JP2009268647A - 真空構造体の封止方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内容器と外容器により形成された真空断熱空間8を、外底板部5の排気孔9より排気し、金属ろう材10を溶融させて排気孔9を封止する。排気孔9に、上下方向を貫通した貫通孔15を設けたろう材支持体14を配置する。貫通部15に金属ろう材10を設け、その後、真空下で加熱処理してろう材10を溶融し、ろう材10が貫通部15を通して排気孔9を封止する。貫通孔15を形成したろう材支持板14上にろう材10を設けて加熱するので、ろう材10が溶融してろう材10の表面張力により直に排気孔9が落下することはなく、ゲッターの活性化と吸蔵ガスの排気を行うことができる。また、550℃以下の加熱が可能となる。
【選択図】図3
Description
6 外容器
8 真空断熱空間
9 排気孔
10 ろう材
10A 溶融部
13 大径の円筒凹部
14 ろう材支持板
15 貫通孔(貫通部)
17 封止板(封止体)
B 直径
Claims (7)
- 構成部材により形成された空間を、前記構成部材に形成した排気孔より排気し、金属ろう材を溶融させて前記排気孔を封止する真空構造体の封止方法において、前記排気孔に、内外を貫通した貫通部を設けたろう材支持体を配置すると共に、前記貫通部に金属ろう材を設け、その後、真空下で加熱処理して前記ろう材を溶融し、前記ろう材が前記貫通部を通して前記排気孔を封止することを特徴とする真空構造体の封止方法。
- 金属製の外容器と金属製の内容器の間により形成された構造部材の空間を、前記外容器または内容器に形成した排気孔より排気し、加熱により前記排気孔に設けたろう材を溶融させて前記排気孔を封止する真空構造体の封止方法において、貫通孔を形成したろう材支持板と、そのろう材支持板の貫通孔の上に該貫通孔の直径よりも大きな金属ろう材を載置或いは溶融固定し、それを前記排気孔を覆うように配置後、真空下で加熱処理して前記ろう材を溶融し、前記ろう材が前記金属板の貫通孔から落下し前記排気孔を封止することを特徴とする真空構造体の封止方法。
- 前記ろう材支持板の材料が550℃以下の真空加熱で表面の酸化被膜が除去される金属材料からなることを特徴とする請求項2に記載の真空構造体の封止方法。
- 前記ろう材が、Sn又はSnとAg、Cu、Ni、Bi或いはZnの合金からなることを特徴とする請求項2又は3に記載の真空構造体の封止方法。
- 前記排気孔に封止体を設けた状態で、前記真空下で加熱して前記ろう材を前記溶融することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空構造体の封止方法。
- 前記貫通孔の直径が4mm以上6mm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の真空構造体の封止方法。
- 前記排気孔周囲に前記ろう材支持板を載置する凹部を形成したことを特徴とする請求項2,3,4、6のいずれか1項に記載の真空構造体の封止方法。
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