JP5304068B2 - 縦型熱処理装置 - Google Patents
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この縦型熱処理装置では、通常複数のウエーハを保持するための熱処理用ボートが用いられている。このような複数のウエーハに同時に熱処理を行う熱処理装置は、バッチ式の熱処理炉と言われている。
したがって、反応管が石英製でありながら、特に高温アニールでも使用することが可能になる。また、その石英製の反応管のライフを延ばすことができるため、反応管のコストの低減、および稼働率の向上を図ることができる。更に、反応管を石英製にすることができるため、炭化珪素製の反応管のように継目のリークの心配はなく、良好な熱処理を実施できる。
このように、3箇所以上の突起部を円周方向に均等間隔に有することで、反応管側壁への荷重を均熱管により均等に支えることができるため、反応管の熱変形を効果的に抑制することができる。
このように、突起部が上記のような突出幅、厚さであれば、反応管を十分に支え得る強度を有するため、反応管の熱変形をより確実に抑制することができる。
このように、反応管を均熱管で支持する際の両突起部の接触面が、水平面又はテーパー面同士であれば、より安定的に支持することができ、取り付けの際の固定も容易である。
図1は、本発明に係るバッチ式の縦型熱処理装置の一例を示した概略図である。図2は、本発明に係る突起部の形状の一例を示した概略図である。図3は、本発明に係る反応管を均熱管に挿入して固定する際の断面説明図である。
図1に示すように、本発明の縦型熱処理装置16は、石英製の反応管11と、該反応管11の内側に設置され、被処理基板が載置される熱処理用ボート17と、反応管11を覆うように配置された炭化珪素製の均熱管10を有している。また、均熱管10の周囲には加熱ヒータ12が設置されており、この加熱ヒータ12によって、被処理基板を加熱することができる。
このように、本発明では、反応管11が石英製であるため、ガス導入管15等との継目は石英同士で溶着により溶接できるため、石英と炭化珪素との接続のようなリークは発生しない。
したがって、反応管が石英製でありながら、特に高温アニールでも使用することが可能になる。また、石英製の反応管のライフを延ばすことができるため、反応管のコストの低減、および稼働率の向上を図ることができる。
このように、3箇所以上の突起部を円周方向に均等間隔に有することで、反応管側壁への荷重を均等に支えることができ、反応管の熱変形を効果的に抑制することができる。
このような、突起部であれば反応管を支持するのに十分な強度を有するため、反応管の熱変形をより確実に抑制することができる。
ただし、本発明の突起部としては、均熱管に反応管を挿入する際にお互いの突起部が干渉し合わない程度の幅、厚さであって、熱変形により反応管が水平方向に膨張しても互いの突起部の先端が反応管、均熱管の側壁に接触しない程度に突出していれば、特に限定されない。
このように、支持する際に突起部同士の接触面が、図1に示すような水平面同士か、又は図2に示すようなテーパー面同士であれば、反応管をより安定して支持することができ、確実に熱変形を抑制することができる。
(実施例)
図1に示すような、天板がドーム状で内径380mm、外径390mm(半径195mm)の石英製反応管を備えた縦型の熱処理装置を用意した。その反応管側壁の外側上部に、図3に示すような、突起部を外径410mm(半径205mm)(側壁より10mm突出)、中心角30°、厚さ10mmで3回軸対称に同じ高さに3箇所設けた。同様に、天板がドーム状で外径425mm、内径415mmの炭化珪素製均熱管にも、突起部を側壁の内側上部に内径395mm(側壁より10mm突出)、中心角30°、厚さ5mmで3回軸対称に3箇所設けた。なお、反応管及び均熱管の突起部上下面は水平となるように加工されている。反応管の突起部が均熱管の突起部の上に載るように反応管をセットし、1200℃で1時間の熱処理を1000回実施した。
この場合、ドーム状の天井が若干垂れ下がりはしたが、反応管下部の外径は400mmと均熱管に接触することはなかった。
図4のような、天板がドーム状で側壁に突起部のない外径390mm、内径380mmの石英製反応管を、天板がドーム状で側壁に突起部のない外径425mm、内径415mmの炭化珪素製均熱管にセットし、1200℃で1時間の熱処理を500回実施した。
この場合、ドーム状の天井が若干垂れ下がり、全長も20mm低くなった。また、反応管下部の外径が415mmとなって均熱管に接触してしまい、反応管が抜けなくなった。
13…反応管の突起部、 14…均熱管の突起部、
15、25、30a…ガス導入管、 16…本発明の縦型熱処理装置、
17、24…熱処理用ボート、 20、32…従来の縦型熱処理装置、
21…従来の均熱管、 23、31…従来の反応管、
30…ガスポート部、 33…フランジ。
Claims (3)
- 少なくとも、石英製の反応管と、該反応管を覆うように配置された炭化珪素製の均熱管と、該均熱管の外側に配置された加熱ヒータとを有する縦型熱処理装置であって、
前記反応管が側壁に外向きの突起部を有し、かつ前記均熱管が側壁に内向きの突起部を有するものであり、前記反応管の突起部が前記均熱管の突起部によって支持されるものであり、前記反応管の突起部の下側面が、突出方向に上がるようなテーパー面であって、前記均熱管の突起部の上側面が、前記反応管の突起部の下側面とは逆のテーパー面であることを特徴とする縦型熱処理装置。 - 前記反応管、及び/又は、前記均熱管が、3箇所以上の前記突起部を円周方向に均等間隔に有するものであることを特徴とする請求項1に記載の縦型熱処理装置。
- 前記反応管の突起部、及び/又は、前記均熱管の突起部が、側壁より5〜30mm突出し、上下方向の厚さが10mm以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の縦型熱処理装置。
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