JP2005151663A - 振動波駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 振動子2が2種類の板状の積層圧電素子を含み、該2種類の板状の積層圧電素子は、2つの異なる振動モードで励振することが可能であり、厚さ方向の異なる位置にそれぞれ形成され、励振時の面内方向の歪の中立面を各々が含まないように配置される。端子H1〜H4からは、積層圧電素子の各間に設けたれた複数の電極幕に対して、互いに位相の異なる交流電圧が印加され、この2種類の積層圧電素子は上記の2つの振動モードでそれぞれ励振させる。積層圧電素子および複数の電極幕を貫通して、該複数枚の電極幕に対して選択的に接続される複数の電極が設けられ、該複数の電極は端子H1〜H4を構成する。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明に係る第1の実施の形態の振動波駆動装置を構成する振動子1、及び被駆動体であるリニアスライダ5を示す斜視図である。
次に本発明の第2の実施の形態を説明する。
2 積層圧電素子
3−1,3−2 突起
4−1,4−2 接触部
5 リニアスライダ
H1〜H4 バイアホール電極
L1〜L12 圧電素子膜
P1〜P4 電極膜
Claims (7)
- 複数の異なる振動モードで励振することが可能であり、厚さ方向の異なる位置にそれぞれ形成され、励振時の面内方向の歪の中立面を各々が含まないように配置された複数種類の板状の積層圧電素子と、
前記複数種類の積層圧電素子に対して、互いに位相の異なる交流電圧を印加して、前記複数種類の積層圧電素子を前記複数の振動モードでそれぞれ励振させる交流電圧印加手段と
を有することを特徴とする振動波駆動装置。 - 前記複数種類の積層圧電素子をそれぞれ構成し、積層される複数枚の圧電素子幕と、
前記複数枚の圧電素子幕の各間にそれぞれ設けられる複数枚の電極幕と、
前記複数枚の圧電素子幕および前記複数枚の電極幕を貫通して、該複数枚の電極幕に対して選択的に接続され、前記交流信号印加手段から対応の交流電圧を供給される複数の電極と
を更に有することを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。 - 前記複数の電極はバイアホール電極であることを特徴とする請求項2記載の振動波駆動装置。
- 前記複数の振動モードは2種類の面外曲げ振動モードであることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
- 前記複数の振動モードは、面外曲げ1次モードと、該面外曲げ1次モードと空間的に直交する方向の面外曲げ2次モードとであることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
- 前記複数の振動モードは、面内の伸縮振動モードと、面外曲げ振動モードとであることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
- 前記複数種類の積層圧電素子が積層された振動子の一部は、前記複数の振動モードでの励振により楕円運動を行い、前記一部に摩擦接触する被駆動体との間で相対移動運動を行うことを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
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