JP2009253179A - 横型炉装置 - Google Patents

Abstract

【課題】炉口廻りからの熱の漏出、炉口廻りの高温化、劣化した高耐熱断熱部材による汚損を防ぐとともに、高温の熱処理にも使用できるようにする。
【解決手段】横型炉装置１０は、プロセスチューブ１、ヒータ２、支持体３，４、高耐熱断熱部材６〜８を備えている。プロセスチューブ１は、第２の端面１２に導入管１５を備える。支持体３，４は、環状を呈し、ヒータ２の断熱部材２１，２２が全周にわたって外嵌する。支持体３，４とプロセスチューブ１及び導入管１５の外周面との間の間隙は、第１の高耐熱断熱部材５及び第２の高耐熱断熱部材６によって閉塞される。第２の支持体４は第１部材４１とこれに嵌入する第２部材４２とからなる。第１部材４１と第２部材４２との間には全周にわたって第４の高耐熱断熱部材８が配置される。プロセスチューブ１とヒータ２との間の熱がプロセスチューブ１の両端から外部に漏出することがない。
【選択図】 図１

Description

この発明は、主面を垂直にした複数枚のシリコン基板やガラス基板を、プロセスチューブ内に水平（横）方向に沿って並べて熱処理を行う横型炉装置に関する。

半導体の製造工程には、シリコン基板やガラス基板等の基板を高温で加熱する熱処理が含まれる。基板に対して熱処理を施す装置として、主面を垂直にした複数枚の基板をプロセスチューブ内に水平（横）方向に並べて収納する横型炉装置が用いられる。

横型炉装置は、軸方向を水平（横）方向にして配置されたプロセスチューブの周囲にプロセスチューブ内を加熱するヒータを配置している。プロセスチューブは第１の端面が開閉自在にされており、横型炉装置の第１の端面を炉口として、複数枚の基板を搭載したボートがプロセスチューブの内部に水平（横）方向に沿って搬入出される。熱処理時には、プロセスチューブの第２の端面から第１の端面に向かって処理用ガスが導入される。

横型炉装置の炉口の側方には熱処理前後の基板が出し入れされるが、熱処理前後の基板にヒータの熱が作用すると、適正な熱処理を施すことができない。また、ヒータの熱が外部に漏れると、プロセスチューブ内の温度を効率よく所定の処理温度に維持することが困難になるだけでなく、環境温度の上昇によってプロセスチューブ内への導入前の処理用ガスの変質や作業性の低下を招来する。

そこで、横型炉装置におけるプロセスチューブの軸方向の両端部には、ヒータとプロセスチューブとの間隙からの熱の漏出を防止すべく、耐熱断熱部材が配置されている。従来の横型炉装置おけるプロセスチューブの軸方向の両端部に配置される耐熱断熱部材は、シリカ繊維やシリカ系セラミックファイバ等を素材として構成されている（例えば、特許文献１参照。）。
実開平５−５０７２７号公報

しかし、従来の横型炉装置は、プロセスチューブの軸方向の両端部の耐熱断熱部材としてシリカ繊維やアルミナ・シリカ系セラミックファイバ等を素材として用いていたため、数百℃程度の温度下での経時変化によって繊維が剥離し、外部に対する断熱性が損なわれるとともに、処理ガスの変質、炉口廻りや処理前後の基板を汚損する問題がある。これは、非晶質であるシリカやアルミナ・シリカ系セラミックは、結晶化温度が比較的低く、熱処理時におけるプロセスチューブの両端部の温度で結晶化して脆くなるためと考えられる。また、同様の理由により、従来の横型炉装置は、処理温度が１０００℃以上となるような熱処理に使用することができない問題があった。

この発明の目的は、プロセスチューブの軸方向の両端部から外部への熱の漏出を確実に防止するとともに、熱処理時の温度下で高耐熱断熱部材からの繊維の剥離を防止し、炉口廻りの高温化や汚損を生じることがなく、炉口廻りの温度が１０００℃以上となるような熱処理にも使用することができる横型炉装置を提供することにある。

