JP2005151663A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 圧電素子膜と電極膜とをそれぞれ複数積層してなり、交流電圧印加手段から位相の異なる交流電圧が印加されることによって、複数の振動モードを励振する積層圧電素子を備えた振動波駆動装置であって、
   それぞれの振動モードを励振するための前記圧電素子膜と前記電極膜とからなる領域が、前記積層圧電素子内の異なる位置に形成され、それぞれの振動モードの励振時に生じる面内方向の歪の中立面が、該振動モードを励振するために用いる前記圧電素子膜と前記電極膜とからなる領域とは別の前記圧電素子膜と前記電極膜とからなる領域に形成されることを特徴とする振動波駆動装置。
2. 前記複数の振動モードは２種類の面外曲げ振動モードであることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
3. 前記複数の振動モードは、面外曲げ１次モードと、該面外曲げ１次モードと空間的に直交する方向の面外曲げ２次モードとであることを特徴とする請求項２記載の振動波駆動装置。
4. 前記複数の振動モードは、面内の伸縮振動モードと、面外曲げ振動モードとであることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
5. 前記積層圧電素子が設けられた振動子の一部は、前記複数の振動モードでの励振により楕円運動を行い、前記一部に摩擦接触する被駆動体との間で相対移動運動を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動波駆動装置。