JP2009241218A - 測定子の調整方法、測定子の角度検出方法、測定子による検出結果の補正方法、及びネジ溝検出装置を備えた工作機械 - Google Patents

Abstract

【課題】ワーク回転軸に交差する方向に測定子を移動させる機構において、測定子の移動方向（案内方向）が正確にワーク回転軸に交差するように調整する測定子の調整方法、測定子の移動方向の正確な角度を求める角度検出方法、当該測定子による検出結果の補正方法、及び当該測定子を用いたネジ溝検出装置を備えた工作機械を提供する。
【解決手段】複数の異なる径の円筒部Ｔｎを同心軸上に有し、各円筒部には同心軸と平行な方向に形成されているととともに同心軸を通る１つの平面上に位置するように形成された基準溝Ｍｎを有するマスターワークＭＷを回転軸回りに保持し、測定子８３を基準溝に向けて移動させて基準溝に測定子が当たるように調整したマスターワークの回転角度を、少なくとも２つ以上の円筒部の基準溝に対して求め、２つ以上の基準溝に対してマスターワークにおける同一の回転角度にて測定子が当たるように、案内手段の案内方向ＡＮを調整する。
【選択図】図４

Description

本発明は、所定の回転軸回りに回転可能に保持した少なくとも一部に円筒部を有するワークに対して、前記回転軸に交差する方向から前記円筒部に測定子を接触させる測定子の調整方法、当該測定子を案内する案内手段と所定の基準面との角度検出方法、当該測定子による検出結果の補正方法、及び当該測定子を用いたネジ溝検出装置を備えた工作機械に関する。

従来より、円筒状のワークの少なくとも一部の円筒面にネジ溝を形成する場合、まず、ワーリング等の粗加工を行ってネジ溝の概略形状を形成した後、粗加工したネジ溝を仕上げ研削している。従って、仕上げ研削を行う場合、砥石（加工工具）の位置を、ネジ溝位置の正面に割り出す必要があり、ネジ溝の位置を正確に測定する必要がある。
そこで、特許文献１に記載された従来技術では、測定子を加工工具（この場合、砥石）の支持台に連結して一体化し、ネジ軸が形成されたワークを挟んで砥石と反対側に測定子を配置し、加工工具の加工点から半リード遅れた位置のネジ溝に測定子を接触させて、ネジ軸の位置を測定している。
特開平１−２９５７１３号公報

特許文献１に記載された従来技術では、測定子位置決め用１軸テーブルに沿って測定子を移動させて、測定子をワークのネジ溝に接触させている。ここで、測定子の移動軌跡の延長先がワーク回転軸と正確に交差するように測定子を移動させなければ正確なネジ溝の位置を測定することはできない。しかし、引用文献１には、測定子の移動軌跡の延長先が、ワーク回転軸と正確に交差するように調整する具体的な方法について記載されていない。
また、特許文献１では、ワークに接触する接触子を２組の平行板バネで保持している。接触子をワークに押し付けて一方の組の平行板バネを湾曲させた場合（円弧移動させた場合）では、接触子の鉛直方向の位置が僅かにずれ、ワーク回転軸と正確に交差する位置からずれるので、ネジ溝の位置を正確に測定できない可能性がある。同様に他方の組の平行板バネをネジ溝のリード方向（軸方向）に湾曲させた場合（円弧移動させた場合）、やはり接触子の鉛直方向の位置が僅かにずれ、ワーク回転軸と正確に交差する位置からずれるので、ネジ溝の位置を正確に測定できない可能性がある。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、ワーク回転軸に交差する方向に測定子を移動させる機構において、測定子の移動方向（案内方向）が正確にワーク回転軸に交差するように調整する測定子の調整方法（いわゆるセンタ出し方法）、測定子の移動方向の正確な角度を求める角度検出方法（いわゆる基準出し方法）、当該測定子による検出結果の補正方法、及び当該測定子を用いたネジ溝検出装置を備えた工作機械を提供することを課題とする。

上記課題を解決するための手段として、本発明の第１発明は、請求項１に記載されたとおりの測定子の調整方法である。
請求項１に記載の測定子の調整方法は、所定の回転軸回りに回転可能に保持した少なくとも一部に円筒部を有するワークに対して、前記回転軸に交差する方向から前記円筒部に測定子を接触させる測定子の調整方法であって、前記測定子を、前記回転軸にほぼ交差するとともに方向を微調整可能な案内方向に進退移動が可能な案内手段に取り付ける。
また、少なくとも複数の異なる径の円筒部を同心軸上に有し、各円筒部の円筒面には前記同心軸と平行な方向に形成されているととともに前記同心軸を通る１つの平面上に位置するように形成された基準溝を有するマスターワークを、前記回転軸と前記同心軸とが一致するように前記回転軸回りに保持し、前記測定子と前記基準溝とが対向するように前記マスターワークの回転角度を設定する。
そして、前記マスターワークの中から選択した円筒部の基準溝と前記測定子とが対向するように、前記回転軸と平行な方向に、前記マスターワークに対して前記測定子を相対的に移動させた後、前記案内手段を用いて前記測定子を前記基準溝に向けて移動させて前記基準溝に前記測定子が当たるように調整した前記マスターワークの回転角度を、少なくとも２つ以上の円筒部の基準溝に対して求め、少なくとも２つ以上の円筒部の基準溝に対して、前記マスターワークにおける同一の回転角度にて前記測定子が当たるように、前記案内手段の案内方向を調整する、測定子の調整方法である。

また、本発明の第２発明は、請求項２に記載されたとおりの測定子の角度検出方法である。
請求項２に記載の測定子の角度検出方法は、所定の回転軸回りに回転可能に保持した少なくとも一部に円筒部を有するワークに対して、前記回転軸に交差する案内方向に進退移動が可能な案内手段に取り付けて前記円筒部に接触させる測定子の角度検出方法である。
また、少なくとも一部に円筒部を有し、前記円筒部の一部には当該円筒部の軸に平行な平面部が形成され、前記円筒部の円筒面には前記円筒部の軸に平行な基準溝が形成されたマスターワークを、前記回転軸と前記円筒部の軸とが一致するように前記回転軸回りに保持し、前記円筒部の軸から前記平面部に下ろした垂線と、前記円筒部の軸から前記基準溝に下ろした垂線と、が成す角度を配置角度として、前記回転軸に平行となるように予め設定した基準面と、前記マスターワークの平面部とが平行になるように、前記マスターワークの回転角度を調整して初期角度とする。
そして、前記測定子を前記案内方向に移動させた場合に前記測定子が前記基準溝に当たるように調整した前記マスターワークにおける前記初期角度からの回転角度と、前記配置角度と、に基づいて前記基準面に対する前記案内方向の角度を検出する、測定子の角度検出方法である。