この発明に係る横型炉装置は、プロセスチューブ、ヒータ、第１及び第２の支持体、第１及び第２の高耐熱断熱部材を備えている。プロセスチューブは、第１の端面が開放した筒状を呈し、軸方向を水平向きにして配置される。ヒータは、プロセスチューブの外周面との間に間隙を設けて配置され、プロセスチューブの外周面を全周にわたって包囲する。第１及び第２の支持体は、プロセスチューブの軸方向の両端部のそれぞれが貫通するとともに外周面にヒータの軸方向の両端部のそれぞれが全周にわたって外嵌する。第１及び第２の高耐熱断熱部材は、プロセスチューブの外周面における両端部のそれぞれと第１及び第２の支持体のそれぞれの内周面との間にプロセスチューブの全周にわたって配置され、ＳｉＣの長繊維で構成された環状を呈する。

この構成では、プロセスチューブの軸方向の両端部で、プロセスチューブの外周面と第１及び第２の支持体のそれぞれとの間が、プロセスチューブの全周にわたって第１及び第２の高耐熱断熱部材によって閉塞される。プロセスチューブとヒータとの間から外部への熱伝導が、ＳｉＣの長繊維で構成された環状体の高耐熱断熱部材によって抑制される。ＳｉＣの結晶化温度は、熱処理時にプロセスチューブ及びヒータから熱伝導を受ける第１及び第２の支持体の温度に比較して十分に高い。したがって、高耐熱断熱部材は経時変化によって脆化せず、可撓性を失うこともないため、高耐熱断熱部材から繊維が剥離することがなく、炉口廻りの断熱性が維持されるとともに、炉口廻りや処理前後の基板を汚損することがない。

この構成において、プロセスチューブとヒータとの間の間隙に筒状のライナー管をさらに備えてもよい。プロセスチューブとヒータとの間の均熱化が図られ、プロセスチューブ内の温度制御を容易に行うことができる。

また、ヒータは、軸方向の両端部のそれぞれの内周面が第１及び第２の支持体のそれぞれの外周面に当接する環状の断熱部材を備えたものであってもよい。ヒータの軸方向の両端部と第１及び第２の支持体との間から外部への熱の漏出を低減できる。

さらに、プロセスチューブの外周面における第１の高耐熱断熱部材の配置位置よりも第１の端面側に全周にわたって配置されるＳｉＣの長繊維で構成された環状を呈する第３の高耐熱断熱部材を備えてもよい。プロセスチューブの炉口側に配置される炉口廻り排気装置等の高温化を抑制して動作不良の発生を防止できる。この場合に、第３の高耐熱断熱部材は、周方向の一部に切断部が形成され、切断部の両側に固定用部材を有するものとしてもよい。切断部を両側に開いてプロセスチューブの外周面に巻着させた後に固定用部材で固定することにより、第３の高耐熱断熱部材をプロセスチューブの所定の位置に容易に配置でき、交換作業を容易に行うことができる。

加えて、プロセスチューブの第２の端面が小径の処理ガス導入用の導入管部を除いて閉塞されている場合には、第２の支持体を、内周面がプロセスチューブの外周面に全周にわたって対向する第１部材と、第１部材に嵌入して内側面が第２の端面に対向する第２部材と、から構成してもよい。この場合に、第１部材の内周面と第２部材の外周面との接触部分に全周にわたって第２部材の外側面側から嵌入する第２の高耐熱断熱部材をさらに備えてもよい。プロセスチューブの第２の端面に導入管部が設けられている場合にも第２の端面近傍から外部への熱の漏出を確実に防止できる。

この発明によれば、プロセスチューブの軸方向の両端部の形状及び耐熱断熱部材の材質を適正にすることができる。これによって、プロセスチューブの軸方向の両端部から外部への熱の漏出を確実に防止できるとともに、熱処理時の温度下で高耐熱断熱部材からの繊維の剥離を防止できる。炉口廻りの高温化や汚損を生じることがなく、炉口廻りの温度が１０００℃以上となるような熱処理にも使用することができる。

図１は、この発明の実施形態に係る横型炉装置の概略の断面図である。横型炉装置１０は、プロセスチューブ１、ヒータ２、第１の支持体３、第２の支持体４、第１の高耐熱断熱部材５、第２の高耐熱断熱部材６、第３の高耐熱断熱部材７及び第４の高耐熱断熱部材８を備えている。横型炉装置１０の側方には、炉口廻り排気装置２０が配置されている。

