JP2009272484A - 微小欠陥除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この発明に従った微小欠陥除去装置MDRDは:レーザー光照射装置10と;撓み可能な細長い操作指12aを有していて、操作指を操作する操作指操作手段12と;そして、監視装置14と;を備えており、物体表面20の欠陥を構成している残渣による異物20bを監視装置により監視している間に、上記欠陥に対するレーザー光照射装置からレーザー光の照射及び操作指の先端の押圧の少なくとも一方の作用により上記欠陥を上記物体表面から除去する、ことを特徴としている。
【選択図】 図3
Description
最初に、図1乃至図4を参照しながら、この発明の第1の実施の形態に従った微小欠陥除去装置MDRDについて説明する。
次に、図5を参照しながら、この発明の第2の実施の形態に従った微小欠陥除去装置MDRD’について説明する。
Claims (8)
- レーザー光照射装置と;
撓み可能な細長い操作指を有していて、操作指を操作する操作指操作手段と;そして、
監視装置と;
を備えており、物体表面の欠陥を監視装置により監視している間に、上記欠陥に対するレーザー光照射装置からレーザー光の照射及び操作指の先端の押圧の少なくとも一方の作用により上記欠陥を上記物体表面から除去する、
ことを特徴とする微小欠陥除去装置。 - 前記操作指操作手段の前記操作指において前記物体表面及び前記欠陥と接触する部位が球形状を有している、ことを特徴とする請求項1に記載の微小欠陥除去装置。
- 前記操作指操作手段は複数の相互に開閉可能な前記操作指を有しており、前記物体表面から突出した前記欠陥に対し複数の前記操作指を開いた後に閉じて複数の前記操作指の先端を前記物体表面に対する前記欠陥の基端部に当接させて前記欠陥を摘まみ前記欠陥の基部に外力を負荷して前記物体表面から前記欠陥を除去する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の微小欠陥除去装置。 - 前記欠陥に向けられ、前記物体表面から除去された前記欠陥に対し吸引及び吹き飛ばしの少なくともいずれか一方を行なう気体流通部材を更に備える、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の微小欠陥除去装置。
- 前記気体流通部材が中空のガラス製である、ことを特徴とする請求項4に記載の微小欠陥除去装置。
- 前記操作指がガラス製である、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の微小欠陥除去装置。
- 前記レーザー光照射装置は第3高調波又は第4高調波のNd−YAGレーザー光を照射する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の微小欠陥除去装置。
- 前記監視装置は前記物体表面の欠陥の監視を前記物体表面の側方から行う、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の微小欠陥除去装置。
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