また、本発明の第３発明は、請求項３に記載されたとおりの測定子による検出結果の補正方法である。
請求項３に記載の測定子による検出結果の補正方法は、少なくとも複数の異なる径の円筒部を同心軸上に有し、各円筒部の円筒面には前記同心軸と平行な方向に形成されているとともに前記同心軸を通る同一平面上に位置するように形成された基準溝を有し、少なくとも１つの前記円筒部の一部には、前記同心軸に平行な平面部が形成されたマスターワークを用いる。
前記同心軸から前記平面部に下ろした垂線と、前記同心軸から前記基準溝に下ろした垂線と、が成す角度を配置角度として、請求項１に記載された測定子の調整方法を用いて前記案内手段の案内方向を調整した後、請求項２に記載された測定子の角度検出方法を用いて検出した、前記基準面に対する前記案内方向の角度に基づいて、前記測定子を用いて検出した検出結果を補正する、測定子による検出結果の補正方法である。

また、本発明の第４発明は、請求項４に記載されたとおりのネジ溝検出装置を備えた工作機械である。
請求項４に記載のネジ溝検出装置を備えた工作機械は、所定の回転軸回りに回転可能に保持したワークの少なくとも一部の円筒面に形成されたネジ溝の位置を検出するネジ溝検出装置を備えた工作機械であって、前記ネジ溝に接触させる測定子と、前記測定子が前記回転軸に平行なリード方向に往復移動可能となるように保持するフローティング手段と、前記回転軸に交差する前記案内方向に前記測定子を付勢する付勢手段と、前記測定子における前記リード方向の位置を検出可能なリード側位置検出手段と、前記測定子における前記案内方向の位置を検出可能な径側位置検出手段と、前記測定子を前記回転軸にほぼ交差する案内方向に進退移動可能であるとともに、前記案内方向が微調整可能な案内手段と、前記ネジ溝を研削する加工工具と、を備える。
そして、請求項１に記載の測定子の調整方法を用いて前記案内手段の案内方向を調整した後、前記測定子を前記回転軸に交差するように前記ワークのネジ溝に押し付け、前記径側位置検出手段を用いて前記測定子が前記ネジ溝に入ったことを検出し、前記リード側位置検出手段を用いて前記測定子における前記リード方向の位置を検出して、前記ネジ溝の位置を検出する。
更に、前記ワークを所定角度回転させた後の前記測定子の前記リード方向の位置を検出し、前記所定角度に対する前記測定子の前記リード方向の移動量に基づいて、前記ネジ溝のピッチを求め、請求項２に記載の測定子の角度検出方法を用いて検出した前記基準面に対する前記案内方向の角度と、求めた前記ネジ溝のピッチとに基づいて、検出した前記ネジ溝の位置を補正する。
そして、補正したネジ溝の位置に、前記ワークに対して前記基準面と平行な方向に相対的に移動可能な加工工具を位置決めして前記ネジ溝の研削を行う、ネジ溝検出装置を備えた工作機械である。

請求項１に記載の測定子の調整方法によれば、基準溝が形成された異なる径の複数の円筒部を同軸上に有するマスターワークを用いることで、測定子を移動する案内方向がワーク回転軸に交差するように、より正確に、且つより容易に微調整できるようになり、便利である。

また、請求項２に記載の測定子の角度検出方法によれば、基準溝と平面部が形成された円筒部を有するマスターワークを用いることで、予め設定された基準面（ワーク回転軸に平行）に対する案内方向（測定子の移動方向）の角度を、より正確に、且つより容易に検出することができる。

また、請求項３に記載の測定子による検出結果の補正方法によれば、予め設定された基準面（ワーク回転軸に平行）に対して、より正確に、且つより容易にワーク回転軸に交差するように調整することが可能であり、また、調整した測定子の案内方向の角度を、より正確に、且つより容易に検出することができる。
そして、例えば、測定子でネジ溝のリード方向の位置（ワーク回転軸の軸線方向の位置）を測定してネジ溝を研削する場合、基準面と案内方向との角度と、ネジ溝のピッチに基づいて、研削個所におけるリード方向の位置を補正（検出結果を補正）することで、加工個所におけるネジ溝のリード方向の位置を、より正確に求めることができる。

また、請求項４に記載のネジ溝検出装置を備えた工作機械によれば、測定子の案内方向をワーク回転軸に交差するように、より正確に、且つより容易に調整することができ、更に、基準面に対する測定子の案内方向の角度を、より正確に、且つより容易に検出することができる。
そして、基準面内の位置に加工点を有する加工工具を用いて、ネジ溝を研削する際、測定子を用いてネジ溝のリード方向の位置（ワーク回転軸の軸線方向の位置）とピッチを測定し、ネジ溝の位置と、ネジ溝のピッチと、基準面と案内方向との角度と、に基づいて、加工工具を位置決めすべきネジ溝の位置（リード方向の位置）を、より正確に求めることができる。

以下に本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。図１（Ａ）は、ネジ溝検出装置８０を備えた工作機械１の一実施の形態の概略外観図（平面図）を示しており、図１（Ｂ）は当該工作機械１（この場合、ネジ研削盤）の概略外観図（側面図）の例を示している。なお、図１（Ｂ）では、ワークＷと接触子８３と砥石２２の位置関係を説明するために、主軸装置３０Ｒ、３０Ｌ等を省略している。
また、図２（Ａ）及び（Ｂ）は、主軸装置３０Ｌ、３０Ｒを用いてワークＷを支持する様子を示している。
なお、全ての図面において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は直交しており、Ｙ軸は鉛直上方を示しており、Ｚ軸はワーク回転軸ＣＷと平行な水平方向を示しており、Ｘ軸はＺ軸に直交する水平方向を示している。

●［工作機械１の構成（図１、図２）］
図１（Ａ）、（Ｂ）、及び図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、工作機械１には、主軸装置３０Ｌ、３０Ｒが対向配置されており、主軸装置３０ＬはリニアガイドＧＬに沿ってＺ軸方向（工作物回転軸の軸線方向）に移動可能であり、主軸装置３０ＲはリニアガイドＧＲに沿ってＺ軸方向に移動可能である。
制御手段５０（制御装置）は、主軸装置３０Ｌ、３０Ｒ用のＺ軸方向駆動モータ３０ＬＭ、３０ＲＭに駆動信号を出力し、検出手段３０ＬＥ、３０ＲＥ（エンコーダ等）からの検出信号を取り込み、主軸装置３０Ｌ、３０ＲのＺ軸方向における位置及び移動速度等を制御可能である。例えば図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、Ｚ軸方向駆動モータ３０ＬＭ（３０ＲＭ）は、ボールネジＢＬ（ＢＲ）を回転させ、当該ボールネジＢＬ（ＢＲ）にナット等で嵌合されたアームＣＬ（ＣＲ）を移動させ、アームＣＬ（ＣＲ）に接続された主軸装置３０Ｌ（３０Ｒ）を移動させる。

