JP6776762B2 - 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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第1実施形態について説明する。まず、図1を参照して、本実施形態にかかるSiC半導体装置について説明する。本実施形態では、縦型の半導体素子としてのプレーナ型の縦型パワーMOSFETを備えるSiC半導体装置について説明する。本SiC半導体装置は、例えばインバータに適用すると好適なものである。
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して接合金属層11cを構成する第3金属をシリサイド層11bに合金化する工程を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
8 ゲート電極
10 ソース電極
11 ドレイン電極
11a カーバイド層
11b シリサイド層
11c 接合金属層
11d 配線用電極
50a、50b 第1、第2金属薄膜
60 レーザ光
Claims (8)
- 炭化珪素で構成され、半導体素子が形成されてなる半導体基板(1)と、
前記半導体基板の一面に対して形成されたオーミック電極(11)とを有する炭化珪素半導体装置であって、
前記オーミック電極は、
前記半導体基板の一面側に形成された金属シリサイドにて構成されるシリサイド層(11b)と、
前記シリサイド層の上に形成され、前記シリサイド層との界面において該シリサイド層と合金化された金属によって構成された接合金属層(11c)と、
前記接合金属層を介して前記シリサイド層の上に形成された配線用電極(11d)と、を有して構成され、
前記配線用電極のうち最も前記接合金属層側に配置された材料がTiであり、
前記接合金属層はSiを含有しており、該接合金属層中におけるSi含有比率が前記シリサイド層中におけるSi含有比率より小さくなっている炭化珪素半導体装置。 - 前記接合金属層は、前記シリサイド層と合金化する複数の異なる材料で構成される積層体とされている請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記接合金属層中の全域において前記Si含有比率が均一とされている請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記接合金属層中における前記Si含有比率は、前記シリサイド層から前記配線用電極に向かうほど低くされている請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記オーミック電極は、
前記半導体基板の一面側に形成された金属カーバイドにて構成されるカーバイド層(11a)を含み、
前記シリサイド層は、前記カーバイド層に接して形成されている請求項1ないし4のいずれか1つに記載の炭化珪素半導体装置。 - 炭化珪素で構成され、半導体素子が形成されてなる半導体基板(1)を用意することと、
前記半導体基板の一面に対してオーミック電極(11)を形成することと、を含む炭化珪素半導体装置の製造方法であって、
前記半導体基板の一面に炭化珪素中の炭素と反応してカーバイドを形成する第1金属薄膜(50a)を形成することと、
前記第1金属薄膜の上に、炭化珪素中のシリコンと反応してシリサイドを形成する第2金属薄膜(50b)を形成することと、
前記第1金属薄膜および前記第2金属薄膜に対してレーザ光(60)を照射してレーザアニールを行うことで、金属カーバイドにて構成されるカーバイド層(11a)を形成すると共に前記カーバイド層と接する金属シリサイドにて構成されるシリサイド層(11b)とを形成することと、
前記シリサイド層の上に、該シリサイド層と合金化された金属によって構成された接合金属層(11c)を形成することと、
前記接合金属層を介して前記シリサイド層の上に配線用電極(11d)を形成することと、を含み、
前記接合金属層を形成することでは、前記シリサイド層との界面において前記接合金属層を構成する金属を前記シリサイド層と合金化させることで、Siが含有させられると共にSi含有比率が前記シリサイド層中におけるSi含有比率より小さい前記接合金属層を形成し、
前記配線用電極を形成することでは、前記配線用電極のうち最も前記接合金属層側に配置される材料をTiとする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記接合金属層を形成することと前記配線用電極を形成することは、同一装置内において連続して行われる請求項6に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記接合金属層を形成することでは、前記接合金属層を構成する金属を成膜した後に、前記接合金属層を構成する金属を前記シリサイド層と合金化させることを行い、該合金化させることとして100〜1000℃の温度でアニールする請求項6または7に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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