JP2009238600A - X線管用磁気シールド板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁界型の対物レンズによって電子線を集束させて、X線ターゲットに照射することにより発生するX線を試料に照射するX線管の前記X線ターゲットと前記試料の間に設置される、磁性体から成るX線管用磁気シールド板であって、X線を通すための孔を有し、X線管に対して着脱可能になっている。
【選択図】図2
Description
(数1)
io=R・π・α2・π・(d/2)2
数1よりプローブ電流ioは、プローブ径d及び集束角αの自乗に比例する。したがって、プローブ径dを小さくするとプローブ電流ioは小さくなるので、X線像を明るくするためには、集束角αをできる限り大きくする必要がある。
2 集束レンズ
3 対物レンズ
4 ポールピース上極
5 ポールピース下極
6 X線ターゲット
7 試料
8 X線画像検出器
9 X線管用磁気シールド板
20、21 X線顕微装置
Claims (8)
- 磁界型の対物レンズによって電子線を集束させて、X線ターゲットに照射することにより発生するX線を試料に照射するX線管の前記X線ターゲットと前記試料の間に設置される、磁性体から成るX線管用磁気シールド板であって、前記X線を通すための孔を有し、前記X線管に対して着脱可能になっていることを特徴とするX線管用磁気シールド板。
- 前記X線管用磁気シールド板と前記対物レンズのポールピース下極との間に間隙を設けて、前記X線管用磁気シールド板を前記対物レンズの磁気回路から切り離すようにした請求項1に記載のX線管用磁気シールド板。
- 前記間隙が0.3mm〜2mmである請求項2に記載のX線管用磁気シールド板。
- 前記X線管用磁気シールド板の厚さが2mm以下である請求項1乃至3のいずれかに記載のX線管用磁気シールド板。
- 前記X線管用磁気シールド板は円盤である請求項1乃至4のいずれかに記載のX線管用磁気シールド板。
- 前記円盤の直径が前記X線管の対物レンズのポールピース下極の穴の直径の0.5倍〜1.5倍である請求項5に記載のX線管用磁気シールド板。
- 前記円盤の一部に切り欠きが設けられている請求項5又は6に記載のX線管用磁気シールド板。
- 前記孔は、断面が前記X線の進行方向に大きくなっていく円錐台形状をしている請求項1乃至7のいずれかに記載のX線管用磁気シールド板。
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