また、工作機械１には、リニアガイドＧＺに沿ってＺ軸方向に移動可能な砥石台１０が載置されている。そして、砥石台１０の上には、リニアガイドＧＸに沿って砥石台１０に対してＸ軸方向に移動可能な砥石テーブル２０が載置されている。また、砥石テーブル２０には、砥石駆動モータ２１及び砥石２２（加工工具に相当）が設けられている。
制御手段５０は、砥石台１０用のＺ軸方向駆動モータ１０Ｍに駆動信号を出力し、検出手段１０Ｅ（エンコーダ等）からの検出信号を取り込み、砥石台１０のＺ軸方向における位置及び移動速度等を制御可能である。また同様に、制御手段５０は、砥石テーブル２０用のＸ軸方向駆動モータ２０Ｍに駆動信号を出力し、検出手段２０Ｅからの検出信号を取り込み、砥石テーブル２０のＸ軸方向における位置及び移動速度等を制御可能であり、砥石駆動モータ２１に駆動信号を出力し、砥石２２の回転を制御可能である。なお、砥石駆動モータ２１に検出手段を設ければ、砥石２２の回転速度を制御可能である。
また、図１（Ａ）に示す工作機械１の例では、主軸装置３０Ｌに砥石２２を成形するツルーイング装置６０が設けられている。

また、工作機械１には、少なくとも一部に円筒部を有するワークＷの少なくとも一部の円筒面に形成されたネジ部Ｋのネジ溝に当接させる接触子８３（測定子に相当）と、接触子８３を保持する保持手段８１と、保持手段８１をワーク回転軸ＣＷに直交する方向に移動可能な検出体移動手段８２（案内手段に相当）とで構成されたネジ溝検出装置８０が、支持体８４上に設けられている（図１（Ｂ）参照）。
なお、図１（Ｂ）に示す例では、ワーク回転軸ＣＷと砥石回転軸ＣＴとは同一水平面（ＸＺ平面である基準面ＳＴＭ）上に設定されており、接触子８３は、砥石２２が接触するワークＷのほぼ反対側の位置に設けられており、基準面ＳＴＭに対して角度θにてワーク回転軸ＣＷに直交するように配置されている。
このため、接触子８３にて検出したネジ溝位置（Ｚ軸方向の位置）を、角度θに基づいて補正したＺ軸方向の位置（例えば、角度θが１５０度の場合、ネジ溝のピッチ（間隔）の１５０度／３６０度を加えた位置（または減算した位置））が、砥石２２と対向するネジ溝の位置となる（あるいは、ネジ溝位置を検出後、ワークＷを角度θだけ回転させて検出した面を砥石２２に対向させる）。
なお、「ネジ溝の位置」とは、「ネジ溝の中心の位置」を指す。

また、図１（Ｃ）にワークＷの外観の例を示す。本実施の形態にて説明する工作機械１が対象とするワークＷは、ワークＷの少なくとも一部の円筒面にネジ溝が形成されたワークＷを対象とする。図１（Ｃ）は、上記の対象内容に合致するＥＰＳ（Electric Power Steering）のステアリングロッドの外観を示しており、当該ステアリングロッドは、ネジ溝が形成されたネジ部Ｋの他にも、ラック＆ピニオンの構造におけるラック部ＫＲ（円筒面の一部を平面状にして、ピニオンギアが嵌合する溝が形成された形状）が形成されている。

主軸装置３０Ｌは、主軸台３１Ｌと、ワーク回転軸回りに回転するスピンドル部３２Ｌと、スピンドル部３２Ｌと一体となって回転するとともに挿入されたワークＷの円筒面を支持可能なチャック爪３４Ｌを備えたチャック部３３Ｌとで構成されている。また、スピンドル部３２Ｌとチャック部３３Ｌは、同軸上に（ワーク回転軸上に）設けられており、ワークＷをＺ軸方向に挿入可能な径を有する穴部が形成されている。制御手段５０は、チャック爪３４Ｌの開閉を制御可能であり、スピンドル部３２Ｌの回転を制御可能である。また、主軸装置３０Ｒ、主軸台３１Ｒ、スピンドル部３２Ｒ、チャック部３３Ｒ、チャック爪３４Ｒについては、上記に説明した主軸装置３０Ｌと同様であるので説明を省略する。

ここで、図１（Ｃ）に示すワークＷの場合、ネジ部Ｋの両端の近傍を支持しようとすると、ラック部ＫＲの部位の支持が必要となる。しかし、ラック部ＫＲの面をチャック爪３４Ｌまたは３４Ｒで支持（把持）するのは適切でない。チャック爪３４Ｌまたは３４Ｒで支持（把持）する場合、ラック部ＫＲの面を回避してワークＷの円筒面を支持することが好ましい。
そこで、図１（Ｃ）に示すように、ワークＷの端面には、ワークＷの回転角度を特定可能な位置決め溝ＷＭが形成されている（例えば、ラック部ＫＲの面と平行な方向に位置決め溝ＷＭが形成されている）。なお、位置決め溝ＷＭは、少なくとも一方の端面に形成されていればよい。
なお、本実施の形態では、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、仮受け台７３、７４上に載置したワークＷにおけるラック部ＫＲの側の端面を主軸装置３０Ｒ側に挿入し、ラック部ＫＲと反対側の端面を主軸装置３０Ｌに挿入している。従って、チャック部３３Ｌで支持するワークＷの部位は、円周上のどの位置を支持しても円筒面であるので、チャック爪３４Ｌが３つ爪のチャック部３３Ｌを用いることが好ましい（図示省略）。また、チャック爪３３Ｒで支持するワークＷの部位は、円周上にラック部ＫＲが有るため、これを回避して円筒部を支持できるように、チャック爪３４Ｒが２つ爪のチャック部３３Ｒを用いることが好ましい（図示省略）。
なお、仮受け台７３、７４に載置されたワークＷをチャック部３３Ｌ、３３Ｒにて保持すると、ワークＷは仮受け台７３、７４から僅かに浮き上がる。

