JP2009257585A - 真空利用のための、気体静力学ベアリングエレメントによってガイドされるテーブル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このテーブルは、固定して取り付けられている支持構造体とテーブルトップとを有しており、このテーブルトップは、スライドによって、固定して取り付けられている支持構造体に関するx方向とy方向とに移動可能である。スライドはガイドするための気体静力学ベアリングエレメントを備えており、これらの気体静力学ベアリングエレメントは、ガスベアリングを動作させるために必要とされるガスを供給するための供給ラインとこのガスを除去するための吸引ラインとに接続されている。吸引ラインは、少なくとも1つの可変長ライン装置を備え、このライン装置は第1管材と第2管材とを有し、これらの管材は接触せずに一方が他方の中に貫入し、少なくとも1つのシーリングギャップが管材の間に備えられている。
【選択図】 図2
Description
2、3 ガイドレール
4、9、43 気体静力学ベアリングエレメント
5、6 可動スライド
7 接続レール
8 スライド
10 テーブルトップ
11、12 伝動装置
13、44 支持領域
14 ギャップ
15 ガス供給路
16、17、39、40、42、45、45’、48 シーリングギャップ
18、19、41、46、47 吸引路
20 供給ライン
21、22 吸引ライン
23 真空チャンバ
24〜27 可変長ライン装置
28、29 管材
30 ラインエレメント
31 中間部品
32 接合構造体
33〜36 矢印
37 密封システム
50 内部ラインシステム
Claims (12)
- 固定して取り付けられている支持構造体と、スライドによって、固定して取り付けられている支持構造体に関してx方向とy方向とに移動可能であるテーブルトップとを有している、気体静力学ベアリングエレメントによってガイドされる真空利用するためのテーブルであって、スライドが、ガイドするための気体静力学ベアリングエレメントを備えており、これらの気体静力学ベアリングエレメントが、ガスベアリングを動作させるために必要とするガスを供給するための供給ラインと、このガスを除去するための吸引ラインとに接続されている前記テーブルにおいて、吸引ライン(21、22)が、接触せずに一方が他方の中に貫入している、第1管材(28)と第2管材(29)とを有している少なくとも1つの可変長ライン装置(24、25、26、27)を備えていることと、少なくとも1つのシーリングギャップが管材(28、29)間に備えられていることとを特徴とするテーブル。
- 吸引ラインが、長さがx方向に可変である少なくとも1つのライン装置(24、25)と、長さがy方向に可変である少なくとも1つのライン装置(26、27)とを備えており、可変長ライン装置が、好ましくはx軸とy軸の直交座標配列に従うことを特徴とする、請求項1に記載のテーブル。
- 気体静力学ベアリングエレメント(4、9)が、周囲の真空に流出するガスの流れを徐々に低減させるために、一方が他方の後方に配されている少なくとも2つの吸引ステージを有しており、各吸引ステージの吸引ライン(21、22)が互いから分離され、長さがx方向とy方向とに可変であるライン装置(24、25、26、27)が夫々各吸引ステージの吸引ラインに配されていることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のテーブル。
- 固定して取り付けられている支持構造体(1)に対して固定して接続されている2つのガイドレール(2、3)が互いから間隔をおいてx方向に延び、これらのガイドレール(2、3)上に第1スライド(5、6)が夫々可動状態で配されていることと、接続レール(7)が2つのスライド(5、6)に接続され、テーブルトップ(10)を支持している第2スライド(8)が接続レール(7)に可動状態で配されていることとを特徴とする、請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
- 長さがx方向に可変であるライン装置(24、25)の第1管材(29)が、固定して取り付けられている支持構造体(1)に対して固定して接続され、第2管材(28)が第1スライド(6)に配されていることと、長さがy方向に可変であるライン装置(26、27)の第1管材(29)が接続レール(7)に又は第1スライド(6)に接続され、第2管材(28)が第2スライド(8)に配されていること、又はその反対の構成であることを特徴とする、請求項3に記載のテーブル。
- x方向とy方向とに定義する軸が、相互に関連する角度で可動であるように形成されていることと、吸引ラインが、角度に関する動作に従うことを可能にするためのフレキシブルな中間部品(31)を有していることとを特徴とする、請求項1〜5のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
- ガスベアリングブッシング(43)のような気体静力学ベアリングエレメントが、同時にガイドと密封を行うために第1管材と第2管材との間に配されていることを特徴とする、請求項1〜6のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
- 個々の吸引ステージの複数の隣接して配されている可変長ライン装置(24、25、26、27)の管材(28、29)のガスガイドエレメントが、アセンブリを形成するために組み合わせられることを特徴とする、請求項7に記載のテーブル。
- 様々な吸引ステージの複数の可変長ライン装置(24、25、26、27)が、一方が他方の中に重ね合わせられ、シーリングギャップ(48)が第1管材(28)と第2管材(29)との間に備えられ、ライン装置のシーリングギャップ(48)から流出するガスがより低圧レベルを有するライン装置によって受け入れられることを特徴とする、請求項1〜6のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
- 異なる吸引ステージの複数の可変長ライン装置(24、25、26、27)が互いに隣接して配されており、少なくとも1つのライン装置(24、26)が第1管材(28)と第2管材(29)との間に密封システムを有し、この密封システムが2つのシーリングギャップ(39、40)とこれらのギャップ(39、40)の間に位置する吸引路(41)とを備え、テーブルを囲んでいる真空に対する圧力により近い少なくとも1つのライン装置(25、27)が第1管材と第2管材との間にシーリングギャップ(42)を有し、第1ライン装置(24、26)の密封システムの吸引路(41)が第2ライン装置(25、27)に接続されていることを特徴とする、請求項1〜6のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
- 管材が、高密度セラミックのような高比剛性と低吸着力とを有する材料から構成されることを特徴とする、請求項1〜10のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
- 固定して取り付けられている支持構造体が、ベースプレート(1)として構成されていることを特徴とする、請求項1〜11のうちのいずれか1項に記載のテーブル。
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