JP2009240148A - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形型の圧電振動子1が、第一次縦振動モードと第一屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、圧電振動子1が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、圧電振動子1が第一次屈曲振動モードで振動する際の幅方向の長さをwとし、w/Lを変数として、w/Lと圧電振動子1の第一次縦振動モードの共振周波数とを対応させると共に、w/Lと第一次屈曲振動モードの共振周波数とを対応させた場合、圧電振動子1は、第一次縦振動モードの共振周波数と第一次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に同一となるw/Lの値に基づいて形成されている。
【選択図】図4
Description
図1から図3は、本実施形態に係る圧電振動子の平面図である。この圧電振動子1は、圧電セラミックスから形成されており、紙面に対して垂直方向に分極している。また、圧電振動子1の紙面に対して上側の中央部に、駆動力を伝達する摺動チップ2が設けられている。図2に示すように、圧電振動子1が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向は、図2中、矢印Aの方向と平行である。また、図3に示すように、圧電振動子1が第一次屈曲振動モードで振動する際の方向(剪断方向)は、図2に示す矢印Aと平行であるが、図3に示すように、圧電振動子1の両端で方向が互いに逆となる。図2に示す第一次縦振動モードと図3に示す第一次屈曲振動モードとが合成(縮退)することによって、摺動チップ2は楕円運動をし、駆動力が生ずる。
本実施形態では、圧電振動子は、単板セラミックスを使用した。この単板セラミックスを、20.0mm×12.8mm×3.0mmに加工した後、20.0mm×12.8mmの一面に2分割、その裏面には全面に銀電極を印刷塗布し、850℃で焼付けを行なった。その後、120℃のシリコンオイル中で、2kV/mmの電界強度で一様に分極処理して圧電振動子を作製した。摺動チップは、アルミナセラミックスを半円筒化したものを使用した。
1b 圧電基板
2 摺動チップ
4a 電極
4b 電極
5a 交流電圧源
5b 交流電圧源
10 超音波モータ
Claims (5)
- 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第一屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第一次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをwとし、w/Lを変数として、w/Lと前記圧電振動子の第一次縦振動モードの共振周波数とを対応させると共に、w/Lと第一次屈曲振動モードの共振周波数とを対応させた場合、
前記圧電振動子は、第一次縦振動モードの共振周波数と第一次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に同一となるw/Lの値に基づいて形成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第一屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第一次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをwとした場合、
前記圧電振動子は、前記w/Lの値が1.00から1.15の範囲に収まるように形成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 矩形型の圧電振動子が、第一次縦振動モードと第一屈曲振動モードとを組み合わせた多重振動モードで振動することにより駆動力を発生する超音波モータであって、
前記圧電振動子が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向の長さをLとし、前記圧電振動子が第一次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向の長さをwとした場合、
前記圧電振動子は、前記w/Lの値が実質的に1.05となるように形成されていることを特徴とする超音波モータ。 - 前記圧電振動子は、いずれか一方の主面上に並設された2枚の電極を備え、前記2枚の電極の少なくとも一方に印加された電圧によって駆動することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波モータ。
- 前記圧電振動子は、いずれか一方の前記電極に第1の交流電圧を印加すると共に、いずれか他方の前記電極に前記第1の交流電圧と位相がπ/2ずれた第2の交流電圧を印加する2相信号入力方式、またはいずれか一方の前記電極に交流電圧を印加すると共に、いずれか他方の前記電極を開放する1相信号入力方式のいずれか一方の方式で駆動することを特徴とする請求項4記載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008244338A JP5296469B2 (ja) | 2008-03-04 | 2008-09-24 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052866 | 2008-03-04 | ||
JP2008052866 | 2008-03-04 | ||
JP2008244338A JP5296469B2 (ja) | 2008-03-04 | 2008-09-24 | 超音波モータ |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009240148A true JP2009240148A (ja) | 2009-10-15 |
JP5296469B2 JP5296469B2 (ja) | 2013-09-25 |
Family
ID=41253417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008244338A Expired - Fee Related JP5296469B2 (ja) | 2008-03-04 | 2008-09-24 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5296469B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2008-09-24 JP JP2008244338A patent/JP5296469B2/ja not_active Expired - Fee Related
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