JP2012217940A - 気体吸着デバイスの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】気体吸着材4が充填された気体難透過性容器1の胴部における、充填された気体吸着材4と気体難透過性容器1の開口部3との間に位置する部分に狭窄部5を形成し、気体難透過性容器1内で狭窄部5の開口部3側に、狭窄部5を通過できない大きさの封止材6を配置し、気体難透過性容器1の開口部3側が上になる姿勢で、融解状態の封止材6が表面張力により狭窄部5を塞ぐ状態になるように封止材6と狭窄部5付近を加熱し、その後、開口部3内で表面張力により狭窄部5を塞いだ融解状態の封止材5を冷却固化する。封止材6の重量は、加熱により、融解状態の封止材6を表面張力による狭窄部5に留めようとする力が、狭窄部5に位置する封止材6に加わる重力により狭窄部5から封止材6を落下させる力よりも大きくなるように調整した。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1の気体吸着デバイスの熱処理前の状態を示す概略縦断面図
である。
℃まで加熱する。550℃まで加熱することにより、気体吸着材4は気体吸着特性を発揮する。
h=2Tcosθ/ρgr・・・(式1)
で表される。
液面が持ち上げられる高さ=液面を持ち上げる力/単位高さ当たりの重量
という関係が成り立つ。従って、
液面を持ち上げる力=単位高さあたりの重量×液面が持ち上げられる高さ
とう関係が成り立つ。この関係を考慮して、管の形状を一般化することにより、
F=LTcosθ・・・(式2)
という関係が成り立つ。
、作製にかかる材料コスト、工数を低減することにより安価な気体吸着デバイスを得る事ができる。
実施例1においては、気体難透過性容器1として、アルミニウムからなる長さ100mm、内径10mmの円筒形ものを用いた。気体吸着材4として、気体吸着特性を発揮する温度が400℃のTi−Al系合金で、10Paでの窒素の吸着量が1ccのものを用いた。
実施例2においては、狭窄部5の対向する胴部の内面同士の間隔は0.35mmとした
。その他の条件は実施例1に準じて気体吸着デバイスを作製した。
実施例3においては、狭窄部5の対向する胴部の内面同士の間隔は0.5mmとした。その他の条件は実施例1に準じて気体吸着デバイスを作製した。
実施例4においては、550℃での保持時間を10時間とし、その他の条件は実施例1に準じて気体吸着デバイスを作製した。
実施例5においては、熱処理の温度を600℃として、その他の条件は実施例1に準じて気体吸着デバイスを作製した。
る本来の気体吸着量を得られることが判った。
比較例1において封止材6の重量を0.1gとして、その他の条件は実施例1に準じて気体吸着デバイスを作製した。
比較例2において、封止材6の重量を0.1g、熱処理の温度を600℃とし、その他の条件は実施例1に準じて気体吸着デバイスを作製した。
3 開口部
4 気体吸着材
5 狭窄部
6 封止材
Claims (1)
- 気体吸着材が充填された気体難透過性容器の胴部における、充填された前記気体吸着材と前記気体難透過性容器の開口部との間に位置する部分に、対向する前記胴部の内面同士の間隔が他の箇所より狭い狭窄部を形成し、前記気体難透過性容器内で前記狭窄部の前記開口部側に、前記狭窄部を通過できない大きさの封止材を配置し、前記気体難透過性容器の開口部側が上になる姿勢で、融解状態の前記封止材が表面張力により前記狭窄部を塞ぐ状態になるように前記封止材と前記狭窄部付近を加熱し、その後、前記開口部内で表面張力により前記狭窄部を塞いだ融解状態の前記封止材を冷却固化する気体吸着デバイスの作製方法であって、
前記加熱により、融解状態の前記封止材を表面張力による前記狭窄部に留めようとする力が、前記狭窄部に位置する前記封止材に加わる重力により狭窄部から前記封止材を落下させる力よりも大きくなるように前記封止材の重量を調整した気体吸着デバイスの作製方法。
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JP2011087031A JP2012217940A (ja) | 2011-04-11 | 2011-04-11 | 気体吸着デバイスの作製方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014114843A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Panasonic Corp | 真空断熱材 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009268647A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Thermos Kk | 真空構造体の封止方法 |
WO2010109846A1 (ja) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | パナソニック株式会社 | 気体吸着デバイスの作製方法、気体吸着デバイス、および気体吸着デバイスの使用方法 |
-
2011
- 2011-04-11 JP JP2011087031A patent/JP2012217940A/ja active Pending
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