また、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、位置決め溝ＷＭが形成された端面が挿入されるスピンドル部３２Ｒの穴部には、位置決め溝ＷＭに嵌合してＺ軸方向に移動可能であるとともにスピンドル部３２Ｒと一体となって回転する嵌合部材３５Ｒが設けられている。嵌合部材３５Ｒは、弾性部材（図示省略）にてワークＷの側（位置決め溝ＷＭに嵌合する方向）に付勢されており当該弾性部材は、制御手段５０からの制御信号によってスピンドル部３２Ｒ内においてＺ軸方向に移動可能な調整部材（図示省略）に設けられている。
また、位置決め溝ＷＭが形成されていない端面が挿入されるスピンドル部３２Ｌの穴部には、ワークＷの端面が当接する当接部材３５Ｌと、Ｚ軸方向に移動可能で当接部材３５ＬのＺ軸方向の位置を制御する調整部材（図示省略）が設けられている。
上記の説明では、ワークＷの位置決め溝ＷＭをラック部ＫＲの側の端面のみに形成した例を説明したが、位置決め溝ＷＭをワークＷの両端面に形成してもよい。その場合、スピンドル部３２Ｌ内の当接部材３５Ｌを嵌合部材３５Ｒと同様の部材とすればよい。

●［ネジ溝検出装置８０の構成（図３）］
次に図３を用いて、ネジ溝検出装置８０の構成について説明する。なお、図３（Ａ）及び（Ｂ）は構成を説明するための模式図（平面図）であり、実際のネジ溝検出装置８０の外観を示すものではない。ネジ溝検出装置８０の実際の概略側面図は図３（Ｃ）の例に示す外観であり、検出体移動手段８２は保持ベース８１Ｂの下に配置されている。
ネジ溝検出装置８０は、少なくとも測定対象のネジ溝ＷＮに接触させる接触子８３（測定子に相当）と、接触子８３がワーク回転軸ＣＷに平行なリード方向（Ｚ軸方向）において基準線ＳＴＺから往復移動可能となるように保持されるフローティング手段と、ワーク回転軸ＣＷに直交する径方向に接触子８３を付勢する付勢手段とを備えている。なお、基準線ＳＴＺについては後述する。

ここで、フローティング手段は、図３（Ａ）に示すように、接触子８３を保持した保持体８１Ａのリード方向の移動を案内する２本のガイド８１Ｇと、ガイド８１Ｇのほぼ中央に保持体８１Ａを維持する弾性部材８１ＢＲ、８１ＢＬにて構成されている。これにより、保持体８１Ａ（接触子８３）は、接触子８３が何も接触していない場合における位置から、ガイド８１Ｇに沿って、保持ベース８１Ｂに対してリード方向に往復移動することが可能である。
また、付勢手段は、保持体８１Ａに対して径方向（ワーク回転軸ＣＷに直交する方向）に移動可能となるように保持された接触子８３を径方向に付勢する弾性部材８１ＢＢにて構成されている。
また、接触子８３の先端には、ネジ溝ＷＮの幅に収まる径の球状部材が固定されており、ネジ溝ＷＮに入った場合、ネジ溝ＷＮの中心に案内される構成を有している。

また、保持手段８１は、上記のフローティング手段と、付勢手段と、更に、リード側センサ８１ＳＲ、８１ＳＬ（リード側位置検出手段に相当）と、径側センサ８１ＳＢ（径側位置検出手段に相当）とを備えている。
リード側センサは、第１リード側センサ８１ＳＲと、第２リード側センサ８１ＳＬとの２個で構成されている。第１リード側センサ８１ＳＲは接触子８３に対してリード方向の一方の側（この場合、右側）の保持ベース８１Ｂに固定されており、第２リード側センサ８１ＳＬは接触子８３に対してリード方向の他方の側（この場合、左側）の保持ベース８１Ｂに固定されている。
第１リード側センサ８１ＳＲは、例えば非接触式センサであり、保持体８１Ａまでの距離（この場合、左方向への距離）を検出可能である。
第２リード側センサ８１ＳＬは、例えば非接触式センサであり、保持体８１Ａまでの距離（この場合、右方向への距離）を検出可能である。

本実施の形態では、対向配置した２個のリード側センサ８１ＳＲ、８１ＳＬの間に接触子８３（保持体８１Ａ）を配置し、第１リード側センサ８１ＳＲからの検出信号と、第２リード側センサ８１ＳＬからの検出信号との比を用いて、第１リード側センサ８１ＳＲと第２リード側センサ８１ＳＬの間における、どの位置に接触子８３が位置しているかを求める。
例えば、距離が大きくなるにつれて検出信号の出力が大きくなる特性の場合において、第１リード側センサ８１ＳＲから測定対象までの距離がＬ１、検出信号の出力がｍ１、第２リード側センサ８１ＳＬから測定対象までの距離がＬ２、検出信号の出力がｍ２であったとする。この場合、ｍ１：ｍ２＝Ｌ１：Ｌ２の式が成立し、またＬ１＋Ｌ２は所定距離であるので、これらの式を用いて、距離Ｌ１、Ｌ２を求めることができる。この場合、比を用いることで、温度ドリフト等によりｍ１及びｍ２が大きくなる方向に、または小さくなる方向にずれても誤差を相殺できるので、１個のリード側センサを用いた場合よりも、小さな誤差で接触子８３のリード側の位置を検出することができる。
なお、本実施の形態では、第１リード側センサ８１ＳＲと第２リード側センサ８１ＳＬのリード方向の中間位置に基準点を設け、当該基準点を通るＸ軸に平行な基準線ＳＴＺを設定している。制御手段５０は、この基準点の位置（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標）を認識しており、当該基準点を通る基準線ＳＴＺから接触子８３までのＺ軸方向の距離を求めて、ネジ溝の位置を求める。