プロセスチューブ１は、例えば、石英ガラスを素材として円筒形状に形成されている。プロセスチューブ１の第１の端面１１は、炉口として開放しており、オートドア１３によって開閉自在にされている。プロセスチューブ１の第２の端面１２は、中心部分に形成された導入管１５を除いて閉塞されている。プロセスチューブ１の内部には、炉口から主面を垂直に立てた複数枚の基板１００を水平（横）方向に並べて搭載したボート３０が搬入出される。プロセスチューブ１における第１の端面１１側の一部は、炉口廻り排気装置２０内に挿入されている。

ヒータ２は、軸方向の両端面が開放した筒状を呈し、プロセスチューブ１の外周面を全周にわたって間隙を設けて包囲する。ヒータ２は、プロセスチューブ１の内部温度が所定の処理温度となるように制御される。ヒータ２の軸方向の両端部には、それぞれ断熱部２１、２２が全周にわたって備えられている。

第１の支持体３は、断熱材料を素材として環状に形成されており、プロセスチューブ１の第１の端面１１側に配置されている。支持体３は、取付具３１によってフレーム４０に取り付けられている。支持体３には、プロセスチューブ１の第１の端面１１側の一部が貫通しており、ヒータ２の断熱部２１が外嵌している。

第２の支持体４は、第１部材４１及び第２部材４２によって構成され、プロセスチューブ１の第２の端面１２側に配置されている。第１部材４１は、断熱材料を素材として円筒状に形成されており、取付具４３によってフレーム５０に取り付けられている。第１部材４１には、プロセスチューブ１の第２の端面１２側の一部が貫通しており、ヒータ２の断熱部２２が外嵌している。第２部材４２は、断熱材料を素材として環状に形成されており、第１部材４１に嵌入している。第２部材４２の内径は、プロセスチューブ１の外径より小さく、導入管１５の外径より大きい。第２部材４２には、導入管１５の一部が貫通している。

第１の高耐熱断熱部材５は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、第１の端面１１側でプロセスチューブ１の外周面と支持体３の内周面との間に全周にわたって配置されている。

第２の高耐熱断熱部材６は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、第２の端面１２側で導入管１５の外周面と支持体４の第２部材４２の内周面との間に全周にわたって配置されている。

プロセスチューブ１は、第１の端面１１側の外周面、及び導入管１５で、第１の高耐熱断熱部材５及び第２の高耐熱断熱部材６を介して第１の支持体３及び第２の支持体４に支持される。

なお、プロセスチューブ１とヒータ２との間隙には、周方向の一部に保持部材９が配置されている。基板１００及びボート３０の荷重が作用することによるプロセスチューブ１の変形や破断を防止している。

第１の支持体３の内径は、プロセスチューブ１の外径よりも大きい。このため、第１の支持体３の内周面とプロセスチューブ１の外周面との間には間隙が形成されるが、この間隙は第１の高耐熱断熱部材５によって閉塞される。このため、プロセスチューブ１とヒータ２との間の熱が、第１の端面１１側に漏出することがない。

また、第３の高耐熱断熱部材７は、ＳｉＣの長繊維によって筒状に形成されており、プロセスチューブ１の外周面における第１の高耐熱断熱部材５の配置位置よりも第１の端面１１側の部分であって脱酸素装置２０内に挿入されている部分に装着している。このため、熱処理中にプロセスチューブ１の熱が、外部に放出されることを抑制できる。

これらによって、熱処理中に脱酸素装置２０の温度上昇を抑制することができ、脱酸素装置２０の動作不良や故障の発生を防止することができる。また、脱酸素装置２０内を経由してプロセスチューブ１内に搬入出される熱処理前後の基板の変質を防止できる。さらに、環境温度の上昇を抑えることができ、基板の搬入出エリアの環境の劣化を防止できるとともに、クリーンルームへの熱負荷の増加を抑えることができる。

第１の高耐熱断熱部材５及び第３の高耐熱断熱部材７の素材であるＳｉＣは、結晶化温度が熱処理時におけるプロセスチューブ１の表面温度に比較して十分に高い。このため、第１の高耐熱断熱部材５及び第３の高耐熱断熱部材７は、熱処理の繰り返しによっても長期間にわたって脆化による繊維の剥離を生じることがない。これによって、熱処理前後の基板や脱酸素装置２０の汚損を防止できる。

第２の支持体４の第２部材４２の内径は、導入管１５の外径よりも大きい。このため、第２部材４２の内周面と導入管１５の外周面との間には間隙が形成されるが、この間隙は第２の高耐熱断熱部材６によって閉塞される。また、第４の高耐熱断熱部材８は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、支持体４の第２部材４２の外周面と第１部材４１の内周面との間に全周にわたって配置されている。したがって、プロセスチューブ１とヒータ２との間の熱が第２の端面１２側に漏出することがない。

