセスを用いたn型およびp型SiC同時コンタクト」,第51回応用物理関係連合講演会講演予稿集,社団法人応用物理学会、2004年3月28日、第1分冊、p.437
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1に、本実施形態に示すSiC半導体装置の製造方法により製造したプレーナ型MOSFET(縦型パワーMOSFET)の断面図を示す。本デバイスは、例えばインバータに適用すると好適なものである。図1に基づいて縦型パワーMOSFETの構造について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してシリサイド層111を形成するために用いるレーザ光を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
上記各実施形態では、パワーMOSFETを例に挙げて説明したが、これは単なる一例であり、ダイオードやIGBTなどの他の素子構造を備えたものについても本発明を適用することが可能である。
1a 主表面
1b 裏面
10 ソース電極
11 ドレイン電極
40 保護膜
51 レーザ光
110 金属薄膜
111 シリサイド層
Claims (7)
- 主表面(1a)および当該主表面の反対面である裏面(1b)を有し、単結晶炭化珪素からなる半導体基板(1)を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記半導体基板を用意し、当該半導体基板の裏面を研磨することで当該裏面に凹凸を形成する研磨工程と、
前記研磨工程の後、前記半導体基板の裏面上に金属薄膜(110)を形成する金属薄膜形成工程と、
前記金属薄膜形成工程の後、前記金属薄膜にレーザ光(50)を照射することで第1の電極(11)を形成する電極形成工程と、を含み、
前記電極形成工程では、前記レーザ光における光子エネルギー(eV)とレーザ出力(mJ/cm2)の積が、1000(eV・mJ/cm2)以上かつ8000 (eV・mJ/cm2)以下となるよう範囲の波長とレーザ出力とすることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記研磨工程では、前記半導体基板の裏面の粗度(Ra)が10nm以上かつ500nm以下となるように前記裏面を研磨することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記金属薄膜形成工程では、前記金属薄膜としてNi、Ti、Mo、Wのいずれか1つもしくは複数を含む金属を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記金属薄膜形成工程では、前記金属薄膜の膜厚を10nm以上とすることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記電極形成工程では、スキャニングもしくはマスキングにより、前記半導体基板の裏面上の金属薄膜部分のみに前記レーザ光(50)を照射することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板を用意する工程では、前記半導体基板の主表面側に素子構造が形成され、前記主表面に第2の電極(10)が形成されていると共に、前記裏面に前記第1の電極が形成され、前記第2の電極と前記第1の電極との間の前記素子構造に電流を流してなる縦型の半導体素子のうち、前記半導体基板に前記素子構造を形成すると共に、前記第2の電極を形成した後、前記半導体基板の裏面を研磨することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板を用意する工程では、前記第2の電極を形成した後に前記半導体基板の主表面側に当該第2の電極を覆う保護膜(40)を形成することを特徴とする請求項6に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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