また、径側センサ８１ＳＢは、例えば非接触式のセンサであり、保持体８１Ａの後方に固定され、接触子８３の端面までの距離（図３（Ｂ）の例では、Ｘ軸方向の距離Ｌｘ）を検出可能である。
そして図３の例に示すネジ溝検出装置８０は、更に、保持手段８１をワーク回転軸ＣＷに直交する方向に移動可能な検出体移動手段８２（案内手段に相当）と、制御手段（この場合、制御手段５０（図１（Ａ）参照））とを備えている。
図３に示す例では、検出体移動手段８２はシリンダとピストン８２Ａとで構成されており、保持手段８１をワーク回転軸ＣＷから最も遠ざかる位置（図３（Ａ）に示す位置）、または保持手段８１をワーク回転軸ＣＷに最も近接する位置（図３（Ｂ）に示す位置）のいずれかの位置に移動可能である。
制御手段５０は、図３（Ａ）に示す位置と図３（Ｂ）に示す位置における前記基準点の位置を認識しており、更に、接触子８３のＸ軸方向の長さも認識している。従って、径側センサ８１ＳＢから接触子８３の端面までの距離Ｌｘを求めることで、接触子８３の先端部におけるＸ軸方向の位置を認識可能であり、接触子８３の先端のＸ軸方向の位置に基づいて、接触子８３がネジ溝ＷＮに入ったか否かを判定することが可能である。例えば判定閾値をΔｘに設定し、ネジ溝に入った場合の距離Ｌｘの理論値が距離Ｋ１であるとする。この場合、制御手段５０は、測定した距離が距離Ｋ１±Δｘ以内であるとき、接触子８３がネジ溝ＷＮに入ったと判定する。
以上の構成により、ネジ溝検出装置８０をコンパクトに収めることができ、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、工作機械１への搭載も容易である。

以上に説明したネジ溝検出装置８０の接触子８３を、図３（Ｃ）に示すように、案内方向ＡＮに沿って、ワーク回転軸ＣＷに直交するように移動させるのであるが、ワーク回転軸ＣＷに直交する方向に案内方向ＡＮが一致するように調整する必要がある。
図３（Ｃ）に示すように、ネジ溝検出装置８０は、案内方向ＡＮの方向を微調整可能な調整手段８４Ｆ、８４Ｒを備えており、以下、案内方向ＡＮがワーク回転軸ＣＷに直交するように調整する調整方法等を順に説明する。

●［案内方向ＡＮをワーク回転軸ＣＷに直交するように調整する調整方法（図４）］
以下の説明では、図４（Ａ）に示すマスターワークＭＷを用いて、接触子８３の案内方向ＡＮをワーク回転軸ＣＷに直交する方向と一致するように調整する方法（いわゆるセンタ出し方法）について説明する。
図４（Ａ）に示すマスターワークＭＷは、少なくとも複数の円筒部Ｔｎ（図４（Ａ）の例ではＴ１〜Ｔ３）を同心軸ＺＭ１上に有し、各円筒部の円筒面には同心軸ＺＭ１と平行な方向に基準溝Ｍｎ（図４（Ａ）の例ではＭ１〜Ｍ３）が形成されている。また、各基準溝Ｍｎは、同心軸ＺＭ１を通る１つの平面ＨＭ上に位置するように形成されている。
なお、基準溝の幅及び深さは、例えば数μｍ〜数１０μｍ程度であり、接触子８３の先端が入る大きさに設定されている。
従って、図４（Ｂ）に示すように、同心軸ＺＭ１と平行な方向からマスターワークＭＷを見た場合、各基準溝Ｍｎ（この場合、Ｍ１〜Ｍ３）は、同心軸ＺＭ１を通る直線上に並んでいる。
次に図４（Ｂ）を用いて調整手順について説明する。なお、本調整手順の説明は、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示す工作機械１を例として説明する。
以下、図４（Ｂ）を用いて、接触子８３の実際の案内方向ＡＮ（ｒｅａｌ）を、ワーク回転軸ＣＷに直交する理想的な案内方向ＡＮ（ｔｙｐ）に調整する調整方法について説明する。

まず、ワーク回転軸ＣＷと同心軸ＺＭ１が一致するように、マスターワークＭＷを保持する。図１に示す工作機械１では、主軸装置３０Ｌと３０ＲにてマスターワークＭＷを支持する。
次に、マスターワークＭＷの基準溝Ｍ１（円筒部Ｔ１）と接触子８３とが対向するように、マスターワークＭＷと接触子８３とをワーク回転軸ＣＷに平行な方向に相対的に移動させる。図１の工作機械１の場合は、主軸装置３０Ｌと３０ＲにてマスターワークＭＷをＺ軸方向に沿って移動させる。
次に、接触子８３を案内方向ＡＮ（ｒｅａｌ）に沿って前進させて、接触子８３がマスターワークＭＷの円筒部Ｔ１に接触したとき、接触子８３の先端が基準溝Ｍ１に当たる（入る）ようにマスターワークＭＷをワーク回転軸ＣＷ回りに回転させ、基準溝Ｍ１に当たった（入った）ときのマスターワークＭＷの回転角度θｍ１を求める。

次に、マスターワークＭＷの基準溝Ｍ２（円筒部Ｔ２）と接触子８３とが対向するように、マスターワークＭＷと接触子８３とをワーク回転軸ＣＷに平行な方向に相対的に移動させる。
そして、接触子８３を案内方向ＡＮ（ｒｅａｌ）に沿って前進させて、接触子８３がマスターワークＭＷの円筒部Ｔ２に接触したとき、接触子８３の先端が基準溝Ｍ２に当たる（入る）ようにマスターワークＭＷをワーク回転軸ＣＷ回りに回転させ、基準溝Ｍ２に当たった（入った）ときのマスターワークＭＷの回転角度θｍ２を求める。
同様にして、接触子８３の先端が基準溝Ｍ３に当たる（入る）ようにマスターワークＭＷを回転させた回転角度θｍ３を求める。

少なくとも２つ以上の基準溝に対し、接触子８３が当たる（入る）それぞれの回転角度を求め、この角度と各円筒部の径とから、案内方向ＡＮ（ｒｅａｌ）がどちらの方向に、どれだけずれているかを算出することができる。
ネジ溝検出装置８０は、支持体８４との間に調整手段８４Ｆ、８４Ｒとを備えており、作業者は、算出した案内方向ＡＮ（ｒｅａｌ）のずれに応じて、微調整手段８４Ｆ、８４Ｒを調整する。そして、作業者は、基準溝Ｍ１の場合の回転角度θｍ１と、基準溝Ｍ２の場合の回転角度θｍ２と、基準溝Ｍ３の場合の回転角度θｍ３とが一致するまで調整する。これにより、案内方向ＡＮをワーク回転軸ＣＷに直交する方向に、より正確に、且つより容易に調整することができる。