これらによって、導入管１５の周辺の温度上昇を抑制することができ、導入前の処理用ガスの温度制御を適正に行うことができる。また、環境温度の上昇を抑えることができ、作業性の悪化を防止できる。

第２の高耐熱断熱部材６及び第４の高耐熱断熱部材８の素材であるＳｉＣは、結晶化温度が熱処理時におけるプロセスチューブ１の表面温度に比較して十分に高い。このため、第２の高耐熱断熱部材６及び第４の高耐熱断熱部材８は、熱処理の繰り返しによっても長期間にわたって脆化による繊維の剥離を生じることがない。これによって、導入管１５の周辺の汚損を防止できる。

なお、図２及び図３に示すように、第１の高耐熱断熱部材３及び第２の高耐熱断熱部材６は、半円形に形成されており、それぞれ２個１組で全体として環状を形成する。この形状により、プロセスチューブ１を第１の支持体３及び第２の支持体４から取り外すことなく第１の高耐熱断熱部材５及び第２の高耐熱断熱部材６を所定の位置に着脱することができ、第１の高耐熱断熱部材５及び第２の高耐熱断熱部材６を容易に交換できる。第４の高耐熱断熱部材８も第１の高耐熱断熱部材５と寸法は異なるが同様の形状を呈している。このため、第１部材４１に第２部材４２を嵌入したままで第４の高耐熱断熱部材８を着脱することができ、第４の高耐熱断熱部材８を容易に交換できる。

図４（Ａ）及び（Ｂ）は、第３の高耐熱断熱部材の正面図及び側面図である。第３の高耐熱断熱部材７は、円筒状に形成されており、周方向の一部に切断部７Ａが形成されている。第３の高耐熱断熱部材７の周面で切断部７Ａの両側には、この発明の固定部材である紐体７１Ａ，７１Ｂ，７２Ａ，７２Ｂ（紐体７２Ａは図示されない。）が延出している。第３の高耐熱断熱部材７は、ＳｉＣの長繊維を素材として構成されているため可撓性を有し、切断部７Ａを周方向の両側に拡げることでプロセスチューブ１の外周面に着脱することができる。切断部７Ａを拡げてプロセスチューブ１の外周面に装着した後に、紐体７１Ａと紐体７１Ｂとを結び、紐体７２Ａと紐体７２Ｂとを結ぶことで、第３の高耐熱断熱部材７をプロセスチューブ１の外周面に固定することができる。

図５は、この発明の別の実施形態に係る横型炉装置の概略の断面図である。横型炉装置１１０は、プロセスチューブ１０１、ヒータ１０２、ライナー管１０８、第１の支持体１０３、第２の支持体１０４、第１の高耐熱断熱部材１０５、第２の高耐熱断熱部材１０６及び第３の高耐熱断熱部材１０７を備えている。

プロセスチューブ１０１は、例えば、石英ガラスを素材として円筒形状に形成されている。プロセスチューブ１の第１の端面１１は、炉口として開放しており、図示しないオートドアによって開閉自在にされている。プロセスチューブ１０１の第２の端面１１２は、中心部分に形成された小径管１１５を除いて閉塞されている。プロセスチューブ１０１の内部には、炉口から主面を垂直に立てた複数枚の基板１００が図示しないボート上に水平（横）方向に並べて搭載されて搬入出される。

ヒータ１０２は、軸方向の両端面が開放した筒状を呈し、プロセスチューブ１０１の外周面を全周にわたって間隙を設けて包囲する。ヒータ１０２は、プロセスチューブ１０１の内部温度が所定の処理温度となるように駆動される。ヒータ１０２の軸方向の両端部には、それぞれ断熱部１２１、１２２が全周にわたって備えられている。

ライナー管１０８は、例えばＳｉＣを素材として円筒形状に形成されており、プロセスチューブ１０１とヒータ１０２との間に配置される。ライナー管１０８は、プロセスチューブ１０１内の温度分布を均一化する。

