JP2009280683A5 - モノマー、ポリマー、感光性樹脂組成物及びレジストパターンの形成方法 - Google Patents

モノマー、ポリマー、感光性樹脂組成物及びレジストパターンの形成方法 Download PDF

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  1. 下記一般式:
    Figure 2009280683
    (式中、R1は(メタ)アクリロイルオキシ基であり、R2は水素又はC1〜4のアルキル基であり、nは1〜4の整数である)
    で表される構造を有することを特徴とするモノマー。
  2. 下記一般式:
    Figure 2009280683
    (式中、R3は水素又はC1〜4のアルキル基であり、R4は水素、アルキル基又はフェニル基であり、mは1〜4の整数である)
    で表される構造を構成単位として含むことを特徴とするポリマー。
  3. 下記一般式:
    Figure 2009280683
    (式中、R5は水素又はC1〜4のアルキル基であり、R6は水素又はメチル基であり、kは1〜4の整数である)
    で表される構造を構成単位として含むことを特徴とするポリマー。
  4. 請求項2又は3に記載のポリマーと光酸発生剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
  5. 請求項4に記載の感光性樹脂組成物を基板に塗布して塗膜を形成した後、露光し、現像することを特徴とするレジストパターンの形成方法。
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DE3811242A1 (de) * 1988-04-02 1989-10-19 Hoechst Ag Im waessrigem alkali loesliche, silanylgruppen in der seitenkette enthaltende bindemittel, verfahren zu deren herstellung sowie lichtempfindliches gemisch, enthaltend diese verbindungen
JP4889850B2 (ja) * 2000-10-31 2012-03-07 昭和電工株式会社 硬化性樹脂、感光性樹脂組成物及び硬化塗膜の形成方法
JP4167599B2 (ja) * 2002-02-19 2008-10-15 太陽インキ製造株式会社 硬化性樹脂及びそれを含有する硬化性樹脂組成物

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