●［案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度の検出方法（図５、図６）］
以下の説明では、図５（Ａ）に示すマスターワークＭＷを用いて、接触子８３の案内方向ＡＮと、所定の基準面ＳＴＭとの角度を検出する方法（いわゆる基準出し方法）について説明する。なお、本実施の形態では、所定の基準面ＳＴＭを、ワーク回転軸ＣＷを含むとともに砥石２２（加工工具）の移動軸であるＸ軸とＺ軸に平行な面に設定している。
図５（Ａ）に示すマスターワークＭＷは、少なくとも一部に円筒部Ｔ４を有し、円筒部Ｔ４の一部には円筒部Ｔ４の軸ＺＭ２に平行な平面部ＳＭが形成され、円筒部Ｔ４の円筒面には軸ＺＭ２に平行な基準溝Ｍ４が形成されている。なお、図４（Ａ）に示すマスターワークＭＷでは、基準溝Ｍ４は、軸ＺＭ２を含み平面部ＳＭに平行な平面ＨＭ上に形成されている。
また、図５（Ａ）に示すマスターワークＭＷは、軸ＺＭ２を挟んで対向するように２面の平面部ＳＭを形成した重量バランスの良いマスターワークＭＷの例を示しているが、平面部ＳＭは一方の側にのみ形成されていてもよい。

次に図５（Ｂ）及び（Ｃ）を用いて、案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度θの検出手順について説明する。なお、本検出手順の説明は、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示す工作機械１を例として説明する。
図１（Ａ）及び（Ｂ）に示す工作機械１を用いて、例えばワークＷのネジ溝のＺ軸方向の位置を、ネジ溝検出装置８０の接触子８３にて測定した場合、例えば図５（Ｂ）に示すように、接触子８３で測定したネジ溝の位置は砥石２２とワークＷの接触点の位置（加工個所）に対して、角度θに相当する分、Ｚ軸方向にずれている。ネジ溝のピッチをＰＭとすると、ＰＭ＊θ（度）／３６０（度）の補正が必要である。また、基準面ＳＴＭと案内方向ＡＮとの角度θが、ネジ溝位置の精度に大きく影響する。
そこで、以下では、この角度θの、より正確な検出方法について説明する。

まず、ワーク回転軸ＣＷと円筒部Ｔ４の軸ＺＭ２が一致するように、マスターワークＭＷを保持する。図１に示す工作機械１では、主軸装置３０Ｌと３０ＲにてマスターワークＭＷを支持する。
次に、マスターワークＭＷの円筒部Ｔ４と接触子８３とが対向するように、マスターワークＭＷと接触子８３とをワーク回転軸ＣＷに平行な方向に相対的に移動させる。図１の工作機械１の場合は、主軸装置３０Ｌと３０ＲにてマスターワークＭＷをＺ軸方向に沿って移動させる。
次に、マスターワークＭＷの平面部ＳＭと、予め設定した基準面ＳＴＭとが平行となるように、マスターワークＭＷの回転角度を調整し、初期角度とする。例えば、図５（Ｂ）に示すように、基準面ＳＴＭと平行な面内で移動可能な砥石テーブル２０にマイクロメータ９０等を取り付け、マイクロメータ先端９０Ａを平面部ＳＭ上に配置し、砥石テーブル２０をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動させながら平面部ＳＭのＹ軸方向の位置を測定し、測定値が一定となるように、マスターワークＭＷの回転角度を調節する。なお、図５（Ｃ）の例では、基準溝Ｍ４は基準面ＳＴＭ上にある。

次に、接触子８３を案内方向ＡＮに沿って移動させて、接触子８３を円筒部Ｔ４に接触させ、接触子８３が基準溝Ｍ４に当たる（入る）ようにマスターワークＭＷをワーク回転軸ＣＷ回りに回転させ、基準溝Ｍ４に当たった（入った）ときのマスターワークＭＷの回転角度β（初期角度からの回転角度）を求める。
図５（Ｃ）に示すように、この場合の案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの成す角度θは、１８０−β（度）と求めることができる。
このように、案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度を、より正確に、且つより容易に検出することができる。

図５（Ａ）〜（Ｃ）の例では、軸ＺＭ２から平面部ＳＭに下ろした垂線と、軸ＺＭ２から基準溝Ｍ４に下ろした垂線との成す角度α（配置角度α）が９０度の場合であるが、この角度が９０度でない場合の例を、次に説明する。
基準溝Ｍ４の位置が図６（Ａ）に示す位置である場合、軸ＺＭ２から平面部ＳＭに下ろした垂線と、軸ＺＭ２から基準溝Ｍ４に下ろした垂線とが成す角度を配置角度α´（α´≠９０度）とする。
上記と同様にして、平面部ＳＭを基準面ＳＴＭと平行にして初期角度を求めた後、接触子８３が基準溝Ｍ４に当たる（入る）ようにマスターワークＭＷをワーク回転軸ＣＷ回りに回転させ、マスターワークＭＷの回転角度β´（初期角度からの回転角度）を求める。
この場合、回転前の状態の図６（Ａ）、及び回転後の状態の図６（Ｂ）からわかるように、案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの成す角度θは、１８０−β´＋（α´−９０）（度）と求めることができる。

また、図６（Ｃ）に示すマスターワークＭＷは、図４（Ａ）に示すマスターワークＭＷと、図５（Ａ）に示すマスターワークＭＷとを、１つにしたマスターワークＭＷの例である。このマスターワークＭＷを用いれば、接触子８３の案内方向ＡＮの調整と、調整した案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度の検出を行うことが可能である。図６（Ｃ）に示すマスターワークＭＷを用いれば、案内方向ＡＮの調整と、案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度検出を行うことができるので、マスターワークの交換の手間を省略できるとともに、調整及び検出の精度をより向上させることができる。

●［ネジ溝検出装置８０を備えた工作機械１への適用例］
以上に説明したように、接触子８３の案内方向ＡＮをワーク回転軸ＣＷに正確に直交するように調整し、案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度を正確に検出したネジ溝検出装置８０を用いて、ワークＷの一部の円筒面に形成されたネジ溝ＷＮのＺ軸方向の位置を検出する手順を説明する。
制御手段５０は、図３（Ａ）に示すように保持手段８１をワーク回転軸ＣＷから最も遠ざかる位置から検出体移動手段８２に駆動信号を出力し、保持手段８１をワーク回転軸ＣＷに向けて（ワークＷのネジ溝に向けて）前進させる。
そして、制御手段５０は、保持手段８１をワーク回転軸ＣＷに最も近接する位置に移動させて接触子８３をワークＷのネジ部Ｋに接触させる。ここで、制御手段５０は、接触子８３がネジ溝ＷＮに入った場合において、径側センサ８１ＳＢによって検出されるべき接触子８３の端面までの距離Ｌｘを認識している。そして、制御手段５０は、径側センサ８１ＳＢからの検出信号に基づいて求めた距離が距離Ｋ１（ネジ溝に入った場合の理論値）の近傍の値である場合（例えば判定閾値をΔｘとした場合、求めた距離が、距離Ｋ１±Δｘ以内の場合）は、接触子８３がネジ溝ＷＮに入ったと判定し、距離Ｋ１の近傍の値でなく、距離Ｋ１−Δｘよりも小さい値である場合、接触子８３がネジ溝ＷＮに入っていないと判定する。