第１の支持体１０３は、断熱材料を素材として円筒状に形成されており、プロセスチューブ１０１の第１の端面１１１側に配置されている。支持体１０３は、取付具１３１によってフレーム１４０に取り付けられている。支持体１０３には、プロセスチューブ１０１の第１の端面１１１側の一部が貫通しており、ヒータ１０２の断熱部１２１が外嵌している。

第２の支持体１０４は、第１部材１４１及び第２部材１４２によって構成され、プロセスチューブ１０１の第２の端面１１２側に配置されている。第１部材１４１は、断熱材料を素材として円筒状に形成されている。第１部材１４１には、プロセスチューブ１０１の第２の端面１１２側の一部が貫通しており、ヒータ１０２の断熱部１２２が外嵌している。第２部材１４２は、断熱材料を素材として環状に形成されており、第１部材１４１に当接している。第２部材１４２の内径は、プロセスチューブ１０１の外径より小さく、小径管１１５の外径より大きい。第２部材１４２には、小径管１１５の一部が貫通している。第１部材１４１及び第２部材１４２は、取付具１４３によってフレーム１５０に取り付けられている。

第１の高耐熱断熱部材１０５は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、第１の端面１１１側でプロセスチューブ１０１の外周面と第１の支持体１０３の内周面との間に全周にわたって配置されている。

第２の高耐熱断熱部材１０６は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、第２の端面１１２側で小径管１１５の外周面と第２の支持体１０４の第２部材１４２の内周面との間に全周にわたって配置されている。

第３の高耐熱断熱部材１０７は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、第２の端面１１２側で小径管１１５の外周面に全周にわたって外嵌している。

プロセスチューブ１０１は、第１の端面１１１側の外周面、及び小径管１１５で、第１の高耐熱断熱部材１０５及び第２の高耐熱断熱部材１０６を介して第１の支持体１０３及び第２の支持体１０４に支持される。

なお、第１の支持体１０３並びに第２の支持体１０４の第１部材１４１及び第２部材１４２は孔部を偏心させて形成されている。このため、プロセスチューブ１０１とライナー管１０８との管の間隙は全周にわたって一定であるが、ライナー管１０８とヒータ１０２との間隙は上部で広く下部で狭くされている。気中では下部に比較して上部の方が高温になることから、上下方向についてヒータ１０２よるプロセスチューブ１０１の加熱状態を均一にするためでもある。

第１の支持体１０３の内径は、プロセスチューブ１０１の外径よりも大きい。このため、第１の支持体１０３の内周面とプロセスチューブ１０１の外周面との間には間隙が形成されるが、この間隙は第１の高耐熱断熱部材１０５によって閉塞される。このため、プロセスチューブ１０１とヒータ１０２との間の熱が、第１の端面１１１側に漏出することがない。

これによって、熱処理中に第１の端面１１１側の環境温度の上昇を抑制することができ、外部装置の動作不良や故障の発生、並びに基板の搬入出エリアの環境の劣化を防止できるとともに、クリーンルームへの熱負荷を抑えることができる。また、第１の端面１１１を経由してプロセスチューブ１０１内に搬入出される熱処理前後の基板の変質を防止できる。

第１の高耐熱断熱部材１０５の素材であるＳｉＣは、結晶化温度が熱処理時におけるプロセスチューブ１０１の表面温度に比較して十分に高い。このため、第１の高耐熱断熱部材１０５は、熱処理の繰り返しによっても長期間にわたって脆化による繊維の剥離を生じることがない。これによって、熱処理前後の基板や外部装置の汚損を防止できる。

第２の支持体１０４の第２部材１４２の孔部は、内側の小径部と外側の大径部とで構成されている。小径部及び大径部の何れの内径も小径管１１５の外径よりも大きい。このため、第２部材１４２の内周面と小径管１１５の外周面との間には間隙が形成されるが、第２部材１４２の大径部と小径管１１５の外周面との間隙は第２の高耐熱断熱部材１０６によって閉塞される。また、第３の高耐熱断熱部材１０７は、ＳｉＣの長繊維によって環状に形成されており、支持体１０４の第２部材１４２の大径部の内周面と第２の高耐熱断熱部材１０６の外周面との接触部分に全周にわたって外側から当接している。したがって、プロセスチューブ１０１とヒータ１０２との間の熱が第２の端面１１２側に漏出することがない。

これによって、小径管１１５の周辺の温度上昇を抑制することができ、導入前の処理用ガスの温度制御を適正に行うことができる。また、環境温度の上昇を抑えることができ、作業性の悪化を防止できる。