保持手段８１をワーク回転軸ＣＷに近接させて接触子８３をネジ溝ＷＮに接触させた際、接触子８３の先端の移動先にちょうどネジ溝ＷＮがある場合、接触子８３はリード方向に移動しない。しかし、移動先にちょうどネジ溝ＷＮがある場合よりも、ずれている場合の方が多い。図３（Ｂ）の例は、ネジ溝ＷＮのリード方向の位置が、基準線ＳＴＺに対して−Δｚずれている場合を示している。制御手段５０は、リード側センサ８１ＳＲ、８１ＳＬからの検出信号に基づいて、接触子８３における基準線ＳＴＺからの距離（−Δｚ）を求めることができる。
制御手段５０は、工作機械１上における保持手段８１の基準点の位置（ワーク回転軸ＣＷに最も近接した図３（Ｂ）の状態における基準点の位置（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標））を認識している。そして制御手段５０は、保持手段８１の工作機械１上のＺ軸方向の位置、保持手段８１に対する基準線ＳＴＺ（基準点）からのＺ軸方向の距離（−Δｚ）等から、接触子８３の先端が接触しているネジ溝ＷＮの工作機械１上におけるＺ軸方向の位置を求めることができる。
また、制御手段５０が、接触子８３がネジ溝ＷＮに入っていないと判定した場合、主軸装置３０Ｌ、３０Ｒに制御信号を出力し、ワークＷをワーク回転軸ＣＷ回りに少なくとも１回転させて、接触子８３をネジ溝ＷＮに入れに行くようにしてもよい。

以上、本実施の形態にて説明したネジ溝検出装置８０は、ネジ溝ＷＮの中心の位置を接触子８３を接触させることで直接的に検出するので、ネジ溝ＷＮのリード方向の位置の測定精度が高い。また、ネジ溝と肩部の境界を何往復もしていた従来の検出方法と比較して、非常に短時間にネジ溝の中心の位置を測定可能である。更に、ネジ溝検出装置８０はコンパクトに構成することができるので、工作機械１に搭載することが容易である。

以上に説明したネジ溝検出装置８０を用いて、ネジ溝ＷＮのリード方向の位置を測定し、更に、主軸装置３０Ｒ、３０ＬにてワークＷを所定角度だけ回転させて、ネジ溝検出装置８０にて当該所定角度の回転における接触子８３のリード方向の移動距離を測定してネジ溝ＷＮのピッチＰＭを求める。そして、求めたネジ溝ＷＮのＺ軸方向の位置を、ピッチＰＭと角度θを用いて補正して、砥石２２による加工個所のネジ溝のＺ軸方向の位置を求める。
更に、求めたネジ溝ＷＮのＺ軸方向の位置に、砥石２２（加工工具）を位置決めするようにＺ軸方向駆動モータ１０Ｍを制御し、砥石２２がネジ溝ＷＮに入るようにＸ軸方向駆動モータ２０Ｍを制御する。
そして、主軸装置３０Ｒ、３０Ｌを用いてワークＷを回転させるとともに、測定したピッチに基づいて、Ｚ軸方向駆動モータ１０Ｍを用いて砥石２２をリード方向に移動させて、ネジ溝ＷＮを仕上げ研削する。
なお、本実施の形態の説明では、ワークＷに対して砥石２２をＸ軸方向に移動させたが、砥石２２に対してワークＷをＸ軸方向に移動させる構成にすることもできる。従って、砥石２２はワークＷに対して相対的にＸ軸方向に移動するものである。
同様に、Ｚ軸方向については、ワークＷに対して砥石２２をＺ軸方向に移動させたが、砥石２２に対してワークＷをＺ軸方向に移動させる構成にすることもできる。従って、砥石２２はワークＷに対して相対的にＺ軸方向に移動するものである。

本発明の測定子の調整方法、測定子の角度検出方法、測定子による検出結果の補正方法、及びネジ溝検出装置８０を備えた工作機械１は、本実施の形態で説明した手順、処理、外観、構成、構造等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。例えば、ワークＷの両端部をチャックで保持する構造でなく、一方または両方の端部のセンタで支持する構造であってもよいし、加工工具として、砥石２２の代わりにバイト等を用いてもよい。
本実施の形態の説明では、接触子８３がワーク回転軸ＣＷに直交する径方向に摺動する例で説明したが、所定の角度でワーク回転軸ＣＷに交差する方向に摺動するように構成してもよい（接触子を付勢する方向も、ワーク回転軸ＣＷに交差する方向に付勢してもよい）。また、案内手段（検出体移動手段８２）がワーク回転軸ＣＷに直交する方向に接触子を案内する例を説明したが、所定の角度でワーク回転軸ＣＷに交差する方向に案内するように構成してもよい。
また、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
本実施の形態にて説明した、ネジ溝検出装置８０を備えた工作機械１は、研削盤に限定されず、旋盤等、センターワークを使う機械に適用することができる。また、１本の測定子で径を測定する方法、及び工作機械に適用でき、例えば、カム計を測定する工作機械の変位測定子等にも適用することが可能である。

本発明のネジ溝検出装置８０を備えた工作機械１の一実施の形態を説明する図、及びワークＷの例を説明する図である。 主軸装置３０Ｌ、３０Ｒを用いてワークＷを支持する様子を説明する図である。 ネジ溝検出装置８０の構成と動作を説明する図である。 測定子（接触子８３）の案内方向ＡＮをワーク回転軸ＣＷに直交させる調整をするためのマスターワークＭＷの外観、及び調整方法を説明する図である。 測定子（接触子８３）の案内方向ＡＮと基準面ＳＴＭとの角度を検出するためのマスターワークＭＷの外観、及び角度検出方法を説明する図である。 角度検出方法の他の例、及び図４（Ａ）に示すマスターワークＭＷと図５（Ａ）に示すマスターワークＭＷとをまとめたマスターワークＭＷの例を示す図である。

符号の説明

１ 工作機械
２ 基台
１０ 砥石台
１０Ｍ Ｚ軸方向駆動モータ
３０ＬＭ、３０ＲＭ Ｚ軸方向駆動モータ
１０Ｅ、３０ＬＥ、３０ＲＥ 検出手段
２０ 砥石テーブル
２０Ｍ Ｘ軸方向駆動モータ
２０Ｅ 検出手段
２１ 砥石駆動モータ
２２ 砥石（加工工具）
３０Ｌ、３０Ｒ 主軸装置
５０ 制御手段
６０ ツルーイング装置
８０ ネジ溝検出装置
８１ 保持手段
８１Ａ 保持体（フローティング手段）
８１ＢＲ、８１ＢＬ 弾性部材（フローティング手段）
８１Ｇ ガイド（フローティング手段）
８１ＳＲ 第１リード側センサ（第１リード側位置検出手段）
８１ＳＬ 第２リード側センサ（第２リード側位置検出手段）
８１ＳＢ 径側センサ（径側位置検出手段）
８１Ｂ 保持ベース
８１ＢＢ 弾性部材（付勢手段）
８２ 検出体移動手段（案内手段）
８３ 接触子（測定子）
８４Ｆ、８４Ｇ 調整手段
ＡＮ 案内方向
ＭＷ マスターワーク
Ｔ１〜Ｔ４ 円筒部
Ｍ１〜Ｍ４ 基準溝
ＳＭ 平面部
ＳＴＭ 基準面
ＳＴＺ 基準線
ＣＷ ワーク回転軸
Ｗ ワーク（工作物）
ＷＮ ネジ溝
Ｋ ネジ部

Claims (4)

1. 所定の回転軸回りに回転可能に保持した少なくとも一部に円筒部を有するワークに対して、前記回転軸に交差する方向から前記円筒部に測定子を接触させる測定子の調整方法であって、
   前記測定子を、前記回転軸にほぼ交差するとともに方向を微調整可能な案内方向に進退移動が可能な案内手段に取り付け、
   少なくとも複数の異なる径の円筒部を同心軸上に有し、各円筒部の円筒面には前記同心軸と平行な方向に形成されているととともに前記同心軸を通る１つの平面上に位置するように形成された基準溝を有するマスターワークを、前記回転軸と前記同心軸とが一致するように前記回転軸回りに保持し、
   前記測定子と前記基準溝とが対向するように前記マスターワークの回転角度を設定し、
   前記マスターワークの中から選択した円筒部の基準溝と前記測定子とが対向するように、前記回転軸と平行な方向に、前記マスターワークに対して前記測定子を相対的に移動させた後、前記案内手段を用いて前記測定子を前記基準溝に向けて移動させて前記基準溝に前記測定子が当たるように調整した前記マスターワークの回転角度を、少なくとも２つ以上の円筒部の基準溝に対して求め、
   少なくとも２つ以上の円筒部の基準溝に対して、前記マスターワークにおける同一の回転角度にて前記測定子が当たるように、前記案内手段の案内方向を調整する、
   測定子の調整方法。
2. 所定の回転軸回りに回転可能に保持した少なくとも一部に円筒部を有するワークに対して、前記回転軸に交差する案内方向に進退移動が可能な案内手段に取り付けて前記円筒部に接触させる測定子の角度検出方法であって、
   少なくとも一部に円筒部を有し、前記円筒部の一部には当該円筒部の軸に平行な平面部が形成され、前記円筒部の円筒面には前記円筒部の軸に平行な基準溝が形成されたマスターワークを、前記回転軸と前記円筒部の軸とが一致するように前記回転軸回りに保持し、
   前記円筒部の軸から前記平面部に下ろした垂線と、前記円筒部の軸から前記基準溝に下ろした垂線と、が成す角度を配置角度として、
   前記回転軸に平行となるように予め設定した基準面と、前記マスターワークの平面部とが平行になるように、前記マスターワークの回転角度を調整して初期角度として、
   前記測定子を前記案内方向に移動させた場合に前記測定子が前記基準溝に当たるように調整した前記マスターワークにおける前記初期角度からの回転角度と、前記配置角度と、に基づいて前記基準面に対する前記案内方向の角度を検出する、
   測定子の角度検出方法。
3. 少なくとも複数の異なる径の円筒部を同心軸上に有し、各円筒部の円筒面には前記同心軸と平行な方向に形成されているとともに前記同心軸を通る同一平面上に位置するように形成された基準溝を有し、少なくとも１つの前記円筒部の一部には、前記同心軸に平行な平面部が形成されたマスターワークを用い、
   前記同心軸から前記平面部に下ろした垂線と、前記同心軸から前記基準溝に下ろした垂線と、が成す角度を配置角度として、
   請求項１に記載された測定子の調整方法を用いて前記案内手段の案内方向を調整した後、請求項２に記載された測定子の角度検出方法を用いて検出した、前記基準面に対する前記案内方向の角度に基づいて、前記測定子を用いて検出した検出結果を補正する、
   測定子による検出結果の補正方法。
4. 所定の回転軸回りに回転可能に保持したワークの少なくとも一部の円筒面に形成されたネジ溝の位置を検出するネジ溝検出装置を備えた工作機械であって、
   前記ネジ溝に接触させる測定子と、
   前記測定子が前記回転軸に平行なリード方向に往復移動可能となるように保持するフローティング手段と、
   前記回転軸に交差する前記案内方向に前記測定子を付勢する付勢手段と、
   前記測定子における前記リード方向の位置を検出可能なリード側位置検出手段と、
   前記測定子における前記案内方向の位置を検出可能な径側位置検出手段と、
   前記測定子を前記回転軸にほぼ交差する案内方向に進退移動可能であるとともに、前記案内方向が微調整可能な案内手段と、
   前記ネジ溝を研削する加工工具と、を備え、
   請求項１に記載の測定子の調整方法を用いて前記案内手段の案内方向を調整した後、
   前記測定子を前記回転軸に交差するように前記ワークのネジ溝に押し付け、
   前記径側位置検出手段を用いて前記測定子が前記ネジ溝に入ったことを検出し、
   前記リード側位置検出手段を用いて前記測定子における前記リード方向の位置を検出して、前記ネジ溝の位置を検出し、
   更に、前記ワークを所定角度回転させた後の前記測定子の前記リード方向の位置を検出し、前記所定角度に対する前記測定子の前記リード方向の移動量に基づいて、前記ネジ溝のピッチを求め、
   請求項２に記載の測定子の角度検出方法を用いて検出した前記基準面に対する前記案内方向の角度と、求めた前記ネジ溝のピッチとに基づいて、検出した前記ネジ溝の位置を補正し、
   補正したネジ溝の位置に、前記ワークに対して前記基準面と平行な方向に相対的に移動可能な加工工具を位置決めして前記ネジ溝の研削を行う、
   ネジ溝検出装置を備えた工作機械。
   
   

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