第２の高耐熱断熱部材１０６及び第３の高耐熱断熱部材１０７の素材であるＳｉＣは、結晶化温度が熱処理時におけるプロセスチューブ１０１の表面温度に比較して十分に高い。このため、第２の高耐熱断熱部材１０６及び第３の高耐熱断熱部材１０７は、熱処理の繰り返しによっても長期間にわたって脆化による繊維の剥離を生じることがない。これによって、小径管１１５の周辺の汚損を防止できる。

なお、図６に示すように、第２の高耐熱断熱部材１０６及び第３の高耐熱断熱部材１０７は、半円形に形成されており、それぞれ２個１組で全体として環状を形成する。この形状により、プロセスチューブ１０１を第２の支持体１０４から取り外すことなく第２の高耐熱断熱部材１０６及び第３の高耐熱断熱部材１０７を所定の位置に着脱することができ、第２の高耐熱断熱部材１０６及び第３の高耐熱断熱部材１０７を容易に交換できる。第１の高耐熱断熱部材１０５も図１に示した第１の高耐熱断熱部材３と寸法は異なるが同様の形状を呈している。このため、第１の支持体部材１０３からプロセスチューブ１０１を取り外すことなく第１の高耐熱断熱部材１０３を着脱することができ、第１の高耐熱断熱部材１０３を容易に交換できる。

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明の実施形態に係る横型炉装置の概略を示す断面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、同縦型炉装置に用いられる第１の高耐熱断熱部材の正面図及び側面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、同縦型炉装置に用いられる第２の高耐熱断熱部材の正面図及び側面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、同縦型炉装置に用いられる第３の高耐熱断熱部材の正面図及び側面図である。 本発明の第２の実施形態に係る横型炉装置の概略を示す断面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、同縦型炉装置に用いられる第２及び第３の高耐熱断熱部材の正面図及び側面図である。

符号の説明

１−プロセスチューブ
２−ヒータ
３−第１の支持体
４−第２の支持体
５−第１の高耐熱断熱部材
６−第２の高耐熱断熱部材
７−第３の高耐熱断熱部材
８−第４の高耐熱断熱部材
１０−横型炉装置
１５−導入管

Claims (5)

1. 第１の端面が開放した筒状のプロセスチューブであって軸方向を水平向きにして配置されたプロセスチューブと、
   前記プロセスチューブの外周面との間に間隙を設けて配置され、前記プロセスチューブの外周面を全周にわたって包囲する筒状のヒータと、
   前記プロセスチューブの軸方向の両端部のそれぞれが貫通するとともに外周面に前記ヒータの軸方向の両端部のそれぞれが外嵌する環状の第１及び第２の支持体と、
   前記プロセスチューブの外周面における両端部のそれぞれと前記第１及び第２の支持体のそれぞれの内周面との間に前記プロセスチューブの全周にわたって配置され、ＳｉＣの長繊維で構成された環状を呈する第１及び第２の高耐熱断熱部材と、を備えた横型炉装置。
2. 前記プロセスチューブと前記ヒータとの間の間隙に筒状のライナー管をさらに備えた請求項１に記載の横型炉装置。
3. 前記ヒータは、軸方向の両端部のそれぞれの内周面が前記第１及び第２の支持体のそれぞれの外周面に当接する環状の断熱部材を備えた請求項１又は２に記載の横型炉装置。
4. 前記プロセスチューブの外周面における前記第１の高耐熱断熱部材の配置位置よりも前記第１の端面側に全周にわたって配置されるＳｉＣの長繊維で構成された環状を呈する第３の高耐熱断熱部材であって、周方向の一部に切断部が形成され、切断部の両側に固定用部材を備えた第３の高耐熱断熱部材をさらに備えた請求項１乃至３の何れかに記載の横型炉装置。
5. 前記プロセスチューブは、第２の端面が小径の処理ガス導入用の導入管部を除いて閉塞され、
   前記第２の支持体は、内周面が前記プロセスチューブの外周面に全周にわたって対向する第１部材と、前記第１部材に嵌入して内側面が前記第２の端面に全周にわたって対向する第２部材と、からなり、
   前記第１部材の内周面と前記第２部材の外周面との接触部分に全周にわたって前記第２部材の外側面側から嵌入する第４の高耐熱断熱部材をさらに備えた請求項１乃至４の何れかに記載の横型炉装置。

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